專利名稱：放電燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及產(chǎn)業(yè)用燈，涉及介質(zhì)阻擋放電燈(dielectric-barrierdischarge lamp)、電容耦合型高頻放電燈。例如，涉及作為紫外線光源的受激準分子燈、低壓水銀燈寸。
背景技術(shù)：
例如，作為上述產(chǎn)業(yè)用紫外線光源的一種，有具備172nm發(fā)光波長的氙受激準分 子燈，其經(jīng)常在清洗基板等時使用。受激準分子燈經(jīng)常采用雙重管構(gòu)造的燈。這些燈的發(fā) 光部都呈軸向較長的管狀。關(guān)于這種燈有專利文獻1等，例如，封入了氙氣的受激準分子燈 經(jīng)常在液晶面板用基板的干洗等時使用。在這種情況下，被照射對象物的基板以固定速度 在傳送帶上移動，燈被設置在基板的稍微上方與傳送帶的流動方向正交的方向。對被照射 對象物的寬度整體進行一次照射，同時使基板以固定速度移動，所以能夠沿著整個基板進 行均勻的處理。另一方面，例如在半導體工藝的領(lǐng)域中，往往在其各個工序中使用紫外光進 行半導體晶片表面的加工、改性等。因此，往往采用來自氙受激準分子的發(fā)光即172nm、來自 氪和氯的受激準分子的發(fā)光即222nm、水銀共振線即254nm等紫外光。并且，也考慮了非雙 重管構(gòu)造的、在單管的放電容器的兩側(cè)面配置電極的熒光燈?；诜乐故褂脮r的沿面放電、 提高安全性的目的，該燈具有利用玻璃燈殼或陶瓷等耐熱性部件形成的被覆層。下面，列舉 幾個與此相關(guān)聯(lián)的現(xiàn)有技術(shù)的示例。專利文獻1公開的雙重管方式的“介質(zhì)阻擋放電燈”，在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)側(cè)面形成一個 電極，在外側(cè)管的外側(cè)面形成另一個電極。當向這兩個電極之間施加數(shù)千伏的高頻電壓時， 在內(nèi)側(cè)管和外側(cè)管之間的放電空間產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電。由于向電極之間施加數(shù)千伏的高電 壓，所以在兩個電極之間有可能沿著放電容器表面產(chǎn)生沿面放電。通過使放電容器的兩端 到電極端部的距離足夠長、或者在放電容器端附加絕緣性物質(zhì)，能夠阻止沿面放電。在現(xiàn)有 的受激準分子燈中，一般經(jīng)常采用如上所述的雙重管構(gòu)造的管狀燈。專利文獻2公開的“稀有氣體放電燈”進行外壁電極的絕緣保護，防止沿面放電和 觸電事故。如圖5(b)所示，在對內(nèi)壁涂敷了熒光體膜的管狀玻璃燈殼中，封入以氙氣為主 成分的稀有氣體。在玻璃燈殼的外壁上沿著玻璃燈殼的大致整體長度配置一對帶狀電極。 在包括帶狀電極的玻璃燈殼上涂敷硅酮樹脂等絕緣性被膜。另外，在該絕緣性被膜上套裝 熱收縮性絕緣管。專利文獻3公開的“稀有氣體放電燈”對外壁電極進行絕緣保護，防止沿面放電。 如圖5(c)所示，在對內(nèi)壁涂敷了熒光體膜的管狀玻璃燈殼中，封入以氙氣氣體為主成分的 稀有氣體。在玻璃燈殼的外壁上配置一對帶狀電極。在玻璃燈殼的表面上形成透明的硅酮 樹脂的絕緣被膜。再在其上套裝聚酯的熱收縮性樹脂管。這樣，將帶狀電極雙重絕緣進行 保護。專利文獻4公開的“熒光燈”用于提高針對施加給外部電極的高電壓的安全性。如 圖5(d)所示，在由玻璃燈殼構(gòu)成的外圍器具的內(nèi)表面上被覆有發(fā)光層，以形成孔部。在該
3外圍器具的外表面上，沿著軸向固定有彼此相對的由鋁帶構(gòu)成的外部電極。在該外部電極 的端部連接著與外部電路連接用的導線。在外圍器具的外表面上形成有由玻璃燈殼構(gòu)成的 被覆層，用于被覆外部電極的主要部分。專利文獻5公開的“熒光放電管”利用絕緣被膜防止外部放電，利用輔助燈殼提高 機械強度。如圖5(e)所示，在向內(nèi)部封入了稀有氣體的玻璃燈殼的筒體外表面上，沿著軸 向呈帶狀設置彼此相對的一對外部電極。利用絕緣被膜覆蓋筒體的整個外表面。在玻璃燈 殼上外裝輔助燈殼，利用輔助燈殼覆蓋絕緣被膜，而保護絕緣被膜。在將該熒光放電管設置 在傳真機等設備內(nèi)部時，飛散的碳粉等不會附著在絕緣被膜上，能夠防止外部放電。專利文獻6公開的“熒光燈”用于防止玻璃燈殼表面上的外部電極之間的絕緣電 阻由于潮氣的附著而降低。如圖5(f)所示，在管狀的玻璃燈殼的內(nèi)表面形成熒光被膜。沿 著燈殼的管軸方向，在燈殼外表面形成具有透光性的一對外部電極。在燈殼內(nèi)部封入放電 媒介。為了防止容易附著潮氣的玻璃燈殼的絕緣下降，并防止兩個外部電極之間的短路，在 玻璃燈殼外表面的一對外部電極之間形成由硅酮樹脂等構(gòu)成的電氣絕緣層。電氣絕緣層不 僅形成于外部電極之間，也可以沿著燈殼的全周形成。如果沿著全周形成，電極之間被絕 緣，同時對于導線與電極連接的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)牢靠的接合。在沿著燈殼全周的情況下，也 可以套裝聚乙烯等熱收縮性管。專利文獻1 日本專利公報第3170952號專利文獻2 日本特開平04-087249號公報專利文獻3 日本特開平04-112449號公報專利文獻4 日本實開平05-090803號公報專利文獻5 日本特開平07-272691號公報專利文獻6 日本特開平09-092227號公報但是，為了進行受激準分子發(fā)光，必須提高封入壓力，尤其要提高施加電壓，可知 類似單純利用絕緣性物質(zhì)被覆的對策的可靠性很低。這是因為，例如，即使利用玻璃構(gòu)成被 覆層并實施過熱、緊密接合，也有可能通過放電容器與被覆層之間的極小間隙而產(chǎn)生絕緣 破壞。在電極采用鋁箔等的情況下，由于鋁箔的熔點低，所以即使進行加熱，溫度也不能 充分升高，因此很難根據(jù)電極形狀實現(xiàn)無間隙被覆。并且，在放電容器與被覆層之間的熱膨 脹系數(shù)不同時，由于燈的點亮和熄滅而形成的受熱經(jīng)歷，而產(chǎn)生應力，在界面處漸漸產(chǎn)生極 小的間隙，可能導致絕緣破壞。在通過玻璃材料的噴鍍等來進行被覆的情況下，有可能形成 氣泡和/或間隙，通過該氣泡和/或間隙造成絕緣破壞。由于上述情況，在現(xiàn)有的采用單管 的放電容器的燈中，不能施加足夠高的電壓，只能實現(xiàn)輻射輸出較低的燈。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種外部電極型放電燈，即使在為了獲得高的輻射輸出 而施加足夠高的電壓時，也不會產(chǎn)生沿面放電，而且可靠性高。為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種放電燈的放電容器，該放電燈具有被封入了 放電氣體的石英制的管狀放電容器，該放電氣體通過介質(zhì)阻擋放電或電容耦合型高頻放電 而形成受激準分子；以及箔電極，其在放電容器兩側(cè)的管壁內(nèi)部平行于軸向并相對地埋設在放電容器中，箔電極沿著放電容器的圓筒狀側(cè)面對稱埋設，或者沿著放電容器的圓筒狀 側(cè)面埋設而使其構(gòu)成〃狀截面，或者箔電極為平行平板狀并對稱埋設，或者箔電極為平板 狀并埋設為構(gòu)成〃狀截面。另外，本發(fā)明提供一種放電燈的放電容器，該放電燈具有在放電容器的管壁內(nèi)部 沿軸向埋設在放電容器中的箔電極；和在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置的外部電 極，箔電極沿著放電容器的圓筒狀側(cè)面埋設、或者呈平板狀。在放電容器的外部設置金屬板 或多層電介質(zhì)膜的光反射部件。另外，設置在放電容器的管壁內(nèi)部沿軸向埋設在放電容器中的箔電極、和在放電 容器的管壁內(nèi)部沿軸向埋設在放電容器中的網(wǎng)狀電極、或者在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿 軸向設置的網(wǎng)狀電極。箔電極沿著放電容器的圓筒狀側(cè)面埋設、或者呈平板狀。箔電極是 以鉬和鉭和鎢中的任一種為主成分的箔。另外，各個電極各自的供電線被配置在軸向的彼此相反的一側(cè)。放電氣體是稀有 氣體或者稀有氣體與鹵素氣體的混合氣體。在放電容器的軸向的一個端部設置光取出口。通過形成如上所述的結(jié)構(gòu)，能夠可靠地防止沿面放電，所以能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的 燈。并且，能夠使施加電壓足夠高，所以能夠?qū)崿F(xiàn)輻射輸出較高的燈。并且，也能夠構(gòu)成為 單管，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型、細且價廉的燈。


圖1是本發(fā)明的實施例1的放電燈的概念圖。圖2是本發(fā)明的實施例2的放電燈的概念圖。圖3是本發(fā)明的實施例3的放電燈的概念圖。圖4是本發(fā)明的實施例4的放電燈的概念圖。圖5是現(xiàn)有的放電燈的概念圖。標號說明1石英制放電容器；2放電空間；3箔電極；4反射部件；5網(wǎng)狀電極；6出射窗；7外 部電極。
具體實施例方式下面，參照圖1 圖4具體說明用于實施本發(fā)明的最佳方式。實施例1本發(fā)明的實施例1是在放電容器兩側(cè)的管壁內(nèi)部，將箔電極平行于軸向并相對地 埋設在放電容器中的放電燈。圖1是本發(fā)明的實施例1的放電燈的概念圖。圖1 (a)是放電燈的軸向剖面圖。圖 1(b)是放電燈的徑向剖面圖。圖1(c)是具有反射部件的放電燈的徑向剖面圖。圖1(d)是 具有〃狀截面的電極的放電燈的徑向剖面圖。圖1(e)是具有軸向的光取出口的放電燈的 徑向剖面圖。圖1(f)、(g)是表示放電燈的制造方法的徑向剖面圖。在圖1中，石英制放電容器1是石英制的單管，也可以簡稱為放電容器。石英制放 電容器1也可以是橢圓形或四邊形、六邊形等多邊形等。放電容器不必一定是石英制成。雖 然作為代表是石英制的管狀放電容器，但是當然也包括相同特性的其它材質(zhì)的放電容器。
5在封入氙氣與氯氣的混合氣體而輻射308nm的光的介質(zhì)阻擋放電燈中，能夠使用硬質(zhì)玻璃 制容器作為放電容器。為了放電容器的玻璃脆化保護和防止玻璃與封入氣體發(fā)生反應，適 當在放電容器的表面形成氧化鋁膜、二氧化鈦膜、氧化鎂膜等保護膜。在封入氣體中包含鹵 素氣體的情況下，形成氟化鎂膜等。放電空間2是放電容器內(nèi)部的放電空間。放電空間內(nèi)沒有電極。在放電空間中封 入了氙氣、氪氣與氯氣的混合氣體。封入到放電空間中的氣體是產(chǎn)生受激準分子光的氣體， 或者是產(chǎn)生水銀的特性紫外線即波長254nm和/或185nm的紫外線的氣體。通過選擇其他 合適的封入物，能夠獲得與其對應的波長的光。作為其代表，有形成受激準分子的放電氣 體，但也包括同樣發(fā)光的其他放電氣體。箔電極3是帶狀的箔電極，被埋入在放電容器1的壁的內(nèi)部，并與軸對稱地使上方 和下方相對。箔電極3利用鉬箔形成。鉬箔的一個端部被取出到放電容器1的外部，另一 個端部被完全埋入到放電容器壁的內(nèi)部并終結(jié)。為了實現(xiàn)箔電極3與外部的電連接，使端 部一直延伸到外部，但取出部位是分別相反的一側(cè)。也可以將鉬棒等電連接并取出到外部。 箔電極3也可以是除鉬箔之外的同樣材質(zhì)的箔電極。反射部件4是使光反射的部件。根據(jù) 放電燈的使用目的，也可以沒有反射部件4。出射窗6是沿軸向取出光的窗口。說明如上所述構(gòu)成的本發(fā)明的實施例1的放電燈的功能和動作。首先，參照圖 l(a)、(b)簡要說明放電燈的功能。在石英制的管狀的放電容器1的兩側(cè)的管壁內(nèi)部，將箔 電極3埋設在放電容器1中，并使其與軸向平行并相對。箔電極3沿著放電容器1的圓筒 狀側(cè)面對稱地埋設。箔電極3是以鉬或鉭或鎢為主成分的箔。各個箔電極3各自的供電線 被配置在軸向的彼此相反的一側(cè)。把通過介質(zhì)阻擋放電或電容耦合型高頻放電而形成受激 準分子的放電氣體封入到放電容器1中。放電氣體是稀有氣體或者稀有氣體與鹵素氣體的 混合氣體。在向箔電極3之間施加高頻電壓時，產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電。能夠從箔電極3之間取 出此時產(chǎn)生的氙的受激準分子光(波長172nm)。在放電氣體是氪氣和氯氣時，能夠取出波 長222nm的受激準分子光。并且，在把封入物設為水銀和起動用氬氣時，進行低壓水銀的高 頻放電，也能夠獲得波長254nm和/或185nm的水銀特有的紫外光。此時，為了使亮燈時的 水銀蒸汽壓力保持最佳，進行控制將最冷部位冷卻為合適溫度。使用多個這種放電燈，能夠 照射比較大的范圍。下面，參照圖1(c)說明設置有光反射部件的放電燈。在放電容器1的上方的外表 面設置反射部件7。反射部件7利用氧化硅和氧化鈦的多層膜構(gòu)成，并通過蒸鍍而形成。也 可以只是金屬板。在圖1(b)所示的結(jié)構(gòu)中，光的取出方向是與相對的箔電極3正交的方向。 將在其中一方(上方)射出的光通過反射部件7取出到相反方向，提高下方的輻射照度。下面，參照圖1(d)說明具有〃狀截面的箔電極的放電燈。沿著放電容器1的圓筒 狀側(cè)面埋設箔電極3，并使其成為〃狀截面。箔電極3的位置處于放電容器1的中心軸上 方。因此，箔電極3的間隔上側(cè)窄下側(cè)寬。放電發(fā)生區(qū)域在相對電極之間，所以相比于中心 靠近上方產(chǎn)生放電。由于箔電極3靠近上方，所以光被箔電極3自身遮擋的情況少，通過放 電而產(chǎn)生的光被高效地取出到下方，能夠獲得較強的輻射輸出。下面，參照圖1(e)說明沿軸向取出光的放電燈。在放電容器1的軸向的一個端部 設置光取出口。放電容器1的一個端部成為出射窗6，在箔電極3、3之間發(fā)出的光被沿軸向取出。因此，射出光與軸向較長的放電區(qū)域的發(fā)光疊加，能夠獲得較強的光。并且，能夠不 受箔電極3的遮光影響地取出光。下面，參照圖1(f)、(g)說明放電燈的制造方法。如圖1(f)所示，為了制造放電容 器1，準備直徑不同的兩根石英管。將細的石英管插入到粗的石英管中使二者疊在一起，在 這兩根石英管之間插入鉬箔。使粗的石英管與細的石英管的間隙成為減壓狀態(tài)，并從外側(cè) 進行加熱。粗的石英管變形，與細的石英管緊密接合。在繼續(xù)加熱時，除鉬箔之外的部分完 全熔敷。兩根石英管成為一體，形成如圖1(g)所示的放電容器1。鉬箔呈被埋入到放電容 器1的壁中的狀態(tài)，能夠防止放電空間2之外的沿面放電等。如上所述，在本發(fā)明的實施例1中，在放電容器的兩側(cè)的管壁內(nèi)部，將箔電極與軸 向平行并相對地埋設在放電容器中，所以能夠可靠地防止沿面放電，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的 燈。并且，由于能夠使施加電壓足夠高，所以能夠?qū)崿F(xiàn)為輻射輸出較高的燈。并且，由于也 能夠構(gòu)成為單管，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型、細且價廉的燈。實施例2本發(fā)明的實施例2是在放電容器的管壁內(nèi)部將箔電極沿軸向埋設在放電容器中， 在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置外部電極的放電燈。圖2是本發(fā)明的實施例2的放電燈的概念圖。圖2(a)是放電燈的軸向剖面圖。圖 2(b)是放電燈的徑向剖面圖。圖2(c)是具有反射部件的放電燈的徑向剖面圖。圖2(d)是 具有〃狀截面的電極的放電燈的徑向剖面圖。圖2(e)是具有軸向的光取出口的放電燈的 徑向剖面圖。圖2(f)、(g)是表示放電燈的制造方法的徑向剖面圖。在圖2中，外部電極7 是在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置的電極。其他基本結(jié)構(gòu)與實施例1相同。對與實 施例1相同的部分省略說明。說明如上所述構(gòu)成的本發(fā)明的實施例2的放電燈的功能和動作。首先，參照圖 2(a)、(b)簡要說明放電燈的功能。在石英制的管狀放電容器1的管壁內(nèi)部，將箔電極3埋 設在放電容器1中。在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置外部電極7。下面，參照圖2(c) (e)說明放電燈的變形例。圖2 (c)是設置有光輻射部件的 放電燈。在放電容器1上方的外表面設置反射部件7。圖2(d)是具有〃狀截面的電極的放 電燈。沿著放電容器1的圓筒狀側(cè)面埋設箔電極3并設置外部電極7，使二者構(gòu)成〃狀截 面。圖2(e)是沿軸向取出光的放電燈。在放電容器1的軸向的一端部設置光取出口。下面，參照圖2(f)、(g)說明放電燈的制造方法。為了制造放電容器1，準備直徑 不同的兩根石英管。如圖2(f)所示，將細的石英管插入到粗的石英管中使二者疊在一起， 在這兩根石英管之間插入鉬箔。使粗的石英管與細的石英管的間隙成為減壓狀態(tài)，并從外 側(cè)進行加熱。粗的石英管變形，與細的石英管緊密接合。在繼續(xù)加熱時，除鉬箔之外的部分 完全熔敷。兩根石英管成為一體，形成如圖2(g)所示的放電容器1。鉬箔呈被埋入到放電 容器1的壁中的狀態(tài)，能夠防止放電空間2之外的沿面放電等。如上所述，在本發(fā)明的實施例2中，在放電容器的管壁內(nèi)部，將箔電極沿軸向且無 間隙地埋設在放電容器中，形成在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置外部電極的結(jié)構(gòu)， 所以能夠可靠地防止沿面放電，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的燈。并且，由于能夠使施加電壓足夠 高，所以能夠?qū)崿F(xiàn)為輻射輸出較高的燈。并且，由于也能夠構(gòu)成為單管，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型、 細且價廉的燈。
實施例3本發(fā)明的實施例3是在放電容器兩側(cè)的管壁內(nèi)部，將平板狀的箔電極與軸向平行 地相對地埋設在放電容器中的放電燈。圖3是本發(fā)明的實施例3的放電燈的概念圖。圖3(a)是放電燈的軸向剖面圖。圖 3(b)是放電燈的徑向剖面圖。圖3(c)是具有反射部件的放電燈的徑向剖面圖。圖3(d)是 具有〃狀截面的電極和反射部件的放電燈的徑向剖面圖。圖3(e)是具有軸向的光取出口 的放電燈的徑向剖面圖?；窘Y(jié)構(gòu)與實施例1相同，因此對與實施例1相同的部分省略說 明。說明如上所述構(gòu)成的本發(fā)明的實施例3的放電燈的功能和動作。首先，參照圖 3(a)、(b)簡要說明放電燈的功能。在石英制的管狀放電容器1的管壁內(nèi)部，將箔電極3埋 設在放電容器1中。箔電極3為平行平板狀，并對稱埋設。金屬箔至燈內(nèi)表面的厚度b較 薄。為了使厚度b較薄，可以按照下面所述進行制造。將直徑不同的石英管重疊，在這些石 英管之間插入箔進行制造時，預先將內(nèi)側(cè)的管的兩側(cè)面削平。通過削平，能夠防止金屬箔移 動，能夠?qū)⒔饘俨饨釉诜烹娙萜鞯钠谕恢?。并且，通過削平，內(nèi)側(cè)的管的強度變?nèi)?，由?使原來的管(金屬箔之外的部分)的厚度a變厚比較好。通過形成使厚度b較薄的結(jié)構(gòu)， 施加到電極之間的外部電壓中、施加到放電空間中的電壓部分增大。因此，能夠降低用于獲 得相同光輸出而施加的外部施加電壓。下面，參照圖3(c)說明設置有光輻射部件的放電燈。在放電容器1的上方的外表 面設置反射部件7。反射部件7利用氧化硅和氧化鈦的多層膜構(gòu)成，并通過蒸鍍而形成。也 可以只是金屬板。在圖1(b)所示的結(jié)構(gòu)中，光的取出方向是與相對的箔電極3正交的方向。 將向其中一方(上方)射出的光通過反射部件7取出到相反方向，提高下方的輻射照度。下面，參照圖3(d)說明使用平板狀的〃狀截面的箔電極的示例。將箔電極3埋設 在放電容器1中，使其構(gòu)成〃狀截面。箔電極3處于放電容器1的中心軸上方，所以箔電極 3的間隔是上側(cè)窄下側(cè)寬。由于箔電極3靠近上方，所以光被箔電極3自身遮擋的情況少， 通過放電而產(chǎn)生的光被高效地取出到下方，能夠獲得較強的輻射輸出?？梢愿鶕?jù)需要設置 反射部件4。下面，參照圖3(e)說明沿軸向取出光的放電燈。在放電容器1的軸向的一個端部 設置光取出口。放電容器1的一個端部成為出射窗6，在箔電極3、3之間發(fā)出的光被沿軸向 取出。因此，出射光與軸向較長的放電區(qū)域的發(fā)光疊加，能夠獲得較強的光。并且，能夠不 受箔電極3的遮光影響地取出光。如上所述，在本發(fā)明的實施例3中，在放電容器兩側(cè)的管壁內(nèi)部，將平板狀的箔電 極與軸向平行并相對地埋設在放電容器中，所以能夠可靠地防止沿面放電，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠 性高的燈。并且，由于能夠使施加電壓足夠高，所以能夠?qū)崿F(xiàn)輻射輸出較高的燈。并且，由 于也能夠構(gòu)成為單管，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型、細且價廉的燈。實施例4本發(fā)明的實施例4是在放電容器的管壁內(nèi)部將箔電極沿軸向埋設在放電容器中， 在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置網(wǎng)狀電極的放電燈。圖4是本發(fā)明的實施例4的放電燈的概念圖。圖4(a)是在放電容器外部具有網(wǎng) 狀電極的放電燈的徑向剖面圖。圖4(b)是在放電容器內(nèi)部具有平板狀的箔電極和網(wǎng)狀電極的放電燈的徑向剖面圖。圖4(c)是在放電容器內(nèi)部具有平板狀箔電極，在放電容器外部 具有網(wǎng)狀電極的放電燈的徑向剖面圖。圖4(d)是平面型燈的示例。在圖4中，網(wǎng)狀電極5 是網(wǎng)狀的電極?；窘Y(jié)構(gòu)與實施例1相同，因此對與實施例1相同的部分省略說明。說明如上所述構(gòu)成的本發(fā)明的實施例4的放電燈的功能和動作。首先，參照圖 4(a)簡要說明放電燈的功能。在石英制的管狀放電容器1的管壁內(nèi)部，從放電容器1將箔 電極3埋設在放電容器1中。在該示例中，只有一個箔電極3被埋設在放電容器1的壁內(nèi)。 金屬制的網(wǎng)狀電極5是與箔電極3成對的電極。網(wǎng)狀電極5也可以在放電容器1上直接將 導電性物質(zhì)印制成網(wǎng)狀而形成。網(wǎng)狀電極5通常是接地電極。箔電極3被施加高頻的高電 壓。在使用兩個箔電極3的結(jié)構(gòu)中，由于箔電極3的遮光，發(fā)出的光的一部分未被取出到外 部。在使用網(wǎng)狀電極5的結(jié)構(gòu)中，被遮光的光的比率大幅減小，所以照射光量增多，能夠?qū)?現(xiàn)發(fā)光效率高的放電燈。下面，參照圖4(b)說明放電燈的變形例。在石英制的管狀放電容器1的管壁內(nèi)部， 將平板型的箔電極3埋設在放電容器1中。在放電容器1的管壁內(nèi)部，將網(wǎng)狀電極5埋設 在放電容器1中。施加到電極之間的外部電壓中、施加到放電空間中的電壓部分增大，所以 能夠降低為了獲得相同的光輸出而從外部施加給電極的電壓。下面，參照圖4(c)說明放電燈的另一個變形例。在石英制的管狀放電容器1的管 壁內(nèi)部，將平板型的箔電極3埋設在放電容器1中。將與箔電極3成對的金屬制的網(wǎng)狀電 極5設在放電容器1的外側(cè)。施加到電極之間的外部電壓中、施加到放電空間中的電壓部 分增大，所以能夠降低為了獲得相同的光輸出而從外部施加給電極的電壓。圖4(d)是平面 型燈的示例。如上所述，在本發(fā)明的實施例4中，在放電容器的管壁內(nèi)部，將箔電極沿軸向埋設 在放電容器中，在放電容器的外側(cè)圓筒面上沿軸向設置網(wǎng)狀電極，所以能夠可靠地防止沿 面放電，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的燈。并且，由于能夠使施加電壓足夠高，所以能夠?qū)崿F(xiàn)輻射輸 出較高的燈。并且，由于也能夠構(gòu)成為單管，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型、細且價廉的燈。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的放電燈最適合于產(chǎn)業(yè)用的紫外線光源。
權(quán)利要求
一種放電燈，其特征在于，在放電容器內(nèi)封入有放電氣體，在所述放電容器的相對的兩個側(cè)面配置電極，至少一側(cè)的電極被埋設在放電容器的管壁內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電燈，其特征在于，在所述放電容器內(nèi)，通過介質(zhì)阻擋放電 或電容耦合型高頻放電而形成受激準分子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的放電燈，其特征在于，所述放電容器的一部分至少是石英。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的放電燈，其特征在于，所述相對配置的電極中被 設置于放電容器管壁內(nèi)部的電極是鉬、鉭、鎢中任一單體的箔或者是以它們中的一種為主 成分的箔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項所述的放電燈，其特征在于，在管狀放電容器中，所述 相對配置的埋設在放電容器管壁內(nèi)部的兩個電極沿軸向細長，用于供給電力的供電線被配 置在相反方向。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的放電燈，其特征在于，所述放電氣體是稀有氣 體、或者稀有氣體與鹵素氣體的混合氣體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項所述的放電燈，其特征在于，在從相對配置的電極之間 的放電空間中取出光的、與連接電極的方向正交的兩個光取出方向中的一個光取出部分， 配置有光反射部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的放電燈，其特征在于，所述光反射部件設置在放電容器的外 部，所述光反射部件是在金屬板或者母材上蒸鍍多層電介質(zhì)膜而形成的。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的放電燈，其特征在于，所述光反射部件是在放電容器的外表 面上蒸鍍金屬膜或多層電介質(zhì)膜而形成的。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9中任一項所述的放電燈，其特征在于，所述相對配置的電極中 的一個電極被埋設在放電容器管壁的內(nèi)部，另一個電極被設置在放電容器外部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的放電燈，其特征在于，所述被設置在放電容器外部的電極 是網(wǎng)狀金屬。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，提供一種在放電空間內(nèi)不具有電極的介質(zhì)阻擋放電燈或電容耦合型高頻放電燈，在施加高電壓時也不產(chǎn)生沿面放電。在石英制放電容器(1)的管壁內(nèi)部，將帶狀的箔電極(3)埋入放電容器(1)中。放電容器(1)在石英制放電容器(1)的軸的兩側(cè)相對地配置箔電極(3)?？梢耘渲贸蔀槭共姌O(3)的截面形狀構(gòu)成ハ狀。在單管型的石英制放電容器(1)內(nèi)，封入通過介質(zhì)阻擋放電或電容耦合型高頻放電而形成受激準分子的放電氣體。
文檔編號H01J65/00GK101896992SQ200880120558
公開日2010年11月24日 申請日期2008年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月17日
發(fā)明者塩谷幸男, 安田誠, 小林剛 申請人:株式會社Orc制作所