專利名稱：Pdp面板的介質(zhì)檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，具體講，所涉及的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，為檢查形成于PDP面板的上板玻璃上的介質(zhì)的均一性和質(zhì)量，通過利用測試靜電電容的非接觸式靜電電容接近傳感器探頭進行無損檢查，可以檢查廣泛區(qū)域的介質(zhì)的凃敷狀態(tài)和質(zhì)量。
背景技術(shù)：
近年使用的圖像顯示元件有陰極射線管(CRT)和平板顯示元件的液晶顯示元件(LCD)、等離子顯示面板(PDP)等。
這些圖像顯示元件中，陰極射線管在畫質(zhì)和亮度方面和其他元件比，具有出類拔萃的優(yōu)良性能。但是，因體積大且重，具有不適合用于大型屏幕的缺點。
另一方面，平板顯示元件和陰極射線管比，具有體積和重量都非常小的優(yōu)點，所以其應(yīng)用有逐漸擴大的趨勢，作為下一代顯示元件，其研究活動在頻繁展開。
一般，PDP(Plasma display Panel)利用上板玻璃和下板玻璃以及它們之間的隔板，向密閉的玻璃間送入Ne+Ar、Ne+Xe等氣體，通過兩極和陰極的電極施加電壓，使氖光發(fā)光，所以被稱為作為顯示光使用的電子顯示裝置。
因此，等離子顯示器將對面的上板玻璃和下板玻璃的縱圖形電極和橫圖形電極間構(gòu)成的交叉點作為放電單元，通過使該放電單元導(dǎo)通/關(guān)斷，來顯示各種文字和圖形等。
另外，PDP是發(fā)光型的，可以顯示鮮明的大型畫面，所以在FA(工場自動化)方面被廣泛使用，但現(xiàn)在隨著該顯示裝置的小型輕量化、高性能化，同時又被廣泛應(yīng)用到個人計算機等OA(辦公自動化)方面。特別是，PDP作為大型顯示裝置面板，不僅顯示質(zhì)量高，而且響應(yīng)速度快，所以被應(yīng)用于壁掛式TV上，需求激增。
這種PDP的構(gòu)成是，在形成于上板玻璃和下板玻璃的電極圖形的交叉點，利用由等離子產(chǎn)生的放電實現(xiàn)發(fā)光，所以形成于上板玻璃和下板玻璃的電極圖形的電氣特性決定了成品率。
圖1表示形成于普通PDP的上板玻璃和下板玻璃的電極圖形，(A)是形成于上板玻璃的電極圖形，(B)是形成于下板玻璃的電極圖形，圖2是說明普通PDP面板的單元結(jié)構(gòu)的截面圖。
如這些附圖所示，在上板玻璃10和下板玻璃20上形成電極圖形12、22后，在上板玻璃10的電極圖形12的透明電極上形成總線電極14，從而形成第1介質(zhì)層16和保護膜MgO層18。在下板玻璃20的地址電極22上形成第2介質(zhì)層24后，形成用于區(qū)分單元的分隔壁26，向分隔壁26內(nèi)凃敷熒光體28及密封材料30。
這樣，形成PDP的上板10和下板20后，使總線電極14和地址電極22相互垂直交叉狀粘在一起，然后進行排氣和封入氣體，完成PDP面板。
之后，測試PDP面板的各種特性后，向上板的總線電極施加電源，在使形成一定量的等離子的狀態(tài)下，通過地址電極選擇適合單元，所選單元中的等離子被激活，熒光體開始發(fā)光，即可以作為顯示裝置使用。
產(chǎn)生這種等離子時，為使和電荷的累積及放出相關(guān)的特性隨介質(zhì)特性而變化，介質(zhì)必須均勻形成于PDP面板上。
因此，為檢查介質(zhì)的形成狀態(tài)，如圖3所示，在形成透明電極12和總線電極14的上板玻璃10的前面形成介質(zhì)42。
然后，在上板面板40的多個位置上形成掩模后，進行蝕刻，形成多個試樣槽45。
形成這種試樣槽45后，通過利用這些試樣槽45測試介質(zhì)42的厚度，來判斷介質(zhì)42是否均勻形成于上板面板40上。
但是，這種方法，作為試樣檢查形成40～50個上板后，形成用于檢查各個介質(zhì)的試樣槽，形成有試樣槽的產(chǎn)品在檢查后是不能使用的。過去，采用這種蝕刻形成于上板的介質(zhì)，形成試樣槽來測試介質(zhì)厚度的物理性破壞檢查方法，所以檢查介質(zhì)后的產(chǎn)品不能使用，因此和全數(shù)檢查比，具有成品率低的問題。
在上板上形成試樣槽后，為了僅測試試樣槽的厚度，具有相同厚度時，介質(zhì)的材料不均一，有不能測試可變介電常數(shù)的問題。
較寬的上板中，在任意位置形成多個試樣槽，為判斷上板整體，具有必須用局部數(shù)據(jù)判斷整體的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，為檢查形成于上板玻璃的介質(zhì)的均一性和質(zhì)量，通過用測試靜電電容的非接觸探頭進行無損檢查，可以檢查廣泛區(qū)域的介質(zhì)的凃敷狀態(tài)和質(zhì)量。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種PDP面板介質(zhì)檢查裝置，用于檢查PDP面板的電氣特性，其特征在于，包括第1及第2短路塊，向所述PDP面板的所有總線電極提供基準電壓；靜電電容接近傳感器探頭，運用非接觸方式邊掃描形成于所述總線電極上的介質(zhì)表面，邊根據(jù)所述介質(zhì)厚度和介電常數(shù)的變化，用電壓值輸出與所述總線電極之間的靜電電容的變化；和控制單元，不僅控制所述靜電電容接近傳感器探頭，還根據(jù)所述靜電電容接近傳感器探頭的輸出電壓判斷所述介質(zhì)的狀態(tài)。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，為檢查形成于PDP面板的上板玻璃上的介質(zhì)的均一性和質(zhì)量，通過利用測試靜電電容的非接觸式靜電電容接近傳感器探頭進行無損檢查，可以檢查廣泛區(qū)域的介質(zhì)的凃敷狀態(tài)和質(zhì)量。
另外，因為是采用檢查靜電電容變化的無損檢查方法，所以進行介質(zhì)檢查后，面板還可以使用，提高了成品率。
通過全數(shù)檢查，來檢查所有面板的缺陷，從而提高產(chǎn)品可靠性。
此外，為檢查面板全面的介電常數(shù)，不僅是局部厚度，還可以檢查因介質(zhì)材料的不均一產(chǎn)生的介電常數(shù)的變化。
另一方面，本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置中，所述靜電電容接近傳感器探頭的組成包括交流電源，供給交流電；傳感器電極，并聯(lián)連接所述交流電源，和所述總線電極一起形成電容；放大器，并聯(lián)連接所述傳感器電極，對根據(jù)形成于所述總線電極上的所述介質(zhì)的介電常數(shù)可以變化的電壓，進行放大并產(chǎn)生輸出電壓；保護屏蔽環(huán)，連接所述放大器的輸出端，配置在所述傳感器電極周圍，屏蔽所述傳感器電極；和空氣恒壓墊，在所述面板對面的底部形成空氣噴嘴。
具有這種構(gòu)成的本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，向PDP面板的所有總線電極施加基準電壓后，通過靜電電容接近傳感器探頭邊掃描形成于PDP面板上的介質(zhì)表面，邊根據(jù)在所有總線電極和靜電電容接近傳感器探頭電極之間發(fā)生的靜電電容的變化來測試介質(zhì)的特性，從而不僅可以檢查介質(zhì)的厚度分布，還可以檢查介質(zhì)材料的均一性等。


圖1表示形成于普通PDP的上板玻璃和下板玻璃的電極圖形。
圖2是說明普通PDP面板的單元結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖3是表示為利用現(xiàn)有技術(shù)檢查PDP面板的介質(zhì)，插入了虛擬圖形時的狀態(tài)。
圖4是簡略表示本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置的方框構(gòu)成圖。
圖5表示本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置的探頭結(jié)構(gòu)。
圖6表示利用本發(fā)明的PDP面板介質(zhì)檢查裝置的測試狀態(tài)。
實施方式以下，參照

本發(fā)明的最佳實施方式。實施方式并不限定本發(fā)明的權(quán)利范圍，只不過是作為例子提出，和現(xiàn)有構(gòu)成相同的部分使用相同標號和名稱。
圖4是簡略表示本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置的方框構(gòu)成圖，圖5表示本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置的探頭結(jié)構(gòu)。
如這些附圖所示，用于檢查PDP面板的電氣特性的本發(fā)明的介質(zhì)檢查裝置，具有向PDP面板40的所有總線電極14供給基準電壓的第1短路塊50和第2短路塊55。本發(fā)明的介質(zhì)檢查裝置的組成還包括靜電電容接近傳感器探頭60，運用非接觸方式邊掃描形成于總線電極14上的介質(zhì)42的表面，邊根據(jù)介質(zhì)42的介電常數(shù)的變化，以輸出電壓值Vout表示與總線電極14之間的靜電電容的變化；控制單元90，不僅控制所述靜電電容接近傳感器探頭60，還根據(jù)靜電電容接近傳感器探頭60的輸出電壓Vout判斷介質(zhì)42的狀態(tài)；輸入單元70，由觸摸屏和鍵盤或鼠標等組成，向控制單元90輸入命令；顯示單元80，由TFT-LCD等組成，根據(jù)所述控制單元90的控制，顯示檢查裝置的工作狀態(tài)等；和總線網(wǎng)絡(luò)100，提供控制單元90和外部裝置之間的接口。
靜電電容接近傳感器探頭60的組成包括交流電源61，供給交流電；傳感器電極63，并聯(lián)連接交流電源61，和總線電極14一起形成電容；放大器62，并聯(lián)連接傳感器電極63，對隨著形成于總線電極14上的介質(zhì)的介電常數(shù)而變化的電壓，進行放大并產(chǎn)生輸出電壓Vout；保護屏蔽環(huán)64，連接放大器62的輸出端，配置在傳感器電極63周圍，屏蔽傳感器電極63；和空氣恒壓墊65，在面板40對面的底部形成空氣噴嘴66。
靜電電容接近傳感器探頭60的輸出電壓Vout與總線電極14和傳感器電極63之間的電容成反比，所以輸出電壓Vout與d/(εA)成正比關(guān)系。
此時，“d”是總線電極14和傳感器電極63之間的距離，“ε”是介質(zhì)42的介電常數(shù)，“A”表示傳感器電極63的有效面積。
因此，在通過空氣恒壓墊65產(chǎn)生的浮起狀態(tài)下，將靜電電容接近傳感器探頭60以非接觸方式并且和總線電極14對置的狀態(tài)配置在已接地的目標面上，即有介質(zhì)42的總線電極14上，然后向傳感器電極63施加交流電源61，使傳感器電極63產(chǎn)生電壓。此時的電壓與傳感器電極63和總線電極14的間隔距離d成正比關(guān)系，與介質(zhì)42的介電常數(shù)ε和傳感器電極63的面積A成反比關(guān)系。所以，輸出通過放大器62被放大的輸出電壓Vout。
但是，在檢查裝置的傳感器電極63的有效面積一定，通過保護屏蔽環(huán)64屏蔽傳感器電極63時，輸出電壓Vout取決于傳感器電極63和總線電極14間的間隔距離d和介質(zhì)42的介電常數(shù)ε，所以可以利用形成于PDP面板的介質(zhì)42的每單位面積的靜電電容值，檢查目標介質(zhì)部位的充電及放電特性。
圖6表示利用本發(fā)明的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置進行測試時的狀態(tài)。
如該圖所示，首先，為了向PDP面板40兩側(cè)的總線電極14施加接地電壓，向總線電極14的X端連接第1短路塊50，向總線電極14的Y端連接第2短路塊55后，施加接地電壓。
然后，用有效面積大的傳感器電極63以非接觸方式邊接觸通過靜電電容接近傳感器探頭60被施加了接地電壓的總線電極14圖形的上部，邊測試因介電常數(shù)ε的變化而產(chǎn)生的電壓的變化，檢查介質(zhì)42的特性。因此，不僅能對所有面板40進行全數(shù)檢查，還能準確檢測出有異常的部分。
另一方面，本實施方式中，如圖5所示，所例舉的該構(gòu)成形式是，向1個測試探頭模塊安裝1個傳感器電極63，和與其對應(yīng)的1個保護屏蔽環(huán)64，當(dāng)然用其他形式也是可以實施的。例如，向1個測試探頭模塊安裝多個傳感器電極63，和與其分別對應(yīng)的多個保護屏蔽環(huán)64，從而可以提高探頭模塊的掃描分辨率，減少檢查面板所需時間。
權(quán)利要求
1.一種PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，用于檢查PDP面板的電氣特性，其特征在于，該介質(zhì)檢查裝置包括第1及第2短路塊，向所述PDP面板的所有總線電極提供基準電壓；靜電電容接近傳感器探頭，運用非接觸方式邊掃描所述總線電極上的介質(zhì)表面，邊根據(jù)所述介質(zhì)厚度和介電常數(shù)的變化，用電壓值輸出與所述總線電極之間的靜電電容的變化；和控制單元，不僅控制所述靜電電容接近傳感器探頭，還根據(jù)所述靜電電容接近傳感器探頭的輸出電壓判斷所述介質(zhì)的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，其特征在于，所述靜電電容接近傳感器探頭包括交流電源，供給交流電；傳感器電極，并聯(lián)連接所述交流電源，和所述總線電極一起形成電容；放大器，并聯(lián)連接所述傳感器電極，對隨著所述總線電極上的所述介質(zhì)的介電常數(shù)而變化的電壓，進行放大并產(chǎn)生輸出電壓；保護屏蔽環(huán)，連接所述放大器的輸出端，配置在所述傳感器電極周圍，屏蔽所述傳感器電極；和空氣恒壓墊，在其面對所述面板的底部有空氣噴嘴。
全文摘要
本發(fā)明提供一種PDP面板的介質(zhì)檢查裝置，檢查形成于PDP面板的上板玻璃上的介質(zhì)的均一性和質(zhì)量，其通過利用測試靜電電容的非接觸式靜電電容接近傳感器探頭進行無損檢查，可以檢查廣泛區(qū)域的介質(zhì)的涂敷狀態(tài)和質(zhì)量，且因是無損檢查，檢查后的產(chǎn)品還可以使用，所以提高了成品率，另外通過全數(shù)檢查，提高了產(chǎn)品可靠性。該檢查裝置包括第1及第2短路塊，向PDP面板的所有總線電極提供基準電壓；靜電電容接近傳感器探頭，運用非接觸方式邊掃描總線電極上的介質(zhì)表面，邊根據(jù)介質(zhì)厚度和介電常數(shù)的變化，用電壓值輸出與總線電極之間的靜電電容的變化；和控制單元，控制傳感器探頭，并根據(jù)其輸出電壓判斷介質(zhì)的狀態(tài)。
文檔編號H01J11/38GK1485612SQ0310318
公開日2004年3月31日 申請日期2003年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月25日
發(fā)明者
殷, 殷琸 申請人:微檢測公司