專利名稱：放電燈裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種放電燈裝置。尤其是涉及液晶或半導體晶片的曝 光裝置上使用的短弧型放電燈的放電燈裝置。
背景技術：
放電燈從發(fā)光物質、電極間距離、發(fā)光管內壓力的觀點上可分類 成幾種燈，其中在發(fā)光物質方面可分類成以氙氣體作為發(fā)光物質的氮氣燈、以水銀作為發(fā)光物質的水銀燈、以水銀以外的稀土類金屬作為 發(fā)光物質的金屬鹵化物燈等。此外，在電極間距離的觀點上，可分類 成電極間距離短的短弧型放電燈、電極間距離長的長弧型放電燈。進 而，在發(fā)光管內的蒸氣壓的觀點上，可分類成低壓放電燈、高壓放電 燈、超高壓放電燈。其中，對短弧型高壓水銀燈而言，以耐熱溫度高的石英玻璃作為 發(fā)光管，鎢制電極以2 12mm左右的間隙配置在發(fā)光管內部，進而在 發(fā)光管內部作為發(fā)光物質封入有點亮時蒸氣壓為1()Spa 10》a的水銀、 氬等稀有氣體。該短弧型高壓水銀燈，具有電極間距離短而得到高亮度的優(yōu)點， 因此一直以來廣泛地使用在石印術的曝光用光源。另一方面，近年來，不僅是半導體晶片，還作為使用于液晶基板、 尤其是大面積液晶顯示器上的液晶基板的曝光用光源而受到關注，從 提高制造工序中的生產(chǎn)量的觀點來看，也強烈地要求作為光源的燈的 大輸出化。
由于放電燈的大輸出化使得額定耗電變化時，雖然放電燈上流過 的電流值取決于電流電壓的設計值，但是大體上會變大。因此，引起電極(尤其是直流點亮的陽極)受到電子碰撞的量變多， 容易升溫而熔融的問題。此外，不僅是陽極，在垂直方向上配置的放 電燈中，位于上側的電極受到發(fā)光管內的熱對流等影響而容易受到來 自電弧的熱，同樣會高溫化而熔融。此外，若電極、尤其是其前端部分熔融，則不僅電弧不穩(wěn)定，而 且還產(chǎn)生構成電極的物質蒸發(fā)并附著于發(fā)光管的內表面導致放射輸出 下降的問題。這種現(xiàn)象并不限于短弧型高壓水銀燈，而是在使放電燈大輸出化 時普遍產(chǎn)生的問題，以往提出了在放電燈的外部設置空氣冷卻機構來 強制予以空氣冷卻的構造或方法，此外提出了在輸出更大的放電燈上 在電極內部設置冷卻水的流路使冷卻水在電極內部流動的所謂水冷型放電燈(例如日本專利第3075094號)。進而，提出了作為在電極內部設置有空洞的密閉空間而在該空間 中封入銀、銅等傳熱體的構造(日本專利特開2004-6246號)。傳熱體由 熔點比構成電極主體的金屬低的金屬構成，在燈點亮時，利用液體狀 態(tài)的傳熱體的對流作用、沸騰傳達作用，將電極前端的熱有效地輸送 至后部。然而，采用上述構造的電極，雖然與以往的電極相比可解決電極 損耗的問題，但并不是電極損耗被完全抑制。當電極損耗時，放電受 到損耗形狀的影響而明顯不穩(wěn)定，在最壞的情況下，還會引起在電極 主體上形成開孔而使得傳熱體漏出的問題。此外，還存在由于電極主 體原材料引起的裂縫等導致電極主體破損而漏出傳熱體的可能性。
專利文獻1:日本專利特開2004-6246號 發(fā)明內容本發(fā)明解決的課題在于，鑒于上述問題點，提供一種放電燈裝置， 充分實施應對伴隨著放電燈的大輸出化而產(chǎn)生的高溫化的對策，并且 也充分具備應對電極損耗的情況、電極主體因原材料而破損的情況的 對策。為了解決上述課題，本發(fā)明的放電燈裝置的特征在于，包括在發(fā)光管的內部相對配置有一對電極的放電燈、和監(jiān)視該放電燈的點亮 狀態(tài)的測量單元，上述放電燈的至少一個電極，由在內部形成有密閉 空間的電極主體、和被封入在該密閉空間內的具有比構成該電極主體 的金屬的熔點低的熔點的金屬構成，并且上述測量單元對上述傳熱體 伴隨著該放電燈的點亮而從上述電極主體漏出時產(chǎn)生的、由構成傳熱 體的金屬引起的發(fā)光進行檢測。進而特征在于，上述測量單元檢測由構成傳熱體的金屬引起的發(fā) 光、和不會由構成該傳熱體的金屬發(fā)光的波長的光，從而檢測其比例 的變化。進而特征在于，上述電極主體由以鎢為主成分的金屬構成。進而特征在于，上述傳熱體含有金、銀及銅的任一種金屬。本發(fā)明的放電燈裝置根據(jù)上述構造，即使在因電極損耗或破損而 漏出電極內部的傳熱體的情況下，由測量單元檢測構成傳熱體的金屬 的發(fā)光，從而也能夠檢測該放電燈裝置的異常，停止放電燈點亮，防 止異常狀態(tài)下持續(xù)點亮。


圖1表示本發(fā)明的放電燈裝置的整體構成圖。圖2表示本發(fā)明的放電燈的整體圖。圖3表示本發(fā)明的放電燈的電極。圖4表示放電燈的照度變化。圖5表示放電燈的照度變化。圖6表示由本發(fā)明檢測照度變化的流程圖。
具體實施方式
圖1是表示本發(fā)明的放電燈裝置的整體構造的概略圖。本發(fā)明的 放電燈裝置，以放電燈10及檢測放電燈的放射光的測量單元30為必 要構成，進而具有控制放電燈10的點亮的供電裝置40。供電裝置40 是向放電燈IO供給電流的裝置，還具有檢測放電燈10的點亮狀態(tài)、 例如點亮電力來進行反饋控制的機構。在放電燈IO上安裝有凹面反射 鏡50。圖2表示放電燈10的放大圖。放電燈10的發(fā)光管由石英玻璃構 成，在大致球狀的發(fā)光部11的兩端一體地連接設置有封閉部12。在該 發(fā)光部11中相對配置有陽極2及陰極3，各電極(2、 3)分別由封閉部 12保持，其中經(jīng)由未圖示的金屬箔連接到外部導線棒13，連接到圖1 的供電裝置40。此外，在發(fā)光部11中封入有預定量的水銀、氙、氬等發(fā)光物質及 起動用氣體。此外，放電燈在從供電裝置40供給電力時，通過由陽極 2與陰極3進行電弧放電而發(fā)光。另外，該放電燈是所謂垂直點亮型的 放電燈，以陽極2為上，以陰極3為下，發(fā)光部11的管軸在相對于大 地大致垂直的方向上得到支撐而被點亮。圖3表示陽極2的斷面構造。陽極2具有電極主體20與在其內部 的傳熱體M。電極主體20由高熔點金屬或以高熔點金屬為主成分的合 金構成，具有在內部形成有密閉空間S(以后，也稱為"內部空間")的
容器形狀。傳熱體M是氣密地封入在電極主體20的內部的金屬，由熔 點比構成電極主體20的金屬低的金屬構成。電極主體20由與軸部21接合的后端部201、軀干部202、前端部 203構成，后端部201形成有軸部21的插入孔2011。粘結劑22用于 固定軸部21與后端部201。作為構成電極主體20的金屬，采用鎢、錸、鉭等熔點在3000(K) 以上的高熔點金屬。尤其是，鎢因與內部的傳熱體M不容易反應而優(yōu) 選之，進而優(yōu)選純度在99.9%以上的所謂純鴇。此外，作為以高熔點金屬為主成分的合金，例如可采用以鴇為主 成分的鎢-錸合金。應對高溫時的重復應力的耐性高，可實現(xiàn)電極的長 壽命化。傳熱體M由熔點比構成電極主體20的金屬低的金屬構成。具體 而言，在將鎢用作電極主體20的構成材料時，作為傳熱體M可采用金、 銀、銅或以此為主成分的合金。上述金、銀、銅不會與鎢成為合金， 因而在作為熱傳輸體而工作的意思上也是優(yōu)選的金屬。其中，金是高 價，因而銀、銅在實際使用上是優(yōu)選的材料。此外，作為其它具體例，作為構成電極主體20的金屬使用錸時， 作為傳熱體M可使用鎢。作為構成電極主體20的金屬采用錸的優(yōu)點在于，在封入有鹵素的 水銀燈或金屬鹵化物燈的情況下，可防止電極腐蝕，由此實現(xiàn)放電燈 的長壽命化。電極主體20是內部具有密閉空間S的大致容器形狀的構造。所以， 即使傳熱體M被高溫化而熔融，其一部分被蒸氣化，也不會漏出到發(fā)
光部11的發(fā)光空間。因此，本發(fā)明的放電燈，不像水冷型放電燈需要從外部供應冷卻 介質、排出冷卻介質的機構，不但能夠以非常簡單的構造保持冷卻機 構，而且若制造一次放電燈，則達到放電燈的壽命為止，不需要進行 傳熱體的補給等，可使冷卻機構持續(xù)地發(fā)揮功能。艮P，以往提出的大輸出功率型放電燈在放電燈以外的外部依賴于 冷卻機構，與此相對，本發(fā)明的放電燈在燈本身以非常簡單的構造具 有冷卻功能這一點上有很大不同。測量單元30由被安裝于凹面反射鏡的開口附近的輸入透鏡31、傳 送入射到輸入透鏡31的光的光纖等傳送線32、設置于傳送線32的終 端而對放電燈10的放射光進行分析的放射光檢測機構33、及信號處理 機構34構成。輸入透鏡31接收放電燈10的放射光，優(yōu)選配置在可接收直射光 的位置，但是被設置在不會妨礙放電燈IO的本來的使用目的的位置。 具體而言，如圖所示在凹面反射鏡30的開口附近，也可以是在凹面反 射鏡30的頸部開口側或開口側前面配置的反射鏡或透鏡的邊側。放射 光檢測機構33由以下幾部分構成波長選擇濾波器，用于僅透過放電 燈1的放射光中預定的光；減光濾波器，用于將透過波長選擇濾波器 的預定的光調整成適合處理的強度；以及光轉換元件，接收該預定的 光而轉換成電信號。波長選擇濾波器例如采用帶通濾波器、著色玻璃 濾波器，減光濾波器例如采用ND濾波器，光轉換元件例如采用硅光電 二極管。傳送線32采用光纖等，擔任將在輸入透鏡31接收的預定波長的 光傳送至放射光檢測機構33的作用。
放射光檢測機構33包括接收由傳送線32引導的預定波長的光的 傳感器，擔任將傳感器接收的光量轉換成適當?shù)碾娦盘柕淖饔?。信?處理機構34是將由放射光檢測機構33接收的電信號與基準電平比較 的機構，在引導的電信號超過基準電平時顯示異常狀態(tài)。另外，輸入 透鏡31、傳送線32并不是不可欠缺的構成，也可以直接由傳送線32 接收光，或是將放射光檢測機構33配置在直接接收來自燈的放射光的 位置，省略輸入透鏡31、傳送線32。應在放射光檢測機構33檢測的預定波長的光，必須為構成封入在 電極主體的密閉空間中的傳熱體的金屬發(fā)光的波長的光。例如，在采 用金作為傳熱體時，在放射光檢測機構33檢測的光是波長460nm、波 長479nm、波長751nm的光，在采用銀作為傳熱體時為波長521nm、 波長769nm、波長827nm的光，在采用銅作為傳熱體時為波長325nm、 波長465nm、波長511nm、波長522nm的光。此外，測量單元30不僅檢測由構成傳熱體的金屬產(chǎn)生的波長的光， 相反也可以一并檢測不會由構成該傳熱體的金屬產(chǎn)生的波長的光。該 波長例如在封入金作為傳熱體時為波長500nm的光、波長520nm的光、 波長600nm的光、波長650nm的光，在封入銀作為傳熱體時為波長 460nm的光、波長600nm的光、波長650nm的光，在封入銅作為傳熱 體時為波長600nm的光、波長650nm的光、波長490nm的光，檢測上 述光的理由如后文所述，求出本來由構成傳熱體的金屬引起的發(fā)光、 與不受構成傳熱體的金屬的影響的波長的光的光量比例，有助于從該 照射比例的變化檢測異常狀態(tài)。在此，對由于放電燈10的陽極2損耗而放電不穩(wěn)定的現(xiàn)象、由電 極主體原材料引起的破損現(xiàn)象、及傳熱體從電極主體的內部空間漏出 的現(xiàn)象進行說明。雖然陽極由鎢等高熔點金屬構成，但是隨著點亮時 間的經(jīng)過，構成該陽極的材料會蒸發(fā)、損耗。尤其，在電弧局部性地 集中在陽極表面的一部分等的情況下，該部位的損耗變激烈，最終打
破電極主體。此外，在電極主體上有裂痕、空洞等時，在局部強度會 下降，因而有破損的可能性。無論在任何情況下，均會形成封入在內 部的傳熱體向放電空間漏出的通路，因此產(chǎn)生液體或氣體狀態(tài)的傳熱 體的漏出。圖4表示放電燈10陷入異常點亮狀態(tài)時的放電燈的照度變化。即， 用于說明本發(fā)明的放電燈裝置如何檢測異常點亮狀態(tài)的圖。在圖中， 縱軸表示傳感器檢測波長521nm的光的照度、即放射照度，橫軸表示 點亮經(jīng)過時間(分)。放射照度表示以在穩(wěn)定點亮狀態(tài)下觀察的波長 521nm的照度為基準的相對值。具體而言，點亮放電燈10，例如可選 擇60分鐘后的穩(wěn)定點亮的狀態(tài)下的照度值。另外，圖4的示例是如下 例子，放電燈10為圖2所示的構造，在發(fā)光部11中作為發(fā)光物質封 入有水銀與氙，在電極主體20中作為傳熱體M封入有銀。在圖中，時間-20 時間O是放電燈IO穩(wěn)定點亮的時間帶。并且， 在時間0，被封入于內部的銀從電極主體20開始向發(fā)光空間內漏出。 該瞬間，在發(fā)光空間內除了本來的發(fā)光物質的水銀、氙之外新混入銀， 作為銀的發(fā)光強烈地放射波長521nm的光，結果放射照度急劇上升。 另外，波長521nm的放射照度在時間0急劇上升之后逐漸降低。這是 因為傳熱體構成金屬的銀附著于發(fā)光管內表面而衰減放射到燈外部的放射光檢測機構33在檢測光的相對值超過預定的域值時判斷為異 常狀態(tài)。域值應考慮到即使在穩(wěn)定點亮狀態(tài)下檢測光也會變動的情況 而設定為比通常的穩(wěn)定狀態(tài)高某一程度。此外，在檢測到上述異常狀 態(tài)時，優(yōu)選設定持續(xù)檢測時間。具體而言，被檢測的相對照度至少持 續(xù)預定時間(tl)超過域值時識別為異常點亮狀態(tài)。這是由于將瞬間性的 照度變動視為誤差。此外，優(yōu)選對于檢測的相對照度值超過域值的持續(xù)時間設置上限
值(t2)。此時，以即使被檢測的相對照度值超過預定時間(tl)而超過域值，也不會到超過上限時間t2(t2〉tl)為止持續(xù)超過域值作為條件，換言之，以經(jīng)過上限值的時間(t2)時檢測的相對照度值低于域值作為異常點亮的條件。這一點基于本發(fā)明的放電燈特有的理由。即，從傳熱體構成金屬 混入發(fā)光空間開始經(jīng)過某一程度的時間時，該傳熱體構成金屬開始附 著于發(fā)光管的內表面。所以，雖然本來在發(fā)光空間內產(chǎn)生應由放射光 檢測機構33檢測的波長521nm的光，但是由附著于內表面的傳熱體構 成金屬遮光而未放射至燈外部，結果被檢測的照度下降。在此，持續(xù)檢測時間的下限值(tl)不怎么受燈種類的影響，可不根 據(jù)燈種類例如設定為0.5秒 10秒。但是，持續(xù)檢測時間的上限值(t2) 根據(jù)燈的種類或使用環(huán)境，例如發(fā)光空間的物理大小、傳熱體的封入 量、傳熱體的種類、燈周圍溫度，最佳值會不相同。列舉一例，從超 過域值開始設定為15分鐘 20分鐘。在圖4中，域值為20，上限值 t2例如被設定為20分鐘。因此，優(yōu)選放射光檢測機構33檢測的相對 照度值超過閾值的時間在下限值(tl)以上，不超過上限值(t2)。另外，在檢測的相對照度值超過上限值(t2)時，會考慮由于除了傳 熱體漏出以外的其它原因而異常點亮。因此，在檢測的相對照度值在 上限時間t2期間持續(xù)超過域值時，可識別或推測為由與本發(fā)明認為是 問題的異常點亮不同的其它原因導致的異常點亮，而加以應對。圖5也表示放電燈的照度變化，表示基于與圖4不相同的檢測方 法的情況。具體而言，圖4表示的檢測方法是直接檢測由傳熱體構成 金屬的漏出引起的放射光的方法，與此相對，圖5表示的檢測方法是 檢測由傳熱體構成金屬的漏出引起的放射光與比較光的照度、對兩個 光的照度比例的變化進行檢測的方法。在圖中，左縱軸表示由傳熱體 構成金屬的漏出引起的放射光的放射照度、和比較光的放射照度，右
縱軸表示兩個相對放射照度的比例，橫軸表示點亮經(jīng)過時間(分)。放射 照度表示以穩(wěn)定點亮狀態(tài)的放射照度為基準的相對值。放電燈10是圖 2所示的構造，以在發(fā)光部11中封入水銀與氙作為發(fā)光物質、在電極主體20中封入銀作為傳熱體M為例子。放射光檢測機構設定波長 521nm的光作為由傳熱體構成金屬的漏出引起的放射光的檢測，設定 波長420nm的光作為比較光。在時間0，時間-20 時間O是放電燈10穩(wěn)定點亮的時間帶。并且， 在時間O，在電極主體20的一部分產(chǎn)生龜裂，被封入在電極主體20內 部的銀開始向發(fā)光空間內漏出。在該瞬間，在發(fā)光空間內除了本來的 發(fā)光物質的水銀、氙之外，新混入銀，作為銀的發(fā)光強烈地放射波長 521nm的光，結果放射照度急劇上升。如上所述，波長521rnn的放射照度在時間0急劇上升之后逐漸降 低。另一方面，比較光的460nm的放射照度在時間O(傳熱體漏出開始 時間)之前相對照度值為10，若經(jīng)過時間0，則逐漸降低。照度降低的 理由與波長521nm的降低理由相同，是由于銀附著于發(fā)光管的內表面 而比較光也被遮光。因此，在本檢測方法的情況下，照度比例雖然在 時間0急劇上升，但是之后可維持大致恒定值，因此容易檢測異常點 亮狀態(tài)。另外，放射照度比例從經(jīng)過大約50分鐘時開始逐漸降低。這 是由于封入在電極主體的傳熱體M幾乎完全漏出，波長521nm的光的 放射量本身減少。這樣，并不直接檢測由傳熱體構成金屬引起的發(fā)光的變化，而是 檢測與比較光的照度比例的變化的方法，可長時間持續(xù)表示異常狀態(tài) 的狀態(tài)，因而檢測容易進行，或可確保操作人員可進行判斷的時間。 此外，即使在從外部受到電磁干擾等的情況下，由于檢測傳熱體構成 金屬的發(fā)光的信號系、與檢測比較光的發(fā)光的信號系這兩者在相同條 件下受到影響，因而兩者的比例也可視為難以受到影響的數(shù)值。進而， 在增減燈的點亮功率時等，傳熱體構成金屬的發(fā)光及比較光的發(fā)光這
兩者增減，因而兩者的比例也可視為難以受到影響的數(shù)值。另外，需要放射光檢測機構33檢測的波長是用作傳熱體的金屬引 起的放射波長。另一方面，比較光以不是傳熱體構成金屬的發(fā)光波長、 及不因傳熱體構成金屬與水銀、氙等發(fā)光物質反應而受到影響的波長作為條件。此外，優(yōu)選放射光檢測機構33使用與穩(wěn)定點亮狀態(tài)的相同 波長的照度的相對值對檢測光進行檢測。這是因為即使在穩(wěn)定點亮狀 態(tài)下也在一定程度上放射檢測波長的光。在上述實施例中，以穩(wěn)定點 亮狀態(tài)下的照度作為基準來識別相對值，在該相對值在域值以上時識 別為異常狀態(tài)。此外，在檢測上述異常狀態(tài)時，設定持續(xù)檢測時間的下限值(tl) 與上述圖4的檢測方法相同。另一方面，在本檢測方法中設定持續(xù)檢 測時間的上限值(t2)的必要性較小。這是由于，如圖5所示照度比例以 高比例長時間維持恒定。這樣保持恒定的例子是漏出量的變動較少的 情況，但是即使在漏出量有很大變動時，雖然傳熱體構成金屬的發(fā)光 的變化產(chǎn)生變動，由此比例也有變動，但是也容易長時間維持高水平。圖6是圖5所示的檢測方法，是表示檢測由傳熱體構成金屬的漏 出引起的放射光與比較光的照度，來檢測兩個光的照度比例的變化的 方法的流程圖。在步驟1中，輸入來自測量單元30的信號Sl與信號S2。信號Sl 是由傳熱體構成金屬的漏出引起的放射光的相對放射照度值的信號， 信號S2是比較光的相對放射照度值的信號。上述動作由信號處理機構 34進行。在步驟2中，由信號Sl與信號S2形成照度比例信號S3(S1/S2)。 該動作例如由信號處理機構34的照度比例生成機構進行。 在步驟3中，進行照度比例信號S3與域值的比較。在照度比例信 號S3比域值低時回到步驟1。另一方面，在照度比例信號S3比域值高 時進入下一步驟。該動作例如由信號處理機構34的比較機構進行。在步驟4中，在照度比例信號S3比域值高時發(fā)出警報。該警報可 以是聲音，也可以是視覺性表現(xiàn)方法，或者也可以是振動等其它方法。在步驟5中，操作人員使警報停止，或在警報持續(xù)時使之自動停止。如上所述，本發(fā)明的放電燈裝置，包括在發(fā)光管內部相對配置有 一對電極的放電燈、和監(jiān)視該放電燈的點亮狀態(tài)的測量單元，上述放 電燈的至少一個電極，由在內部形成有密閉空間的電極主體、和被封 入在該密閉空間內的具有比構成該電極主體的金屬的熔點低的熔點的 金屬構成，并且上述測量單元具有如下構造，對由于上述電極本體伴 隨著該放電燈的點亮而損耗、或破損導致上述傳熱體漏出時產(chǎn)生的、 由構成傳熱體的金屬引起的發(fā)光進行檢測，通過上述構造，即使在電 極內部的傳熱體漏出時，由測量單元檢測構成傳熱體的金屬的發(fā)光， 從而也可檢測該放電燈裝置的異常，停止放電燈點亮，防止異常狀態(tài) 下持續(xù)點亮。
權利要求
1. 一種放電燈裝置，包括在發(fā)光管的內部相對配置有一對電極的放電燈和監(jiān)視該放電燈的點亮狀態(tài)的測量單元，其特征在于，上述放電燈的至少一個電極，包括在內部形成有密閉空間的電極主體、被封入在該密閉空間內的具有比構成該電極主體的金屬的熔點低的熔點的傳熱體，并且上述測量單元對上述傳熱體漏出時產(chǎn)生的、由構成傳熱體的金屬引起的發(fā)光進行檢測。
2. 如權利要求l所述的放電燈裝置，其特征在于， 上述測量單元檢測由構成傳熱體的金屬引起的發(fā)光和不會由構成該傳熱體的金屬發(fā)光的波長的光，檢測其比例的變化。
3. 如權利要求1或2所述的放電燈裝置，其特征在于，上述電極主體由以鎢為主成分的金屬構成。
4. 如權利要求1或2所述的放電燈裝置，其特征在于， 上述傳熱體含有金、銀及銅的任一種金屬。
全文摘要
本發(fā)明提供一種放電燈裝置，充分實施應對伴隨著放電燈的大輸出化而產(chǎn)生的高溫化的對策，并且也充分具備應對電極損耗的情況的對策。本發(fā)明的放電燈裝置的特征在于，包括在發(fā)光管的內部相對配置有一對電極(2、3)的放電燈(10)、和監(jiān)視放電燈(10)的點亮狀態(tài)的測量單元(30)，測量單元(30)對由于電極伴隨著該放電燈(10)的點亮而損耗或破損導致從內部漏出傳熱體(M)時產(chǎn)生的發(fā)光進行檢測。
文檔編號H01J61/02GK101399149SQ20081016628
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月25日 優(yōu)先權日2007年9月28日
發(fā)明者山田剛, 影林由郎, 相浦良德 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社