專利名稱：等梯度加速管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種等梯度加速管，特別涉及離子注入機中的等梯度加速管，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對各半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求，作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一的離子注入機也在束流指標(biāo)、束能量純度、注入深度控制、注入均勻性與生產(chǎn)率等方面受到了非常嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。
為了獲得更高的能量，離子就需要在加速管中的電場下進行加速以得到預(yù)定的能量。在以前傳統(tǒng)的離子注入機設(shè)備中，大都采用雙單元、單間隙式加速管，此類加速管雖然結(jié)構(gòu)簡單，聚焦能力強，但是由于電場較集中，極易出現(xiàn)打火現(xiàn)象，引起設(shè)備損壞；一些新近研制的新型等梯度加速管則采用線性設(shè)計，由一系列被介質(zhì)隔離的電極組成，電極上的負電壓依次增大，這種加速管電場分布均勻、不易擊穿，但是卻結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。
同時，離子進入加速管就開始加速，電極間的電壓差將疊加在一起，總電壓越高，離子的速度越大，能量就越大，因而對于能量很高的加速管而言，還將面對絕緣環(huán)的材料及耐壓要求，真空密封性能，電極的材料及結(jié)構(gòu)形式，抑制電壓的設(shè)計等多方面的更高要求。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型即是針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的現(xiàn)狀，根據(jù)大角度離子注入機的特殊的高耐壓要求而提出的一種電場分布均勻的等梯度加速管。
本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)一種等梯度加速管包括一低壓法蘭、一低壓電極、六個卡圈、一抑制電極、四個中間電極、五個絕緣環(huán)、一高壓電極、一高壓法蘭、八根拉桿、六個均壓環(huán)、一接線桿，其特征在于所述的低壓法蘭、低壓電極、中間電極、絕緣環(huán)以及高壓電極通過拉桿連接；所述的抑制電極，設(shè)置于低壓法蘭端；所述的絕緣環(huán)設(shè)置于低壓電極與中間電極之間，相鄰中間電極之間，中間電極和高壓電極之間，采用密封圈真空密封；所述的均壓環(huán)為圓環(huán)形金屬管，設(shè)置固定于低壓電極、中間電極以及高壓電極的外緣，卡圈固定。
本實用新型具有如下顯著優(yōu)點1.采用等梯度工作方式，使電場更加均勻；2.結(jié)構(gòu)為可拆卸方式，安裝及維修性能好。


圖1為本實用新型的加速管的主視圖。
圖2為本實用新型的加速管的右視圖。
具體實施例
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步介紹，但不作為對本實用新型的限定。
參見圖1和圖2，一種等梯度加速管包括一低壓法蘭1、一低壓電極2、六個卡圈3、一抑制電極4、四個中間電極5、五個絕緣環(huán)6、一高壓電極7、一高壓法蘭8、八根拉桿9、六個均壓環(huán)10、一接線桿11，其中低壓法蘭1為低電位連接法蘭，低壓電極1、中間電極5以及高壓電極8間均設(shè)置有絕緣環(huán)6，并采用密封圈真空密封方式，低壓法蘭1、低壓電極2、中間電極5、絕緣環(huán)6以及高壓電極8利用八根平行拉桿9連接，構(gòu)成一個整體，并且保證了整個裝置的真空密封性能。在低壓電極1、中間電極5和高壓電極8的外邊緣，均固定有均壓環(huán)10，使得電場更加均勻，均壓環(huán)10為不銹鋼或者其他金屬材料制成的圓形環(huán)，由卡圈3連接固定，保證了連接的光滑，抑制電極4絕緣固定在低壓法蘭1上，避免電子反加速，接線桿11是抑制電極4的陶瓷封接引線，抑制電壓通過封接引線加在抑制電極上。
低壓電極1處于低電位，高壓電極8處于高電位，與中間電極5一起，在均壓電阻分布均壓的作用下，形成電場的等梯度分布。在離子光學(xué)上也可以作為由入口和出口兩個園孔膜片透鏡，加上中間均勻電場區(qū)所組成的一個透鏡系統(tǒng)來處理。等梯度加速管電極間的電場是均勻電場，離子束在此電場中加速，同時獲得加速能量。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本實用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種等梯度加速管包括一低壓法蘭、一低壓電極、六個卡圈、一抑制電極、四個中間電極、五個絕緣環(huán)、一高壓電極、一高壓法蘭、八根拉桿、六個均壓環(huán)、一接線桿，其特征在于所述的低壓法蘭、低壓電極、中間電極、絕緣環(huán)以及高壓電極通過拉桿連接；所述的抑制電極，設(shè)置于低壓法蘭端；所述的絕緣環(huán)設(shè)置于低壓電極與中間電極之間，相鄰中間電極之間，中間電極和高壓電極之間，采用密封圈真空密封；所述的均壓環(huán)為圓環(huán)形金屬管，設(shè)置固定于低壓電極、中間電極以及高壓電極的外緣。
專利摘要本實用新型公開了一種等梯度加速管，該加速管包括一低壓法蘭、一低壓電極、六個卡圈、一抑制電極、四個中間電極、五個絕緣環(huán)、一高壓電極、一高壓法蘭、八根拉桿、六個均壓環(huán)、一接線桿，所述的低壓法蘭、低壓電極、中間電極、絕緣環(huán)以及高壓電極通過拉桿連接；所述的抑制電極，設(shè)置于低壓法蘭端；所述的絕緣環(huán)設(shè)置于低壓電極與中間電極之間，相鄰中間電極之間，中間電極和高壓電極之間，采用密封圈真空密封；所述的均壓環(huán)為圓環(huán)形金屬管，設(shè)置固定于低壓電極、中間電極以及高壓電極的外緣。本實用新型采用等梯度工作方式，使電場更加均勻，結(jié)構(gòu)為可拆卸方式，安裝及維修性能好。
文檔編號H01J37/02GK2779603SQ20052001127
公開日2006年5月10日 申請日期2005年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月31日
發(fā)明者郭建輝 申請人:北京中科信電子裝備有限公司