專利名稱：放電燈的制作方法
專利說明本發(fā)明涉及一種高負(fù)荷、高亮度的放電燈，更詳細(xì)地說，涉及特征在于在陰極材料 中使用含有鑭(La)的材料作為易電子放射性材料的放電燈。
背景技術(shù)：
公知在被用作曝光處理所使用的曝光裝置用的光源的、在放電空間封入有水銀的 放電燈，或在放映機(jī)等被用作為光源的、在放電空間封入有氙氣的放電燈中，通過在以鎢 (W)作為主成分的陰極中含有氧化鑭(La203)作為易電子放射性材料，能夠顯示出良好的電 子放射特性。 然而，在具有含有氧化鑭(La203)作為易電子放射性材料的陰極的放電燈中，由于 點(diǎn)燈時(shí)施加于陰極的高熱負(fù)荷，鑭(La)在早期蒸發(fā)并枯竭，導(dǎo)致無法維持穩(wěn)定的放電的問 題。 因此，日本特開2006-286236號(hào)公報(bào)所示的技術(shù)中記載了利用鋯(Zr)、鉿(Hf)等
比鎢更容易與氧結(jié)合的特性，通過與選自上述金屬的至少1種的金屬氧化物共存，可以抑
制鎢氧化物形成。低融點(diǎn)的鎢氧化物在陰極的動(dòng)作溫度左右被液相化的問題得到抑制，能
夠長時(shí)間穩(wěn)定地供應(yīng)該易電子放射性材料，可長時(shí)間維持穩(wěn)定的放電。 并且，在日本特表2005-519436號(hào)公報(bào)中記載了嘗試通過添加氧化物或碳化物來
達(dá)成改善。 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2006-286236號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 :日本特表2005-519436號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
通過與選自鋯(Zr)、鉿(Hf)等的至少l種的金屬氧化物共存，可防止鑭(La)在早 期蒸發(fā)并枯竭，但作為氧化鑭(La203)含有的易電子放射性材料的還原不充分，想要提供長 壽命的放電燈則鑭(La)更加不足。如果鑭(La)不足，則陰極前端部的鑭(La)原子的被覆 率(以1原子層被覆時(shí)作為1的La原子的表面密度)變小，而工作函數(shù)變大，陰極的溫度 上升并會(huì)變形，產(chǎn)生發(fā)生閃爍的問題。 本發(fā)明為了解決上述問題，目的在于提供一種長壽命的放電燈，具有含有氧化鑭
(La203)作為易電子放射性材料的陰極，促進(jìn)氧化鑭(La203)的還原，增加鑭(La)的供應(yīng)量。 本發(fā)明的第1發(fā)明，是一種放電燈，具有在放電容器的內(nèi)部在該放電容器的管軸
方向上相對(duì)配置的陽極和陰極，通過在鎢金屬基體中含有鑭的金屬氧化物和鋯的金屬氧化
物的材料形成有上述陰極，其特征為在構(gòu)成上述陰極的鎢金屬基體中固溶有碳。 本發(fā)明的第2發(fā)明的特征為上述陰極由前端部、錐部及胴部構(gòu)成，固溶于上述前
端部的碳的濃度比固溶于上述錐部的碳的濃度高。 根據(jù)本申請(qǐng)第1發(fā)明的放電燈，在含有氧化鑭(La203)作為易電子放射性材料的陰 極上固溶碳(C)，從而即使在放電燈點(diǎn)燈時(shí)溫度不會(huì)變得較高的部位上也能夠促進(jìn)氧化鑭(La203)的還原，可生成鑭(La)。與未在陰極上固溶碳(C)的情況相比，可擴(kuò)大作為鑭(La) 的供應(yīng)源的部分，增加鑭(La)的供應(yīng)量，可提供長壽命的放電燈。 根據(jù)本申請(qǐng)第2發(fā)明的放電燈，提高在點(diǎn)燈時(shí)成為高溫的陰極的前端部的碳(C) 的濃度，提高氧化鑭粒子附近的CO分壓，從而抑制還原反應(yīng)，抑制鑭(La)的流出，可以抑制 陰極的前端部的消耗。并且，陰極的錐部即使在點(diǎn)燈時(shí)也不會(huì)變成比前端部更高的溫度，因 而與前端部相比，降低碳(C)的濃度，促進(jìn)還原反應(yīng)。在錐部生成的鑭(La)沿著鎢(W)的 晶界擴(kuò)散而被供應(yīng)到陰極的前端部，防止發(fā)生鑭(La)不足導(dǎo)致的閃爍。


圖1是表示本發(fā)明的放電燈的一個(gè)例子的結(jié)構(gòu)的說明用剖視圖。
圖2是鎢(W)與碳(C)的平衡狀態(tài)圖。 圖3是放大表示圖2所示的平衡狀態(tài)圖中碳(C)的比率極微小的部分的圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是表示作為本發(fā)明的放電燈的一個(gè)例子，作為曝光裝置用的光源使用的在放 電空間封入有水銀的放電燈的結(jié)構(gòu)的說明用剖視圖，僅透射作為放電容器1的一部分的發(fā) 光管2，表示其內(nèi)部的構(gòu)造。 放電燈例如由石英玻璃等透光性材料構(gòu)成，具有放電容器l，該放電容器1具有大 致球狀的發(fā)光管2以及連續(xù)于其兩端而向外方延伸的密封管3，在放電容器1的內(nèi)部，在放 電容器l的管軸方向上相對(duì)配置有分別由例如鎢(W)構(gòu)成的陽極4及陰極5，陰極5由與陽 極4相對(duì)配置的前端部51、向著前端部51縮徑的錐部52以及圓柱狀的胴部53構(gòu)成。
在放電容器1的內(nèi)部空間，分別以預(yù)定的封入量封入有作為發(fā)光物質(zhì)或啟動(dòng)輔助 用的氣體的水銀及緩沖氣體。作為緩沖氣體，例如封入有氙氣。水銀的封入量例如是lmg/ cm3 70mg/cm3的范圍內(nèi)，例如為22mg/cm3，而氤氣的封入量例如是0. 05MPa 0. 5MPa的 范圍內(nèi)，例如為0. lMPa。 在該放電燈中，在陽極4及陰極5的電極間施加例如20kV的高電壓，由此，電子從 陰極5飛至陽極4而在電極間產(chǎn)生絕緣破壞，接著形成放電電弧，放射出例如含有波長為 365nm的i線或波長為435nm的g線的光。 陽極4例如使用鎢含有率為99.99重量％以上的純鎢，而陰極5以鎢為主要成分， 鎢含有率為低于98重量％。在該陰極5的鎢金屬基體中，作為易電子放射性材料含有鑭 (La)的金屬氧化物，作為使易電子放射性材料穩(wěn)定的穩(wěn)定化材料含有鋯(Zr)的金屬氧化 物，并且碳(C)固溶于鎢(W)中。 陰極5含有的氧化鑭(La203)是易電子放射性材料，被還原，氧脫離，形成鑭原子， 在鎢中移動(dòng)，移動(dòng)至陰極的前端部51，被覆陰極5的前端部51，形成單原子層電子放射陰 極。即，通過鑭(La)以1原子層被覆在陰極5的前端部51，使得陰極5的工作函數(shù)變小，降 低陰極5的動(dòng)作溫度，可延長陰極5的壽命。 陰極5含有的氧化鋯(Zr02)是使易電子放射性材料穩(wěn)定化的穩(wěn)定化材料，能夠抑 制鎢氧化物形成、融點(diǎn)降低導(dǎo)致的液相化。由于氧化鑭(La203)被還原而產(chǎn)生的氧氣(02)， 在沒有鋯(Zr)等時(shí)，與鎢(W)結(jié)合而生成鎢氧化物(W0》，鎢氧化物(W03)與氧化鑭(La203)形成低融點(diǎn)的化合物，通過液相化急速地增加發(fā)射極的輸送速度，產(chǎn)生消耗的問題。
因此，通過添加氧化鋯(Zr02)，比鎢(W)更容易與氧氣結(jié)合的鋯(Zr)起到氧氣收 氣劑的作用，抑制鎢氧化物(W03)的形成。由于不會(huì)形成低融點(diǎn)的化合物，因而抑制陰極5 在動(dòng)作溫度左右被液相化，可防止鑭(La)在早期蒸發(fā)并枯竭。 陰極5含有的碳(C)并不是與金屬元素形成化合物的碳化物(carbide)的形態(tài)， 而以固溶于鎢(W)中的單體存在。固溶是指即使其它原子進(jìn)入金屬的結(jié)晶構(gòu)造中，也能保 持原本的結(jié)晶構(gòu)造以固體狀態(tài)混合的狀態(tài)，具體而言，成為原子半徑小的碳(C)侵入鎢(W) 的金屬結(jié)晶晶格的原子間的空隙的侵入型固溶體。
圖2是鎢(W)與碳(C)的平衡狀態(tài)圖。 出 處S.V.Nagender Naidu and P.Rama Rao， Phase Diagrams ofBinary Tungsten Alloys, (Indian Institute of Metals，1991)P. 37-50
橫軸表示鎢(W)與碳(C)的比率，縱軸表示溫度。 由平衡狀態(tài)圖可知通過鎢(W)含有的碳(C)的比率，也可以變更混入碳(C)的狀 態(tài)。圖表的中央下部分(a)表示碳(C)的比率為30% 50%，溫度為270(TC以下的狀態(tài)， 可以讀取出制作如碳化鎢(WC)這樣的作為鎢(W)與碳(C)的化合物的碳化物(carbide)。 圖表的左端部分(b)表示碳(C)的比率為極少量，溫度為270(TC附近的狀態(tài)，碳(C)未形成 化合物，固溶于鎢(W)，可以讀取出碳(C)作為單體存在。將這種(b)的條件狀態(tài)稱為固溶 體，兩種以上的元素互相溶合，整體為均勻的固相。 圖3是放大表示圖2所示的平衡狀態(tài)圖的碳(C)的比率為極微小的部分的圖。
出 處S. V. Nagender Naidu and P.Rama Rao， Phase Diagrams ofBinary Tungsten Alloys, (Indian Institute of Metals，1991)P. 37-50 碳(C)的比率極少量的左側(cè)(b)為固溶相，而碳(C)的比率較大、溫度高的右上 (a)表示固溶相與液相混雜的狀態(tài)，碳(C)的比率較大、溫度低的右下(e)表示固溶相與 碳化物混雜的狀態(tài)。 從由固溶相與液相混雜的狀態(tài)(a)與固溶相(b)的邊界線可以讀出，當(dāng)碳(C)的 比率變大時(shí)，融點(diǎn)會(huì)下降。陰極5的前端部51附近在點(diǎn)燈時(shí)會(huì)變成300(TC左右的高溫，因 而必須將碳(C)的混入比率抑制得較小，在點(diǎn)燈時(shí)使陰極5不會(huì)熔融。為了使放電燈點(diǎn)燈時(shí) 也不會(huì)使陰極5熔融，從平衡狀態(tài)圖可讀取出碳的濃度必須在lOOwt.卯m(約0. 15at. % ) 以下。 將在如上述的鎢金屬基體中固溶碳(C)的結(jié)構(gòu)應(yīng)用于陰極5來進(jìn)行試驗(yàn)，得到了
放電燈的壽命被改善的結(jié)果。作為被改善的理由，推測(cè)是因?yàn)楫a(chǎn)生了以下的現(xiàn)象。 固溶于鎢(W)中的碳(C)與同樣包含于鎢(W)中的氧化鑭(La203)產(chǎn)生了以下的
反應(yīng)，還原氧化鑭(La203)。
La203+3C<=>2La+3CO
被還原而生成的單體的鑭(La)擴(kuò)散到鎢(W)的結(jié)晶晶界，進(jìn)到陰極5的前端部 51。另一方面，隨著還原所生成的一氧化碳(CO)作為氣體存在于在鎢(W)中含有氧化鑭 (La203)的氧化物的粒子所存在的空隙。 隨著氧化鑭(La203)的還原的進(jìn)行，一氧化碳(CO)的量也增加，上述空隙中的一氧
5化碳(CO)的壓力變高。變成這種狀態(tài)時(shí)，一氧化碳(CO)在與鎢(W)接觸之處分解成碳(C) 與氧(O)，分別固溶于鎢(W)中。 通過這種二次反應(yīng)(COGC+0)，碳(C)被重復(fù)使用，因而即使少量也可以充分 地還原氧化鑭(La203)。并且，通過氧化鑭(La203)的還原而產(chǎn)生的氧(02)與碳結(jié)合而生成 一氧化碳(CO)，抑制鎢氧化物(W03)的形成，因而鑭(La)不會(huì)在早期蒸發(fā)并枯竭。
碳(C)并不是與金屬元素形成化合物的碳化物(carbide)的形態(tài)，而是以固溶于 鎢(W)中的單體存在，因而不必將碳(C)與金屬元素分解。將碳(C)用作還原劑時(shí)，不再需 要用于分解碳(C)的能量，因而即使在溫度較低處也可以產(chǎn)生氧化鑭(La203)的還原反應(yīng)。
并且，以碳化物(carbide)的形態(tài)含有碳(C)時(shí)，碳化物(carbide)局部地偏在于 陰極5的一部分，但使碳(C)固溶時(shí)，少量的碳(C)均勻地遍布于陰極5。因此，存在于陰極 5的任一部分的氧化鑭(L4O》，都有碳(C)配置于其附近，不會(huì)阻隔氧化鑭(La203)的還原 而可連續(xù)進(jìn)行。 通過在作為易電子放射性材料含有氧化鑭(La203)的陰極5上固溶碳(C)，即使在 放電燈點(diǎn)燈時(shí)溫度不會(huì)變得較高的部位，氧化鑭(La203)的還原可以進(jìn)行并生成鑭(La)。與 未在陰極5中固溶碳(C)的情況相比，可擴(kuò)大作為鑭(La)的供應(yīng)源的部分，增加鑭(La)的 供應(yīng)量，可提供長壽命的放電燈。 作為易電子放射性材料使用氧化鑭(La203)時(shí)，迄今為止由于還原未充分地進(jìn)行， 因此鑭(La)不足而陰極5的前端溫度上升，無法在投入大功率的大型放電燈中采用。然而 在陽極4添加碳(C)與氧(0)而在陰極5內(nèi)部擴(kuò)散碳(C)，從而即使在投入大功率的大型放 電燈中采用氧化鑭(La203)作為易電子放射性材料，也可充分地供應(yīng)鑭(La)。
將固溶于前端部51的碳的濃度制作成比固溶于錐部52的碳的濃度高來構(gòu)成陰極 5，經(jīng)試驗(yàn)，放電燈的壽命進(jìn)一步改善。作為進(jìn)一步改善的理由，推測(cè)發(fā)生了以下的現(xiàn)象。
固溶于鎢(W)中的碳(C)與氧(0)的濃度越高，作為氣體存在于結(jié)晶與結(jié)晶之間 的一氧化碳(CO)的壓力變得越高。由La203+3C^2La+3CO的化學(xué)反應(yīng)式所示的氧化鑭 的還原是平衡反應(yīng)，因而一氧化碳(CO)的濃度越高，鎢(W)中的氧化鑭的還原反應(yīng)越被抑 制，抑制作為發(fā)射極的鑭(La)的流出。 固溶于鎢(W)中的碳(C)的濃度越高，一氧化碳(CO)的分壓越上升，氧化鑭 (La203)的還原反應(yīng)越被抑制。氧化鑭(La203)的還原反應(yīng)是也依賴于溫度，因而通過提高 在點(diǎn)燈時(shí)成為高溫的陰極5的前端部51的碳(C)的濃度來抑制還原反應(yīng)，抑制鑭(La)的 流出，可抑制陰極5的前端部51的消耗。另一方面，陰極5的前端部51周圍的錐部52在 點(diǎn)燈時(shí)也不會(huì)比前端部51高溫，因而與前端部51相比，使碳(C)的濃度低，就可促進(jìn)還原 反應(yīng)。在錐部52生成的鑭(La)沿著鎢(W)的晶界擴(kuò)散而被供應(yīng)至陰極5的前端部51，以 防止發(fā)生因鑭(La)不足導(dǎo)致的閃爍。 接著，對(duì)于碳(C)固溶于鎢(W)中的陰極5的制造方法進(jìn)行說明。
作為陰極材料鎢通過粉末冶金法形成。首先，混合平均粒徑不相同的粉末以使調(diào) 制鎢粉末具有適當(dāng)?shù)牧６确植?，添加硬脂酸等的黏合劑，填充模具，進(jìn)行加壓成形，得到棒 狀的成形體。然后，在氫氣中徐徐地提高溫度并沖散黏合劑，再提高溫度而得到臨時(shí)燒結(jié) 體。這時(shí)，如果氫的露點(diǎn)低，則起因于黏合劑的碳(C)的剩余量變多，因而可以通過調(diào)整氫 的露點(diǎn)來調(diào)整碳(C)的添加量。
并且，開始將氫的露點(diǎn)保持較低，使起因于黏合劑的碳(C)的剩余量較多，在臨時(shí) 燒結(jié)的最后，通過流過露點(diǎn)高的潮濕的氫，除掉陰極的表面附近的剩余碳(C)，得到中心附 近的碳濃度高、前端周邊的碳濃度低的臨時(shí)燒結(jié)體。 進(jìn)而，通過在氫氣中將臨時(shí)燒結(jié)體通電燒結(jié)，可得到燒結(jié)棒。在燒結(jié)的過程中，鎢 (W)中含有的碳(C)量會(huì)減少。減少的比率根據(jù)臨時(shí)燒結(jié)體的粗細(xì)、原料粉末的粒度分布、 臨時(shí)燒結(jié)體的表觀密度、燒結(jié)溫度(通電電流)、燒結(jié)時(shí)間的不同而有所變化，因而根據(jù)減 少比率，調(diào)整臨時(shí)燒結(jié)時(shí)的氫的露點(diǎn)，流入更多，從而可以得到具有所期望的碳量的鎢燒結(jié)棒。 并且，通過放電注入碳，也可提高固溶于前端部51的碳濃度。精修陰極形狀之后， 在大氣壓的氬氣氛中，在陰極前端部放電，調(diào)整電流使得前端溫度為2500K左右。之后，將 氣體切換成在氬中混入13Pa以下的甲烷的氣體，維持大約1小時(shí)左右的放電。利用該處理， 可在前端部51的大約3mm左右提高固溶的碳濃度。 接著，對(duì)于碳(C)固溶于陰極材料的鎢(W)中的情形進(jìn)行檢證的分析方法加以說 明。 由圖3所示的平衡狀態(tài)圖可以看出，在鎢(W)中含有碳(C)，且其量為100wt.卯m 以下時(shí)，在所有溫度下碳(C)都不會(huì)形成例如電石的碳化物，碳(C)固溶于鴇(W)中。因 此，分析陰極材料的鎢(W)，確認(rèn)含有碳(C)的情形，如果其量為100wt.ppm以下，則可說有 碳(C)固溶于鎢(W)中。 檢測(cè)出鎢(W)中含有的碳(C)量的分析方法例如可以根據(jù)鎢/鉬工業(yè)會(huì)規(guī)格、鎢 及鉬分析方法、16.全碳定量方法。作為全碳的定量方法，例如有a)燃燒-介電常數(shù)法、b) 燃燒_電量法、c)燃燒-電熱傳導(dǎo)法、d)燃燒-紅外線吸收法(積分法)、e)燃燒_紅外 線吸收法(循環(huán)法)，任一種方法都可以。
在此，對(duì)于a)燃燒-介電常數(shù)法加以說明。 粉碎陰極5，制成鎢的粉末狀，作為試料，將試料在氧氣流中進(jìn)行加熱，并將碳氧 化，作為二氧化碳，被吸收在一定量的氫氧化鈉溶液，測(cè)定吸收前后的溶液的傳導(dǎo)率的變 化，從而求得碳的含有率。 并且，對(duì)于圖1所示的放電燈，對(duì)封入有水銀的放電燈進(jìn)行了說明，但在將封入物 替代水銀僅封入氙氣、在放映機(jī)等中被用作光源的放電燈中，也可以使用本發(fā)明的固溶有 碳(C)的陰極。 接著，對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施例加以說明。
實(shí)施例 在鎢金屬基體中，在含有鑭的金屬氧化物及鋯的金屬氧化物的材料中使碳固溶以 形成陰極，利用該陰極來制作氙短弧燈，測(cè)定到點(diǎn)燈1000小時(shí)時(shí)的燈電壓。
陰極及氙短弧燈的構(gòu)成如下所述。
〈規(guī)格> 封入氣體氤(Xe) 0. 65M Pa (靜壓)
輸入2kW 陰極軸方向長度為15mm，胴部外徑為6mm，錐部角度為40° ，主成分為鎢，添加 2wt. %的La2Zr207
作為實(shí)驗(yàn)對(duì)象l，準(zhǔn)備了將碳以約10wt.ppm的濃度固溶于鎢的材料構(gòu)成的陰極。 作為實(shí)驗(yàn)對(duì)象2，準(zhǔn)備了在距表面約3mm的前端部，碳以約50wt. ppm的濃度固溶于鎢，而在 距表面約3mm以上的錐部，碳以約lOwt.ppm的濃度固溶于鎢的材料構(gòu)成的陰極。并且，作 為比較例，準(zhǔn)備了碳未固溶于鎢的材料構(gòu)成的陰極。 使用電壓變動(dòng)率對(duì)使用各陰極時(shí)的燈電壓加以比較。在點(diǎn)燈后成為穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)作
為起點(diǎn)，在起點(diǎn)時(shí)(Oh)、從起點(diǎn)測(cè)量連續(xù)點(diǎn)燈時(shí)間為100小時(shí)(100h)、200小時(shí)(200h)、500
小時(shí)(500h)、1000小時(shí)(lOOOh)的時(shí)刻進(jìn)行電壓變動(dòng)率的測(cè)定。在此，電壓變動(dòng)率是10秒
鐘的電壓波形的最大值與最小值的差除以平均值而得到的數(shù)值。 將實(shí)驗(yàn)結(jié)果示于表l。 表1
Oh100h200h500hlOOOh
實(shí)驗(yàn)對(duì)象11. 2%1. 3%1. 4%1. 5%2. 2%
實(shí)驗(yàn)對(duì)象21. 3%1. 2%1. 5%1.4%1. 7%
比較例1. 3%1. 2%3. 2%5. 1%8. 3% 氙燈在放映機(jī)等中作為光源使用，但當(dāng)照度變動(dòng)變大時(shí)，則在影像面變成閃爍出 現(xiàn)，因而以照度變動(dòng)為基準(zhǔn)來設(shè)定燈壽命。電壓變動(dòng)率可用作照度變動(dòng)的代用特性，如果電 壓變動(dòng)率超過50%，則照度變動(dòng)變大，判定為達(dá)到燈壽命。 根據(jù)該基準(zhǔn)，比較例的氙燈的壽命是500小時(shí)左右，但具有固溶有碳的陰極的實(shí) 驗(yàn)對(duì)象1、2的氙燈的壽命達(dá)到1000小時(shí)以上。尤其是，提高了前端部的碳濃度的實(shí)驗(yàn)對(duì)象 2的氙燈即使在點(diǎn)燈1000小時(shí)后，電壓變動(dòng)率也能維持較低，因而可以推測(cè)其為壽命更長 的氙燈。
8
權(quán)利要求
一種放電燈，具有在放電容器的內(nèi)部在該放電容器的管軸方向上相對(duì)配置的陽極和陰極，通過在鎢金屬基體中含有鑭的金屬氧化物和鋯的金屬氧化物的材料形成有上述陰極，其特征為在構(gòu)成上述陰極的鎢金屬基體中固溶有碳。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電燈，其特征為上述陰極由前端部、錐部及胴部構(gòu)成，固溶于上述前端部的碳的濃度比固溶于上述錐 部的碳的濃度高。
全文摘要
本發(fā)明提供一種放電燈，具有作為易電子放射性材料含有氧化鑭(La2O3)的陰極，促進(jìn)氧化鑭(La2O3)的還原，增加鑭(La)的供應(yīng)量，壽命長。該放電燈在放電容器(1)的內(nèi)部具有在該放電容器(1)的管軸方向相對(duì)配置的陽極(4)與陰極(5)，通過在鎢金屬(W)基體中含有鑭的金屬氧化物(La2O3)和鋯的金屬氧化物(ZrO2)的材料形成上述陰極(5)，其特征為在構(gòu)成上述陰極(5)的鎢金屬(W)基體中固溶有碳(C)。
文檔編號(hào)H01J61/06GK101794704SQ20091025376
公開日2010年8月4日 申請(qǐng)日期2009年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月22日
發(fā)明者有本智良, 池內(nèi)滿 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社