專(zhuān)利名稱(chēng)：三代像增強(qiáng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電真空技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種夜視系統(tǒng)中像增強(qiáng)器的制作方法。
背景技術(shù)：
三代像增強(qiáng)器是當(dāng)前夜視系統(tǒng)中優(yōu)先選用的核心成像器件。該產(chǎn)品質(zhì)量直接決定著夜視系統(tǒng)的整體性能，通過(guò)特種制作方法提高該產(chǎn)品的質(zhì)量已經(jīng)成為眾多研究者們關(guān)注的焦點(diǎn)問(wèn)題。
目前常用的三代像增強(qiáng)器的制作方法是定期將熒光屏組件通過(guò)加載閘門(mén)室送入超高真空室中，進(jìn)行密閉去氣和電子轟擊清洗后送入裝配超高真空室；定期將GaAs(砷化鎵)光電陰極組件通過(guò)加載閘門(mén)室送入超高真空室中進(jìn)行密閉預(yù)去氣；然后將光電陰極組件送入相臨的超高真空室進(jìn)行批量最終清洗和敏化處理，形成光電陰極后送入裝配超高真空室；在裝配超高真空室中將光電陰極和熒光屏組件進(jìn)行組裝處理后送入密封超高真空室，進(jìn)行批量密封焊接處理，形成真空管；最后將加工好的真空管送入卸載閘門(mén)室，并從該閘門(mén)室批量卸載。
上述方法有效排除了GaAs光電陰極形成室內(nèi)氣壓的下降和波動(dòng)，有利于光電陰極與熒光屏組件的組裝。但是，該方法存在以下缺點(diǎn)1、該方法對(duì)超高真空室中的大氣壓強(qiáng)要求非常低，要低于10-11帕斯卡才可以正常工作，因此，真空室除氣過(guò)程所需的時(shí)間長(zhǎng)，導(dǎo)致產(chǎn)品生產(chǎn)效率低；
2、采用該方法，真空室中的空氣不易排除徹底，當(dāng)提高室內(nèi)溫度時(shí)，剩余的氧分子，含氧氣體及水蒸氣與光電陰極表面會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，容易產(chǎn)生不合格產(chǎn)品。據(jù)統(tǒng)計(jì)，采用該方法，產(chǎn)品合格率通常只有30％。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種既可以提高生產(chǎn)效率又可以提高產(chǎn)品合格率的三代像增強(qiáng)器的制作方法。
本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明所提供的三代像增強(qiáng)器的制作方法，是將各個(gè)工作室用惰性氣體置換空氣，當(dāng)各個(gè)工作室內(nèi)的大氣壓強(qiáng)不高于預(yù)定值后，進(jìn)行像增強(qiáng)器的生產(chǎn)加工。
該方法包括如下步驟A、將工作室中的各個(gè)超高真空室和卸載閘門(mén)室用惰性氣體置換空氣，并使所述超高真空室和卸載閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)均不高于所述預(yù)定值；B、將熒光屏組件送入工作室中的熒光屏組件加載閘門(mén)室，然后向該閘門(mén)室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)不高于所述預(yù)定值后，打開(kāi)閘門(mén)，將所述熒光屏組件送入與該閘門(mén)室相鄰的超高真空室進(jìn)行密閉除氣和電子轟擊清洗處理；然后將所述熒光屏組件送入組裝真空室；C、將光電陰極組件送入工作室中的光電陰極組件加載閘門(mén)室，然后向該閘門(mén)室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)不高于所述預(yù)定值后，打開(kāi)閘門(mén)，將所述光電陰極組件送入與該閘門(mén)室相鄰的超高真空室進(jìn)行密閉預(yù)除氣處理，然后將光電陰極組件送入相臨的超高真空室進(jìn)行批量最終清洗和敏化處理形成光電陰極，最后將所述光電陰極送入所述組裝真空室；D、將所述組裝真空室中的熒光屏組件和光電陰極進(jìn)行組裝處理后送入密封超高真空室，進(jìn)行批量密封焊接處理，形成真空管；E、將所述真空管送入卸載閘門(mén)室，并從該閘門(mén)室批量卸載。
由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明的核心思想是在生產(chǎn)裝置啟動(dòng)前，熒光屏組件最終清洗，光電陰極組件最終清洗和形成，以及真空管殼的組裝，都是在用惰性氣體(氬氣，氦氣等)完全置換了室內(nèi)氣體的情況下進(jìn)行的。
本發(fā)明的有益效果在于1.采用惰性氣體置換各個(gè)工作室中的空氣，工作室中的大氣壓強(qiáng)不高于10-8帕斯卡時(shí)便可以正常工作，真空室的除氣過(guò)程大大縮短，從而提高了產(chǎn)品生產(chǎn)效率；2.真空室除氣徹底，大大減少氧分子、水蒸氣的含量，三代像增強(qiáng)器的生產(chǎn)加工過(guò)程中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的幾率大大降低，因此，產(chǎn)品合格率將大大提高。


圖1為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明所述方法的生產(chǎn)裝置。
該生產(chǎn)裝置共有12個(gè)工作室，其中1.熒光屏組件加載閘門(mén)室，2、3、5、6、7、8.超高真空室，4.光電陰極組件加載閘門(mén)室，9.卸載閘門(mén)室。
具體實(shí)施例方式
為對(duì)本發(fā)明有進(jìn)一步的了解，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明所述的方法進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
本發(fā)明所述方法的具體實(shí)現(xiàn)方式包括以下步驟
步驟1在生產(chǎn)像增強(qiáng)器產(chǎn)品前，將工作室中的超高真空室2、3、5、6、7、8及卸載閘門(mén)室9用惰性氣體(比如氬氣、氦氣等)置換空氣，并使這些超高真空室和閘門(mén)室9中的大氣壓強(qiáng)均不高于預(yù)定值；步驟2將熒光屏組件送入熒光屏組件加載閘門(mén)室1，然后向該閘門(mén)室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)不高于預(yù)定值后，打開(kāi)閘門(mén)，將熒光屏組件送入與該閘門(mén)室相鄰的超高真空室2、3中進(jìn)行密閉除氣和電子轟擊清洗；然后再將熒光屏組件送入超高真空室7中；步驟3將光電陰極組件送入光電陰極組件加載閘門(mén)室4中，然后向該閘門(mén)室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)不高于預(yù)定值后，打開(kāi)閘門(mén)，將光電陰極組件送入與該閘門(mén)室相鄰的超高真空室5中，進(jìn)行密閉預(yù)除氣；然后再將光電陰極組件送入超高真空室6中，進(jìn)行批量最終清洗和敏化處理，形成光電陰極，最后將光電陰極送入超高真空室7中；步驟4將超高真空室7中的熒光屏組件和光電陰極進(jìn)行組裝處理，然后送入超高真空室8中，進(jìn)行批量密封焊接處理，形成真空管；步驟5將加工好的真空管送入卸載閘門(mén)室9，并從該閘門(mén)室批量卸載。
其中上述大氣壓強(qiáng)預(yù)定值為10-8帕斯卡；光電陰極組件可以是GaAs光電陰極組件；步驟2和步驟3可以同步進(jìn)行，也可以不同步進(jìn)行；在步驟3中，可以同時(shí)向兩個(gè)閘門(mén)室4中加載光電陰極組件，也可以先后向兩個(gè)閘門(mén)室4中加載光電陰極組件。
在整個(gè)生產(chǎn)加工過(guò)程中，各個(gè)工作室可以同時(shí)工作，以便提高工作效率。
圖1所示的12個(gè)工作室中均設(shè)有氣壓表，在生產(chǎn)過(guò)程中隨時(shí)監(jiān)測(cè)各個(gè)工作室的大氣壓強(qiáng)。當(dāng)其中任何一個(gè)工作室的大氣壓強(qiáng)超過(guò)10-8帕斯卡時(shí)，需要立即停止加工工作，重新用惰性氣體置換各個(gè)工作室中的空氣，直到當(dāng)各個(gè)工作室的大氣壓強(qiáng)不高于10-8帕斯卡后，再恢復(fù)正常加工工作。
由于采用惰性氣體置換各個(gè)工作室中的空氣，使得當(dāng)工作室中的大氣壓強(qiáng)不高于10-8帕斯卡時(shí)便可以正常工作，因此，真空室除氣過(guò)程大大縮短，可以提高生產(chǎn)效率達(dá)兩倍以上；同時(shí)，真空室除氣徹底，剩余氧分子、水蒸氣少，當(dāng)提高室內(nèi)溫度時(shí)，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的幾率大大降低，產(chǎn)品合格率大大提高。據(jù)統(tǒng)計(jì)，采用本發(fā)明方法，產(chǎn)品合格率可以提高到80％。因此，本發(fā)明具有廣闊的市場(chǎng)前景。
以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于將各個(gè)工作室用惰性氣體置換空氣，當(dāng)各個(gè)工作室內(nèi)的大氣壓強(qiáng)不高于預(yù)定值后，進(jìn)行像增強(qiáng)器的生產(chǎn)加工。
2.如權(quán)利要求1所述的三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于該方法包括如下步驟A、將工作室中的各個(gè)超高真空室和卸載閘門(mén)室用惰性氣體置換空氣，并使所述超高真空室和卸載閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)均不高于所述預(yù)定值；B、將熒光屏組件送入工作室中的熒光屏組件加載閘門(mén)室，然后向該閘門(mén)室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)不高于所述預(yù)定值后，打開(kāi)閘門(mén)，將所述熒光屏組件送入與該閘門(mén)室相鄰的超高真空室進(jìn)行密閉除氣和電子轟擊清洗處理；然后將所述熒光屏組件送入組裝真空室；C、將光電陰極組件送入工作室中的光電陰極組件加載閘門(mén)室，然后向該閘門(mén)室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門(mén)室中的大氣壓強(qiáng)不高于所述預(yù)定值后，打開(kāi)閘門(mén)，將所述光電陰極組件送入與該閘門(mén)室相鄰的超高真空室進(jìn)行密閉預(yù)除氣處理，然后將光電陰極組件送入相臨的超高真空室進(jìn)行批量最終清洗和敏化處理形成光電陰極，最后將所述光電陰極送入所述組裝真空室；D、將所述組裝真空室中的熒光屏組件和光電陰極進(jìn)行組裝處理后送入密封超高真空室，進(jìn)行批量密封焊接處理，形成真空管；E、將所述真空管送入卸載閘門(mén)室，并從該閘門(mén)室批量卸載。
3.如權(quán)利要求1或2所述的三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于，所述工作室內(nèi)的大氣壓強(qiáng)預(yù)定值為10-8帕斯卡。
4.如權(quán)利要求2所述的三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于，所述步驟B和步驟C同步進(jìn)行。
5.如權(quán)利要求3所述的三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于，所述步驟B和步驟C不同步進(jìn)行。
6.如權(quán)利要求1或2所述的三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于，所述惰性氣體包括氬氣或氦氣。
7.如權(quán)利要求1或2所述的三代像增強(qiáng)器的制作方法，其特征在于，所述光電陰極組件為砷化鎵光電陰極組件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種三代像增強(qiáng)器的制作方法，將各個(gè)工作室用惰性氣體置換空氣，當(dāng)各個(gè)工作室內(nèi)的大氣壓強(qiáng)不高于預(yù)定值后，進(jìn)行像增強(qiáng)器的生產(chǎn)加工。采用本發(fā)明所述的技術(shù)方案，不但可以提高生產(chǎn)效率，還可以大大提高產(chǎn)品合格率。
文檔編號(hào)H01J9/00GK101055825SQ200710098589
公開(kāi)日2007年10月17日 申請(qǐng)日期2007年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月20日
發(fā)明者張少輝, 賈欣志, 田金生, 辛福學(xué), 卡瑪良-俄迪科, 卡瑪良-謝爾蓋 申請(qǐng)人:吉林東亞夜視有限公司