專(zhuān)利名稱(chēng)：對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體集成電路光刻生產(chǎn)設(shè)備中的信號(hào)釆集與解調(diào)裝 置，且特別是有關(guān)于一種對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置。
背景技術(shù)：
在集成電路IC或其它微型器件的制造過(guò)程中，通過(guò)光刻裝置，將具有不同
掩模圖案的多層掩模在精確對(duì)準(zhǔn)下依次成像在涂覆有光刻膠的硅片上，例如半
導(dǎo)體硅片或LCD板。光刻裝置的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其主要功能是在套刻曝光前實(shí)現(xiàn)掩 模-硅片對(duì)準(zhǔn)，以滿(mǎn)足套刻精度的要求。
目前，光刻設(shè)備大多所采用的對(duì)準(zhǔn)裝置為光4冊(cè)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，如附圖1所示， 該光柵對(duì)準(zhǔn)裝置包括、照明系統(tǒng)l、支承掩模版3、掩模臺(tái)4、對(duì)準(zhǔn)光柵標(biāo)記2、 投影光學(xué)系統(tǒng)5、硅片6、硅片光柵標(biāo)記7、基底臺(tái)8、運(yùn)動(dòng)臺(tái)9、對(duì)準(zhǔn)光柵標(biāo)記 10、伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)11、對(duì)準(zhǔn)照明系統(tǒng)12、以及石圭片對(duì)準(zhǔn)采集與處理系統(tǒng)300。
照明系統(tǒng)1提供曝光光束；掩模臺(tái)4用于支承掩模版3;投影光學(xué)系統(tǒng)5用 于將掩模版3上的掩模圖案投影到硅片6上；基底臺(tái)8支撐硅片6;運(yùn)動(dòng)臺(tái)9驅(qū) 動(dòng)基底臺(tái)8x和y向直線往復(fù)移動(dòng)，運(yùn)動(dòng)臺(tái)9由伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)11和測(cè)量系 統(tǒng)IFx和IFy采集與控制；對(duì)準(zhǔn)照明系統(tǒng)12提供硅片對(duì)準(zhǔn)照明；硅片對(duì)準(zhǔn)采集 與處理系統(tǒng)300包括用于對(duì)準(zhǔn)光信號(hào)的采集與處理模塊301、于位置數(shù)據(jù)的采集 與處理模塊303、基于對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)和位置數(shù)據(jù)，確定對(duì)準(zhǔn)位置的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)處理 模塊302。
對(duì)準(zhǔn)掃描過(guò)程中，對(duì)準(zhǔn)照明系統(tǒng)12提供的多個(gè)分立波長(zhǎng)照明光束，經(jīng)傳輸 光纖照射到硅片光柵標(biāo)記7或基底臺(tái)光柵標(biāo)記IO上，發(fā)生衍射，衍射光攜帶有 關(guān)于對(duì)準(zhǔn)光柵標(biāo)記的結(jié)構(gòu)信息，經(jīng)對(duì)準(zhǔn)光學(xué)成像系統(tǒng)(圖未示)，在參考光柵前 表面上形成明暗相間的周期性光斑條紋。隨著運(yùn)動(dòng)臺(tái)的勻速直線移動(dòng)，帶動(dòng)硅 片光柵標(biāo)記7和基底臺(tái)光柵標(biāo)記IO—起做勻速運(yùn)動(dòng)，周期性光斑條紋將勻速掃過(guò)參考光柵，對(duì)準(zhǔn)光信號(hào)的采集與處理模塊301將纟采測(cè)到具有恒定周期的正弦 形式的信號(hào)曲線，結(jié)合位置數(shù)據(jù)的采集與處理303,經(jīng)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)處理模塊302， 可獲得隨位置做正弦形式變化的光強(qiáng)曲線，從而確定對(duì)準(zhǔn)位置。由于對(duì)準(zhǔn)光學(xué) 信號(hào)的強(qiáng)度微弱、波動(dòng)大，容易受工作環(huán)境干擾等特點(diǎn)，在對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集的過(guò) 程中，為了提高信號(hào)的穩(wěn)定性與抗干擾能力，通常采用光電信號(hào)的調(diào)制與解調(diào) 技術(shù)。在對(duì)準(zhǔn)照明光束端進(jìn)行相位調(diào)制，以獲得包含對(duì)準(zhǔn)信息的高頻載波信號(hào)； 在對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的采集端進(jìn)行相位解調(diào)，引入?yún)⒖夹盘?hào)作為解調(diào)信號(hào)，解調(diào)高頻載 波信號(hào)，提取包含其中的低頻對(duì)準(zhǔn)信號(hào)。
文獻(xiàn)l(輝光信號(hào)探測(cè)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，楊興平，程建瑞，電子工業(yè)專(zhuān)用設(shè)備，2006, 140: 7~12)公開(kāi)了一種光刻對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的釆集與解調(diào)技術(shù)，該技術(shù)釆用原調(diào)制 信號(hào)(Hinds板信號(hào))作為參考信號(hào)引入，實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的解調(diào)與采集過(guò)程。然 而，由于對(duì)準(zhǔn)信號(hào)和調(diào)制信號(hào)到達(dá)解調(diào)器所經(jīng)過(guò)的路徑不同，二者之間存在相 位差。相位差越大，解調(diào)后輸出信號(hào)的幅值就越小，精度也就越低。雖然在該 文獻(xiàn)中采用了可變相位調(diào)整的方法，不斷檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)和調(diào)制信號(hào)之間的相位 超前與滯后關(guān)系，以調(diào)整相位差達(dá)到小于某個(gè)設(shè)定值。但是，由于是動(dòng)態(tài)的調(diào) 整過(guò)程，使得在同樣前提下的兩次調(diào)整可能產(chǎn)生不同的結(jié)果，進(jìn)而影響對(duì)準(zhǔn)的 重復(fù)精度。另外，即便是二者相位差已經(jīng)調(diào)整到足夠小的地步(小于某個(gè)設(shè)定 值)，仍然會(huì)因存在相位差而影響最終的對(duì)準(zhǔn)重復(fù)精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的解調(diào)與采集裝置，以改善現(xiàn)有技術(shù) 的缺失。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，采集經(jīng)過(guò) 光信號(hào)調(diào)制器調(diào)制的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)。對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置包括光電傳感器、 前置放大器、可變?cè)鲆娣糯笃?、帶通濾波器、參考信號(hào)生成器、以及解調(diào)器。
光電傳感器將對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為電流信號(hào)；前置放大器電性連接光電傳 感器，將電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)；可變?cè)鲆娣糯笃麟娦赃B接前置放大器，將 電壓信號(hào)調(diào)整至設(shè)定幅值；帶通濾波器電性連接可變?cè)鲆娣糯笃?，濾除電壓信 號(hào)中的直流成分和干擾成分，參考信號(hào)生成器電性連接帶通濾波器，并從電壓信號(hào)中分離出參考信號(hào)；解調(diào)器電性連接帶通濾波器和參考信號(hào)生成器，用參 考信號(hào)對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，輸出一解調(diào)信號(hào)；低通濾波器電性連接解調(diào)器， 用于濾除解調(diào)器輸出的解調(diào)信號(hào)中的頻率為調(diào)制信號(hào)頻率的兩倍的成分。
本發(fā)明提供的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，從調(diào)制光強(qiáng)信號(hào)(對(duì)準(zhǔn)信號(hào)) 中分離出調(diào)制信號(hào)頻率成分。由于分離過(guò)程4吏調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生了固定的相位變化， 因此通過(guò)調(diào)整移相器參數(shù)可以使對(duì)準(zhǔn)信號(hào)和調(diào)制信號(hào)同相位。應(yīng)用此方法的對(duì) 準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置實(shí)現(xiàn)了光強(qiáng)信號(hào)采集和解調(diào)功能。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳 實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖l所示為目前的光柵對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的示意圖。 圖2所示為硅片對(duì)準(zhǔn)信號(hào)產(chǎn)生過(guò)程示意圖。
圖3所示為才艮據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置的結(jié)構(gòu)示 意圖。
圖4所示為4艮據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置的可變?cè)?益^L大器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5所示為本發(fā)明一實(shí)施例的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置的參考信號(hào)生 成器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6所示為本發(fā)明一實(shí)施例的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置的解調(diào)器輸出 波形和^(氐通濾波器輸出波形示意圖。
具體實(shí)施例方式
圖2所示為對(duì)準(zhǔn)信號(hào)產(chǎn)生過(guò)程示意圖。請(qǐng)參考圖2， 305為經(jīng)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)調(diào)制 器調(diào)制后的光信號(hào)照射到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上，經(jīng)成《象模塊產(chǎn)生的周期性光斑條紋。在 對(duì)準(zhǔn)掃描過(guò)程中，該周期性光斑條紋隨工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)而勻速掃過(guò)參考光柵306， 經(jīng)探測(cè)光纖307傳輸?shù)焦怆妭鞲衅魃?，獲得對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)308。在對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào) 308中，包含有高頻的調(diào)制信號(hào) 頻率成分(調(diào)制信號(hào)頻率)以及低頻的光柵 掃描頻率信息^ (即包絡(luò)線)。圖3所示為4艮據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置的結(jié)構(gòu)示 意圖。對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置310耦接對(duì)準(zhǔn)信號(hào)調(diào)制器320。對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信 號(hào)采集與解調(diào)裝置310主要包括由光信號(hào)調(diào)制器320、光電傳感器311、前置放 大器312、可變?cè)鲆娣糯笃?13組成的信號(hào)調(diào)制單元、帶通濾波器314、參考信 號(hào)生成器315、解調(diào)器316。更進(jìn)一步地還包括一低通濾波器317,用于提高后 續(xù)對(duì)準(zhǔn)工作精度。
光電傳感器311將對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為電流信號(hào)。前置放大器312電性連 接光電傳感器311,將電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)?？勺?cè)鲆娣糯笃?13電性連接 前置放大器312，將電壓信號(hào)調(diào)整至設(shè)定幅值。帶通濾波器314電性連接可變?cè)?益放大器313，濾除電壓信號(hào)中的濾除直流成分和其它干擾成分。參考信號(hào)生成 器315電性連接帶通濾波器314,并從電壓信號(hào)中分離出參考信號(hào)；解調(diào)器316 電性連接帶通濾波器314和參考信號(hào)生成器315,用參考信號(hào)對(duì)上述電壓信號(hào)進(jìn) 行解調(diào)，輸出一解調(diào)信號(hào)；低通濾波器317電性連接解調(diào)器316，濾除上述解調(diào) 器輸出的解調(diào)信號(hào)中的上述兩倍調(diào)制信號(hào)頻率成分。
在本實(shí)施例中，參考信號(hào)的頻率與調(diào)制信號(hào)頻率 相同。 在本實(shí)施例中，可變?cè)鲆娣糯笃?13包括可變?cè)鲆娣糯箅娐?131、檢測(cè)電 路3132、增益控制信號(hào)生成電路3133?？勺?cè)鲆娣糯箅娐?131電性連接前置 放大器312;檢測(cè)電路3132電性連接可變?cè)鲆娣糯箅娐?131，并且檢測(cè)電路3132 檢測(cè)電壓信號(hào)的有效值；增益控制信號(hào)生成電路3133電性連接可變?cè)鲆娣糯箅?路3131和檢測(cè)電路3132，生成增益控制信號(hào)，并調(diào)整電壓信號(hào)至設(shè)定幅值，如 圖4所示。
在本實(shí)施例中，帶通濾波器314采用中心頻率為調(diào)制信號(hào)^頻率的帶通濾 波電路。
在本實(shí)施例中，參考信號(hào)生成器315包含過(guò)零比較器321、帶通濾波器322、 移相器323。過(guò)零比較器321分離出電壓信號(hào)中的調(diào)制信號(hào)頻率，并輸出與調(diào)制 信號(hào)同頻的方波信號(hào)；帶通濾波器322,將濾除方波信號(hào)中的調(diào)制信號(hào)頻率成分, 并輸出與調(diào)制信號(hào)同頻的參考信號(hào)；移相器323根據(jù)過(guò)零比較器321和帶通濾 波器322對(duì)參考信號(hào)產(chǎn)生的相位影響，對(duì)參考信號(hào)進(jìn)行相位補(bǔ)償，如圖5所示。
本實(shí)施例中，調(diào)制信號(hào)表示為7/ =々sinOV + ~) + ^f (式1 )
對(duì)準(zhǔn)信號(hào)表示為
S = 4sin(<V + ^) + A (式2) 其中^/〉^"、 4>A、 "h s，通過(guò)光電傳感器311檢測(cè)到的電流信號(hào) 可表示為
i/ x 51 = Jw 4s sin(a^ +) sin(~ + ^ ) + XH 5S sin + )
"S- {C0S[(C>h + S > + ( + & )卜COS[( -Ws > + ( —^ )]}
2
+sin(fi^f + e ) + JSJBW sin(w^ + (9S) + 5"丑s (式3 )
從式3中可以看出光電傳感器311所檢測(cè)到的光強(qiáng)信號(hào)頻率成分包括
(fi>h+ s)、 (^/- s)、 ^和直流成分。
前置放大器312將光電傳感器311采集到的電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)?？?變?cè)鲆娣糯笃?13用于將電壓信號(hào)調(diào)整至設(shè)定幅值。
然后該電壓信號(hào)通過(guò)中心頻率為 (調(diào)制信號(hào)的頻率)的帶通濾波器314, 濾除^成分和直流成分，保留(《H-os)、 "h三種頻率成分，即 x S舒=4 Js sin(ft^ +) sin(fi^ + ^ ) +』w 5S sin(6^ + &)
=sin(， + & )(A 4 sin(6y + <9s) +々Bs )
w s- {cos[( H + s > + + ^)] - cos[( -<ys ;k + — &)]}
2
+ 4^ sin(G^ + (式4 )
由式4中可以看出，只有當(dāng)sin^y+4)二0時(shí)，經(jīng)過(guò)濾波后的信號(hào)的電壓為 0。參考信號(hào)生成器315可根據(jù)這個(gè)特點(diǎn)，從帶通濾波后的信號(hào)中，產(chǎn)生與對(duì)準(zhǔn) 信號(hào)同相位，且與調(diào)制信號(hào)頻率相同的參考信號(hào)i^4sin^V+^)，其中w, =wH 、 &=~。圖5示出參考信號(hào)生成器315的結(jié)構(gòu)示意圖。對(duì)于一定頻率的輸入信 號(hào)，過(guò)零比較器321和帶通濾波器322所引起的相位變化可認(rèn)為是恒定的。移 相器323用于補(bǔ)償比較器321和帶通濾波器322所引起的相位變化，即 i = ^sin(fiV + ^)，其中"《= 、&=~，最終使解調(diào)器輸入的兩信號(hào)相位相同。解調(diào)器316利用參考信號(hào)生成器產(chǎn)生的參考信號(hào)，對(duì)經(jīng)帶通濾波器314濾 波后的信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，即
4 5 (式5)
+ sin[W + + sin[(2fi^ , )" - & + )]
{cos + & c, —
由于參考信號(hào)的頻率取^= 、相位&=&,則式5可得
=4 4 A
-sin[(2fi^ + s 乂 + (26>H + ^ +)] (弋6 )
+ sin[(2^ - s ), + (2^ - & )〗 、式6 J
+ 2sin(ws"0s)}
-(cos[(2 y + ] - 0}
由式6可知，經(jīng)解調(diào)器316后的解調(diào)信號(hào)包含"s 、 2"ff 、 (2 + a) 、 (2 -四種頻率成分。通過(guò)模擬濾波器317,濾除對(duì)準(zhǔn)模擬信號(hào)中的2 、(2^+^)、 (2 -"s)成分和部分噪聲(因?yàn)?》"s，適當(dāng)配置濾波電路即可獲得"O，獲
得對(duì)準(zhǔn)信號(hào)"""si化"^)。
圖6示出了光電信號(hào)的形式圖，其中，信號(hào)331為解調(diào)器316輸出信號(hào)， 該信號(hào)包含％和2 頻率成分；信號(hào)332為經(jīng)過(guò)低通濾波器317后的輸出信號(hào)， 濾除了2 頻率成分，保留了^頻率成分，信號(hào)332即為所需的對(duì)準(zhǔn)頻率信號(hào)。
本發(fā)明提供了一種對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)疼置，該裝置由對(duì)準(zhǔn)信號(hào)(待 解調(diào)信號(hào))中分離出調(diào)制信號(hào)頻率成分，作為參考信號(hào)引入解調(diào)過(guò)程，從而實(shí) 現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的采集與調(diào)制功能。該裝置能夠避免調(diào)制信號(hào)與對(duì)準(zhǔn)信號(hào)(待解調(diào) 信號(hào))之間存在相位差，實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的解調(diào)過(guò)程，提高對(duì)準(zhǔn)信號(hào)(經(jīng)低通濾 波后)的精度。同時(shí)，該解調(diào)裝置還能簡(jiǎn)化對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集系統(tǒng)，提高對(duì)準(zhǔn)信號(hào) 的釆集效率。
本發(fā)明中所述具體實(shí)施案例僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施案例而已，并非用來(lái)限 定本發(fā)明的實(shí)施范圍。即凡依本發(fā)明申請(qǐng)專(zhuān)利范圍的內(nèi)容所作的等效變化與修 飾，都應(yīng)作為本發(fā)明的技術(shù)范疇。
權(quán)利要求
1、一種對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，包括信號(hào)調(diào)制單元，用于將對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)調(diào)制后轉(zhuǎn)換為設(shè)定幅值的電壓信號(hào)；帶通濾波器，濾除所述電壓信號(hào)中的直流成分和干擾成分；所述電壓信號(hào)一部分進(jìn)入?yún)⒖夹盘?hào)生成器后生成參考信號(hào)，另一部分進(jìn)入解調(diào)器；所述解調(diào)器用所述參考信號(hào)對(duì)所述電壓信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，輸出解調(diào)信號(hào)。
2、 如權(quán)利要求l所述的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，所述信號(hào) 調(diào)制單元包括光信號(hào)調(diào)制器對(duì)光強(qiáng)信號(hào)幅值進(jìn)行調(diào)制；光電傳感器，用于將 對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為電流信號(hào)；前置放大器將電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)；可變 增益放大器將電壓信號(hào)調(diào)整至設(shè)定幅值。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，上述 可變?cè)鲆娣糯笃靼勺冊(cè)鲆娣糯箅娐?，與所述前置放大器相連接；檢測(cè)電路，與所述可變?cè)鲆娣糯箅娐废噙B接，用于檢測(cè)所述電壓信號(hào)的有 效值；增益控制信號(hào)生成電路，與所述可變?cè)鲆娣糯箅娐泛蜋z測(cè)電路相連接，生 成增益控制信號(hào)，調(diào)整所述電壓信號(hào)至所述設(shè)定幅值。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，所述 帶通濾波器釆用中心頻率為調(diào)制信號(hào)頻率的帶通濾波電路。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，所述 參考信號(hào)的頻率與所述進(jìn)入解調(diào)器的電壓信號(hào)頻率相同。
6、 如權(quán)利要求l所述的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，所述解調(diào) 信號(hào)包括兩倍調(diào)制信號(hào)頻率成分和光^^掃描頻率成分。
7、 如權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，進(jìn)一步地 包括一低通濾波器，用以濾除所述解調(diào)信號(hào)中的兩倍調(diào)制信號(hào)頻率成分。
8、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，所述參 考信號(hào)生成器包含過(guò)零比較器，分離出所述電壓信號(hào)中的調(diào)制信號(hào)頻率，并輸出與調(diào)制信號(hào) 同頻的方波信號(hào)；帶通濾波器，用以濾除所述方波信號(hào)中的非調(diào)制信號(hào)頻率成分，并輸出與調(diào)制信號(hào)同頻的上述參考信號(hào)；以及移相器，根據(jù)所述過(guò)零比較器和帶通濾波器對(duì)所述參考信號(hào)產(chǎn)生的相位影 響，對(duì)所述參考信號(hào)進(jìn)行相位補(bǔ)償。
9、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，其特征在于，所述解 調(diào)器將所述電壓信號(hào)和參考信號(hào)進(jìn)行乘法運(yùn)算，用于分離所述調(diào)制電壓信號(hào)中 的調(diào)制信號(hào)頻率和光柵掃描頻率。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置，采集經(jīng)過(guò)光信號(hào)調(diào)制器調(diào)制的對(duì)準(zhǔn)光強(qiáng)信號(hào)。對(duì)準(zhǔn)信號(hào)采集與解調(diào)裝置包括光電傳感器、前置放大器、可變?cè)鲆娣糯笃?、帶通濾波器、參考信號(hào)生成器、以及解調(diào)器。該裝置能夠避免調(diào)制信號(hào)與對(duì)準(zhǔn)信號(hào)之間存在相位差，實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的解調(diào)過(guò)程，提高對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的精度。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101482704SQ20081020435
公開(kāi)日2009年7月15日 申請(qǐng)日期2008年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月10日
發(fā)明者強(qiáng) 劉, 唐文力, 李運(yùn)鋒, 王海江, 鵬 程, 陳振飛, 韋學(xué)志 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司