專利名稱：：等離子顯示器面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種等離子顯示器面板及其制造方法。技術(shù)背景等離子顯示器面板(以下簡稱PDP)，近年來作為大畫面高清晰的平面圖像顯示裝置，被廣泛的開發(fā)、制造及普及。PDP在上面板和背面板之間形成的隔板間涂有R、G、B三色的熒光體，使封閉在面板內(nèi)的氙氣電離產(chǎn)生紫外線，由該紫外線使熒光體發(fā)光來顯示圖像。目前，用含有鉛(Pb)的低熔點玻璃材料作為隔離熒光體的隔板材料。另外，為制作隔板，首先在形成鉛系玻璃料厚膜后，通過噴砂加工成隔板形狀。因此，含Pb玻璃被大量廢棄，增加了環(huán)境的負荷。因此，討論用鉍、鋅、釩等代替鉛玻璃的玻璃坯料。對比度的提高是現(xiàn)有PDP的另一個課題。作為起因于隔板材料的對比度下降的主要因素，可以舉出如從隔板材料的上面板側(cè)的白色部分、熒光體向里面的發(fā)光的利用效率的提高。為提高隔板材料的上面板側(cè)的黑色對比度，與隔板上面的上面板相接的部分希望是黑色。另外，為使從熒光體發(fā)出的光擴散到熒光體的周圍，與顯示圖像無關(guān)的里面?zhèn)纫舶l(fā)光。因此，為高效率地使熒光向上面板側(cè)發(fā)光，希望提高隔板材料側(cè)面的反射率。作為代替Pb系隔板材料的玻璃材料，正在開發(fā)以鉍、錫一鋅等為主要成分的玻璃材料(例如，參考專利文獻l、2)。專利文獻l:日本特開2006—342044號公報(摘要)專利文獻2:日本特開2006—312568號公報(摘要)但是，雖然鉍系玻璃不抵觸在歐洲等實施的環(huán)境限制，但是仍是對環(huán)境負荷大的材料。另外，因為鉍系玻璃、或者錫一磷一鋅系玻璃的端面是白色，很難提高黑色對比度。.
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種不含鉛、鉍，具有對環(huán)境負荷小的隔板的PDP及其制造方法。本發(fā)明的PDP的特點在于，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其中，所述隔板由至少含有鎢、磷、鋇、釩的氧化物的玻璃制成。本發(fā)明的PDP中，優(yōu)選的是隔板的電阻率為1(^10"Qcm。另外，隔板的高度優(yōu)選的是在lOOpm以上且50(Him以下。本發(fā)明的PDP的特點在于，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其中，所述隔板由換算為氧化物含有W03:2560重量％，P205:1540重量％，BaO:830重量％，V205:820重量°/。的氧化物的玻璃構(gòu)成。在該構(gòu)成的PDP中，構(gòu)成所述隔板的玻璃，換算為氧化物也可以還含有Mo03:05重量％，Cr203:05重量％，Zr02:010重量％，Hf02:03重量％，Gd203:03重量％，A1203:03重量％。本發(fā)明的PDP的特點在于，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其中，所述隔板由基材和在該基材側(cè)面形成的薄膜構(gòu)成，所述薄膜由從鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、鍺中選擇的至少一種構(gòu)成。在該構(gòu)成的PDP中，優(yōu)選的是在400nm800nm的波長域，所述薄膜的折射率在2.3以上。本發(fā)明的PDP的特點在于，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其中，所述隔板由基材和在該基材側(cè)面形成的薄膜構(gòu)成，所述薄膜由從鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、鍺中選擇的至少一種構(gòu)成。本發(fā)明的PDP的特點在于，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其中，所述隔板的底面及側(cè)面形成為一體。在該構(gòu)成的PDP中，優(yōu)選的是所述隔板按每個像素形成為格子狀。另外，在所述隔板的底面部和側(cè)面部形成有薄膜，該薄膜由從鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、鍺中選擇的至少一種構(gòu)成。本發(fā)明的PDP的制造方法的特點在于，具有在背面板上形成至少含有鎢、磷、鋇、釩的氧化物的玻璃厚膜的工序；以及將被加工成隔板的陰極形狀、通過通電能夠進行加熱的模具壓接于玻璃，在玻璃上轉(zhuǎn)印隔板形狀的工序。另外，在所述制造方法中，優(yōu)選的是還包括在所述玻璃上轉(zhuǎn)印隔板形狀的工序結(jié)束之后，還在隔板的上端面形成掩模的工序；以及在隔板的內(nèi)壁形成薄膜之后，除去掩模的工序。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種不使用鉛、鉍系玻璃等的隔板，且在制造工序中可以抑制廢棄物的量，對環(huán)境負荷小的PDP。另外，根據(jù)本發(fā)明的PDP制造方法，由于在形成隔板時使用通電過熱，所以消除面板玻璃的彎7曲等的問題。圖l是本發(fā)明制作的PDP的截面的概要圖；圖2是表示本發(fā)明制作的PDP的電極形成工序的圖；圖3是表示本發(fā)明制作的PDP的隔板、封閉玻璃形成工序的圖；圖4是表示本發(fā)明制作的PDP的隔板、封閉玻璃形成工序的圖；圖5是表示本發(fā)明制作的PDP的形成隔板的工序的一部的圖；圖6是表示本發(fā)明制作的PDP的隔板形成工序的一部的圖；圖7是表示本發(fā)明制作的PDP的隔板形成工序的一部的圖；圖8是表示本發(fā)明制作的PDP的熒光體涂布工序的圖；圖9是表示本發(fā)明制作的PDP的熒光體燒制工序的圖；圖10是本發(fā)明制作的PDP的截面的概要圖；圖11是表示本發(fā)明制作的PDP的薄膜形成工序的一部分的圖；圖12是本發(fā)明中使用的形成薄膜時的掩模材料的概要圖；圖13是表示本發(fā)明制作的PDP的薄膜形成工序的一部分的圖；圖14是表示本發(fā)明制作的PDP的薄膜形成工序的一部分的圖；圖15是表示本發(fā)明制作的PDP的熒光體燒制工序的圖；圖16是本發(fā)明中的隔板材料的可見光區(qū)域的光譜反射率曲線圖；圖17是在隔板材料上形成的薄膜的可見光區(qū)域的折射率的波長分散特性圖；圖18是在隔板材料上形成的薄膜的可見光區(qū)域的消光系數(shù)的波長分散特性圖；圖19是本發(fā)明使用的隔板材料基材用玻璃的折射率的波長分散特性圖；圖20是本發(fā)明使用的隔板材料基材用玻璃的消光系數(shù)的波長分散特性圖；圖21是表示薄膜的反射率相對于折射率的變化的圖；圖22是現(xiàn)有的一般的PDP的截面的模式圖。圖中說　l一背面襯底；2—數(shù)據(jù)電極；3—熒光體；4一隔板；5、5a—封閉玻璃；6—框玻璃；7—總線電極；8—顯示電極；9一保護膜；IO—電介質(zhì)層；ll一前面襯底；12—模具；13—薄膜；14一掩模；20—電介質(zhì)層具體實施方式根據(jù)本發(fā)明，通過采用鎢一磷一鋇一釩系玻璃作為隔板材料，可以使隔板的電阻值為合適的1071011^111，因此，可以抑制由隔板內(nèi)部蓄積的殘留電荷引起的異常放電，從而具有能夠提供在顯示時壁電荷量適當而不易產(chǎn)生顯示異常的PDP的效果。另外，可以提供一種從前面板上面看時的黑色對比度良好的PDP。另外，通過只在隔板的側(cè)面部上形成高折射率的薄膜，從而能夠使從熒光體向里面發(fā)出的光朝向前面板放射，從而可以提供高效率、高亮度的PDP。圖IO表示了本發(fā)明的PDP的截面的模式圖。采用鎢一磷一鋇一釩系玻璃作為隔板4的基材，通過只在隔板4的側(cè)面部及底面部形成鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、氮化鉅、硅、鍺等具有高折射率的薄膜13，可以使從熒光體3向里面發(fā)出的光朝向前面板放射，從而可以得到一種白色亮度、黑色對比度良好的PDP。以下，結(jié)合實施例詳細說明。[實施例一]圖22是現(xiàn)有的PDP的截面的概要圖。在圖22中，符號1為背面襯底，2為數(shù)據(jù)電極，3為熒光體，4為隔板，5、5a為封閉玻璃，6為框玻璃，7為總線電極，8為顯示電極，9為保護膜，10、20為電介質(zhì)層，ll為前面襯底。PDP裝置是在填充了氖、氙等稀有氣體的微小空間內(nèi)產(chǎn)生放電，使空間內(nèi)填充的熒光體發(fā)光的顯示裝置。PDP使前面襯底11與背面襯底1以具有約100200txm的間隙相對設(shè)置，用隔板4來維持各襯底的間隙。用以玻璃為主要成分的粘接材料封閉襯底的周緣部，在內(nèi)部填充，有氣體。將由各襯底和隔板劃分的微小空間稱作單元(cell)，在一個單元中，填充有R(Red:紅色)，G(Green:綠色)，B(Blue:藍色)(后面記為RGB)三色的熒光體中的任一種，由三種顏色的單元構(gòu)成一個像素，發(fā)出各色的光。在各襯底上設(shè)置有規(guī)則排列的電極，在成對的前面襯底上的電極和背面襯底上的電極間對應(yīng)于顯示信號選擇性地施加100200伏的電壓，通過電極間的放電產(chǎn)生紫外線，使熒光體發(fā)光，顯示圖像信息。在PDP的背面襯底側(cè)，在襯底上形成有數(shù)據(jù)電極(或者地址電極)。數(shù)據(jù)電極由Cr/Cu/Cr配線、銀配線等構(gòu)成。該電極通過印刷法、濺射法形成。在想要點亮的單元的地址電極和顯示電極間進行地址放電，在單元內(nèi)蓄積壁電荷。然后通過在顯示電極對上施加一定的電壓，通過地址放電只使蓄積了壁電荷的單元引起顯示放電，使紫外線發(fā)光，使等離子顯示器進行顯示。在數(shù)據(jù)電極上形成有電介質(zhì)層。電介質(zhì)層是為了控制地址電極的電流和進行保護而免于絕緣破壞而設(shè)置的。在電介質(zhì)層上形成有具有條紋形狀、格子形狀等的開口部的隔板。隔板由直線狀(條紋狀、棱狀)、或各像素被隔板隔開的格子狀等的形狀構(gòu)成。隔板通過用印刷法涂布玻璃膏的方法，或通過用噴砂法削除厚膜的方法等形成。在被隔板隔開的單元內(nèi)，填充各色的熒光體，將熒光體涂在壁面上。另一方面，在前面襯底上形成顯示電極。顯示電極由透明電極、總線電極構(gòu)成。透明電極由銦一錫的氧化物膜(TIO膜)等構(gòu)成，總線電極由Cr/Cu/Ci"配線、銀配線等構(gòu)成。顯示電極被設(shè)置成與在背面襯底上形成的數(shù)據(jù)電極正交。在這些電極上形成有電介質(zhì)層，該電介質(zhì)層保護電極并具有在放電時形成壁電荷的存儲功能。在電介質(zhì)層上，通過等離子體形成有保護電極等的保護層。作為保護層，一般形成MgO膜。且在一般的PDP中，在前面襯底側(cè)還形成有具有與各像素對應(yīng)的開口部的黑色層(黑色矩陣)。因為從前面襯底側(cè)可以看見黑色，所以具有提高圖像的對比度的效果。黑色層形成在數(shù)據(jù)電極上下的哪一側(cè)都可以。將背面襯底及前面襯底相對放置在正確位置，粘接周緣部。作為粘接材料使用玻璃粘接材料。一邊加熱一邊排出內(nèi)部氣體，封入稀有,體。在數(shù)據(jù)電極與顯示電極的交叉部位施加電壓使稀有氣體放電，形成等離子狀態(tài)。利用稀有氣體從等離子狀態(tài)返回原來狀態(tài)時產(chǎn)生的紫外線使熒光體發(fā)光。圖1是關(guān)于本發(fā)明的一實施例的PDP的截面圖。本實施例的PDP不包括圖22所示的現(xiàn)有的PDP中存在的黑色矩陣。另外，電介質(zhì)層20與隔板形成一體。結(jié)合圖2圖9對圖1所示的PDP的制作方法進行詳細說明。首先，在背面襯底1上用濺射法形成數(shù)據(jù)電極2。在本實施例中，使用堿石灰玻璃(sodalimeglass)作為背面襯底1，使用Cr/Cu/Cr的濺射膜作為數(shù)據(jù)電極。且，作為數(shù)據(jù)電極(也稱地址電極)，除該材料以外也可以使用銀、或在銀中混入了導(dǎo)電性玻璃膏等的材料。且，用光刻法來加工該數(shù)據(jù)電極使其形成為電極構(gòu)造。下面，為了固定框，通過涂布形成低溫軟化玻璃料作為框玻璃6，并形成隔板材料的膏40作為隔板4的前驅(qū)體。形成框玻璃6及隔板的玻璃采用不含鉛的玻璃?？虿Ａ?的材料是在釩一磷一銻一鋇系的玻璃中加入Si02后的物質(zhì)作為玻璃料。另外，隔板4使用的是在后面實施例2中詳細討論的鎢一磷一鋇一釩系玻璃的玻璃料。(圖3)并且，這些框玻璃6是通過在隔板玻璃的軟化溫度下燒制而固定的。本實施例中的燒制溫度是580°C。(圖4)為了將燒制后的隔板4加工成隔板形狀，本發(fā)明使用通電加熱法。使用的鎢一磷一鋇一釩系玻璃在室溫下具有1(^10"Qcm左右的電阻，但是加熱后由于半導(dǎo)體的電子傳導(dǎo)性而使得電阻值下降，在200。C時下降到10kQcm左右。通過對其施加直流電壓而對隔板4及在隔板的陰極模具上預(yù)先加工好的模具12進行通電，對隔板4進行通電加熱而將其加熱至軟化溫度以上。且，從上部施加壓力，對隔板4按壓使其成為模具12的陽極模具。本實施例中使用SUS作為模具。(圖5、圖6)為了不損壞隔板形狀，在加熱環(huán)境下，使其與該模具緩慢分模。且在隔板內(nèi)部涂布R、G、B三色的熒光體(圖8)，在460。C下燒制，得到如圖9所示的PDP的背面板。j且，通過將另外制作的前面板從上部封閉及排成真空，填充氙氣等，得到圖1所示的PDP。通過使用這種方法，不會在背面襯底l上殘留應(yīng)力，可以形成彎曲等問題較少的隔板。該方法與現(xiàn)有的噴砂法等相比，是材料的損失少，對環(huán)境的負荷小的制造方法。作為可適用于該制造方法的隔板4的材料，顯示出半導(dǎo)體性的電子傳導(dǎo)性的玻璃是有效的。本發(fā)明中不僅是隔板4的側(cè)面，隔板的底面部也都可以由同一材質(zhì)構(gòu)成。目前雖然如圖22所示在隔板的底面部形成有電介質(zhì)膜等，但是在本發(fā)明中可以將電介質(zhì)層20與隔板4形成一體。因此，不僅可以省略形成電介質(zhì)層20這一工序，也有利于除去隔板上蓄積的電荷。另外，本實施例還制作了在隔板側(cè)面部上形成了薄膜的PDP。圖10是表示在隔板側(cè)面部上形成有薄膜的PDP的截面的模式圖。只在隔板側(cè)面部上形成薄膜13的原因是，由于在側(cè)面部上涂有熒光體3，只要熒光體3可以向里面發(fā)光，就可以提高朝向前面板側(cè)的亮度。另外，若在前面板一側(cè)的上面形成該膜，則因為從前面板觀察時的隔板的反射率提高，所以黑色對比度變差，所以不是優(yōu)選的。因此，必須將這樣的膜只限定在涂布熒光體的隔板側(cè)面部及底面部上。圖IO所示的實施例中，只在隔板的側(cè)面部及底面部形成有薄膜，在隔板的前面襯底ll一側(cè)沒有形成該薄膜。關(guān)于該制作方法，結(jié)合圖1114進行說明。與沒有形成薄膜的PDP—樣，形成隔板4以后(相當于圖7)，將用于形成薄膜的掩模14配置在隔板上面(圖11)。例如，在形成條紋形狀的隔板的情況下，使用如圖12所示的掩模。形成掩模后，使用濺射法或蒸鍍法等形成薄膜13(圖13)。此時，由于在隔板上部形成有掩模，所以不形成薄膜13。此后，除去掩模，如圖14所示，制成了只在隔板內(nèi)部形成有薄膜的背面板。進一步涂布熒光體，燒制，將熒光體燒接在隔板內(nèi)部(圖15)。在其上面封裝另外制作的前面板并進行排氣，填充氙氣等，完成等離子顯示器面板。[實施例二]乂本實施例，對關(guān)于鎢—磷一鋇一釩系玻璃材料詳細討論后的結(jié)果進行介紹。本發(fā)明的隔板玻璃，因為如實施例一所述通過通電加熱而成型，所以電阻必須與由通電產(chǎn)生的發(fā)熱相適應(yīng)。另外，為了在熒光體涂布后的燒制時也不會使其形狀變形，優(yōu)選在熒光體的燒制溫度即460。C下也不產(chǎn)生變形。因此，優(yōu)選的是隔板用玻璃的?；瘻囟仍?70'C以上。另外，在向背面襯底l進行燒接時，相比于背面板的材料即堿石灰系玻璃襯底，需要軟化到在低溫下可以作業(yè)的程度。因為利用于PDP的堿石灰玻璃的?；瘻囟葹?1(TC左右，所以優(yōu)選的軟化溫度是在60(TC以下。另外，因為通常的玻璃材料若?；瘻囟葹?70°C，則軟化溫度在570'C左右，若軟化溫度為600°C，則?；瘻囟葹?00"C左右，所以本發(fā)明的隔板用玻璃的?；瘻囟葍?yōu)選的是在470'C以上且500。C以下，軟化溫度優(yōu)選的是在57(TC以上且60(rC以下。另外，因為堿石灰玻璃的熱膨脹系數(shù)在室溫到35(TC的測定溫度范圍中是80X10—7/°C，所以作為即使有一些壓縮、拉伸應(yīng)力存在也不認為是破損等的熱膨脹域，優(yōu)選是7090X10—7/°C。若熱膨脹系數(shù)不足70X10—7/°C，則在玻璃剝離的方向上產(chǎn)生剪切應(yīng)力，隔板材料破損。另外，若熱膨脹系數(shù)超過90X10—7/°C，則在拉伸應(yīng)力的作用下在隔板的縱向上產(chǎn)生破壞，不是優(yōu)選的。且，若隔板材料具有導(dǎo)電性，則在顯示時因為殘留的電荷可以接地，所以優(yōu)選，但是若電阻過低，則為了顯示要預(yù)備地接地直到在顯示電極附近蓄積的電荷，所以顯示的響應(yīng)性下降，不優(yōu)選。若顯示時殘留電荷則是誤顯示的原因，若蓄積的電荷過多則成為異常放電的原因，所以不優(yōu)選。不產(chǎn)生這樣的異常，可以適當維持單元內(nèi)的電荷狀態(tài)的隔板的體積電阻率為lX107QcmlX10uQcm。另外，顯然，若玻璃因結(jié)晶析出等原因而反玻璃化，則在通電加熱隔板進行成型時流動性變差，得不到適當?shù)男螤?，所以?yōu)選的是不產(chǎn)生反玻璃化。且，為了提高黑色顯示對比度，隔板的與上面面板相接的端面優(yōu)選是黑色。作為可以滿足以上特性的玻璃組成，制作以鎢、磷、鋇、釩的氧化物為構(gòu)成成分的玻璃，評價其特性。表l表示研究后的玻璃材料的組成、反玻璃化的有無、熱膨脹系數(shù)、玻化溫度、軟化溫度、外觀的顏色及體積電阻率。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>在表1中，組成是玻璃的分析組成，將各氧化物換算為W03、P205、BaO、V205的氧化物表示。且，通過用ICPS(感應(yīng)等離子發(fā)光分析)法對得到的玻璃進行分析，來進行組成的分析。另外，玻璃的熔融通過如下這樣進行為了得到所希望的玻璃組成而配制各元素的原料，向鉑制的坩堝中投入原料粉末，在電爐中以140(TC加熱兩小時使其熔融，之后從該溫度迅速冷卻。在電爐熔融中，向坩堝內(nèi)插入鉑制的攪拌棒攪拌熔融物。熔化后，倒入預(yù)先加熱至400。C的石墨模具中。然后，再以80(TC加熱兩小時，進行保持后，以0.5'C/分的冷卻速度緩慢冷卻，得到無變形的玻璃塊。且，各構(gòu)成氧化物的原料，除了使用磷酸鋇作為鋇的原料以外，也使用WOg、P205、V205構(gòu)成的氧化物原料。另外，在表1中，反玻璃化的有無是在熔化玻璃、去變形后，將碎玻璃載至硼硅酸玻璃襯底上，再次以80(TC加熱，進行小球流動(buttonflow)試驗，用眼睛及光學(xué)顯微鏡觀察其表面，在確定結(jié)晶化的情況下記為X，在沒有確定結(jié)晶化，觀察到潔凈的玻璃自然面的情況下記為O。另外，熱膨脹系數(shù)以石英玻璃為標準試料，以5'C/分的速度升溫，用示差熱膨脹計進行測量。將第一拐點作為?；瘻囟取Ａ硗?，測量玻璃的粘度曲線，將玻璃粘度為10"Poise的點作為軟化溫度。對于外觀顏色，制作20mmX20mmX50mm的玻璃塊來表示其外觀顏色。進而，對于體積電阻率的測量，從玻璃塊上切下lmmX10mmX3mm的玻璃棒，在lmmX10mm的兩端面上蒸鍍Pt電極，使電極間的距離為3mm，將每個電極都插入恒溫槽內(nèi)，以125'C暫時加熱除去水分后，返回到25i:進行測量。對于電阻值的測量，施加500V的直流電壓，通過測量此時流通的電流值來求得。在表1中，No.lNo.7是使W03的量變化來評價其物性。從No.l開始，具有隨著試料編號的增大，W03的含量增大，與此對應(yīng)?；瘻囟取④浕瘻囟壬仙奶攸c。No.lNo.2的玻璃，Tg不足470。C,在熒光體燒制溫度即46(TC下，存在產(chǎn)生變形的可能性大的問題。No.3No.6任何一個參數(shù)都沒有問題，適合作為隔板用的玻璃材料。另外，No.7的玻璃，因為軟化溫度超過了600°C，所以得知若不加熱到背面板的材料即堿石灰玻璃的?；瘻囟纫陨?，則無法進行玻璃成型。根據(jù)以上，WO3的含量優(yōu)選的是25重量y。至60重量。/。。W03的含量如不足25重量％，則?；瘻囟鹊停跓晒怏w燒接工序中可能產(chǎn)生變形等不良情況。另外，若超過60重量％，則因為軟化溫度超過60(TC，所以在襯底上成型燒制該玻璃時，有可能使背面板玻璃材料劣化，不優(yōu)選。下面，根據(jù)試料No.8No.13,制作P20s的含量變化的玻璃。如No.8、No.9所示，在P20s的含量少時，由于在玻璃表面觀察到結(jié)晶化的情況，所以不優(yōu)選。雖然P205的含量多的N0.9的玻璃良好，但是盡管非常的小但還能看到結(jié)晶化的征兆。在P20s的含量為15重量c/。的No.lO玻璃中，看不到這樣的結(jié)晶化樣子，可得到潔凈的玻璃面。根據(jù)以上可知，P205的含量在15重量。/。以上為優(yōu)選。若使P20s的含量增加，則不僅看不到這樣的結(jié)晶化征兆，還可觀察到Tg、Ts上升的傾向。在使P20s的含量增加來制作的No.lONo.12的玻璃中，雖然Tg、Ts的值都表現(xiàn)為良好，但是在含P205為41重量M的No.l3玻璃中，因為Ts超過了600°C，所以在處理工序中存在使背面板產(chǎn)生變形的顧慮。根據(jù)以上，P205的含量優(yōu)選的是在15重量％以上且40重量°/。以下。若？205的含量不足15重量％，則玻璃反玻璃化，不優(yōu)選。另外，若在40重量％以上，則軟化溫度過高，不優(yōu)選。下面，制作No.l4No.l8的玻璃并討論BaO的含量。具有的特點是若BaO的含量增加，則該玻璃系的熱膨脹系數(shù)增大。在BaO的含量為6重量Q/。的No.l4的玻璃中，熱膨脹系數(shù)為65X10—7/°C，相對于背面板玻璃過小，產(chǎn)生成型后剝離狀的裂紋的可能性很大，不優(yōu)選。且在No.15No.l8的玻璃中，雖然熱膨脹系數(shù)表現(xiàn)出適當?shù)闹?，?189X10—7/'C，但是在No.l8所示的玻璃中，熱膨脹系數(shù)為97X10"/°C，值過大，在熱處理工序中，從背面板玻璃承受的拉伸應(yīng)力大，在縱向可能產(chǎn)生龜裂，不優(yōu)選。根據(jù)以上，BaO的含量優(yōu)選的是在8重量。/。以上且30重量。/。以下。若BaO的含量不足8重量。/。，則熱膨脹系數(shù)過小，產(chǎn)生剝離方向的龜裂，不優(yōu)選。另一方面，若BaO的含量超過30重量％，則熱膨脹系數(shù)過大，產(chǎn)生因縱向的龜裂引起的破損，不優(yōu)選。進一步地，以No.l9No.23所示的玻璃討論V20s的含量?？梢钥闯鯲20s的含量越增大，體積電阻率的降低越明顯。No.19的玻璃V20s的含量為6重量％，但體積電阻率大，為1.2X1012Qcm，由于在面板內(nèi)難以使殘留電荷接地，所以很可能導(dǎo)致異常放電。在No.20No.22的玻璃中，體積電阻率在1.0X10121.0X107Qcm的范圍內(nèi)，看到在面板內(nèi)的異常放電等的可能性小，所以優(yōu)選。另^方面，在No.23所示的含有V205為21重量％的玻璃中，體積電阻率低于1.0X107Qcm。這種情況下，甚至在上面面板的顯示電極附近為做顯示的標記而蓄積的電荷也被接地，所以很可能產(chǎn)生顯示的響應(yīng)性極端下降的問題。因此，可知No.23的玻璃不是優(yōu)選的。根據(jù)以上，V205的含量優(yōu)選的是在8重量％以上且20重量％以下。若V20s的含量不足8重量。/。，則電阻增大，成為異常放電的原因，不優(yōu)選。另外，若V2O5的含量超過20重量Q/。，則電阻變得過低，顯示的響應(yīng)性下降，不優(yōu)選。在表l討論的所有玻璃中，因為外觀顏色是黑色，可以提高黑色對比度，所以優(yōu)選。[實施例三]下面，為了提高鎢、磷、鋇、釩系玻璃的耐氣候性，討論各種添加元素。表2表示了該結(jié)果。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>為了提高耐氣候性，討論了Mo03、Cr203、HfG2、Zr02、A1203、Gd203五種氧化物。在表2中，對于向水中的溶解量，將10mm3的玻璃塊(約4g)放入80'C的溫水中浸泡24個小時，然后插入12(TC的干燥機內(nèi)5個小時充分干燥后，以0.1mg的單位測量浸泡前后的玻璃塊的重量，以浸泡前的重量進行標準化，作為溶解量算出該差值。No.24是不包含上述氧化物的W03—P2Os—BaO—V205系的四元系玻璃組成物，可知重量減少了0.5%。另一方面，在含有Mo03的玻璃中，可知在5重量％以下溶解量降低，但超過5重量％則溶解量惡化。另外，即使含有Cr203、Hf02、Zr02、A1203、Gd203，也可看到大幅度的耐水性的改善，但是若其中的任何一個含量過多則會產(chǎn)生反玻璃化，不優(yōu)選。具體地說，Cr203的含量在5重量％以下，可以改善耐水性，也沒有看到反玻璃化，但是若超過5重量。/。則會看到反玻璃化。另外，HfD2、Zr02、A1203、Gd203中的任何一個若含量在3重量。/。以下，則可以看到耐水性的改善，且可以得到良好的玻璃，但是若超過3重量％，則會看到反玻璃化，不優(yōu)選。其他的熱膨脹系數(shù)、玻化溫度、軟化溫度、顏色、體積電阻率等諸性質(zhì)都沒有問題。根據(jù)以上，為了提高玻璃的耐氣候性，MoO3的含量可以在05重量%的范圍，Cr203的含量可以在05重量％的范圍，Zr02的含量可以在03重量％的范圍，HfO2的含量可以在03重量。/。的范圍，Gd203的含量可以在03重量％的范圍，"203的含量可以在03重量％的范圍。若超過各自的該量，則在Mo03的情況下不能提高耐氣候性，對于其他的氧化物由于會產(chǎn)生結(jié)晶化，所以不優(yōu)選。[實施例四]下面，在表1討論的玻璃中添加填充物驗證其效果。在本實施例中，向鴿一磷一鋇一釩系玻璃中添加熱膨脹系數(shù)正好合適的燒結(jié)性良好的氧化鋁(A1203)進行討論。表3表示了將八1203作為填充物進行添加，燒制后的玻璃材料的外觀的顏色和體積電阻率。添加的八1203粒子的粒徑平均為2um。[表3]'表3No.玻璃組成(重量％)填充物體積電阻率(Qcm)W03BaOv2o5成分添加暈(體積％)領(lǐng)fi3935351515Al20320黑8.1X1074035351515Al20328黑9.8X1074，35351515Al20330黑1.1X1084235351515Al20335黑.3.2X108433535J515Al20340灰6.4X1084435351515Al20350灰2.8X1094535351515Al20360灰7.1x10104635351515Al20370灰8.9X10114735351515Al20372灰1.3M0'2在表3中，體積電阻率隨著Al203填充物的添加量的增加，外觀顏色逐漸接近灰色，體積電阻率上升。填充物的填充量到70體積％時，體積電阻率在1.0Xl(^Qcm以下，比較合適，但是若填充物的填充量超過70體積％，則體積電阻率變?yōu)?.3X1012Qcm，不優(yōu)選。另夕卜，若填充物的添加量過多，則在通過通電過熱方式形成隔板時，損壞玻璃的流動性，不優(yōu)選。根據(jù)以上，即使填充了填充物也可得到適合的隔板材料，但是其填充量最好在70體積％以下。[實施例五]下面，制作將實施例2、3、4中討論的玻璃組成物用作隔板的圖l及圖10所示的PDP，評價將實施例1所示的玻璃作為隔板使用的情況下的黑色對比度、白色亮度。且，本實施例中為了增加白色亮度，如圖10所示在隔板的與熒光體相接的面上設(shè)置反射膜，通過使向里面的發(fā)光朝向前面?zhèn)确瓷?，增加亮度。且，圖1是沒有形成薄膜的情況下的PDP的截面的概要圖，圖10是形成薄膜的情況下的PDP截面的概要圖。圖4表示討論的隔板、薄膜的構(gòu)成及各隔板材料的薄膜的折射率、襯底在波長為530nm時的折射率、及在玻璃基材上形成薄膜的情況和不形成薄膜的情況下的在波長為530nm時的反射率、吸收率、透射率、在圖1或圖IO制作PDP時的黑色對比度和白色亮度。在表4中，折射率、反射率、吸收率、透射率的基本的光學(xué)常數(shù)的值的測量，是在制作圖1以及圖10所示的面板前，制作鏡面拋光的20mm角X0.5mm厚的基材薄片，在其上用濺射法形成各薄膜進行測量。另外，表4的相對黑色對比度和相對白色亮度，是在制作圖1或圖10所示的PDP后作為面板特性進行評價。求出在施加電壓的同時使整個畫面顯示黑圖像時的從畫面放出的亮度、相對于利用試料No.48的鉍系玻璃的隔板制作的圖1所示的PDP的亮度為1時的相對值，以該相對值表示相對黑色對比度。求出使整體全顯示白色時的亮度相對于利用試料No.48的鉍系玻璃的隔板制作的圖1所示的PDP的亮度為1時的相對值，以該相對值表示相對白色亮度。[表4]表4<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>用于制作薄膜的濺射法，為了形成Fe203、Ga203、Fe203—Ga203、Cr203系薄膜，使用Ar+5%02的濺射氣體，采用各組成的氧化物標耙使用RF電源成膜。膜厚在20200nm間變化。另外，在TaN成膜時，在Ar+5°/。N2環(huán)境氣體下，采用Ta標靶，利用反應(yīng)性濺射進行成膜。濺射功率為500W，標靶尺寸為(D152.4mm，達到真空度為4.0X10—5Pa，成膜時氣體壓力為0.7Pa。得到的薄膜及基材的折射率及消光系數(shù)，用分光橢圓偏振計測定。以鎢燈為測量光源，在波長為350850nm的范圍進行測量。試料No.50No.53所示的Fe203、Fe203—Ga203系薄膜的折射率及消光系數(shù)的波長分散由圖17、圖18表示。在試料No.50的Fe203單體的薄膜中，在波長為400800nm的可見光區(qū)域的整個區(qū)域中，折射率表示出很大的值，在2.8以上。通過添加Ga203，雖然可見光區(qū)域的折射率、消光系數(shù)都隨著Ga203的添加量的增加而降低，但在試料No.51的70Fe2O3—30Ga2O3中，折射率顯示出2.4以上的值。但是，在試料No.52、No.53的試料中，在可見光區(qū)域的折射率進一步降低，該波長區(qū)域的最低折射率下降至2.12.0。另夕卜，試料No.49的WO廣P2Os—BaO—V205系玻璃襯底的折射率及消光系數(shù)如圖19、圖20表示。W03—P205—BaO—V205系玻璃襯底的折射率，隨著波長的增加，折射率降低，但在800nm時值表示約為1.75。測量了表4表示的材料的在波長為400800nm的可見光區(qū)域下的反射率。測量是使用(株)日立高技術(shù)公司制造的分光光度計(U—4100)進行的。作為一個例子，關(guān)于試料No.49和No.51，其分光反射率曲線如圖16表示。在試料No.49的W03—P205—BaO—V205系玻璃基材中，在可見光的波長區(qū)域，反射率為9%11%左右，但是在形成試料No.51的70Fe2O3—30Ga2O3薄膜的情況下，可知反射率提高到16%23%。首先，對沒有形成圖1所示的薄膜的PDP進行評價。試料No.48所示的試料，采用以鉍為主要成分的低溫軟化玻璃作為基材。試料No.49所示的試料，是采用W03—P205—BaO—V205系玻璃作為基材進行制作的例子，因為隔板的上面是黑色，畫面整體的黑色部分增加，相對黑色對比度大幅度增加到0.5。另一方面，因為熒光體的發(fā)光效率相同，所以白色相對亮度幾乎相同。并且在采用向W03—P205—BaO—V20s系玻璃中添加50體積％的A1203的基材作為基材的試料No.59的試料中，因為Al203的的反射率高，所以在波長530nm下的反射率提高4。/。。另外，相對黑色對比度由于向基材中添加的M03部分，白色部分增加，變成0.7。但是，因為熒光體背面的反射率提高，所以相對白色亮度變?yōu)?.1，約上升10%。如上所述，在使用本實施例制作的鎢、磷、鋇、釩系玻璃的情況下，與使用現(xiàn)有的鉍系玻璃的情況相比，黑色對比度大幅度提高。另外，若在其中添加Ab03添加物，則雖然黑色對比度的改善效果稍微降低，但是仍比現(xiàn)有的好，且提高了白色的亮度，所以優(yōu)選。下面，對在這些基材上形成薄膜的圖10所示的形狀的等離子顯示器面板的評價結(jié)果進行說明。如表4所示，使用折射率越高的材料，得到的反射率越高。圖21表示在試料No.49的襯底上添附折射率不同的各種薄膜的情況下的相對于折射率的反射率。該圖中，將波長530nm的情況作為代表例進行表示?？芍瓷渎孰S著折射率的上升而上升。且，關(guān)于膜厚在各折射率的薄膜中取放射率最大的膜厚。由圖21顯然可知，在采用試料No.49的W03—P205—BaO—V20s系玻璃作為折射率1.78的基材時，在波長530nm下得到反射率為20%的情況下，必須使折射率在2.2以上。且，可知為了使反射率達到50%以上，必須使薄膜的折射率達到3.3以上。由表4的反射率與相對黑色對比度的關(guān)系可知，如試料No.50那樣在反射率為23%時，相對白色亮度改善到1.3，大幅度改善了30%左右。另夕卜，可知如試料No.52那樣在反射率為20%時，白色亮度改善了10%左右。但是，如試料No.53、No.54那樣，在反射率在12%以下時，相對白色亮度為1.0，對亮度改善來說效果不明顯。另夕卜，在使用如TaN、Si、Ge那樣高折射率的薄膜的情況下，相對白色亮度為1.41.6，大幅度提高。且，如No.58的試料那樣，在考房鉍系玻璃作為基材的情況下，若形成Fe203作為薄膜，其反射率提高，與沒(有形成薄膜的試料No.48的情況相比，相對白色亮度為1.5，提高了50%。另夕卜，在采用添加了50體積％的入203添加物的W03—P205—BaO—V20s系玻璃作為基材，在其隔板側(cè)面形成Fe203、Cr203的No.60、No.61的試料的情況下，雖然相對黑色對比度與只有基材的情況一樣為0.7左右，但是白色亮度提高到了1.6。如上，若在隔板的側(cè)面形成高折射率的薄膜，則可以提高亮度。使用的薄膜材料優(yōu)選選自鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、或者鍺。權(quán)利要求1.一種等離子顯示器面板，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其特征在于，所述隔板由至少含有鎢、磷、鋇、釩的氧化物的玻璃制成。2.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示器面板，其特征在于-所述隔板的電阻率為1(^10"Qcm。3.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示器面板，其特征在于-所述隔板的高度在100pm以上且500pm以下。4.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示器面板，其特征在于所述隔板由換算為氧化物含有W03:2560重量％，P205:1540重量％，BaO:830重量％，V205:820重量％的氧化物的玻璃構(gòu)成。5.如權(quán)利要求4所述的等離子顯示器面板，其特征在于-構(gòu)成所述隔板的玻璃，換算為氧化物還含有Mo03:05重量％，Cr203:05重量％，Zr02:010重量％，HfQ2:03重量％，Gd203:03重量％，A1203:03重量％。6.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示器面板，其特征在于所述隔板由基材和在該基材側(cè)面形成的薄膜構(gòu)成，所述薄膜由從鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、鍺中選擇的至少一種構(gòu)成。7.如權(quán)利要求6所述的等離子顯示器面板，其特征在于在400nm800nm的波長域，所述薄膜的折射率在2.3以上。8.—種等離子顯示器面板，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其特征在于，所述隔板由基材和在該基材側(cè)面形成的薄膜構(gòu)成，所述薄膜由從鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、鍺中選擇的至少一種構(gòu)成。9.一種等離子顯示器面板，具有相對設(shè)置的、周緣部被粘接的前面襯底及背面襯底；在所述前面襯底上設(shè)置的電極和在所述電極上設(shè)置的電介質(zhì)層及在所述電介質(zhì)層上設(shè)置的保護層；在所述背面襯底上設(shè)置的電極及電介質(zhì)層；保持所述前面襯底及所述背面襯底間的間隙的隔板；以及在由所述隔板和所述前面襯底及所述背面襯底形成的空間內(nèi)填充的熒光體，其特征在于，所述隔板的底面及側(cè)面形成為一體。10.如權(quán)利要求9所述的等離子顯示器面板，其特征在于所述隔板按每個像素形成為格子狀。11.如權(quán)利要求9所述的等離子顯示器面板，其特征在于在所述隔板的底面部和側(cè)面部形成有薄膜，該薄膜由從鐵氧化物、鉻氧化物、鐵和鎵的混合氧化物、鉭氮化物、硅、鍺中選擇的至少一種構(gòu)成。12.—種等離子顯示器面板的制造方法，其特征在于具有在背面板上形成至少含有鎢、磷、鋇、釩的氧化物的玻璃厚膜的工序;以及將被加工成隔板的陰模形狀、能夠通過通電進行加熱的模具壓接于玻璃，在玻璃上轉(zhuǎn)印隔板形狀的工序。13.如權(quán)利要求12所述的等離子顯示器面板的制造方法，其特征在于還包括在所述玻璃上轉(zhuǎn)印隔板形狀的工序結(jié)束之后，再在隔板的上端面形成掩模的工序；以及在隔板的內(nèi)壁形成薄膜之后，除去掩模的工序。全文摘要本發(fā)明提供一種等離子顯示器面板，其可以提高來自隔板的側(cè)面及底面的反射強度，提高亮度，且可以提高來自前面板側(cè)的黑色對比度，而且隔板材料不包含鉛、鉍等對環(huán)境負荷大的材料。利用的是采用鎢-磷-鋇-釩系黑色玻璃的隔板材料，只在隔板側(cè)面形成用于提高反射率的高折射率的薄膜材料。文檔編號H01J11/12GK101276718SQ20081000211公開日2008年10月1日申請日期2008年1月15日優(yōu)先權(quán)日2007年3月30日發(fā)明者內(nèi)藤孝,北條房郎,宮田素之,山本浩貴,林原光男,澤井裕一,藤村孝史,金澤啟一申請人:株式會社日立制作所