專利名稱：液滴排出頭、其擦拭方法和用其制造諸裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及由噴墨頭代表的液滴排出頭、其擦拭方法和具有其的電子機(jī)器及使用上述液滴排出頭的液晶顯示裝置的制造方法，有機(jī)EL裝置的制造方法，電子放射裝置的制造方法，PDP裝置的制造方法，電泳顯示裝置的制造方法，濾色器的制造方法，有機(jī)EL的制造方法，襯墊形成方法，金屬配線形成方法，透鏡形成方法，保護(hù)膜形成方法和光擴(kuò)散體形成方法的發(fā)明。
背景技術(shù)：
在被過去使用的打印機(jī)等的噴墨頭(液滴排出頭)，伴隨液滴的排出，有拉線地排出的墨液附著在墨噴嘴的周圍的情形，構(gòu)成為墨滴彎曲及排出不良的原因。因此，在使用粘性特別高的墨液的噴墨頭，要定期地擦拭其噴嘴形成面。
噴墨頭具有，組合墨液室和壓電元件等的泵部，和重疊在泵部的液滴排出面地粘接的不銹鋼制的噴嘴形成板，在該噴嘴形成板形成多個(gè)噴嘴(噴嘴列)。從而在擦拭時(shí)，是對(duì)于該噴嘴形成板的表面來進(jìn)行。
擦拭通常用橡膠制的刮刷板，以使其觸壓在噴嘴形成面的狀態(tài)，從噴嘴形成面的長(zhǎng)邊方向的一端部向另一端作相對(duì)地移動(dòng)，將附著在其上的墨液從噴嘴形成面擦拭。
然而，液滴排出頭由于從其噴嘴列能夠高精度地并且有選擇地排出微小的液滴，因而在液晶顯示裝置及有機(jī)EL顯示裝置等的濾色器的制造中可以應(yīng)用的同時(shí)，也期待向各種電子儀器及光學(xué)儀器等的制造裝置的應(yīng)用。
考慮到這樣的應(yīng)用技術(shù)時(shí)，產(chǎn)生墨液那樣的粘度比較低的液體不用說，就象樹脂那樣的粘度比較高的液體也有必要作為排出對(duì)象。因而，即使對(duì)于擦拭也要求，代之于應(yīng)擦拭高粘度的液體的刮刷板，使用含浸活性溶劑的布等，而作強(qiáng)力按壓擦拭。
在這種情形，按原樣使用以往的噴墨頭(液滴排出頭)時(shí)，不僅產(chǎn)生頭自身的耐久性問題，而且在擦拭時(shí)，產(chǎn)生噴嘴形成板(實(shí)際上包含構(gòu)成泵部的壓力室的硅內(nèi)腔的組裝體)的端部掛扯擦拭用的布等的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是以提供下述方法為課題能夠有效地防止對(duì)擦拭部件的掛扯及堵塞的液滴排出頭、其擦拭方法和具有其的電子機(jī)器和使用上述液滴排出頭的液晶顯示裝置的制造方法，有機(jī)EL裝置的制造方法，電子放射裝置的制造方法，PDP裝置的制造方法，電泳顯示裝置的制造方法，濾色器的制造方法，有機(jī)EL的制造方法，襯墊形成方法，金屬配線形成方法，透鏡形成方法，保護(hù)膜形成方法和光擴(kuò)散體形成方法。
本發(fā)明的液滴排出頭，具有液體導(dǎo)入部，和連接液體導(dǎo)入部的泵部，和重疊設(shè)置在泵部而形成噴嘴口的噴嘴形成板，其特征在于，所述噴嘴形成板從液滴排出側(cè)看形成為略方形，在沿著所述噴嘴形成板的至少長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的至少一方，鑄型樹脂。
由該構(gòu)成，沿著噴嘴形成板的至少長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的至少一側(cè)，由于通過樹脂作鑄型，在液滴排出頭的擦拭時(shí)，能夠有效地防止在其使用的刮刷板的磨耗及擦拭用的布等掛扯擦拭用具。
另外，作為液滴排出頭具有，對(duì)壓電元件施加電壓利用其變形，排出液滴的方式，及通過加熱器瞬時(shí)加熱液滴利用其蒸發(fā)(體積膨脹)排出液滴的方式等，但哪種方法都可以。
這時(shí)，噴嘴形成板，沿著其長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的端部在泵部的內(nèi)側(cè)形成，樹脂在沿著泵部的長(zhǎng)邊方向的周緣部和沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部之間，于形成的階梯部被鑄型是理想的。
由該構(gòu)成，樹脂跨過沿著泵部的長(zhǎng)邊方向的周緣部和沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部被鑄型，因而，鑄型樹脂的附著強(qiáng)度增大，能夠有效地防止剝離等。
這時(shí)，樹脂從噴嘴形成板的表面稍微突出地被鑄型是理想的。
由該構(gòu)成，能夠更加有效地防止擦拭時(shí)的擦拭用布等的掛扯。另外，在液滴排出頭的裝入作業(yè)等對(duì)其單獨(dú)處理時(shí)，能夠發(fā)揮作為使鑄型樹脂保護(hù)噴嘴(噴嘴列)的保護(hù)裝置的功能。
這時(shí)噴嘴形成板是在液滴排出后通過擦拭具進(jìn)行擦拭處理的構(gòu)件，在沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部之中最初接觸擦拭具的一側(cè)的側(cè)面部，鑄型樹脂是理想的。
由該構(gòu)成，由于噴嘴形成板之中容易掛扯與擦拭具最初接觸的部分，通過使在其部分的掛扯鑄型能夠提供防患于未然的液滴排出頭。
這時(shí)，在沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩側(cè)面部，鑄型樹脂是理想的。
由該構(gòu)成，由于在結(jié)束擦拭具與噴嘴形成板的接觸的部分也作鑄型，能夠提供防患于未然的，由噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩側(cè)邊的掛扯的液滴排出頭。
本發(fā)明的另外的液滴排出頭，具有液體導(dǎo)入部，和連接液體導(dǎo)入部的泵部，和重疊設(shè)置在泵部而形成噴嘴口的噴嘴形成板，其特征在于，噴嘴形成板從液滴排出側(cè)看形成為略方形，沿著噴嘴形成板的至少長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的至少一方被倒角。
由該構(gòu)成，由于沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的周緣部的至少一方被倒角，因而在液滴排出頭的擦拭時(shí)，能夠有效地防止在其使用的刮刷板的磨耗及擦拭用的布等掛扯擦拭用具。
這時(shí)，噴嘴形成板是在液滴排出后通過擦拭具作擦拭處理的構(gòu)件，沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的周緣部之中最初與擦拭具接觸側(cè)的周緣部被倒角是理想的。
由該構(gòu)成，由于噴嘴形成板之中，最初與擦拭具接觸部分容易掛扯，能夠提供將在該部分的掛扯通過鑄型能患于未然的液滴排出頭。
這時(shí)沿著噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩周緣部被倒角是理想的。
由該構(gòu)成，由于即使在擦拭具結(jié)束與噴嘴形成板的接觸部分也被鑄型，能夠提供防患于未然的，由噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩側(cè)邊的掛扯的液滴排出頭。
這時(shí)，噴嘴形成板構(gòu)成為含有構(gòu)成泵部的壓力室的內(nèi)腔是理想的。
由該構(gòu)成，在使噴嘴形成板與內(nèi)腔一起接合在泵部側(cè)的組裝形態(tài)的液滴排出頭的時(shí)候，進(jìn)行包括內(nèi)腔的樹脂鑄型是合理的。
本發(fā)明的液滴排出頭的擦拭方法是上述本發(fā)明的液滴排出頭的擦拭方法，其特征在于，在噴嘴形成板的表面使擦拭片接觸，使擦拭片在液滴排出頭對(duì)于液滴排出對(duì)象物相對(duì)地掃描的方向相對(duì)地移動(dòng)，進(jìn)行擦拭噴嘴形成板的表面。
由該構(gòu)成，由擦拭片的表面全區(qū)域擦拭噴嘴形成板，能夠高效率地使用擦拭片。
本發(fā)明的電子機(jī)器，其特征在于，具有所述的本發(fā)明的液滴排出頭，和擦拭液滴排出頭的噴嘴形成板的表面的刮刷裝置。
另外，在這里的所謂電子機(jī)器中，是搭載以打印機(jī)為代表的液滴排出頭(噴墨頭)的各種電子機(jī)器，當(dāng)然在液滴排出頭可以適用的，例如除液晶、有機(jī)EL、電子放射(FED)、PDP、電泳(E墨)等的顯示裝置的元件制造裝置以外，還含有各種的電子儀器及光學(xué)儀器等的制造裝置。即，該電子儀器意味著，通過液滴排出頭，求得使液體及微小的小囊等打點(diǎn)狀地排出的各種裝置。
由該構(gòu)成，通過刮刷裝置，由于能夠適當(dāng)?shù)夭潦靡旱闻懦鲱^的噴嘴形成板的表面，因而即使在使用粘性特別高的排出對(duì)象液時(shí)，也能夠有效地防止液滴的彎曲及排出不良。
這時(shí)，刮刷裝置具有，接觸噴嘴形成板的表面，擦拭其的擦拭片，和卷裝擦拭片的擦拭滾輪，和使液滴排出頭和擦拭滾輪在擦拭方向相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置是理想的。
由該構(gòu)成，能夠迅速且高效率地擦拭附著在噴嘴形成板的表面的排出對(duì)象液，另外，在擦拭片含浸溶劑是更理想的。
這時(shí)，由移動(dòng)裝置帶來的液滴排出頭的相對(duì)的移動(dòng)方向，是液滴排出頭對(duì)于液滴排出對(duì)象物相對(duì)的掃描方向是理想的。
由該構(gòu)成，由擦拭片的表面全區(qū)域擦拭噴嘴形成板，能夠高效率地使用擦拭片。
這時(shí)，擦拭滾輪由柔軟材料構(gòu)成是理想的。
由該構(gòu)成，將液滴排出頭對(duì)于擦拭片能夠充分按壓進(jìn)行擦拭動(dòng)作，能夠可靠地擦拭排出對(duì)象液。
這時(shí)，擦拭滾輪對(duì)于擦拭方向的相對(duì)移動(dòng)，向反方向旋轉(zhuǎn)是理想的。
由該構(gòu)成，在液滴排出頭和擦拭片之間，能夠進(jìn)行具有充分摩擦力的擦拭動(dòng)作，能夠迅速且可靠的擦拭排出對(duì)象液。
本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法是，使用多個(gè)上述本發(fā)明的液滴排出頭，在濾色器的基板上形成多數(shù)濾清單元的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的濾清材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出濾清材料而形成多個(gè)濾清單元。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法是，使用多個(gè)上述本發(fā)明的液滴排出頭，在基板上的多個(gè)像素單元分別形成EL發(fā)光層的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的發(fā)光材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出發(fā)光材料地形成多數(shù)EL發(fā)光層。
本發(fā)明的電子放射裝置的制造方法是，使用多個(gè)上述本發(fā)明的液滴排出頭，在電極上形成多個(gè)熒光體的電子放射裝置的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的熒光材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出熒光材料而形成多個(gè)熒光體。
本發(fā)明的PDP裝置的制造方法是，使用多個(gè)上述本發(fā)明的液滴排出頭，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體的PDP裝置的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的熒光體材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于背面基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出熒光材料而形成多個(gè)熒光體。
本發(fā)明的電泳顯示裝置的制造方法是，使用多個(gè)上述本發(fā)明的液滴排出頭，在電極上的多個(gè)凹部形成泳動(dòng)體的電泳顯示裝置的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的泳動(dòng)體材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出泳動(dòng)體材料而形成多個(gè)泳動(dòng)體。
這樣，對(duì)上述的液滴排出頭，通過使其適用于液晶顯示裝置的制造方法，有機(jī)EL(Electronic Luminescence)裝置的制造方法，電子放射裝置的制造方法，PDP(Plasma Display Panel)裝置的制造方法和電泳顯示裝置的制造方法，對(duì)在各裝置中得到的濾清材料及發(fā)光材料等，能夠作穩(wěn)定地供給。另外，液滴排出頭的掃描，一般地構(gòu)成為主掃描和副掃描，但在所謂使一條線由單一的液滴排出頭構(gòu)成的時(shí)候，僅構(gòu)成為副掃描。另外，電子放射裝置是包括所謂FED(Field Emission Display)裝置的概念。
本發(fā)明的濾色器的制造方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，在基板上制造配列為多個(gè)濾清單元的濾色器的濾色器的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的濾清材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出濾清材料而形成多個(gè)濾清單元。
這時(shí)，多個(gè)濾清單元被收放在通過設(shè)在基板上的凸?fàn)畹母舭?也稱隔壁)形成的凹部處，在形成濾清單元之前，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入隔板材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出隔板材料而形成隔板是理想的。
另外這時(shí)，形成覆蓋多個(gè)濾清單元和隔板的覆蓋鍍層膜，在形成濾清單元以后，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入透光的鍍敷材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出鍍敷材料而形成覆蓋鍍層膜是理想的。
本發(fā)明的有機(jī)EL的制造方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，使含有EL發(fā)光層的多數(shù)的多個(gè)像素單元在基板上配列而成的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的發(fā)光材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出發(fā)光材料而形成多個(gè)EL發(fā)光層。
這時(shí)，多個(gè)EL發(fā)光層收放在由設(shè)在基板上的凸?fàn)畹母舭?也稱隔壁)形成的凹部處，在形成EL發(fā)光層之前，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入隔板材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出隔板材料而形成隔板是理想的。
另外這時(shí)，在多個(gè)EL發(fā)光層和基板之間，對(duì)應(yīng)于EL發(fā)光層形成多個(gè)像素電極，在形成隔板(bank)之前，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀電極材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出液狀電極材料而形成多個(gè)像素電極是理想的。
進(jìn)而這時(shí)，覆蓋多個(gè)EL發(fā)光層和隔板而形成相對(duì)向的電極，在形成EL發(fā)光層以后，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀電極材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出液狀電極而形成相對(duì)向的電極是理想的。
本發(fā)明的襯墊形成方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，在2個(gè)基板之間形成為了為構(gòu)成微小的晶粒間隙的多個(gè)粒子狀的襯墊的襯墊形成方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入構(gòu)成襯墊的粒子材料，使多個(gè)液滴排出頭至少對(duì)于一側(cè)的基板相對(duì)地掃描，有選擇地排出粒子材料而在基板上形成襯墊。
本發(fā)明的金屬配線的形成方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，在基板上形成金屬配線的金屬配線形成方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀金屬材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出液狀金屬材料而形成金屬配線。
本發(fā)明的透鏡形成方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，在基板上形成多個(gè)微透鏡的透鏡形成方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入透鏡材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出透鏡材料而形成多個(gè)微透鏡。
本發(fā)明的保護(hù)膜形成方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，在基板上形成任意形狀的保護(hù)膜的保護(hù)膜形成方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入保護(hù)膜材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出保護(hù)膜材料而形成保護(hù)膜。
本發(fā)明的光擴(kuò)散體形成方法是，使用多個(gè)上述的本發(fā)明的液滴排出頭，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體的光擴(kuò)散體形成方法，其特征在于，在多個(gè)液滴排出頭上導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，使多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出光擴(kuò)散材料而形成多個(gè)光擴(kuò)散體。
這樣，對(duì)上述頭機(jī)構(gòu)，通過適用于其的濾色器的制造方法，有機(jī)EL的制造方法、隔板形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、保護(hù)膜形成方法和光擴(kuò)散體形成方法，使在各電子儀器及各光學(xué)儀器得到的濾清材料及發(fā)光材料等，能夠穩(wěn)定地供給。另外，上述的“隔板”之語(yǔ)，不問其側(cè)面是傾斜面還是垂直面等，而是包含帶突出形狀的側(cè)壁的隔壁和加強(qiáng)筋等的概念。即，“隔板”是指從基板看是其相對(duì)地呈凸出的部分。


圖1是實(shí)施例的頭機(jī)構(gòu)的俯視圖。
圖2是實(shí)施例的頭機(jī)構(gòu)的主視圖。
圖3是實(shí)施例的頭機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖4是實(shí)施例的基準(zhǔn)銷的構(gòu)造圖。
圖5是實(shí)施例的液滴排出頭旋轉(zhuǎn)的剖面圖。
圖6是示意地表示實(shí)施例的液滴排出頭的立體圖。
圖7是實(shí)施例的液滴排出頭的放大剖面圖。
圖8是實(shí)施例的頭保持部件的構(gòu)造圖。
圖9是表示使用實(shí)施例的組裝夾具的頭機(jī)構(gòu)的組裝方法的放大立體圖。
圖10是實(shí)施例的組裝夾具的構(gòu)造圖。
圖11是表示使用實(shí)施例的組裝夾具的頭機(jī)構(gòu)的組裝方法的俯視圖。
圖12是表示使用實(shí)施例的組裝夾具的頭機(jī)構(gòu)的組裝方法的主視圖。
圖13是實(shí)施例的描繪裝置的模式圖。
圖14是在實(shí)施例的描繪裝置的主底盤的立體圖。
圖15是在實(shí)施例的描繪裝置的主底盤的俯視圖。
圖16是表示頭機(jī)構(gòu)的裝入方法的說明圖。
圖17是在實(shí)施例的描繪裝置的擦拭裝置的模式圖。
圖18是在實(shí)施例的校準(zhǔn)掩模的靠模板的構(gòu)造圖。
圖19是實(shí)施例的校準(zhǔn)掩模的俯視圖。
圖20是實(shí)施例的校準(zhǔn)掩模的主視圖。
圖21是實(shí)施例的從組裝裝置的正面?zhèn)瓤吹恼w立體圖。
圖22是實(shí)施例的從組裝裝置的背面?zhèn)瓤吹恼w立體圖。
圖23是實(shí)施例的組裝裝置的整體俯視圖。
圖24是實(shí)施例的組裝裝置的整體主視圖。
圖25是實(shí)施例的從組裝裝置的左側(cè)看的整體側(cè)視圖。
圖26是實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的立體圖。
圖27是在實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的安裝臺(tái)的構(gòu)造圖。
圖28是在實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的θ臺(tái)的俯視圖。
圖29是在實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的θ臺(tái)的截?cái)鄠?cè)視圖。
圖30是在實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的θ臺(tái)的主視圖。
圖31是在實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的俯視圖。
圖32是在實(shí)施例的構(gòu)件移動(dòng)裝置的X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的主視圖。
圖33是在實(shí)施例的頭修正裝置的修正用X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的立體圖。
圖34是在實(shí)施例的頭修正裝置的修正用X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的俯視圖。
圖35是在實(shí)施例的頭修正裝置的修正用X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的主視圖。
圖36是在實(shí)施例的頭修正裝置的修正用X.Y臺(tái)旋轉(zhuǎn)的側(cè)視圖。
圖37是在實(shí)施例的頭修正裝置的臂構(gòu)件的立體圖。
圖38是在實(shí)施例的頭修正裝置的臂構(gòu)件的主視圖。
圖39是在實(shí)施例的頭修正裝置的臂構(gòu)件的側(cè)視圖。
圖40是臂構(gòu)件的鎖合臂的剖面圖。
圖41是實(shí)施例的識(shí)別裝置的立體圖。
圖42是實(shí)施例的識(shí)別裝置的俯視圖。
圖43是實(shí)施例的識(shí)別裝置的主視圖。
圖44是實(shí)施例的識(shí)別裝置的側(cè)視圖。
圖45是實(shí)施例的暫時(shí)固定裝置的整體立體圖。
圖46是實(shí)施例的暫時(shí)固定裝置的俯視圖。
圖47是實(shí)施例的暫時(shí)固定裝置的主視圖。
圖48是實(shí)施例的暫時(shí)固定裝置的側(cè)視圖。
圖49是粘接劑涂敷裝置的立體圖。
圖50是實(shí)施例的控制裝置的方塊圖。
圖51是實(shí)施例的通過濾色器的制造方法制造的濾色器的部分放大圖。
圖52是實(shí)施例的把濾色器的制造方法示意地表示的制造工序剖面圖。
圖53是實(shí)施例的通過濾色器的制造方法制造的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖54是實(shí)施例的通過有機(jī)EL的制造方法制造的顯示裝置的電路圖。
圖55是表示顯示裝置的像素區(qū)域的平面構(gòu)造的放大俯視圖。
圖56是示意地表示第1實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的制造工序(1)的剖面圖。
圖57是示意地表示第1實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的制造工序(2)的剖面圖。
圖58是示意地表示第1實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的制造工序(3)的剖面圖。
圖59是示意地表示第1實(shí)施例的變形例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖60是示意地表示第2實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的俯視圖和剖面圖。
圖61是示意地表示第3實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖62是示意地表示第4實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖63是示意地表示第5實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖64是示意地表示第6實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖65是示意地表示第8實(shí)施例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖66是示意地表示第8實(shí)施例的變形例的有機(jī)EL的制造方法的剖面圖。
圖67是表示在實(shí)施例的描繪裝置的底盤的識(shí)別動(dòng)作的模式圖。
圖中A-組裝裝置，B-描繪裝置，C-組裝夾具，D-校準(zhǔn)掩模，1-頭機(jī)構(gòu)，2-底盤，3-液滴排出頭，4-頭保持部件，11-主體板，12-基準(zhǔn)銷，13-支撐部件，14-手柄，15-配管連接組件，16-配管連接組件，17-配管連接部件，25-銷主體，26-基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)(小孔)，29a-前端面，32-手柄主體，34-粗徑部，45-液體導(dǎo)入部，48-泵部，48a-噴出側(cè)端面，49-噴嘴形成板，50-頭主體，52-噴嘴形成面，53-噴嘴列，57-噴嘴，57a-噴嘴(最外端)，61-階梯部，62-樹脂，65-噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，76-鎖合孔，77粘接劑注入孔-，78-粘接部位，81-夾具主體，82-裝入銷，84-縱邊部，85-橫邊部，86-決定位置部，101-頭移動(dòng)部，105-機(jī)構(gòu)導(dǎo)入部，106-暫時(shí)放置臺(tái)，106a-暫時(shí)放置角鐵，108-擦拭裝置，113-Y臺(tái)，116-X臺(tái)，121-基板，123-擋板，124-方形開口，131-擦拭片，132-擦拭機(jī)構(gòu)，133-移動(dòng)機(jī)構(gòu)，137-擦拭滾柱，139-洗凈液供給頭，161-靠模板，161a-標(biāo)識(shí)形成面，162-板支架，164-頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，165-底盤基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，171-支撐銷，211-機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置，212-頭修正裝置，213-暫時(shí)固定裝置，214-識(shí)別裝置，215-控制裝置，231-安裝臺(tái)，232-θ臺(tái)，233-X.Y臺(tái)，271-X軸臺(tái)，272-Y軸臺(tái)，302-修正用X.Y臺(tái)，303-修正用θ臺(tái)，304-臂機(jī)構(gòu)，331-鎖合臂，333-臂升降裝置，343-鎖合銷，344-銷支架，345-圈彈簧，347-錐形部，352-照相機(jī)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，353-識(shí)別照相機(jī)，359-微載物臺(tái)，373-氣臺(tái)，374-粘接劑涂敷裝置，377-Y氣臺(tái)，378-副Y氣臺(tái)，380-Z軸氣臺(tái)，384-調(diào)和器機(jī)構(gòu)，387-粘接劑注入嘴，402-輸入部，403-驅(qū)動(dòng)部，404-檢測(cè)部，405-控制部，411-CPU，412-ROM，413-RAM，414-P-CON，416-定時(shí)器，500-濾色器，511-基板，512-像素(濾清單元)，513-隔板，514-遮光層，515-隔板層，516-墨液層，521-著色層，522-覆蓋鍍敷層，523-電極層，611-顯示裝置(有機(jī)EL)，621-顯示基板，641-發(fā)光元件(正孔注入層)，642-像素電極，652-反射電極。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。噴墨打印機(jī)的噴墨頭(液滴排出頭)，由于能夠使微小的墨滴(液滴)點(diǎn)狀地高精度噴出，例如對(duì)液滴(噴出對(duì)象液)通過使用特殊的墨液及感光的樹脂等，可以期待向各種器件的制造區(qū)域的應(yīng)用。另外，在這樣的應(yīng)用技術(shù)中，也可以設(shè)想對(duì)黏性高的噴出對(duì)象液等的液滴排出頭的耐久性給予大的影響的液滴，可以隨時(shí)供給使多個(gè)液滴排出頭在底盤高精度地組裝的頭機(jī)構(gòu)成為必要。
本實(shí)施例的頭機(jī)構(gòu)的組裝裝置是，例如并設(shè)在裝入在液晶顯示裝置等的扁平顯示器的濾色器的制造裝置(以下稱作“描繪裝置”)，是對(duì)此可以隨時(shí)供給頭機(jī)構(gòu)的組裝裝置。在該描繪裝置中，在濾色器的濾清單元，具有使R.G.B的濾清材料作為液滴而噴出的多個(gè)液滴排出頭，頭機(jī)構(gòu)的組裝裝置，使該多個(gè)液滴排出頭在底盤上高精度地裝入地組裝頭機(jī)構(gòu)，而使其能夠適當(dāng)供給到描繪裝置。
這時(shí)的頭機(jī)構(gòu)的組裝順序是，首先將各液滴排出頭于頭保持部件以決定位置的狀態(tài)分別地安裝，使其暫時(shí)裝入在單一的底盤上，接著對(duì)于底盤，決定各液滴排出頭的位置以后，暫時(shí)固定，最后正式固定。并且，向液滴排出頭的頭保持部件的安裝，向底盤的暫時(shí)裝入和正式固定，作為外工序通過手工作業(yè)進(jìn)行，而在底盤決定多個(gè)液滴排出頭的位置且暫時(shí)固定的作業(yè)，由實(shí)施例的組裝裝置進(jìn)行。
在這里本實(shí)施例中，首先就由該組裝裝置處理的頭機(jī)構(gòu)，和作為該構(gòu)成要素的液滴排出頭、頭保持部件和底盤進(jìn)行說明。另外，在該說明前后，對(duì)頭機(jī)構(gòu)和上述的描繪裝置的關(guān)系，向使用夾具的液滴排出頭的頭保持部件的組裝方法，及為頭機(jī)構(gòu)的位置決定基準(zhǔn)的校準(zhǔn)掩模進(jìn)行說明。其后，就頭機(jī)構(gòu)的組裝裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。并且，最后就使該頭機(jī)構(gòu)適用于所謂扁形顯示器的制造方法的例子進(jìn)行說明。
圖1、圖2和圖3是頭機(jī)構(gòu)的構(gòu)造圖。如該圖中所示，頭機(jī)構(gòu)1具有底盤2，和搭載在底盤2上的多個(gè)(12個(gè))液滴排出頭3，和使液滴排出頭3在底盤2上分別安裝的多個(gè)(12個(gè))頭保持部件4。12個(gè)液滴排出頭3各以6個(gè)在左右分開，對(duì)于主掃描方向以規(guī)定的角度傾斜地配置。另外，各有6個(gè)的液滴排出頭3，對(duì)于副掃描方向相互錯(cuò)開位置地配置，12個(gè)液滴排出頭3的所有噴嘴57(后述)在副掃描方向連接著(一部分重復(fù))。即，實(shí)施例的頭配列是，在底盤2上，使向同一方向傾斜配置的6個(gè)液滴排出頭3作為兩列的配列，并且在各頭列之間液滴排出頭3為相互180°旋轉(zhuǎn)的配置。不過，該配列圖形是其一例，例如，使在各頭列的鄰接的液滴排出頭3之間具有90°的角度地配置(鄰接頭之間為“八”字狀)，使在各頭列之間的液滴排出頭3具有90°的角度地配置(列間頭之間為“八”字狀)都是可能的。不管怎樣，由12個(gè)液滴排出頭3的全噴嘴57帶來的點(diǎn)在副掃描方向是連續(xù)的就可以。另外，對(duì)于各種基板，將液滴排出頭3如果作為專用元件，液滴排出頭3就沒有特意傾斜裝入的必要，曲折狀及階梯狀地配設(shè)即可。進(jìn)一步講，限于能夠構(gòu)成規(guī)定長(zhǎng)度的噴嘴列(點(diǎn)列)，使其由單一的液滴排出頭3構(gòu)成也可以，由多個(gè)液滴排出頭3構(gòu)成也可以。即，液滴排出頭3的個(gè)數(shù)及列數(shù)，進(jìn)而配列的圖形都是任意的。
底盤2，具有一部分被切缺的略方形的主體板11，和設(shè)在主體板11的長(zhǎng)方向的中間位置的左右一對(duì)的基準(zhǔn)銷12、12，和安裝在主體板11的兩長(zhǎng)邊部分的左右一對(duì)的支撐部件13、13，和設(shè)在各支撐部件13的端部的左右一對(duì)的手柄14、14。左右手柄14、14，例如將組裝的頭機(jī)構(gòu)1裝載入上述的描繪裝置B的時(shí)候，呈為了手持頭機(jī)構(gòu)1而用的部位。另外，左右支撐部件13、13，呈在組裝位置A及描繪裝置B的裝入部固定底盤2時(shí)的部位(這些都在后面詳細(xì)敘述)。
進(jìn)而，在底盤2位于分成兩部分的液滴排出頭群3S的上側(cè)，設(shè)置有連接這些液滴排出頭3的左右一對(duì)的配管連接組件15、15和左右一對(duì)的配線連接組件16、16。各配管連接組件15配管連接在描繪裝置B的濾清材料供給系統(tǒng)上，同樣地，各配線連接組件16配線連接在描繪裝置B的控制系統(tǒng)中。另外，圖1省略地描述了一側(cè)(左側(cè))的配管連接組件15。
主體板11由不銹鋼等厚板構(gòu)成，在左右形成安裝各6個(gè)液滴排出頭3的一對(duì)的裝入開口18、18的同時(shí)，在適當(dāng)位置形成用于減輕重量的多個(gè)沖壓開口19。各裝入開口18是延續(xù)安裝6個(gè)液滴排出頭3的開口部位18a的部分，并列對(duì)準(zhǔn)6個(gè)液滴排出頭(液滴排出頭群3S)3，其軸線相對(duì)于主體板11的軸線稍稍傾斜。
各支撐部件13由厚的不銹鋼板構(gòu)成，在形成固定其的兩個(gè)固定孔(螺釘孔)21、21和兩個(gè)螺母孔22、22的同時(shí)，在這些固定孔21、21和螺母孔22、22之間形成插入位置決定用的銷的銷孔23。詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述，在組裝位置A裝入頭機(jī)構(gòu)1時(shí)，在使用銷孔23決定位置的同時(shí)，使用兩個(gè)固定孔21、21固定螺釘，同樣在描繪裝置B裝入頭機(jī)構(gòu)1時(shí)，使用銷孔23決定位置的同時(shí)，使用兩個(gè)螺母孔22、22固定螺釘。
左右一對(duì)的基準(zhǔn)銷12、12，以圖像識(shí)別為前提，是以使底盤2在X軸、Y軸和θ軸方向決定位置(位置識(shí)別)的基準(zhǔn)的銷，向主體板11的里面突出地安裝。如圖4所示，各基準(zhǔn)銷12，由圓柱狀的銷主體25，和在銷主體25的前端面的中央部形成的凹狀，具體地為孔狀的基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26構(gòu)成。銷主體25，由為了壓入到底盤2上的基部壓入部27，和與基部壓入部27相連的體部28，和在體部28的前端突出形成的標(biāo)識(shí)形成部29構(gòu)成，在該標(biāo)識(shí)形成部29的前端面29a形成基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26。
標(biāo)識(shí)形成部29的前端面29a被作鏡面加工，在該前端面29a的中心位置打穿構(gòu)成基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26的小孔。小孔(基準(zhǔn)標(biāo)識(shí))26，例如是直徑0.3mm左右的孔，從基部壓入部27到體部28，連通在其軸心部分形成的軸心孔30。這時(shí)，基準(zhǔn)銷12，打穿小孔26以后，作熱處理(離子氮化)，使標(biāo)識(shí)形成部29的前端面29a加工形成鏡面。作為完成鏡面的例子，在研磨工具和前端面29a之間放入微細(xì)的研磨粒來進(jìn)行研磨精拋光，但不限定于此種方法。
這樣，通過簡(jiǎn)單的過程能夠由識(shí)別照相機(jī)照相出前端面29a為白色、小孔的基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26為暗色，從而能夠提高底盤2的校準(zhǔn)精度。另外，對(duì)基準(zhǔn)銷12使剖面為圓柱狀進(jìn)行了說明，但是橢圓狀、多角狀也可以。進(jìn)而，小孔的基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26也不限定于小孔，是具有能夠得到充分的對(duì)比度的槽的凹形狀也可以，其凹的平面形狀也不限于圓形。
詳細(xì)內(nèi)容將在后面敘述，搭載于組裝裝置A和描繪裝置B的識(shí)別照相機(jī)353，對(duì)形成了基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26的基準(zhǔn)銷12的前端面29a，在視野內(nèi)可以捕捉而進(jìn)行圖像識(shí)別(圖形識(shí)別)。因此，在由識(shí)別照相機(jī)353的圖形識(shí)別中，鏡面加工的前端面29a識(shí)別為亮色，在其前端面29a的略中央部形成的凹形狀的基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26識(shí)別為暗色，具有充分的對(duì)比度，來圖像識(shí)別基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26。從而，能夠高精度地識(shí)別基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)26，能夠可靠地防止識(shí)別錯(cuò)誤。
對(duì)這樣形成的基準(zhǔn)銷12，使其前端面29a向下，在形成于底盤(主體板11)2的安裝用的孔部分打入地被壓入。在底盤2壓入的銷12，呈與從底盤2突出的液滴排出頭3略相同高度地，從主體板11的里面突出。即，為基準(zhǔn)銷12的圖像識(shí)別面的前端面29a和為液滴排出頭3的圖像識(shí)別面的噴嘴形成面(參照?qǐng)D3)52位于大致同一平面內(nèi)。
由此，在由識(shí)別照相機(jī)353，接著對(duì)兩基準(zhǔn)銷12、12以后，檢測(cè)各液滴排出頭3的噴嘴57的時(shí)候，沒有變更(識(shí)別照相機(jī)353的上下動(dòng)作)其焦點(diǎn)位置的必要，并且在圖像識(shí)別的識(shí)別照相機(jī)353的相對(duì)移動(dòng)時(shí)，能夠有效地防止識(shí)別照相機(jī)353對(duì)其他部件等的干擾。另外，一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12，設(shè)在主體板11的長(zhǎng)邊方向的略中央位置是理想的，但限于相互離開、設(shè)在其他位置也可以。
如圖1、圖2和圖3所示，左右的手柄14、14，是為手持有重量的(7kg左右)頭機(jī)構(gòu)1的部分，各手柄14由為握住部分的手柄主體32，和從手柄主體32的下端直角地延伸的臂部33形成為“L”字狀。手柄主體32，其上端部為止滑用的粗徑部34。另外，在手柄主體32的外周面，施以止滑用的滾花加工。另外，在本實(shí)施例中，采用斜棱的滾花加工(參照?qǐng)D2和圖3)，但是刻痕也可以。
臂部33水平地延伸，在其前端部裝入到底盤2的支撐部件13地由螺釘固定。即，各手柄14裝卸自由地安裝在底盤2上。這樣，左右的手柄14、14，在從底盤(主體板11)2的長(zhǎng)邊方向的端部隆出的位置，即在離開液滴排出頭3的位置，立起來地設(shè)置著。
因此，握住兩手柄14、14抬起底盤(頭機(jī)構(gòu)1)2時(shí)，通過力的平衡，使底盤2保持略水平的姿勢(shì)抬起。另外，在搬運(yùn)作業(yè)等時(shí)，握住手柄14的手不會(huì)產(chǎn)生接觸到液滴排出頭3等的故障。另外，詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述，該手柄14，對(duì)頭機(jī)構(gòu)1的搬運(yùn)不用說，特別是在向頭機(jī)構(gòu)1的描繪裝置B的裝入作業(yè)時(shí)是有用的(詳細(xì)內(nèi)容后面敘述)。
各配管連接組件15由，配設(shè)在各液滴排出頭群3S的上側(cè)，在主體板11的長(zhǎng)邊方向的兩端部立設(shè)的一對(duì)襯墊36、36，和跨過一對(duì)襯墊36、36之間的按壓板37，和搭載在按壓板37上的6組配管接續(xù)器38構(gòu)成。6組配管接續(xù)器38稍微地突出其下端的頭側(cè)連接部分地，分別固定在按壓板37上。
詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述，液滴排出頭3是所謂的二連的機(jī)構(gòu)，6組配管接續(xù)器38，分別通過二聯(lián)的配管連接部件17連接到液滴排出頭3上。即，在各液滴排出頭3上嵌合連接配管連接部件17，另外通過使搭載了6組配管接續(xù)器38的按壓板37螺釘固定在兩襯墊36、36上，6組配管接續(xù)器38，分別通過配管連接部件17連接到液滴排出頭3上。并且，在各配管接續(xù)器38的流入側(cè)，當(dāng)裝入到描繪裝置B時(shí)向其濾清材料供給系統(tǒng)以簡(jiǎn)單的操作作配管連接(詳細(xì)內(nèi)容后面敘述)。
同樣地，各配線連接組件16由，立設(shè)在底盤2的左右端部的3個(gè)彎曲支撐部件40、40、40，和固定在彎曲支撐部件40的上端的連接器基座41，和安裝在連接器基座41上的帶配線連接器43的4個(gè)頭接續(xù)基板42構(gòu)成。4個(gè)頭接續(xù)基板42分別通過撓性的扁形電纜(圖示省略)，連接到后述的各液滴排出頭3的二連的頭基板47上。并且，在各頭接續(xù)基板42上，在裝入描繪裝置B的時(shí)候，通過該控制系統(tǒng)電纜的配線插頭作配線連接(詳細(xì)內(nèi)容后面敘述)。
另外，如僅在圖2所示地，在該頭機(jī)構(gòu)1進(jìn)而設(shè)置覆蓋兩配線連接組件16的接續(xù)基板蓋24。接續(xù)基板蓋24由，從各配線連接組件16的側(cè)面直到覆蓋其上部的一對(duì)的側(cè)面蓋24a，和跨一對(duì)側(cè)面蓋24a之間的上面蓋24b構(gòu)成，其中上面蓋24b在將頭機(jī)構(gòu)1裝入到描繪裝置B以后安裝。另外，詳細(xì)內(nèi)容后面敘述，在使頭機(jī)構(gòu)1裝入到組裝裝置A的階段，與裝入到描繪裝置B的時(shí)候不同，接續(xù)基板蓋24不用說，兩組件15、16也不組裝在其中的部件。
下面，用圖5至圖8就液滴排出頭3進(jìn)行說明。該液滴排出頭3是所謂二連的裝置，其具有帶二連的連接針46的液體導(dǎo)入部45，和在液體導(dǎo)入部45的側(cè)方成排的二連的頭基板47，和在液體導(dǎo)入部45下方成排的二連的泵部48，和在泵部48成排的噴嘴形成板49。在液體導(dǎo)入部45，連接上述配管連接部件17，在頭基板47連接上述的撓性的扁形電纜。另外，通過該泵部48和噴嘴形成板49，構(gòu)成向底盤2的里面?zhèn)韧怀龅姆叫晤^主體50。另外，在噴嘴形成板49的噴嘴形成面52形成兩列的噴嘴列53、53(參照?qǐng)D6)。
如圖6和圖7所示，泵部48有對(duì)應(yīng)于噴嘴數(shù)目的壓力室55和壓電元件56，各壓力室55連通對(duì)應(yīng)的噴嘴57。另外，泵部48的基部側(cè)，即頭主體50的基部側(cè)，形成為要接受液體導(dǎo)入部45的方形凸緣狀，在該凸緣部58，形成使液滴排出頭3固定在頭保持部件4的小螺釘用的一對(duì)螺釘孔(雌螺釘)59、59。該一對(duì)螺釘孔59、59位于兩長(zhǎng)邊部分，且對(duì)于噴嘴形成面52的中心為點(diǎn)對(duì)稱地配設(shè)。詳細(xì)內(nèi)容后面敘述，通過貫穿頭保持部件4螺合到凸緣部58上的兩個(gè)小螺釘73、73，液滴排出頭3固定在頭保持部件4上(參照?qǐng)D9)。
噴嘴形成板49由不銹鋼板等形成，連接在泵部48的噴出側(cè)端面(液滴噴出面)。更具體地，如在圖6和圖7(a)示意地表示地，泵部48具有收放上述的壓電元件56的機(jī)構(gòu)部48a，和通過樹脂膠片48b，與噴嘴形成板49一起接合在該機(jī)構(gòu)部48a的硅內(nèi)腔48c。即，噴嘴形成板49粘接在硅內(nèi)腔48c上，以該狀態(tài)通過樹脂膠片48b，接合在機(jī)構(gòu)部48a的接合面48d上，構(gòu)成上述的壓力室55。從而，在頭主體50考慮安裝方法后，上述的樹脂膠片48b、硅內(nèi)腔48c和噴嘴形成板(包含后述的電鍍層49a)49，對(duì)于泵部48的機(jī)構(gòu)部48a，構(gòu)成壓力室組裝體60。并且，機(jī)構(gòu)部48a的接合面48d，形成為長(zhǎng)方形，另外包含噴嘴形成板49的壓力室組裝體60，形成為比其小幾分的相似形，壓力室組裝體60與接合面48d呈略同心地重疊接合。
因此，在壓力室組裝體60的四周和機(jī)構(gòu)部48a的接合面48d的四周緣部之間，構(gòu)成作為跨四周接合用的間隙的階梯部61，在該階梯部61鑄型樹脂62。即，由接合面48d的端緣(周緣部)和壓力室組裝體60的端面(側(cè)面部)構(gòu)成的階梯部61，埋入其而由樹脂62鑄型。從而，頭主體50的下端，呈通過該樹脂62四周被倒角的形態(tài)。
詳細(xì)內(nèi)容后面敘述，通過由樹脂62的鑄型，在擦拭時(shí)防止頭主體50堵塞在擦拭片131。這時(shí)，雖然液滴排出頭3在水平面內(nèi)若干傾斜地保持在底盤2上，但是對(duì)于頭主體50，擦拭片131從X軸方向作擦拭動(dòng)作(參照?qǐng)D17)。從而，跨過上述四周的鑄型的樹脂62，僅設(shè)置在開始最低限擦拭側(cè)的長(zhǎng)邊部分，或者僅設(shè)置在兩長(zhǎng)邊部分也可以。另外，后面敘述的倒角加工也是同樣。另外，如圖7(b)所示，使樹脂62從噴嘴形成板49向前方稍微突出(圖示的t尺寸)地，在樹脂62具有保護(hù)噴嘴57的保護(hù)器的功能也是可能的。另外，如圖7(c)所示，使機(jī)構(gòu)部48a的接合面48b和壓力室組裝體60為同一形狀，代之以樹脂62的鑄型，對(duì)壓力室組裝體60的端緣作倒角加工也可以。
另外，在噴嘴形成板49，兩個(gè)噴嘴列53、53相互平行地列設(shè)著，各噴嘴列53由以等間距并列的180個(gè)(在圖示中示意地表示)的噴嘴57構(gòu)成。即，在頭主體50的噴嘴形成面52，夾著其中線，兩個(gè)噴嘴列53、53左右對(duì)稱地配置著。并且，各噴嘴57的噴嘴口63，在形成防水性(防液性)的電鍍層49a的圓形凹部64的內(nèi)部開口。
另外，圖中的符號(hào)65、65是用于識(shí)別液滴排出頭3位置的兩個(gè)噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)。如后所示，在本實(shí)施例中對(duì)液滴排出頭3的位置識(shí)別，由圖像識(shí)別(圖形識(shí)別)在其中任意一側(cè)的噴嘴列53的最外端的兩個(gè)噴嘴57a、57a來進(jìn)行。然而，通過噴出對(duì)象液有在噴嘴(噴嘴口63)57形成的彎月面的形態(tài)不一定的情形(參照?qǐng)D6(b)中的假想線)，在圖形識(shí)別中有變得不能識(shí)別(NG)的擔(dān)心。
在這里本實(shí)施例中，在上述最外端的兩個(gè)噴嘴57a、57a的近旁，形成有兩個(gè)噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)65、65。即，在噴嘴形成面52，平行移動(dòng)兩個(gè)噴嘴57a、57a的位置，更嚴(yán)密地說，在對(duì)應(yīng)于平行移動(dòng)噴嘴列53(不一定是正交于噴嘴列53的方向也可以)時(shí)的兩噴嘴57a、57a的位置，通過激光蝕刻等形成兩個(gè)噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)65、65。對(duì)于兩個(gè)噴嘴57a、57a保證兩個(gè)噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)65、65的位置，在于兩個(gè)噴嘴57a、57a的圖像識(shí)別不穩(wěn)定的時(shí)候，使用該兩個(gè)噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)65、65進(jìn)行圖像識(shí)別。另外，兩個(gè)噴嘴基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)65、65對(duì)于兩個(gè)噴嘴(嚴(yán)密地說為離開的任意的兩個(gè)噴嘴57、57即可)57a、57a，限于要確保位置，并且限于要充分離開，設(shè)在噴嘴形成面52的任何位置均可以。
這樣構(gòu)成的液滴排出頭3，使該頭主體50從于底盤2形成的開口18向底盤2的里面?zhèn)韧怀觯谂龅窖b入開口18的緣部的頭保持部件4上在凸緣部58的部分由螺釘固定。另外，頭保持部件4通過在底盤2的粘接被暫時(shí)固定，其后，使用機(jī)械的固定裝置作正式固定。
接著，參照?qǐng)D8和圖9，對(duì)頭保持部件4進(jìn)行說明。頭保持部件4是用于將液滴排出頭3穩(wěn)定地安裝在底盤2上的媒介接頭，形成為由不銹鋼等構(gòu)成的略長(zhǎng)方形的平板狀。在頭保持部件4，于其中央形成插通液滴排出頭3的頭主體50的方形的插通開口71。這時(shí)，頭保持部件4在其長(zhǎng)方向的兩端部跨裝入開口(開口部位18a)18地裝入在底盤2的里面?zhèn)龋瑢?duì)此，液滴排出頭3將該頭主體53插通到插通開口71地裝入在底盤2的表面?zhèn)?參照?qǐng)D5)。
在頭保持部件4的插通開口71的周圍，配設(shè)對(duì)應(yīng)于上述凸緣部58的兩個(gè)螺釘孔59、59的兩個(gè)貫通孔72、72和兩個(gè)小螺釘73、73，和兩個(gè)規(guī)定突出位置銷74、74。兩個(gè)貫通孔72、72，分別形成于在裝入開口18側(cè)突出的兩個(gè)輪轂部75、75。這時(shí)，各輪轂部75由壓入到頭保持部件4的筒狀環(huán)套構(gòu)成。該兩個(gè)輪轂部75、75和兩個(gè)規(guī)定突出位置銷74、74，無論哪個(gè)對(duì)于插通開口71的中心配設(shè)于點(diǎn)對(duì)稱位置，通過這些輪轂部75、75和規(guī)定突出位置銷74、74觸接到頭主體50的凸緣部58上，規(guī)定限制液滴排出頭3從底盤2的噴出尺寸。
另外，在插通孔71的中心線上，于插通開口71的外側(cè)形成兩個(gè)鎖合孔76、76。該兩個(gè)鎖合孔76、76，與是裝入后面敘述的液滴排出頭3的組裝夾具C的部位的同時(shí)，也是鎖合在組裝位置A的位置修正用的鎖合銷343、343的部位。這時(shí)，為了使組裝夾具C的裝入及鎖合銷343的鎖合便利，兩個(gè)鎖合孔76、76，一側(cè)形成為圓形，另一側(cè)在上述中心線方向形成為長(zhǎng)圓形。
進(jìn)而，在插通開口71的中心線上，于頭保持部件4的兩端部，分別夾住插通開口71在對(duì)稱位置形成兩個(gè)粘接劑注入孔77、77。各粘接劑注入孔77為在頭保持部件4的橫剖方向延長(zhǎng)的長(zhǎng)孔，該長(zhǎng)孔的底盤2側(cè)的端部作倒角(參照?qǐng)D8)。形成各兩個(gè)的粘接劑注入孔77、77的頭保持部件4的兩端部，構(gòu)成將頭保持部件4粘接在底盤2的粘接部位78、78，從各粘接劑注入孔77注入的粘接劑，通過毛細(xì)現(xiàn)象擴(kuò)展、涂敷在底盤2和粘接部位78、78的界面部分。
這時(shí)，作為在一側(cè)的端部的外側(cè)(內(nèi)側(cè))形成的粘接劑注入孔77a(77b)和在另一側(cè)的端部的內(nèi)側(cè)(外側(cè))形成的粘接劑注入孔77a(77b)，分別構(gòu)成一對(duì)。詳細(xì)內(nèi)容后面敘述，組裝裝置A有兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387，兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387，在成對(duì)的一側(cè)的兩個(gè)粘接劑注入孔77a、77a被同時(shí)插入，而后在注入粘接劑的同時(shí)，向上述中心線方向移動(dòng)后，在另一側(cè)的兩個(gè)非粘接劑注入孔77b、77b同時(shí)被插入而后注入粘接劑。
另外，圖中的符號(hào)79、79是在將頭保持部件4暫時(shí)裝入到底盤2時(shí)使用的(詳細(xì)內(nèi)容后面敘述)一對(duì)固定孔，該一對(duì)固定孔79、79分別是粘接劑注入孔77、77的近旁，形成于對(duì)于插通開口71的中心點(diǎn)對(duì)稱的位置。另外，在底盤2的開口部位18a，形成對(duì)應(yīng)于該一對(duì)固定孔79、79的一對(duì)臨時(shí)固定用螺釘孔20、20(參照?qǐng)D11)。
然而，通過一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12對(duì)于決定位置的底盤2，各液滴排出頭3，以作為其輸出端的噴嘴列(噴嘴57)53為基準(zhǔn)，被決定在X軸、Y軸和θ軸方向的位置(識(shí)別位置)。更具體地，兩個(gè)噴嘴列53、53，由于在制造階段被保證相互位置精度，因而以位于無論那一側(cè)的噴嘴列53的最外端的兩個(gè)噴嘴57a、57a作為決定位置基準(zhǔn)來識(shí)別它。另外，在液滴排出頭3的頭主體50的前端部的四邊(嚴(yán)密地說是跨泵部48的數(shù)毫米寬的前端部的四邊)也在制造階段被保證相互的位置精度。
另外，液滴排出頭3是通過頭保持部件4固定在底盤2的狀態(tài)。在這里本實(shí)施例中，使用組裝夾具，以上述頭主體50的前端部四邊為基準(zhǔn)，在頭保持部件4決定液滴排出頭3的位置，螺釘固定以后，以上述兩個(gè)噴頭57a、57a為基準(zhǔn)，決定帶頭保持部件4的液滴排出頭3的位置而暫時(shí)固定。即，液滴排出頭3，通過使用組裝夾具C的手工作業(yè)，一旦暫時(shí)決定在頭保持部件4的位置，接著經(jīng)過在組裝裝置A的圖像識(shí)別(識(shí)別噴嘴57a、57a)決定正式位置。
在實(shí)施例的組裝裝置A，為了達(dá)到識(shí)別位置的速度提高，對(duì)上述兩個(gè)噴嘴57a、57a，由固定地設(shè)置的兩個(gè)識(shí)別照相機(jī)353、353同時(shí)識(shí)別，即，兩個(gè)識(shí)別照相機(jī)353、353可以同時(shí)捕捉在視野內(nèi)。因此，使用組裝夾具C的液滴排出頭3的暫時(shí)位置決定，在正式位置決定階段，基于設(shè)定的位置數(shù)據(jù)，使兩個(gè)識(shí)別照相機(jī)353、353靠近上述兩個(gè)噴嘴57a、57a時(shí)，是無論哪個(gè)都不從視野離開的。
在這里，參照?qǐng)D9和圖10，對(duì)液滴排出頭3的組裝夾具C進(jìn)行說明的同時(shí)，對(duì)使用該組裝夾具C，將液滴排出頭3組裝在頭保持部件4上的組裝方法進(jìn)行說明。如圖10所示，組裝夾具C由，決定液滴排出頭3的頭主體50位置的夾具主體81，和使夾具主體81以決定在頭保持部件4的位置的狀態(tài)裝入的一對(duì)裝入銷82、82構(gòu)成。
夾具主體81由縱邊部84和從縱邊部84的兩端直角地延伸的一對(duì)橫邊部85、85，略“C”字狀地形成為一體。另外，一對(duì)裝入銷82、82分別從橫邊部85、85的里面?zhèn)韧怀?，通過將該一對(duì)裝入銷82、82嵌合到頭保持部件4的鎖合孔76、76上，夾具主體81被裝入在頭保持部件4上。
在從縱邊部84的內(nèi)側(cè)跨一側(cè)的橫邊部85的內(nèi)側(cè)的部位，形成略“L”字狀的位置決定部86，通過在該位置決定部86觸接到頭主體50的一側(cè)的長(zhǎng)邊和短邊，決定液滴排出頭3在頭保持部件4的位置。位置決定部86，使表面?zhèn)扰c其他的部分為同一平面地形成薄壁，并且角部分86a形成為半圓狀的凹入。另外，夾具主體81以將其裝入到頭保持部件4的狀態(tài)，其表面和液滴排出頭3的噴嘴形成面52，幾乎為同一平面地(同一水平)，來設(shè)計(jì)其厚度。
由此，頭主體50其突出方向的前端部，觸接到組裝夾具C的位置決定部86來決定位置。即，在制造階段，使對(duì)于噴嘴列53在保證位置精度的頭主體50的前端部的四邊中鄰接的兩個(gè)邊，通過碰到組裝夾具C的位置決定部86，液滴排出頭3在頭保持部件4上決定位置。
另外，一對(duì)裝入銷82、82重合在碰到位置決定部86的頭主體50的中心線上地配設(shè)。更具體地，位置決定部86的長(zhǎng)邊部位86b，與連接一對(duì)裝入銷82、82的直線平行地形成，并且其離開尺寸，配合在頭主體50的長(zhǎng)邊位置而被管理的同時(shí)，形成是頭主體50的短邊的1/2的尺寸。另外，位置決定部86的短邊部位86c，在長(zhǎng)邊部位86b形成為直角，并且與位于短邊部位86c側(cè)的裝入銷82的離開尺寸，配合頭主體50的短邊位置地被管理。
由此，組裝夾具C，即使以從圖9的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)180°的狀態(tài)，裝入到頭保持部件4上也不特別產(chǎn)生障礙，能夠決定液滴排出頭3的位置。即，實(shí)施例的組裝夾具C，其平面形狀不是左右對(duì)稱的，但呈所謂不能夠右隨便轉(zhuǎn)、左隨便轉(zhuǎn)的構(gòu)造。
下面，參照?qǐng)D9、圖11和圖12，對(duì)使用上述的組裝夾具C的液滴排出頭3向頭保持部件4的組裝方法進(jìn)行說明。該組裝作業(yè)作為組裝裝置A之外工序由手工作業(yè)進(jìn)行。首先，在底盤(嚴(yán)密地說是主體板11)2的表面?zhèn)鹊闹芫壊柯萁z固定4個(gè)支撐腳88、88、88、88。接著，上下反轉(zhuǎn)底盤2，通過支撐角88上浮狀態(tài)地裝入底盤2。另外，在圖示中省略了，但以該狀態(tài)在底盤2安裝上述一對(duì)支撐部件13、13和一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12是理想的。
接著，將使頭主體50向上的液滴排出頭3，從底盤2的下側(cè)插入到裝入開口18。在這里，從底盤2的上側(cè)位置配合頭主體50地嵌入頭保持部件4的插入開口71，將頭保持部件4裝到底盤2上。如果裝入了頭保持部件4，從上側(cè)在頭保持部件4上裝入組裝夾具C的同時(shí)，在頭保持部件4的位置決定部86，壓裝與其對(duì)峙的頭主體50的兩邊。另外，準(zhǔn)備了多個(gè)組裝夾具C，事先將其裝入到頭保持部件4以后再開始作業(yè)也可以。
接著，保持著上述壓裝的狀態(tài)，從上側(cè)將兩個(gè)小螺釘73、73貫通頭保持部件4，分別螺合在液滴排出頭3的凸緣部58上，將液滴排出頭3固定在頭保持部件4上。接著，兩個(gè)識(shí)別照相機(jī)353、353的視野作為從兩個(gè)噴嘴75a、75a不卸下的裝置，從上述一對(duì)固定孔79、79在底盤2的暫時(shí)固定用螺釘孔20、20，分別將固定螺釘89、89以臨時(shí)固定狀態(tài)螺合(參照?qǐng)D9)。
由此，在固定螺釘89和固定孔79的尺寸交叉的范圍，使對(duì)于底盤2的液滴排出頭3的位置配合成為可能的同時(shí)，兩個(gè)識(shí)別照相機(jī)353、353的視野不從兩個(gè)噴嘴75a、75a離開。這樣，通過使液滴排出頭3向頭保持部件4的位置決定和固定按順序反復(fù)的操作，12個(gè)液滴排出頭3分別地組裝在頭保持部件4上。最后，從頭保持部件4拔出組裝夾具C的同時(shí)卸下4個(gè)支撐腳88，完成作業(yè)。
如以上，夾住底盤2，12個(gè)液滴排出頭3被安裝在12個(gè)頭保持部件4上，但在該狀態(tài)，12個(gè)液滴排出頭3沒有被固定在底盤2上，呈懸掛的狀態(tài)。即，帶有頭保持部件4的12個(gè)液滴排出頭3，對(duì)于底盤2在固定螺釘89和固定孔79的尺寸交叉范圍內(nèi)可以稍微移動(dòng)地暫時(shí)裝入。另外，該固定螺釘89是定位螺釘，在組裝裝置A中，在底盤2粘接頭保持部件4(暫時(shí)固定)以后取下。即，在實(shí)施例中，不進(jìn)行通過頭保持部件4向底盤2的螺釘固定的直接的正式固定(由其他部件作按壓固定)。
并且，在底盤2暫時(shí)裝入帶頭保持部件4的12個(gè)液滴排出頭3的頭機(jī)構(gòu)1被導(dǎo)入到組裝裝置A上，以上下反轉(zhuǎn)的姿勢(shì)裝入到其上。另外，在組裝裝置A被導(dǎo)入的頭機(jī)構(gòu)1，為在上述主構(gòu)成元件裝入一對(duì)支撐部件13、13和基準(zhǔn)銷12、12的部件，導(dǎo)入到描繪裝置B的頭機(jī)構(gòu)1，在此進(jìn)一步以手柄為首，為裝入兩組件15、16等的部件。
在這里，對(duì)描繪裝置B進(jìn)行簡(jiǎn)單說明的同時(shí)，對(duì)利用一對(duì)手柄14、14將頭機(jī)構(gòu)1載入到描繪裝置B中的頭機(jī)構(gòu)1的裝入方法進(jìn)行說明。另外，就關(guān)聯(lián)到液滴排出頭3的頭主體50的構(gòu)造，對(duì)描繪裝置B的擦拭裝置也進(jìn)行簡(jiǎn)單說明。
圖13是示意地表示描繪裝置B的概念圖，如該圖所示，描繪裝置B具有，搭載頭機(jī)構(gòu)1使其向Y軸方向和θ軸方向移動(dòng)的頭移動(dòng)部101，和與頭移動(dòng)部101對(duì)峙使濾色器等的基板102向X軸方向移動(dòng)的基板移動(dòng)部103，和保養(yǎng)頭機(jī)構(gòu)1的液滴排出頭3的維護(hù)部104。頭移動(dòng)部101，使搭載在其上的頭機(jī)構(gòu)1，夾住基板移動(dòng)部103在機(jī)構(gòu)導(dǎo)入部105和維護(hù)部104之間移動(dòng)。
在導(dǎo)入裝入頭機(jī)構(gòu)1的時(shí)候，頭移動(dòng)部101移動(dòng)向機(jī)構(gòu)導(dǎo)入部105側(cè)，其臨時(shí)放置臺(tái)106靠近機(jī)構(gòu)導(dǎo)入部105。頭機(jī)構(gòu)1在該臨時(shí)放置臺(tái)106上被臨時(shí)放置，連接配管和配線以后，送入到頭移動(dòng)部101地被裝入。并且，在進(jìn)行頭機(jī)構(gòu)1的決定初始位置的準(zhǔn)備工序中，進(jìn)行頭機(jī)構(gòu)1向θ軸方向稍微移動(dòng)(角度修正)，但在噴出濾清材料的制造工序中，基板102向X軸方向移動(dòng)并且頭機(jī)構(gòu)1向Y軸方向移動(dòng)，進(jìn)行液滴排出頭3的主掃描和副掃描。
頭移動(dòng)部101具有，垂直設(shè)置頭機(jī)構(gòu)1地支撐的主底盤111，和使主底盤111向θ軸方向移動(dòng)的θ臺(tái)112，和通過θ臺(tái)112使頭機(jī)構(gòu)1向Y軸方向移動(dòng)的Y臺(tái)113。另外，基板移動(dòng)部103具有，吸附基板102地裝入的基板安裝臺(tái)115，和通過基板安裝臺(tái)115使基板向X軸方向移動(dòng)的X臺(tái)116。
這時(shí)，X臺(tái)116由氣動(dòng)滑塊和線性電動(dòng)機(jī)的組合來驅(qū)動(dòng)，Y臺(tái)113由球螺釘和伺服電機(jī)的組合來驅(qū)動(dòng)(都省略圖示)。另外，基板識(shí)別照相機(jī)117搭載在主底盤111上(參照?qǐng)D5)，頭識(shí)別照相機(jī)118搭載在基板安裝臺(tái)115上。從而，頭機(jī)構(gòu)1設(shè)在底盤2上的一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12，通過頭識(shí)別照相機(jī)118和使其在X方向移動(dòng)的X臺(tái)116的協(xié)調(diào)動(dòng)作來識(shí)別圖像。
在這里，參照?qǐng)D67對(duì)由頭識(shí)別照相機(jī)118作的一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12的識(shí)別動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，基于設(shè)計(jì)上的數(shù)據(jù)適當(dāng)驅(qū)動(dòng)X臺(tái)116和Y臺(tái)113，使頭識(shí)別照相機(jī)118和底盤(頭機(jī)構(gòu)1)移動(dòng)，將一側(cè)的基準(zhǔn)銷12進(jìn)入到頭識(shí)別照相機(jī)118的視野內(nèi)。如果由頭識(shí)別照相機(jī)118識(shí)別了一側(cè)的基準(zhǔn)銷12，接著，驅(qū)動(dòng)X臺(tái)116，使頭識(shí)別照相機(jī)118向X軸方向(主掃描方向)移動(dòng)，將另一側(cè)的基準(zhǔn)銷12進(jìn)入到頭識(shí)別照相機(jī)118的視野內(nèi)來識(shí)別它。
并且，基于頭識(shí)別照相機(jī)118帶來的對(duì)一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12的識(shí)別結(jié)果，適當(dāng)驅(qū)動(dòng)X臺(tái)116、Y臺(tái)113和θ臺(tái)112，進(jìn)行底盤(頭機(jī)構(gòu)1)的位置修正。另外，在位置修正以后進(jìn)行為了確認(rèn)的再一次的上述識(shí)別動(dòng)作，而完成一連串的識(shí)別動(dòng)作。
其后，在實(shí)際的液滴噴出作業(yè)中，首先驅(qū)動(dòng)X臺(tái)116，使基板102在主掃描方向往復(fù)移動(dòng)的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)多個(gè)液滴排出頭3，進(jìn)行液滴排出頭3的有選擇的液滴噴出。接著，驅(qū)動(dòng)Y臺(tái)113，使底盤(頭機(jī)構(gòu)1)2以1節(jié)距的量向副掃描方向移動(dòng)，再次進(jìn)行向基板102的主掃描方向的往復(fù)移動(dòng)和液滴排出頭3的驅(qū)動(dòng)。并且通過使其反復(fù)數(shù)次，進(jìn)行從基板102的一端到另一端(全區(qū)域)的液滴噴出。
這樣，使在一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12的圖像識(shí)別的頭識(shí)別照相機(jī)118的移動(dòng)，由X臺(tái)116進(jìn)行，因而與使用球螺釘?shù)腨臺(tái)113等不同，能夠防止移動(dòng)精度對(duì)識(shí)別精度的影響。另外，作為X臺(tái)116的移動(dòng)方向的X軸方向，使與主掃描方向一致，在構(gòu)造上能夠提高液滴噴出的精度(著彈點(diǎn)的精度)。
另外，在本實(shí)施例中，對(duì)于頭機(jī)構(gòu)(底盤2)1，使作為其噴出對(duì)象物的基板102向主掃描方向移動(dòng)，但是使底盤(頭機(jī)構(gòu)1)2向主掃描方向移動(dòng)的構(gòu)成也可以。另外，也考慮到使一對(duì)的基準(zhǔn)銷12、12設(shè)在底盤2的長(zhǎng)邊方向的兩端部的情形，但在這種情形，通過向底盤2的Y軸方向的相對(duì)移動(dòng)，來識(shí)別一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12。
圖14和圖15是主底盤111的外觀圖。主底盤111具有，頭機(jī)構(gòu)1入座的基板121，和垂直設(shè)置基板121地支撐的拱形部件122，和作為向基板121的一側(cè)的端部突出地設(shè)置的暫時(shí)放置臺(tái)106的左右一對(duì)暫時(shí)放置角鐵106a、106a，和設(shè)置在基板121的另一側(cè)的端部的檔板123。另外，上述的基板識(shí)別照相機(jī)117有一對(duì)設(shè)置在檔板123的外側(cè)。
在基板121形成游動(dòng)嵌入頭機(jī)構(gòu)1的主體板11的方形開口124，另外，在構(gòu)成該方形開口124的基板121的左右的各開口緣部125，設(shè)置有在頭機(jī)構(gòu)1的各支撐部件13形成的兩個(gè)螺母孔22、22和配合銷孔23的兩個(gè)貫通孔126、126和決定位置銷127。這時(shí)，方形開口124的寬和主體板11的寬幾乎一致，從側(cè)方裝入的頭機(jī)構(gòu)1，主體板11的左右被方形開口124的左右引導(dǎo)地被插入。
各暫時(shí)放置角鐵106a有充分的厚度(高度)，由在外側(cè)“L”字狀地彎曲的基部載置在基板121的端部地被固定。另外，兩暫時(shí)放置角鐵106a、106a的離開尺寸對(duì)應(yīng)于頭機(jī)構(gòu)1的兩支撐部件13、13的離開尺寸。從而，頭機(jī)構(gòu)1，其兩支撐部件13、13由坐落在兩暫時(shí)放置角鐵106a、106a上而被臨時(shí)放置，并且通過兩暫時(shí)放置角鐵106a、106a引導(dǎo)向基板121的送入。另外，在該狀態(tài)，各液滴排出頭3的頭主體50從基板121充分地浮起，可以防止與基板121的接觸(干擾)。
如圖16的形象圖所示，在將頭機(jī)構(gòu)1裝入在主底盤111的基板121上時(shí)，首先將用手持兩手柄14、14運(yùn)入的頭機(jī)構(gòu)1載置在兩暫時(shí)放置角鐵106a、106a上(暫時(shí)放置)。在這里沒有特別圖示，但將在拱形部件122上配設(shè)的描繪裝置B的濾清材料供給系統(tǒng)的管配置連接在頭機(jī)構(gòu)1的配管連接組件15上的同時(shí)，將控制系統(tǒng)的電纜配置連接在配線連接組件16上(同圖(a))。
如果完成了連接作業(yè)，再次握住手柄14、14，引導(dǎo)兩暫時(shí)放置角鐵106a、106a將頭機(jī)構(gòu)1按入到前方，進(jìn)而使其前端部向下地傾斜(同圖(b))。使頭機(jī)構(gòu)1傾斜后，主體板11的前端部被插入到方形開口124，并且兩支撐部件13、13的前端觸接到方形開口124的兩開口緣部125、125。兩支撐部件13、13如觸接到開口緣部125、125，從兩暫時(shí)放置角鐵106a、106a浮起兩支撐部件13、13，接著以兩支撐部件13、13的前端為中心，將頭機(jī)構(gòu)1在開口緣部125上邊滑動(dòng)邊進(jìn)一步向更深處壓入。
并且，頭機(jī)構(gòu)1的前端如果碰到檔板123，使頭機(jī)構(gòu)1的后部慢慢下降，在兩支撐部件13、13的銷孔23嵌合兩開口緣部125、125的位置決定銷127，將頭機(jī)構(gòu)1入座到基板121上。在這里，從基板121的下側(cè)貫通基板121，使4根固定螺釘128螺合在兩支撐部件13、13上，完成作業(yè)(同圖(c))。
這樣，在機(jī)構(gòu)導(dǎo)入部105，暫時(shí)放置頭機(jī)構(gòu)1，以這樣的狀態(tài)進(jìn)行必要的配管、配線連接，因而這些連接作業(yè)容易進(jìn)行，并且使連接作業(yè)后的頭機(jī)構(gòu)1在狹小的空間能夠適和地裝入。另外，使頭機(jī)構(gòu)1從暫時(shí)放置角鐵106a在更低的基板121上邊滑動(dòng)邊裝入，因而使頭機(jī)構(gòu)1在主底版111上能夠軟著落地裝入，能夠使重的頭機(jī)構(gòu)1，沒有沖擊地圓滑地裝入。
另外，在描繪裝置B的維護(hù)部104，在底盤裝置及清除裝置并設(shè)地設(shè)有擦拭裝置。如圖17所示，擦拭裝置108具有，帶擦拭片131的擦拭機(jī)構(gòu)132，和使擦拭機(jī)構(gòu)132向著頭機(jī)構(gòu)1進(jìn)退的移動(dòng)機(jī)構(gòu)133。通過Y臺(tái)113對(duì)于導(dǎo)入到維護(hù)部104的頭機(jī)構(gòu)1，移動(dòng)機(jī)構(gòu)133使擦拭機(jī)構(gòu)132在X軸方向(主掃描方向)進(jìn)退地作擦拭動(dòng)作。
擦拭機(jī)構(gòu)133具有，使擦拭片131圈狀地卷起的放出卷軸135，和使將從放出卷軸135放出的擦拭片131卷收起來的卷收卷軸136，和在放出卷軸135和卷收卷軸136之間架設(shè)擦拭片131的擦拭滾輪137。另外，在放出卷軸135和擦拭滾輪137之間，配設(shè)兼用于旋轉(zhuǎn)速度檢測(cè)軸的導(dǎo)向滾輪138，并且在擦拭滾輪137的近旁配設(shè)有洗凈液供給頭139。
放出卷軸135，通過設(shè)置在其上的扭矩限制器制動(dòng)旋轉(zhuǎn)，卷收卷軸136，通過設(shè)在其上的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。從放出卷軸135放出的擦拭片131，通過導(dǎo)向滾輪138而變更路線，從洗凈液供給頭139接受的洗凈液的供給以后，在擦拭滾輪137周圍旋轉(zhuǎn)，被卷收到卷收卷軸136上。
擦拭滾輪137是自由旋轉(zhuǎn)的滾輪，由具有彈性或柔軟性的橡膠滾輪等構(gòu)成。在擦拭時(shí)的擦拭滾輪137，產(chǎn)生將擦拭片131向各液滴排出頭3的頭主體50從下方壓裝的作用。另外，在擦拭時(shí)，擦拭滾輪137接受卷收卷軸136的旋轉(zhuǎn)，通過移動(dòng)的擦拭片131來旋轉(zhuǎn)，并且通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)133，作為擦拭機(jī)構(gòu)133整體向X軸方向移動(dòng)。由此，擦拭片131在頭機(jī)構(gòu)的下面，即在12個(gè)液滴排出頭3的頭主體50按順序滑動(dòng)接合起來。換句話說，對(duì)于頭主體50的相對(duì)的移動(dòng)方向，擦拭片131在反方向移動(dòng)，而擦拭各頭主體50的噴嘴形成面52。
在頭主體50滑動(dòng)接合的擦拭片131，在到達(dá)擦拭滾輪137之前，從洗凈液供給頭139供給洗凈液、即濾清材料等的溶劑等。由此，附著在各頭主體50的噴嘴形成面52上的濾清材料，通過擦拭滾輪137由含浸洗凈液的擦拭片131，可以干凈地擦拭。另外，如上所述，頭主體50的下端部通過在其上鑄型的樹脂62，由于作了倒角，因而在其擦拭的時(shí)候，頭主體50不在擦拭片131上停滯。
下面，參照?qǐng)D18和圖19，對(duì)校準(zhǔn)掩模D進(jìn)行說明。在實(shí)施例的組裝裝置A中，不僅頭機(jī)構(gòu)1的組裝個(gè)數(shù)，而且有必要供給總是具有一定水平的組裝精度的頭機(jī)構(gòu)1。在這里，準(zhǔn)備了標(biāo)示出底盤2和12個(gè)液滴排出頭3的基準(zhǔn)位置的校準(zhǔn)掩模D。即，使校準(zhǔn)掩模D作為元件位置的原型(原版)，使作為復(fù)制的頭機(jī)構(gòu)1由該組裝裝置A組裝。由此，排除對(duì)于頭機(jī)構(gòu)1的各組裝裝置A具有的缺陷及時(shí)效等對(duì)精度的影響。
校準(zhǔn)掩模D由，掩模圖形形成底盤2的基準(zhǔn)位置和各液滴排出頭3的基準(zhǔn)位置的靠模板161，和從下側(cè)保持靠模板161的板支架162構(gòu)成。如上所述，各液滴排出頭3，相對(duì)于各主掃描方向以規(guī)定的角度(40°～60°)傾斜而配置。在這里，靠模板161和板支架162，符合于其傾斜角地形成。
更具體地，靠模板161對(duì)應(yīng)于傾斜搭載的液滴排出頭3的頭主體50，由在其長(zhǎng)邊平行的兩邊和在其短邊平行的兩邊形成為方形，而不產(chǎn)生無用的部分，另外，靠模板161作為原型為了使其不產(chǎn)生變形而由厚的透明的石英玻璃構(gòu)成。
在靠模板161的表面，以表示各液滴排出頭3的基準(zhǔn)位置的各5個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164、164、164、164、164為一組，其在兩側(cè)形成各6組共12組。另外，在該12組的頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164的外側(cè)，形成表示底盤2的基準(zhǔn)位置的一對(duì)的基盤基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)165、165。進(jìn)而，位于端部的頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164的近旁，形成為了調(diào)整識(shí)別照相機(jī)353的像素分解能力的被攝體圖像166。
各5個(gè)的頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164，表示在液滴排出頭3的噴嘴形成面52的中心位置，和位于2列的噴嘴列53、53的各自最外端部的共4個(gè)噴嘴57、57、57、57的位置。如圖18(a)所示，各頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164在圓形線的內(nèi)部描繪中間沖壓的十字的同時(shí)，在除去十字的圓形內(nèi)描繪形成斜線。從而，由識(shí)別照相機(jī)353作圖像識(shí)別(攝象)以后，在暗色的圓形部分的內(nèi)部，識(shí)別亮色的十字部分。
與上述相同，各底盤基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)165也在圓形線的內(nèi)部描繪中間沖壓的十字的同時(shí)，在除去十字的圓形內(nèi)描繪形成斜線。另外，被攝體圖像166由格子狀地高精度地描繪的縱橫的多個(gè)線形成。另外，表示噴嘴形成面52的中心位置的頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164從表示4個(gè)噴嘴57的位置的4個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164可以運(yùn)算出，因而省略也可以。另外，在校準(zhǔn)掩模D形成的圖形，成同一平面地形成以Cr等的金屬為代表的不透明膜，用半導(dǎo)體技術(shù)圖案構(gòu)成等地形成該膜。
板支架162，如圖19和圖20所示具有，比靠模板161大一圈地形成的略方形的靠模支撐板168，和安裝于靠模支撐板168的里面四拐角的樹脂制的4個(gè)角座169、169、169、169，和縱橫不動(dòng)地決定設(shè)在靠模支撐板168的表面的靠模板161的位置的多個(gè)聚氨酯檔板170，和使靠模板161以在靠模支撐板168上浮起的狀態(tài)支撐的多個(gè)支撐銷171，和將對(duì)應(yīng)支撐銷171而設(shè)的靠模板168從上側(cè)按壓的多個(gè)按壓座172。
多個(gè)聚氨酯檔板170，每?jī)蓚€(gè)碰到靠模板161的四邊。另外，多個(gè)支撐銷171，在靠模板161的拐角部處各配置兩個(gè)，并且對(duì)于靠模支撐板168，高度可以調(diào)節(jié)地安裝著。即，各支撐銷171，有調(diào)整螺栓的構(gòu)造，能夠調(diào)整靠模板161的表面、即標(biāo)識(shí)形成面161a的水平。多個(gè)按壓座172分別對(duì)應(yīng)于支撐銷171，在與支撐銷171之間夾入靠模板161地按壓它。
這樣構(gòu)成的校準(zhǔn)掩模D，固定在后述的組裝裝置A的安裝臺(tái)231上。因此，在靠模支撐板168的左右各個(gè)緣部，形成有兩個(gè)固定孔173、173，和配設(shè)在兩個(gè)固定孔173、173之間的銷孔174。并且，校準(zhǔn)掩模D和頭機(jī)構(gòu)1交換裝入在組裝裝置A的安裝臺(tái)231上。
下面，對(duì)液滴排出頭3的組裝裝置A和組裝方法進(jìn)行說明。組裝裝置A是，以在底盤2上暫時(shí)裝入12個(gè)液滴排出頭3的上述的頭機(jī)構(gòu)1為組裝對(duì)象物，在頭機(jī)構(gòu)1的底盤2上使各液滴排出頭3高精度地確定位置地粘接(暫時(shí)固定)的裝置。另外，在該組裝裝置A，暫時(shí)固定液滴排出頭3的頭機(jī)構(gòu)1，經(jīng)過洗凈工序和上述的手柄14等的元件裝入工序，裝入到描繪裝置B中。
如圖21至圖25的外觀圖所示，組裝裝置A在架臺(tái)201上有透明的安全蓋202，在架臺(tái)201上裝入氣體供給機(jī)器203等的同時(shí)，在安全蓋202內(nèi)載置機(jī)臺(tái)204地收放主構(gòu)成裝置205地構(gòu)成。在架臺(tái)201上設(shè)置有4個(gè)小腳輪206和6個(gè)帶調(diào)整螺栓的支撐腳207。在安全蓋202的正面，設(shè)有導(dǎo)入頭機(jī)構(gòu)1的開閉門208，另外，在其上面立設(shè)有警告燈209。
主構(gòu)成機(jī)構(gòu)205具有，搭載頭機(jī)構(gòu)1使其在水平面內(nèi)向X、Y、θ方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211，和進(jìn)行暫時(shí)裝入在底盤2上的各液滴排出頭3的位置修正的頭修正裝置212，和在底盤2上粘接各液滴排出頭3的暫時(shí)固定裝置213，和在液滴排出頭3的位置修正之前作位置識(shí)別底盤2和各液滴排出頭3的識(shí)別裝置214，和統(tǒng)一控制這些機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211、頭修正裝置212、暫時(shí)固定裝置213和識(shí)別裝置214的控制裝置(參照?qǐng)D50)215。
在該組裝裝置A，預(yù)先在機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211導(dǎo)入上述的校準(zhǔn)掩模D，通過識(shí)別裝置214圖像識(shí)別校準(zhǔn)掩模D的各基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164、165，記憶底盤2和各液滴排出頭3的基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù)，基于該基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù)(靠模數(shù)據(jù))進(jìn)行底盤2和各液滴排出頭3的位置修正。另外，校準(zhǔn)掩模D，新的頭機(jī)構(gòu)1的導(dǎo)入組裝時(shí)，當(dāng)然即使是同一個(gè)頭機(jī)構(gòu)1，基于其組裝個(gè)數(shù)及運(yùn)行時(shí)間被定期地導(dǎo)入。當(dāng)然，這時(shí)基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù)被重新設(shè)定。
另外，頭機(jī)構(gòu)1使各液滴排出頭3的頭主體50向上，裝入在機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211的上面，頭機(jī)構(gòu)1的組裝，首先從通過識(shí)別裝置214進(jìn)行底盤2的位置識(shí)別開始。位置識(shí)別底盤2以后，比較該識(shí)別數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù)，基于其比較結(jié)果，通過機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211進(jìn)行底盤2的位置修正。接著，通過識(shí)別裝置214位置識(shí)別液滴排出頭3，基于該識(shí)別結(jié)果(比較結(jié)果)通過頭修正裝置212進(jìn)行液滴排出頭3的位置修正。
接著，持續(xù)保持該位置修正狀態(tài)，由暫時(shí)固定裝置213，通過頭保持部件4液滴排出頭3被粘接在底盤2上。另外這時(shí)，直到粘接劑固化為止，頭修正裝置212不使液滴排出頭(頭保持部件4)3移動(dòng)地按壓著。并且，按液滴排出頭3的個(gè)數(shù)重復(fù)從該液滴排出頭3的位置識(shí)別到粘接的工序，完成全部液滴排出頭3的暫時(shí)固定。
如圖21和圖26所示，機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211通過3個(gè)地方的調(diào)整螺栓217在水平地支撐的板狀的機(jī)臺(tái)204上，具有寬的占有面積被載置著。機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211具有，使頭機(jī)構(gòu)1以反轉(zhuǎn)狀態(tài)裝入的安裝臺(tái)231，和從下側(cè)支撐安裝臺(tái)231的θ臺(tái)232，和從下側(cè)支撐θ臺(tái)232的X.Y臺(tái)233。頭機(jī)構(gòu)1與安裝臺(tái)231一起配合搭載的液滴排出頭3的傾斜，被傾斜地裝入。因此，相當(dāng)于液滴排出頭3的主掃描方向的方向呈X軸方向，副掃描方向呈Y軸方向。
如圖27所示，安裝臺(tái)231具有，形成多個(gè)圓形沖孔236的方形基板235，和固定在基板235的兩側(cè)的一對(duì)帶狀塊237、237。在各帶狀塊237的上面，立設(shè)位置決定銷238的同時(shí)，形成兩個(gè)螺釘孔239、239。即，頭機(jī)構(gòu)1對(duì)于安裝臺(tái)231，在左右兩個(gè)地方?jīng)Q定位置，共在4個(gè)地方作螺釘固定。另外，在基板235的中央部分，形成使安裝臺(tái)231固定在θ臺(tái)232上的4個(gè)貫通孔240等。
這樣，頭機(jī)構(gòu)1，通過安裝臺(tái)231固定在θ臺(tái)232上，同樣校準(zhǔn)掩模D也通過安裝臺(tái)231固定在θ臺(tái)232上。這時(shí)，作為頭機(jī)構(gòu)1和校準(zhǔn)掩模D，固定在θ臺(tái)232上的頭機(jī)構(gòu)1的各液滴排出頭3的噴嘴形成面52，和固定在θ臺(tái)232上的校準(zhǔn)掩模D的標(biāo)識(shí)形成面(靠模板的表面)161a，設(shè)計(jì)為位于同一水平面內(nèi)。
同樣，頭機(jī)構(gòu)1的重量和含板支架162的校準(zhǔn)掩模D的重量被設(shè)計(jì)為大致同一重量。由此，完全在同一條件下進(jìn)行校準(zhǔn)掩模D的位置識(shí)別動(dòng)作和頭機(jī)構(gòu)1的位置識(shí)別動(dòng)作。另外，安裝臺(tái)231對(duì)于頭機(jī)構(gòu)1為專用元件，變更頭機(jī)構(gòu)1后使與其相配合地也變更安裝臺(tái)231。
接著，參照?qǐng)D28、圖29和圖30，對(duì)θ臺(tái)232進(jìn)行說明。θ臺(tái)232由，通過安裝臺(tái)231使頭機(jī)構(gòu)1作微小旋轉(zhuǎn)(微小轉(zhuǎn)動(dòng))的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作部242，和驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作部242的進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部243構(gòu)成。旋轉(zhuǎn)動(dòng)作部242具有，固定安裝臺(tái)231的臺(tái)主體245，和從臺(tái)主體245延長(zhǎng)到進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部243側(cè)的連接臂246，和自由旋轉(zhuǎn)地支撐臺(tái)主體245的滾動(dòng)環(huán)247，和支撐滾動(dòng)環(huán)247的支撐臺(tái)248。這時(shí)，安裝臺(tái)231通過設(shè)在臺(tái)主體245上的兩個(gè)地方的位置決定銷250、250，和通過4個(gè)地方的螺釘孔251，在臺(tái)主體245的上面以決定位置的狀態(tài)由螺釘固定。
進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部243具有，構(gòu)成動(dòng)力源的θ臺(tái)電動(dòng)機(jī)(伺服電動(dòng)機(jī))253，和在θ臺(tái)電動(dòng)機(jī)253的主軸254上通過聯(lián)接器255連接的圓螺釘256，和螺合圓螺釘256的雌螺釘塊257，和使雌螺釘塊257在圓螺釘256的軸方向(在X軸方向)滑動(dòng)自由地支撐的主滑塊258，另外，還有連接上述的連接臂246的前端部的臂托260，和通過軸承261使臂托260旋轉(zhuǎn)自由地支撐的垂直軸部件262，和對(duì)于雌螺釘塊257使垂直軸部件262在X軸方向滑動(dòng)自由地支撐的副滑塊263。
θ臺(tái)電動(dòng)機(jī)253構(gòu)成為可以正反旋轉(zhuǎn)，θ臺(tái)電動(dòng)機(jī)253正反旋轉(zhuǎn)后，通過球螺釘256，雌螺釘塊257被主滑塊258導(dǎo)向在X軸方向進(jìn)退。雌螺釘塊257進(jìn)退后，被其支撐的副滑塊263和垂直軸部件262也在X軸方向進(jìn)退。進(jìn)而，垂直軸部件262進(jìn)退后，通過軸連在其上的臂托260，連結(jié)臂246和臺(tái)主體245以臺(tái)主體245的軸心為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。即，臺(tái)主體245在水平面內(nèi)作正反微小旋轉(zhuǎn)(在θ方向正反移動(dòng))。
另外，伴隨該轉(zhuǎn)動(dòng)，臺(tái)主體245和垂直軸部件262的中間距離發(fā)生變化，但該距離的變化，通過副滑塊263垂直軸部件262通過在Y軸方向適當(dāng)、微小的移動(dòng)而被吸收。另外，通過從雌螺釘塊257突出的遮光板265和伴隨雌螺釘塊257的進(jìn)退靠近遮光板265的3個(gè)光斷續(xù)器266，規(guī)定限制雌螺釘塊257的移動(dòng)端位置、即臺(tái)主體245的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍(角度)(防止超限動(dòng)作)。
進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部243被支撐在設(shè)置于主滑動(dòng)塊258的下側(cè)的支撐板267上，該支撐板267固定在旋轉(zhuǎn)動(dòng)作部242的支撐臺(tái)248上。并且，該支撐臺(tái)248載置在X.Y臺(tái)233上。
下面，參照?qǐng)D26、圖31和圖32，對(duì)X.Y臺(tái)233進(jìn)行說明。X.Y臺(tái)233具有，將θ臺(tái)232從下側(cè)支撐的支撐塊270，和將支撐塊270在X軸方向滑動(dòng)自由地支撐的X軸臺(tái)271，和將X軸臺(tái)271在Y軸方向滑動(dòng)自由地支撐的Y軸臺(tái)272。在支撐塊270于4個(gè)地方有螺釘孔274，在該4個(gè)地方通過螺釘孔274于支撐塊270固定θ臺(tái)232。
X軸臺(tái)271由X軸氣動(dòng)滑塊276，和X軸線性電動(dòng)機(jī)277，和并設(shè)于X軸氣動(dòng)滑塊276的X軸直線標(biāo)度278構(gòu)成。同樣，Y軸臺(tái)272由Y軸氣動(dòng)滑塊279，和Y軸線性電動(dòng)機(jī)280，和并設(shè)于Y軸氣動(dòng)滑塊279的Y軸直線標(biāo)度281構(gòu)成。另外，圖中的符號(hào)282、283分別是X軸鋼纜軸承和Y軸鋼纜軸承。另外，符號(hào)284、284是兩線性電動(dòng)機(jī)277、280的放大器。
X軸線性電動(dòng)機(jī)277和Y軸線性電動(dòng)機(jī)280被適當(dāng)控制驅(qū)動(dòng)，使θ臺(tái)232在X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。即，裝入在安裝臺(tái)231上的頭機(jī)構(gòu)(或者校準(zhǔn)掩模D)1，在水平面內(nèi)，通過θ臺(tái)231在θ軸方向移動(dòng)的同時(shí)，通過X.Y臺(tái)233在X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。
下面，對(duì)頭修正裝置212進(jìn)行說明。頭修正裝置212是，基于由識(shí)別裝置214作的液滴排出頭3的位置識(shí)別，通過頭保持部件4使液滴排出頭3在X軸、Y軸和θ軸方向微小移動(dòng)，進(jìn)行決定液滴排出頭3位置(位置修正)的裝置。另外同時(shí)，頭修正裝置212具有與暫時(shí)固定裝置213協(xié)調(diào)動(dòng)作，直到粘接劑凝固使頭保持部件4推押到底盤2上的功能。
如圖23和33所示，頭修正裝置212由，安裝在上述的機(jī)臺(tái)204的內(nèi)側(cè)的修正裝置用臺(tái)301，和載置在其上的修正用X.Y臺(tái)302、和在修正用X.Y臺(tái)302上被支撐的修正用θ臺(tái)303，和被修正用θ臺(tái)303支撐的臂機(jī)構(gòu)304構(gòu)成。這時(shí)，修正用θ臺(tái)303具有與機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211的θ臺(tái)232完全相同的構(gòu)造，因而在這里省略其說明。另外，在θ臺(tái)232位于左側(cè)配設(shè)有其進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部243，但在該修正用θ臺(tái)303配設(shè)位于右側(cè)(參照?qǐng)D23)。
修正裝置用臺(tái)301，如圖33所示具有，載置修正用X.Y臺(tái)302的基板307，和支撐基板307的3組腳機(jī)構(gòu)308、308、308。3組腳機(jī)構(gòu)308配設(shè)在左部、右部和中央后部的3個(gè)地方，分別由一對(duì)支柱309、309，和在一對(duì)支柱309、309的上下固定的上板310和下板311構(gòu)成。
這時(shí)，在修正裝置用臺(tái)301的下側(cè)空間，靠近通過機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211移動(dòng)的頭機(jī)構(gòu)1，從修正裝置用臺(tái)301突出的臂機(jī)構(gòu)304，從上側(cè)靠近該頭機(jī)構(gòu)1(鎖合在頭保持部件4上)。并且，頭機(jī)構(gòu)1的移動(dòng)和底盤2的位置修正，通過機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211進(jìn)行，各液滴排出頭3的位置修正，通過該頭修正裝置212進(jìn)行。從而，暫時(shí)固定任意的1個(gè)液滴排出頭3以后，機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211移動(dòng)頭機(jī)構(gòu)1，使下一個(gè)液滴排出頭3靠近頭修正裝置212。
如圖33至圖36所示，修正用X.Y臺(tái)302具有，被載置在修正裝置用臺(tái)301的中央并且支撐修正用θ臺(tái)302的支撐塊314，和使支撐塊314在X方向滑動(dòng)自由地支撐的修正用X軸臺(tái)315，和使修正用X軸臺(tái)315在Y軸方向滑動(dòng)自由地支撐的修正用Y軸臺(tái)316。在支撐塊314，于4個(gè)地方有螺釘孔318，在該4個(gè)地方通過螺釘孔318在支撐塊314上固定修正用θ臺(tái)303。
修正用X軸臺(tái)315由，X軸氣動(dòng)滑塊320，和X軸線性電動(dòng)機(jī)321，和并設(shè)于X軸氣動(dòng)滑塊320上的X軸直線標(biāo)度322構(gòu)成。同樣，修正用Y軸臺(tái)316由，Y軸氣動(dòng)滑塊323，和Y軸線性電動(dòng)機(jī)324，和并設(shè)于Y軸氣動(dòng)滑塊323上的Y軸直線標(biāo)度325構(gòu)成。另外，圖中的符號(hào)326、327分別是X軸鋼纜軸承和Y軸鋼纜軸承，另外，符號(hào)328、328是兩線性電動(dòng)機(jī)321、324的放大器。
如圖37、圖38和圖39所示，臂機(jī)構(gòu)304由，鎖合在頭保持部件4上的一對(duì)鎖合孔76、76的一對(duì)鎖合臂331、331，和支撐一對(duì)鎖合臂331、331的底盤332，和升降底盤332的臂升降機(jī)構(gòu)333，和支撐臂升降機(jī)構(gòu)333的支撐臺(tái)334構(gòu)成。支撐臺(tái)334由固定在修正用θ臺(tái)303上的固定板336，和從固定板336向前方延伸的一對(duì)L字臂337、337，和固定在一對(duì)L字臂337、337的前端的垂直板338構(gòu)成，向前方延伸成逆“L”字狀。
臂升降機(jī)構(gòu)333由，升降自由地支撐底盤332的升降滑塊340，和固定在垂直板338的下部升降升降滑塊340的氣動(dòng)氣缸341構(gòu)成。氣動(dòng)氣缸341連接在上述氣體供給機(jī)器203上，通過氣閥等的切換引導(dǎo)升降滑塊340來升降底盤332。底盤332形成為“L”字狀，其前端形成為兩叉。并且，在該兩叉部分分別向下安裝有鎖合臂331、331。
各鎖合臂331如圖40所示具有，插入到頭保持部件4的鎖合孔76上的鎖合銷343，和上下動(dòng)作自由地保持鎖定銷343的銷支架344，和內(nèi)藏在銷支架344里使鎖合銷343向下方頂壓的圈彈簧345。銷支架344的上端部，在底盤332上從下側(cè)嵌合地固定著。鎖合銷343的前端部形成為錐形狀，該錐形部347，對(duì)于頭保持部件4的鎖合孔76其基端側(cè)形成為粗直徑，其前端側(cè)形成為細(xì)直徑。由此，鎖合銷343在鎖合孔76不晃蕩地鎖合起來。
在初始狀態(tài)，兩鎖合臂331、331通過氣動(dòng)氣缸341向上升端位置移動(dòng)，通過機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211移動(dòng)頭機(jī)構(gòu)1以后，通過氣動(dòng)氣缸341使兩鎖合臂331、331下降后，該一對(duì)鎖合銷343、343鎖合在希望的頭保持部件4的鎖合孔76、76上。另外，氣動(dòng)氣缸341通過上述的控制裝置215作定時(shí)器控制，直到通過暫時(shí)固定裝置213涂敷的粘接劑凝固，將位置修正后的頭保持部件4按原樣按壓在底盤2上。
即，使兩鎖合臂331、331下降的氣動(dòng)氣缸341，進(jìn)行頭保持部件4的位置修正和粘接劑的涂敷(詳細(xì)內(nèi)容后面敘述)以后，在經(jīng)過了粘接劑的凝固時(shí)間(達(dá)到規(guī)定的粘接強(qiáng)度的時(shí)間)時(shí)，使兩鎖合臂331、331上升到原來的位置。另外，在本實(shí)施例中，由圈彈簧345頂壓鎖合銷343，但省略了圈彈簧345，使鎖合銷343和銷支架344為一體化的單純的構(gòu)造也可以。
在以上的構(gòu)成中，臂機(jī)構(gòu)304的兩鎖合臂331、331下降，鎖合在頭保持部件4上時(shí)，驅(qū)動(dòng)修正用θ臺(tái)303和修正用X.Y臺(tái)302，通過頭保持部件4決定液滴排出頭3的位置。并且，直到粘接劑凝固，保持決定該位置的狀態(tài)。即，臂機(jī)構(gòu)304的兩鎖合臂331、331，以決定位置狀態(tài)使頭保持部件4向底盤2按壓，在該頭保持部件4上靠近暫時(shí)固定裝置(粘接)213。
下面，對(duì)識(shí)別裝置214進(jìn)行說明。如圖24和圖41所示，識(shí)別裝置214由，跨修正用X.Y臺(tái)302的前部地固定在修正裝置用臺(tái)301上的照相機(jī)臺(tái)351，和固定在照相機(jī)臺(tái)351的前面的照相機(jī)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)352，和安裝在照相機(jī)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)352上的一對(duì)識(shí)別照相機(jī)(CCD照相機(jī))353、353構(gòu)成。這時(shí)，一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353，對(duì)于構(gòu)成識(shí)別對(duì)象的頭機(jī)構(gòu)(校準(zhǔn)掩模D)1固定地被設(shè)置著。
照相機(jī)臺(tái)351具有，逆“L”字狀地在前方延伸的左右一對(duì)腳片部件355、355，和跨過一對(duì)腳片部件355、355之間的橫向長(zhǎng)的前面板356。通過照相機(jī)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)352固定在前面板356上的一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353，配設(shè)在比修正裝置212的一對(duì)鎖合臂331、331稍微高的位置、且稍微向前方突出的位置上(參照?qǐng)D25)，以防止與鎖合臂331的干擾。
如圖41至圖44所示，照相機(jī)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)352具有，添設(shè)在前面板356的Z軸調(diào)節(jié)板358，和安裝在Z軸調(diào)節(jié)板358的下端部的微載物臺(tái)359，和保持左側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353a的左照相機(jī)支架360，和保持右側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353b的右照相機(jī)支架361。Z軸調(diào)整板358在與前面板356之間在垂直方向延伸的一對(duì)導(dǎo)向軌362、362，與此同時(shí)具有碰到前面板356的上端的調(diào)整螺栓363。由該調(diào)整螺栓363的正反旋轉(zhuǎn)，通過Z軸調(diào)整板358，能夠調(diào)節(jié)兩識(shí)別照相機(jī)353、353的上下方向的位置。
微載物臺(tái)359由，通過右照相機(jī)支架361支撐右側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353b的X軸載物臺(tái)365，和在支撐X軸載物臺(tái)365的同時(shí)固定在Z軸調(diào)節(jié)板358的下端部的Y軸載物臺(tái)366構(gòu)成。X軸載物臺(tái)365，為在X軸方向可以微小移動(dòng)右側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353b的構(gòu)成，可以調(diào)節(jié)在右側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353b的前后方向的位置的構(gòu)成。同樣，Y軸載物臺(tái)366，為可以調(diào)節(jié)右側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353b的左右方向的位置的構(gòu)成。
另外，左照相機(jī)支架360固定在Z軸調(diào)節(jié)板358的下端部。因此，通過左照相機(jī)支架360對(duì)于固定地設(shè)置的左側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353a，使右側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353b由微載物臺(tái)359作位置調(diào)節(jié)。如上所述，通過左右識(shí)別照相機(jī)353a、353b，使兩個(gè)噴頭57a、57a同時(shí)作位置識(shí)別，因而特別在處理新的液滴排出頭3的時(shí)候，預(yù)先通過微載物臺(tái)359調(diào)節(jié)左右識(shí)別照相機(jī)353a、353b的離開距離，即視野間距離。另外，圖中的符號(hào)367是一體地覆蓋照相機(jī)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)352和兩識(shí)別照相機(jī)353、353的照相機(jī)蓋。
在這樣構(gòu)成的識(shí)別裝置214，通過與一側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353和機(jī)構(gòu)移動(dòng)機(jī)構(gòu)211的X軸臺(tái)271的協(xié)調(diào)動(dòng)作，位置識(shí)別底盤2的兩個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)(基準(zhǔn)銷12、12)26、26。即，通過一側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353進(jìn)行一側(cè)的基準(zhǔn)銷12的圖像識(shí)別，接著底盤2向X軸方向移動(dòng)進(jìn)行另一側(cè)的基準(zhǔn)銷12的圖像識(shí)別。并且，基于該識(shí)別結(jié)果通過機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211進(jìn)行底盤(頭機(jī)構(gòu)1)2的位置修正，進(jìn)而進(jìn)行再次確認(rèn)的位置識(shí)別。
另外，通過一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353，作為各液滴排出頭3的基準(zhǔn)的兩個(gè)噴嘴57a、57a被同時(shí)作位置識(shí)別。即，該液滴排出頭3向一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353的下面移動(dòng)，同時(shí)圖像識(shí)別兩個(gè)噴頭57a、57a。另外，以該狀態(tài)在頭保持部件4靠近頭修正裝置212，進(jìn)行液滴排出頭3的位置修正，并且進(jìn)行由暫時(shí)固定裝置213的粘接。另外，在校準(zhǔn)掩模D的各標(biāo)識(shí)164、164的識(shí)別也與上述同樣進(jìn)行。
下面，對(duì)暫時(shí)固定裝置213進(jìn)行說明。如圖22和圖45所示，在上述機(jī)臺(tái)204的右部，跨過修正裝置用臺(tái)301地設(shè)置向前后方向延伸的公共所有臺(tái)219，暫時(shí)固定裝置213配設(shè)在該公共所有臺(tái)219的前部。暫時(shí)固定裝置213具有，由4個(gè)載物臺(tái)371在公共所有的臺(tái)219上支撐的方形支撐板372，和固定在方形支撐板372的下面的氣臺(tái)373，和固定在氣臺(tái)373的前端部的粘接劑涂敷裝置374，和在移動(dòng)向內(nèi)部位置的粘接劑涂敷裝置374從下側(cè)靠近的粘接劑盤375。粘接劑盤375固定在公共所有的臺(tái)219上，從粘接劑涂敷裝置374承接落下的粘接劑。
如圖45至圖49所示，氣臺(tái)373由，安裝在方形支撐板372上的Y軸氣臺(tái)377，和安裝在Y軸氣臺(tái)377的前端部的副Y軸氣臺(tái)378，和安裝在副Y軸氣臺(tái)378的前端部的X軸氣臺(tái)379，和安裝在X軸氣臺(tái)379的前端部的Z軸氣臺(tái)380構(gòu)成。并且，這些Y軸氣臺(tái)377、副Y軸空氣臺(tái)378、X軸氣臺(tái)379和Z軸氣臺(tái)380無論哪一個(gè)都由連接在上述的空氣供給機(jī)器203的氣缸377a、378a、379a、380a和滑塊377b、378b、379b、380b構(gòu)成。
粘接涂敷裝置374由，固定在上述的Z軸氣臺(tái)380上的垂直支撐板382，和從垂直支撐板382的下部向前方突出的左右一對(duì)水平支撐塊383、383，和安裝在各水平支撐塊383上的一對(duì)調(diào)合器384、384，和支撐在上述的公共所有臺(tái)219上的調(diào)合器控制器385構(gòu)成。一對(duì)調(diào)合器機(jī)構(gòu)384、384，對(duì)于上述一對(duì)鎖合臂331、331及一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353，從前方對(duì)峙地配設(shè)著。
各調(diào)合器機(jī)構(gòu)384具有，在前端裝入粘接劑注入嘴387的調(diào)合器388，和對(duì)調(diào)合器388供給粘接劑的彈殼形式的注射器389，和保持調(diào)合器388和注射器389的調(diào)合器支架390。調(diào)合器支架390角度自由調(diào)節(jié)地被安裝在水平支撐塊383的前端部，在本實(shí)施例中，粘接劑注入嘴387相對(duì)于水平被調(diào)節(jié)為傾斜45度左右。另外，各水平支撐塊383，對(duì)于垂直支撐板382，在前后和左右方向可以作位置調(diào)節(jié)地被固定著。
如上所示，粘接劑使用上述的兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387，在構(gòu)成頭保持部件4的一對(duì)的一側(cè)的兩個(gè)粘接劑注入孔77a、77a同時(shí)地被注入(涂敷)的同時(shí)，經(jīng)過向兩粘接劑注入嘴387、387的Y軸方向的移動(dòng)以后，在成對(duì)的另一側(cè)的兩個(gè)非粘接劑注入孔77b、77b同時(shí)被注入(涂敷)。從而，兩粘接劑注入嘴387、387的離開尺寸，對(duì)應(yīng)于構(gòu)成在頭保持部件4的一對(duì)的粘接劑注入孔77a、(77b)、77a、(77b)的離開尺寸。另外，具有規(guī)定地傾斜角度的各粘接劑注入嘴387，被插入到作為長(zhǎng)孔的粘接劑注入孔77中，在其內(nèi)周面猛吹地注入粘接劑。
然而，頭修正裝置212以完成決定位置動(dòng)作的狀態(tài)，按原樣將頭保持部件4按壓到底盤2上，保持其不動(dòng)。對(duì)此，驅(qū)動(dòng)X軸氣臺(tái)379和Y軸氣臺(tái)377，使兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387向頭保持部件4的兩個(gè)粘接劑注入孔77a、77a的上部移動(dòng)。在這里，驅(qū)動(dòng)Z軸氣臺(tái)380，使兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387同時(shí)插入到兩個(gè)粘接劑注入孔77a、77a。
下面，通過注射器389，從兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387注入規(guī)定量(由調(diào)合器控制器385調(diào)整)的粘接劑。接著，通過Z軸氣臺(tái)380，提升兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)副Y軸氣臺(tái)387，使兩個(gè)粘接劑注入嘴387、387向另一側(cè)的兩個(gè)粘接劑注入嘴77b、77b的上部移動(dòng)。這時(shí)，構(gòu)成在頭保持部件4的一對(duì)的兩組粘接劑注入孔77a、(77b)、77a、(77b)之間的距離為一定，因而在這里使Y軸氣臺(tái)377停止，僅驅(qū)動(dòng)副Y軸氣臺(tái)378。
下面，再次提升粘接劑注入嘴387、387以后，休止暫時(shí)固定裝置213，等待粘接劑的凝固時(shí)間。經(jīng)過凝固時(shí)間以后，頭修正裝置212解除對(duì)于頭保持部件4的鎖合，完成任意一個(gè)液滴排出頭3的暫時(shí)固定(位置確定和粘接)作業(yè)。并且，進(jìn)行通過該頭修正裝置212和暫時(shí)固定裝置213的協(xié)調(diào)動(dòng)作的液滴排出頭3的位置決定和粘接作業(yè)，通過重復(fù)12次，完成液滴排出頭3的暫時(shí)固定，頭修正裝置212和暫時(shí)固定裝置213分別返回到內(nèi)部位置。
在這里，參照?qǐng)D50，對(duì)控制裝置215進(jìn)行說明的同時(shí)，對(duì)基于該控制裝置215的頭機(jī)構(gòu)1的一系列組裝順序進(jìn)行說明。如該圖的方塊圖所示，在控制裝置215的控制系統(tǒng)具有，通過操作面板401輸入底盤2及液滴排出頭3的設(shè)計(jì)上的位置數(shù)據(jù)等的輸入部402，和有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211等的構(gòu)成裝置的各種驅(qū)動(dòng)器等的驅(qū)動(dòng)部403，和通過識(shí)別照相機(jī)353進(jìn)行位置識(shí)別的檢測(cè)部404，和一體控制組裝裝置A的各構(gòu)成裝置的控制部405。
驅(qū)動(dòng)部403具有，驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211的各電動(dòng)機(jī)的移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器407，和驅(qū)動(dòng)控制頭修正裝置212的各電動(dòng)機(jī)的修正用驅(qū)動(dòng)器408，和驅(qū)動(dòng)控制在暫時(shí)固定裝置213上的氣臺(tái)373的各氣缸的空氣用驅(qū)動(dòng)器409，和驅(qū)動(dòng)控制在暫時(shí)固定裝置213上的調(diào)合器機(jī)構(gòu)384的調(diào)合器控制器385。
控制部405具有CPU411、ROM412、RAM413和P-CON414，這些組件相互通過信息傳遞通路415連接。在ROM412具有，記憶由CPU411處理的控制程序的控制程序以外，記憶各種控制數(shù)據(jù)的控制數(shù)據(jù)區(qū)域。RAM413具有，從外部輸入的位置數(shù)據(jù)，及記憶識(shí)別照相機(jī)353從校準(zhǔn)掩模D得到的靠模位置數(shù)據(jù)等的位置數(shù)據(jù)區(qū)域以外的各種寄存器群，作為控制處理的作業(yè)區(qū)域來使用。
P-CON414補(bǔ)充CPU411的功能的同時(shí)，裝入處理與周圍電路的接口信號(hào)的邏輯電路及定時(shí)器416。因此，P-CON414連接操作板401將從輸入部402來的各種指令等按原樣或者加工后取入到信息傳遞通路415中。另外，P-CON414與CPU411連動(dòng)，從CPU411等將輸出到信息傳遞通路415中的數(shù)據(jù)及控制信號(hào)按原樣或者加工后輸出到驅(qū)動(dòng)部。
并且，CPU411通過上述構(gòu)成，按照ROM412內(nèi)的控制程序，通過P-CON414輸入各種檢測(cè)信號(hào)、各種指令、各種數(shù)據(jù)等，處理RAM413內(nèi)的各種數(shù)據(jù)，通過P-CON414向驅(qū)動(dòng)部403輸出控制信號(hào)。由此，控制機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211、頭修正裝置212、暫時(shí)固定裝置213等的組裝裝置A整體。
例如，從識(shí)別照相機(jī)353得到的校準(zhǔn)掩模D的靠模位置數(shù)據(jù)、和從識(shí)別照相機(jī)353得到的頭機(jī)構(gòu)1的機(jī)構(gòu)位置數(shù)據(jù)，裝入到RAM413內(nèi)，按照ROM412內(nèi)的控制程序，比較靠模位置數(shù)據(jù)和機(jī)構(gòu)位置數(shù)據(jù)，基于其比較結(jié)果，控制機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211、頭修正裝置212等。
在這里，對(duì)由實(shí)施例的組裝裝置A帶來的頭機(jī)構(gòu)1的組裝方法，按順序進(jìn)行說明。在該組裝裝置A，在頭機(jī)構(gòu)1的導(dǎo)入之前，首先，導(dǎo)入校準(zhǔn)掩模D。校準(zhǔn)掩模D裝入到安裝臺(tái)231上后，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211，使校準(zhǔn)掩模D的一側(cè)的底盤基準(zhǔn)標(biāo)示165靠近一側(cè)的識(shí)別照相機(jī)353，位置識(shí)別一側(cè)的底盤基準(zhǔn)標(biāo)示165。接著，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211的X軸臺(tái)271，使另一側(cè)的底盤基準(zhǔn)標(biāo)示165靠近識(shí)別照相機(jī)353，位置識(shí)別另一側(cè)的底盤基準(zhǔn)標(biāo)示165。
下面，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211，使位于校準(zhǔn)掩模D的端部的頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164同時(shí)靠近一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353，同時(shí)位置識(shí)別兩個(gè)地方的頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164、164。對(duì)其按順序重復(fù)，位置識(shí)別對(duì)應(yīng)于12個(gè)液滴排出頭3的12組頭基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)164。這樣，如果完成了校準(zhǔn)掩模D的位置識(shí)別，使校準(zhǔn)掩模D回到內(nèi)部位置，在安裝臺(tái)231上重新載上頭機(jī)構(gòu)1。
在這里，將頭機(jī)構(gòu)1按與上述完全同樣的順序移動(dòng)，首先位置識(shí)別底盤2的一對(duì)基準(zhǔn)銷12、12，基于該識(shí)別結(jié)果，通過機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211位置修正底盤(頭機(jī)構(gòu)1)2。接著，以與上述同樣的順序，使第一個(gè)液滴排出頭3的頭主體(頭保持部件4)50靠近頭修正裝置212的一對(duì)鎖合臂331，在頭保持部件4上鎖合鎖合臂331。在這里，通過一對(duì)識(shí)別照相機(jī)353、353位置識(shí)別作為頭主體50的位置基準(zhǔn)的兩個(gè)噴出咀57a、57a。
接著，驅(qū)動(dòng)頭修正裝置212，基于上述識(shí)別結(jié)果通過頭保持部件4決定液滴排出頭3的位置。并且，在該位置決定狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)暫時(shí)固定裝置213，使一對(duì)粘接劑注入嘴387、387靠近頭保持部件4，進(jìn)行粘接劑的注入。粘接劑的注入，通過暫時(shí)固定裝置213的副Y軸氣動(dòng)氣缸378，伴隨粘接劑注入嘴387的移動(dòng)進(jìn)行兩次。如完成了粘接劑的注入，通過定時(shí)器控制等待粘接劑的固化，解除頭修正裝置212對(duì)頭保持部件4的鎖合。
這樣，完成第一個(gè)液滴排出頭3的位置決定和暫時(shí)固定，使該作業(yè)從第2個(gè)到第12個(gè)液滴排出頭3反復(fù)進(jìn)行。并且最后，使機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置211、頭修正裝置212和暫時(shí)固定裝置213分別回到內(nèi)部位置，將組裝好的頭機(jī)構(gòu)1從安裝臺(tái)231卸下。其后，頭機(jī)構(gòu)1經(jīng)過液滴排出頭3的洗凈的同時(shí)，在其上裝入手柄14及兩組件15、16等的構(gòu)成部件，運(yùn)入到描繪裝置B處。
另外，在本實(shí)施例中，將液滴排出頭3通過頭保持部件4粘接到底盤2上，粘接部分為金屬-金屬的粘接，但將液滴排出頭3直接粘接到底盤2上的構(gòu)造也可以。
然而，本發(fā)明的頭機(jī)構(gòu)的組裝裝置和由此組裝的頭機(jī)構(gòu)1不僅上述的描繪裝置B，而且也可以適應(yīng)于各種平面顯示器的制造方法，及各種電子儀器和光學(xué)儀器的制造方法等。在這里，對(duì)使用該頭機(jī)構(gòu)1的制造方法以液晶顯示裝置的制造方法和有機(jī)EL裝置的制造方法為例進(jìn)行說明。
圖51是液晶顯示裝置的濾色器的部分放大圖。圖51(a)是俯視圖。圖51(b)是圖51(a)的B-B′線剖面圖。剖面圖各部分的剖面線一部分省略。
如圖51(a)所示，濾色器500具有并列為矩陣狀的像素(濾清要素)512，像素和像素的交界線，由隔板513隔開。在像素512的一個(gè)一個(gè)處，導(dǎo)入紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)其中之一的墨液(濾色材料)。在該例中使紅、綠、藍(lán)的配置為所謂光鑲嵌幕配列，但為帶狀配列、三角形配列等其他的配置也可以。
如圖51(b)所示，濾色器500具有透光性的基板511，和遮光性的隔板513。沒有形成(被除去的)隔板513的部分，構(gòu)成上述像素512。在該像素512導(dǎo)入的各種顏色的墨液構(gòu)成著色層521。在隔板513和著色層521的上面，形成覆蓋鍍層522和電極層523。
圖52是說明由本發(fā)明的實(shí)施例而得的的濾色器的制造方法的制造工序剖面圖。剖面圖各部的剖面線一部分省略了。
對(duì)由膜厚0.7mm、縱長(zhǎng)38cm、橫長(zhǎng)30cm的無堿玻璃構(gòu)成的透明基板511的表面，由在熱濃硫酸中添加1％重量的過氧化氫水的洗凈液洗凈，用純水沖洗后，通過空氣干燥得到清潔的表面。在該表面，通過噴射法由平均0.2μm的膜厚形成鉻膜，得到金屬層514′(圖52S1)。
將該基板在熱板上，于80℃干燥5分鐘以后，在金屬層514′的表面，通過旋轉(zhuǎn)鍍層形成光至保護(hù)膜層(圖中未示)。在該基板表面，使描繪了希望的矩陣圖形形狀的掩膜膠片緊密接觸，由紫外線進(jìn)行透光。接著，使其浸漬在以8％重量的比例地含有氫氧化鉀的堿顯象液中，除去未露出部分的光至保護(hù)膜，圖案形成保護(hù)膜層。接著，對(duì)露出的金屬層用以鹽酸為主要成分的蝕刻液蝕刻除去。這樣能夠得到具有規(guī)定的矩陣圖形的遮光層(黑矩陣)514(圖52S2)。遮光層514的膜厚大致為0.2μm。另外，遮光層514的寬大致是22μm。
在該基板上，仍然用旋轉(zhuǎn)鍍層法進(jìn)一步涂敷底片型的透明丙烯酸類的感光性樹脂組成物515′(圖52S3)。對(duì)其在100℃預(yù)先烘干20分鐘以后，使用描繪規(guī)定的矩陣圖形形狀的掩膜膠片進(jìn)行紫外線曝光。對(duì)未曝光部分的樹脂，仍然用堿性顯象液顯象，用純凈水清洗以后作旋轉(zhuǎn)干燥。對(duì)作為最終的干燥的后烘干在200℃進(jìn)行30分鐘，通過使樹脂部充分固化，形成隔板層515，形成由遮光層514和隔板層515構(gòu)成的隔板513(圖52S4)。該隔板層515的膜厚平均是2.7μm。另外，隔板層515的寬大約是14μm。
為了改善由得到的遮光層514和隔板層515劃分開的著色層形成區(qū)域(特別是玻璃基板511的露出面)的墨液濕潤(rùn)性，進(jìn)行干蝕刻、即進(jìn)行等離子體處理。具體地，對(duì)在氦中施加20％氧的混合氣體施以高電壓，在等離子體的氛圍中形成蝕刻點(diǎn)，使基板在該蝕刻點(diǎn)下通過進(jìn)行蝕刻。
接著，在由隔板513劃分開而形成的像素512內(nèi)，通過噴墨方式導(dǎo)入上述R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))的各種墨液(圖52S5)。在液滴排出頭(噴墨頭)，使用應(yīng)用壓電效應(yīng)的精密頭，有選擇地每隔著色層形成的區(qū)域噴出10滴微小墨滴。驅(qū)動(dòng)頻率設(shè)定為14.4kHz、即各墨滴的噴出間隔設(shè)定為69.5μ秒。頭和目標(biāo)的之間的距離設(shè)定為0.3mm。為了防止從頭向作為目標(biāo)的著色層形成區(qū)域的飛翔速度、飛行拐彎即被稱為衛(wèi)星的分裂雜散滴的發(fā)生，墨液的物理特性，當(dāng)然驅(qū)動(dòng)頭的壓電元件的波形(含電壓)是重要的。從而，使事先設(shè)定的波形程序化，同時(shí)涂敷紅、綠、藍(lán)的三種顏色的墨滴地，在規(guī)定的配色圖形上涂敷墨液。
作為墨液(濾清材料)，例如在聚氨酯樹脂的低聚物上分散無機(jī)顏料以后，作為低沸點(diǎn)溶劑添加環(huán)己酮和醋酸丁酯，作為高沸點(diǎn)溶劑添加丁醚乙酸酯，進(jìn)一步作為分散劑添加重量的0.01％的非離子類界面活性劑，使用粘度為6～8厘泊的活性劑。
接著，干燥涂敷的墨液。首先，在自然氛圍中放置3小時(shí)在進(jìn)行離子層516的凝固以后，在80℃的熱板上進(jìn)行40分鐘加熱，最后在打開的狀態(tài)下用200℃加熱30分鐘來進(jìn)行墨液層516的固化處理，可得到著色層521(圖52S6)。
在上述基板上，旋轉(zhuǎn)鍍敷透明的丙稀基樹脂涂料，形成具有平滑面的覆蓋鍍層522。進(jìn)而，在其上面由規(guī)定的圖形形成由ITO(Indium TinOxide)組成的電極層523。作為濾色器500(圖52S7)。
圖53是由本發(fā)明的制造方法制造的電光學(xué)裝置(平面顯示器)的一例的彩色液晶顯示裝置的剖面圖。一部分省略了剖面圖各部分的剖面線。
該彩色液晶顯示裝置550，組合濾色器500和相對(duì)的基板566，通過在兩者之間封入液晶組成物565來制造。在液晶顯示裝置550的一側(cè)的基板566的內(nèi)側(cè)面，TFT(薄膜晶體管)元件(圖中未示)和像素電極563形成為矩陣形狀。另外，作為另一側(cè)的基板，在與像素電極563相對(duì)的位置配列紅、綠、藍(lán)的著色層521而設(shè)置濾色器500。
在基板566和濾色器500的各自相對(duì)的面，形成取向膜561、564。摩擦處理這些取向膜561、564，能夠使液晶分子在規(guī)定方向配列。另外，在基板566和濾色器500的外側(cè)面，分別粘接偏振光板562、567。另外，作為背景燈一般使用熒光燈(圖中未示)和散射板的組合，通過起到使液晶組成物565作為變化背景光的透過率的光快門的功能來進(jìn)行顯示。
另外，電光學(xué)裝置，在本發(fā)明中不限于上述的彩色液晶顯示裝置，例如能夠使用薄型的顯像管、或者使用液晶快門等的小型電視機(jī)、EL顯示裝置、等離子體顯示器、CRT顯示器、FED(Field EmissionDisplay)盤等各種的電光學(xué)裝置。
下面，參照?qǐng)D52至圖66，說明有機(jī)EL裝置的有機(jī)EL(顯示裝置)和其制造方法。
(1)第1實(shí)施例第54圖至第58圖是表示本發(fā)明的第一實(shí)施例的圖，該實(shí)施例是，適用于使用EL表示元件的有源的矩形的顯示裝置的實(shí)施例。更具體地，表示利用作為配線的掃描線、信號(hào)線和共同送電線，進(jìn)行作為光學(xué)材料的發(fā)光材料的涂敷的例子。
第54圖是表示在本實(shí)施例的顯示裝置600的一部分的電路圖，該顯示裝置600，在透明的顯示基板上具有，多個(gè)掃描線631，和對(duì)于這些掃描線631在交叉的方向延伸的多個(gè)信號(hào)線632，和與這些信號(hào)線632并列地延伸的多個(gè)共同送電線633，以上分別配線的構(gòu)成，同時(shí)，在每個(gè)掃描線631和信號(hào)線632的各交叉點(diǎn)，設(shè)有像素區(qū)域要素600A。
對(duì)于信號(hào)線632，設(shè)有帶移位寄存器、水平移動(dòng)器、攝像機(jī)線、模擬開關(guān)的數(shù)據(jù)側(cè)驅(qū)動(dòng)電路601。
另外，對(duì)于掃描線631，設(shè)置有帶移位寄存器和水平移動(dòng)器的掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路602。進(jìn)而，另外，在各個(gè)像素區(qū)域600A，設(shè)有，通過掃描線631將掃描信號(hào)向柵極供給的開關(guān)薄膜晶體管643，和通過該開關(guān)薄膜晶體管643保持從信號(hào)線632供給的圖像信號(hào)的保持容量cap，和通過該保持容量cap保持的圖像信號(hào)供給到柵極上的電流薄膜晶體管644，和通過該電流薄膜晶體管644向共同送電線633作電的連接時(shí)，從共同送電線633驅(qū)動(dòng)電流流入的像素電極642，和被夾在該像素電極642和反射電極652之間的發(fā)光元件641。
如是這樣的構(gòu)成，驅(qū)動(dòng)掃描線631，開關(guān)薄膜晶體管643為打開時(shí)，此時(shí)的信號(hào)線632的電位被保持在保持容量cap，對(duì)應(yīng)該保持容量cap的狀態(tài)，決定電流薄膜晶體管644的開、關(guān)狀態(tài)。并且，通過電流薄膜晶體管644的通道，電流從共同送電線633向像素電極642流動(dòng)，進(jìn)而由于通過發(fā)光元件641電流在反射電極652上流動(dòng)，因而發(fā)光元件641響應(yīng)該流動(dòng)的電流量而發(fā)光。
在這里，各像素區(qū)域600A的平面構(gòu)造是，如在除去了反射電極及發(fā)光元件的狀態(tài)的放大俯視圖的第55圖所示，平面形狀即長(zhǎng)方形的像素電極642的四邊呈由信號(hào)線632、共同送電線633、掃描線631和圖中未示的另外的像素電極用掃描線包圍的配置。
第56圖～第58圖是依次表示像素區(qū)域600A的制造過程的剖面圖，相當(dāng)于第55圖的A-A線剖面。以下，根據(jù)第56圖～第58圖，說明像素區(qū)域600A的制造工序。
首先，如第56圖(a)所示，對(duì)于透明的顯示基板621，根據(jù)需要，使TEOS(四乙氧基硅烷)及氧氣等作為原料氣體通過等離子體CVD法形成由厚度約為2000～5000埃的硅氧化膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜(圖中未示)。接著，將顯示基板621的溫度設(shè)定為約350℃，在基底保護(hù)膜的表面通過等離子體CVD法形成由厚度約為300～700埃的非晶形的硅膜構(gòu)成的半導(dǎo)體膜700。接著對(duì)于由非晶形的硅膜構(gòu)成的半導(dǎo)體膜700，進(jìn)行激光退火或者固相成長(zhǎng)法等的結(jié)晶化工序，使半導(dǎo)體膜700結(jié)晶化為多晶硅膜。在激光退火法中，例如，使用由準(zhǔn)分子激光的光束的長(zhǎng)度400mm的線光線，其輸出強(qiáng)度例如大約是200mj/cm2。關(guān)于線光線相當(dāng)于在其短方向的激光強(qiáng)度的峰值90％的部分按每個(gè)區(qū)域重疊地掃描線光線。
接著，如第56圖(b)所示，圖案形成半導(dǎo)體膜700作為島狀的半導(dǎo)體膜710，對(duì)于其表面，使TEOS(四乙氧基硅烷)及氧氣等作為原料氣體通過等離子體CVD法形成由厚度約為600～1500埃的硅氧化膜或氮化膜構(gòu)成的門絕緣膜720。另外，半導(dǎo)體膜710是構(gòu)成電流薄膜晶體管644的通道區(qū)域和源漏區(qū)域的，但在不同的剖面位置也形成構(gòu)成開關(guān)薄膜晶體管643的通道區(qū)域和源漏區(qū)域的半導(dǎo)體膜?？傊?，在如第56圖～第58圖所示的制造工序中兩種晶體管643、644是被同時(shí)制作的，但由于以相同的順序制作，在以下的說明中，關(guān)于晶體管僅就電流薄膜晶體管644進(jìn)行說明，省略有關(guān)開關(guān)薄膜晶體管643的說明。
接著，如第56圖(c)所示將由鋁、鉭、鉬、鈦、鎢等的金屬膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜通過噴射法形成以后，形成圖案、并形成柵極644A。
以該狀態(tài)打入高溫度的磷離子，在硅薄膜710上，對(duì)于柵極644A自我整合地形成源漏區(qū)域644a、644b。另外，沒被導(dǎo)入雜物的部分為通道區(qū)域644c。
接著，如第56圖(d)所示，形成層間絕緣膜730以后，形成連結(jié)孔731、732，在這些連結(jié)孔731、732內(nèi)埋入轉(zhuǎn)接電極733、734。
接著，如第56圖(e)所示，在層間絕緣膜730上，形成信號(hào)線632、共同送電線633、和掃描線(在第56圖中未示)。這時(shí)，信號(hào)線632、共同送電線633和掃描線的各個(gè)配線，作為配線不被局限于必要的厚度，而形成充分的厚度。具體地，使各配線形成為1～2μm左右的厚度。在這里作為轉(zhuǎn)接電極734和各配線、由同一工序形成也可以。這時(shí)、轉(zhuǎn)接電極733由后述的ITO膜形成。
并且，也覆蓋各配線的上面地形成層間絕緣膜740，在對(duì)應(yīng)于轉(zhuǎn)接電極733的位置形成連結(jié)孔，在該連結(jié)孔內(nèi)也埋入地形成ITO膜，圖形形成該ITO膜，在信號(hào)線632、被共同送電線633和掃描線包圍的規(guī)定位置，形成電聯(lián)接源漏區(qū)域644a的像素電極642。
在這里，于第56圖(e)中，被夾在信號(hào)線632和共同送電線633的部分，是相當(dāng)于有選擇地配置光學(xué)材料的規(guī)定位置的部分。并且，在該規(guī)定位置和其周圍之間，通過信號(hào)線632及共同送電線633形成階梯611。具體地，形成規(guī)定位置處比其周圍還低的凹形的階梯611。
下面，如第57圖(a)所示，以使顯示基板621的上面向上的狀態(tài)，通過噴墨頭方式，噴出形成碰到發(fā)光元件641的下層部分的正孔注入層的液狀(溶到溶劑中的溶液狀)的光學(xué)材料(前驅(qū)體)612A，在使其由階梯611包圍的區(qū)域內(nèi)(規(guī)定位置)有選擇地作涂敷。
作為形成正孔注入層的材料，可以例舉出聚合物前驅(qū)體為四氫化硫代苯基次苯基的聚苯乙烯，1、1-雙-(4-N、N-二甲苯胺基苯基)環(huán)己烷、三(8-羥基喹啉)鋁等。
這時(shí)，液狀的前驅(qū)體612A由于流動(dòng)性高，向水平方向擴(kuò)展，但包圍被涂敷的位置地形成階梯611，因而如果不使該液狀的前驅(qū)體612A的每一次的涂敷量非常大，能夠防止液狀的前驅(qū)體612A越過階梯611擴(kuò)展到規(guī)定位置的外側(cè)。
下面，如第57圖(b)所示，通過加熱或光照射蒸發(fā)液狀的前驅(qū)體612A的溶劑，在像素電極642上，形成固體的薄正孔注入層641a。在這里，也根據(jù)液狀的前驅(qū)體612A的濃度，僅形成薄正孔注入層641a。在這里，當(dāng)使更厚的正孔注入層641a為必要的時(shí)候，有必要反復(fù)數(shù)次進(jìn)行第57圖(a)和(b)的工序，如第57圖(c)所示，形成充分厚的正孔注入層641A。
下面，如第58圖(a)所示，以使顯示基板621的上面向上的狀態(tài)，通過噴墨頭方式，噴出形成碰到發(fā)光元件641的上層部分的有機(jī)半導(dǎo)體膜的液狀(溶到溶劑里的溶液狀)的光學(xué)材料(有機(jī)熒光材料)621B，使其在由階梯611包圍的區(qū)域內(nèi)(規(guī)定位置)有選擇地作涂敷。
作為有機(jī)熒光材料可以例舉出氰基聚苯，乙烯、聚苯乙烯、聚烷基苯、2，3，6，7-四氫-11-氧代-1H·5H·11H(1)苯并吡喃[6，7，8-Ij]-喹嗪-10-羧酸、1，1-雙-(4-N，N-二甲苯胺基苯基)環(huán)己烷、2-(3，4-二羥苯基-3，5，7-三羥基-1-苯并芘三(8-羥基喹啉)鋁、2，3，6，7-四氫-9-甲基-11-氧代-1H·5H·11H(1)苯并吡喃[6，7，8-Ij]-喹啉、芳香族二胺衍生物(TDP)、羥基二吡咯聚體(OXD)、羥基二吡咯衍生物(PBD)、二甲亞芳香基衍生物(DSA)、羥基喹啉系金屬絡(luò)合物、鈹苯并羥基喹啉絡(luò)合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、二苯乙烯衍生物、吡唑啉聚體、紅熒烯、喹吖啶、三唑衍生物、聚苯、聚烷基芴、聚烷基噻吩、甲亞胺鋅絡(luò)合物、鋅絡(luò)合物、苯并噁唑鋅絡(luò)合物、菲繞啉銪絡(luò)合物等。
這時(shí)，液狀的有機(jī)熒光材料612B，由于流動(dòng)性高，仍然要向水平方向擴(kuò)展，但由于包圍涂敷的位置地形成階梯611，如果不使該液狀的有機(jī)熒光材料612B的每一次的涂敷量為非常大的量，能夠防止液狀的有機(jī)熒光材料612B越過階梯611擴(kuò)展到規(guī)定位置的外側(cè)。
下面，如第58圖(b)所示，通過加熱或光照射蒸發(fā)液狀的有機(jī)熒光材料612B的溶劑，在正孔注入層641A上，形成固體的薄有機(jī)半導(dǎo)體薄膜641b。在這里，也根據(jù)液狀的有機(jī)熒光材料612B的濃度，僅形成薄有機(jī)半導(dǎo)體膜641b。在這里，當(dāng)更厚的有機(jī)半導(dǎo)體膜641b為必要的時(shí)候，有必要反復(fù)數(shù)次進(jìn)行第58圖(a)和(b)的工序，如第58圖(c)所示，形成充分厚的有機(jī)半導(dǎo)體膜641B。通過正孔注入層641A和有機(jī)半導(dǎo)體膜641B，構(gòu)成發(fā)光元件641。最后，如第58圖(d)所示，顯示基板621的表面全體地或者帶狀地形成反射電極652。
這樣，在本實(shí)施例中，將配置發(fā)光元件641的處置位置從四方包圍地形成信號(hào)線632、共同配線633等的配線的同時(shí)，比平常還厚地形成這些配線地形成階梯611，并且，由于有選擇地涂敷液狀的前驅(qū)體612A及液狀的有機(jī)熒光材料612B，因而有發(fā)光元件641的圖案形成精度高的優(yōu)點(diǎn)。
并且，形成階梯611后，反射電極652形成比較大的凹凸面，但如果使該反射電極652大厚度在某種程度上變厚，產(chǎn)生斷線等的不順利的可能性就變得非常小。
并且，由于利用信號(hào)線632及共同配線633等的配線形成階梯611，因?yàn)楫?dāng)然不會(huì)特別地增加新的工序，也就不會(huì)帶來制造工序的大幅的復(fù)雜化。
另外，形成發(fā)光元件641的上層的光學(xué)材料，不只限于有機(jī)熒光材料612B，是無機(jī)熒光材料也可以。
另外，作為開關(guān)元件的晶體管643、644，通過在600℃以下的低溫工藝方法形成的多結(jié)晶硅來形成是理想的，由此，能夠通過玻璃基板的使用而帶來低成本化和通過高移動(dòng)度而帶來高性能化，而兩得利。另外，開關(guān)元件通過由非晶質(zhì)硅或者由600℃以上的高溫工藝方法形成的多結(jié)晶硅來形成也可以。
并且，是設(shè)置開關(guān)薄膜晶體管643和電流薄膜晶體管644以外的晶體管的形式也可以，或者是由一個(gè)晶體管驅(qū)動(dòng)的形式也可以。
另外，階梯611通過無源的矩形顯示元件的第一信息傳輸通路配線、和有源的矩形大型顯示元件的掃描線631和遮光層形成也可以。
另外，作為發(fā)光元件641，雖然發(fā)光效率(正孔注入率)稍微低下，但是省略正孔注入層641A也可以。另外，代替正孔注入層641A，使電子注入層在有機(jī)半導(dǎo)體膜641B和反射電極652之間形成也可以，或者，形成正孔注入層和電子注入層兩方也可以。
另外，在上述實(shí)施例中，特別注意到彩色顯示，對(duì)有選擇地配置各發(fā)光元件641全體的情況進(jìn)行了說明，但例如在單色顯示的顯示裝置600的時(shí)候，如第59圖所示，有機(jī)半導(dǎo)體膜641B，在顯示基板621整面上同樣地形成也可以。但是，即使在這種時(shí)候?yàn)榱朔乐瓜嗷ビ绊?，正孔注入?41A由于應(yīng)該有選擇地按每各規(guī)定位置配置，利用了階梯611的涂敷是非常有效的。
(2)第2實(shí)施例第60圖(a)是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的圖，該實(shí)施例是適用于使用EL顯示元件的無源矩陣形的顯示裝置的發(fā)明。
另外，第60圖(a)是表示多個(gè)第1信息傳輸通路配線750，和配設(shè)于與其正交的方向的多個(gè)第2信息傳輸通路配線760的配置關(guān)系的俯視圖，第60圖(b)是該圖(a)的B-B線剖面圖。
另外，在與上述第1實(shí)施例同樣的構(gòu)成中，給予相同的符號(hào)，省略其重復(fù)的說明。另外，由于細(xì)微的制造工序等也與上述第1實(shí)施例相同，從而省略其圖示及說明。
即，在本實(shí)施例中，包圍配置發(fā)光元件641的規(guī)定位置地，例如配設(shè)SiO2等的絕緣膜770，由此，在規(guī)定位置和其周圍之間形成階梯611。
在這樣的構(gòu)成中也與上述第1實(shí)施例同樣，在有選擇地涂敷液狀的前驅(qū)體612A及液狀的有機(jī)熒光材料612B時(shí)，能夠防止這些液體流向周圍，而有能夠高精度地形成圖形等的優(yōu)點(diǎn)。
(3)第3實(shí)施例第61圖是表示本發(fā)明的第3實(shí)施例的圖，該實(shí)施例也與上述第1實(shí)施例相同，是適用于使用EL顯示元件的有源的矩形顯示裝置的發(fā)明。更具體地，通過利用像素電極642形成階梯611，是能夠進(jìn)行高精度的圖形形成的發(fā)明。
另外，在與上述實(shí)施例同樣的構(gòu)成中，給予相同的符號(hào)。另外，第61圖是表示制造工序的途中的剖面圖，由于其前后與上述第1實(shí)施例大致相同從而省略其圖示和說明。
即，在本實(shí)施例中，比平常更厚地形成像素電極642，由此，在與其周圍之間形成階梯611。總之，在本實(shí)施例中，在后面涂敷光學(xué)材料的像素電極642處形成還比其周圍更高的凸型的階梯。
并且，與上述第1實(shí)施例相同，通過噴墨頭方式，噴出形成碰到發(fā)光元件641的下層部分的正孔注入層的液狀(溶到溶劑中的溶液狀)的光學(xué)材料(前驅(qū)體)612A，涂敷到像素電極642上面。
但是，與上述第1實(shí)施例的情形不同，使顯示基板621為上下相反的狀態(tài)，總之以使涂敷液狀的前驅(qū)體612A的像素電極642上面向下方的狀態(tài)，進(jìn)行液狀的前驅(qū)體612A的涂敷。
這樣，液狀的前驅(qū)體612A，通過重力和表面張力，滯留在像素電極642上面，不向其周圍擴(kuò)展。因此，如果進(jìn)行加熱及光照射等固化，能夠形成與第57圖(b)同樣的薄正孔注入層，如果反復(fù)該過程則可形成正孔注入層。以同樣的手法也可形成有機(jī)半導(dǎo)體膜。
這樣，在本實(shí)施例中，利用凸型階梯611涂敷液狀的光學(xué)材料，能夠提高發(fā)光元件的形成圖像精度。
另外，利用離心力等的慣性力，調(diào)整滯留在像素電極242上面的液狀光學(xué)材料的量也可以。
(4)第4實(shí)施例第62圖是表示本發(fā)明的第4實(shí)施例的圖，該實(shí)施例也與上述第1實(shí)施例同樣，是適用于使用EL顯示元件的有源的矩形顯示裝置的發(fā)明。另外，對(duì)與上述實(shí)施例同樣的構(gòu)成，給予相同的符號(hào)。另外，第62圖是表示制造工序的途中的剖面圖，其前后由于與上述第1實(shí)施例為大致相同，從而省略其圖示和說明。
即，在本實(shí)施例中，首先，在顯示基板621上，形成反射電極652，接著，在反射電極652上，后來包圍配置發(fā)光元件641的規(guī)定位置地形成絕緣膜770，由此形成規(guī)定位置處比其周圍還低的凹形的階梯611。
并且，與上述第1實(shí)施例相同，在由階梯611包圍的區(qū)域內(nèi)，由液滴噴出方式通過有選擇地涂敷液狀的光學(xué)材料，形成發(fā)光元件641。
另外，在剝離用基板622上，通過剝離層651，形成掃描線631、信號(hào)線632、像素電極642、開關(guān)薄膜晶體管643、電流薄膜晶體管644和絕緣膜740。
最后，在顯示基板621上，描寫從剝離用基板622上的剝離層622剝離的構(gòu)造。
這樣，即使在本實(shí)施例中，由于利用階梯611，涂敷了液狀的光學(xué)材料，從而能夠進(jìn)行高精度的形成圖形。進(jìn)而在本實(shí)施例中，可以減輕，對(duì)于發(fā)光材料641等的基底材料的、而由其后工序帶來的損傷，或者，對(duì)掃描線631、信號(hào)線632、像素電極642、開關(guān)薄膜晶體管643、電流薄膜晶體管644或絕緣膜740的、由光學(xué)材料的涂敷等帶來的損傷。
在本實(shí)施例中，作為有源的矩形顯示元件進(jìn)行了說明，但為無源的矩形顯示元件也可以。
(5)第5實(shí)施例第63圖是表示本發(fā)明的第5實(shí)施例的圖，該實(shí)施例也與上述第1實(shí)施例同樣，是適用于使用EL顯示元件的有源的矩形顯示裝置的發(fā)明。另外，對(duì)與上述實(shí)施例同樣的構(gòu)成，給予相同的符號(hào)。另外，第63圖是表示制造工序的途中的剖面圖，其前后由于與上述第1實(shí)施例為大致相同因而省略其圖示和說明。
即，在本實(shí)施例中，利用層間絕緣膜740形成凹形的階梯611，由此，得到與上述第1實(shí)施例同樣的作用效果。
另外，由于利用層間絕緣膜740形成階梯611，并因?yàn)闆]有必要特別增加新的工序，也就不會(huì)帶來制造工序的大幅的復(fù)雜化。
(6)第6實(shí)施例第64圖是表示本發(fā)明的第6實(shí)施例的圖，該實(shí)施例也與上述第1實(shí)施例同樣，是適用于使用EL顯示元件的有源的矩形顯示裝置的發(fā)明。另外，對(duì)與上述實(shí)施例同樣的構(gòu)成，給予相同的符號(hào)。另外，第64圖是表示制造工序的途中的剖面圖，其前后由于是與上述第1實(shí)施例大致相同因而省略其圖示和說明。
即，在本實(shí)施例中，不是利用階梯提高形成圖形精度的，而是通過使涂敷液狀的光學(xué)材料的規(guī)定位置的親水性比其周圍的親水性相對(duì)地還要強(qiáng)，因而涂敷的液狀的光學(xué)材料不向其周圍擴(kuò)散的發(fā)明。
具體地，如第64圖所示，在形成層間絕緣膜740以后，在其上面形成非晶質(zhì)硅層653。非晶質(zhì)硅層653由于比形成像素電極642的ITO還相對(duì)地防水性要強(qiáng)，因而在這里，形成像素電極642表面的親水性比其周圍的親水性相對(duì)地還強(qiáng)的防水性、親水性的分布。
并且，與上述第1實(shí)施例相同，向像素電極642的上面，由噴射方式通過有選擇地涂敷液狀的光學(xué)材料，而形成發(fā)光元件641，最后形成反射電極。
這樣，即使是本實(shí)施例，在形成希望的防水性、親水性的分布以后由于涂敷液狀的光學(xué)材料，能夠提高圖形形成的精度。
另外，本實(shí)施例的情形也能夠適用于無源的矩形顯示元件是當(dāng)然的。
另外，使在剝離用基板621上通過剝離層651形成的構(gòu)造，包含在顯示基板621上描寫的工序也可以。
進(jìn)而，在本實(shí)施例中，通過非晶質(zhì)硅層653形成希望的防水性、親水性的分布，但防水性、親水性的分布通過金屬、及陽(yáng)極氧化膜、聚酰亞胺樹脂或者氧化硅等絕緣膜及其他材料形成也可以。另外，如果是無源矩形顯示元件，由第1信息傳輸通路配線，如是有源矩形顯示元件，由掃描線631、信號(hào)線632、像素電極642、絕緣膜740或者遮光層形成也可以。
另外，在本實(shí)施例中，以液狀的光學(xué)材料是水溶液為前提進(jìn)行了說明，但是使用了其他液體的溶液的液狀的光學(xué)材料也可以，此時(shí)對(duì)于該溶液，能夠得到防液性、親液性就可以。
(7)第7實(shí)施例本發(fā)明的第7實(shí)施例，其剖面構(gòu)造由于是與上述第5實(shí)施例使用的第63圖相同，這里用它進(jìn)行說明。
即，在本實(shí)施例中，由SiO2形成層間絕緣膜740的同時(shí)，在其表面照射紫外線，其后，露出像素電極642表面，并且有選擇地涂敷液狀的光學(xué)材料。
如果是這樣的制造工序，不僅形成階梯611，也沿著層間絕緣膜740表面形成強(qiáng)防液性的分布，因而，涂敷的液狀的光學(xué)材料，通過階梯611和層間絕緣膜740的防液性的兩方面的作用容易滯留在規(guī)定位置?？傊?，由于可以發(fā)揮上述第5實(shí)施例和上述第6實(shí)施例兩方面的作用，進(jìn)而能夠提高發(fā)光元件641的形成圖形的精度。
另外，照射紫外線的延時(shí)，在露出像素電極642的表面之前或之后都可以，對(duì)應(yīng)于形成層間絕緣膜740的材料及形成像素電極642的材料等適當(dāng)?shù)剡x定即可。同時(shí)，在露出像素電極642的表面，照射紫外線時(shí)，由于階梯611的內(nèi)壁面防液性不變強(qiáng)，對(duì)于在由階梯611包圍的區(qū)域滯留液狀的光學(xué)材料是有利的。與此相反，露出像素電極642的表面后，在照射紫外線的時(shí)候，為了使階梯611的內(nèi)壁面的防液性不強(qiáng)，有必要垂直地照射紫外線，但由于在露出像素電極642的表面時(shí)的蝕刻工序后照射紫外線，因而有通過該蝕刻工序不用擔(dān)心防液性變?nèi)醯膬?yōu)點(diǎn)。
另外，作為形成層間絕緣膜740的材料，例如也能夠使用光保護(hù)膜，或者使用聚酰亞胺樹脂也可以，如果是這些就有通過旋轉(zhuǎn)鍍膜能夠形成膜的優(yōu)點(diǎn)。
并且，通過形成層間絕緣膜740的材料，不是照射紫外線，例如通過照射O2、CF3、Ar等的等離子體使防液性變強(qiáng)也可以。
(8)第8實(shí)施例第65圖是表示本發(fā)明的第8實(shí)施例的圖，該實(shí)施例也與上述第1實(shí)施例同樣，是適用于使用EL顯示元件的有源的矩形顯示裝置的發(fā)明。另外，對(duì)與上述實(shí)施例同樣的構(gòu)成，給予相同的符號(hào)。另外，第65圖是表示制造工序的途中的剖面圖，其前后由于是與上述第1實(shí)施例為大致相同因而省略其圖示和說明。
即，在本實(shí)施例中，不是利用階梯或防液性、親液性的分布等，提高形成圖形的精度，而是利用由電位帶來的引力或排斥力來達(dá)到提高形成圖形的精度。
總之，如第65圖所示，在驅(qū)動(dòng)信號(hào)線632及共同送電線633的同時(shí)，通過適當(dāng)開、關(guān)圖中未示的晶體管，形成像素電極642為負(fù)電位、層間絕緣膜740為正電位的電位分布。并且，通過噴墨方式，在規(guī)定位置有選擇地涂敷帶正電的液狀的光學(xué)材料612。
這樣，如是本實(shí)施例，在顯示基板621上形成希望的電位分布，利用該電位分布和帶正電的液狀的光學(xué)材料612之間的引力或排斥力，有選擇地涂敷液狀的光學(xué)材料以后，能夠提高形成圖形的精度。
特別是在本實(shí)施例中，由于使液狀的光學(xué)材料612帶電，通過不僅自發(fā)分極也利用帶電電荷，提高形成圖形的精度的效果，使其更加提高。
在本實(shí)施例中，表述了適用于有源矩形顯示元件的情形，但即使是無源矩形顯示元件也可以適用。
另外，使在剝離用基板621上通過剝離層651形成的構(gòu)造，包含在顯示基板621上描寫的工序也可以。
另外，在本實(shí)施例中，希望的電位分布，在掃描線631上依次施加電壓，同時(shí)在信號(hào)線632和共同線633上施加電壓，在像素電極642上通過開關(guān)薄膜晶體管643和電流薄膜晶體管644，由施加電壓而形成。通過由掃描線631、信號(hào)線632、共同線633和像素電極642形成電位分布，能夠抑止工序的增加。另外，如果是無源矩形顯示元件，其電位分布能夠通過第1信息傳輸通路配線和遮光層形成。
進(jìn)而，在本實(shí)施例中，對(duì)像素電極642和其周圍的層間絕緣膜740兩方面給予電位，但不限定于這種方法，例如，如第66圖所示，對(duì)像素電極642不給予電位，而僅對(duì)層間絕緣膜740給予正電位，并且，使液狀的光學(xué)材料612帶正電以后進(jìn)行涂敷也可以。如果這樣，在涂敷以后，由于液狀的光學(xué)材料612也能夠保持可靠的帶正電的狀態(tài)，通過與周圍的層間絕緣膜740之間的排斥力，能夠更可靠地防止液狀的光學(xué)材料612向周圍流出。
同樣，本實(shí)施例的頭機(jī)構(gòu)能夠適用于電子放射裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法和電泳顯示裝置的制造方法等。
在電子放射裝置的制造方法中，對(duì)多個(gè)液滴排出頭上導(dǎo)入R、G、B各種各色的熒光材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的熒光材料，在電極上形成多個(gè)熒光體。另外，電子放射裝置是含有FED(電場(chǎng)放射顯示器)的上位的概念。
在PDP裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴排出頭上導(dǎo)入R、G、B各種各色的熒光材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的熒光材料，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體。
在電泳顯示裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴排出頭上導(dǎo)入各種顏色的泳動(dòng)體材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的墨液材料，在電極的多個(gè)凹部分別形成泳動(dòng)體。另外，由帶電粒子和染料構(gòu)成的泳動(dòng)體被封入到微小的囊中是理想的。
另外，本實(shí)施例的頭機(jī)構(gòu)在襯墊形成方法，金屬配線形成方法、透鏡形成方法、保護(hù)膜形成方法和光擴(kuò)散體形成方法等也可以使用。
襯墊形成方法，是在兩個(gè)基板間形成為構(gòu)成微小的晶粒間隙的多個(gè)粒子狀的襯墊的方法，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入構(gòu)成襯墊的粒子材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的粒子材料，至少在一方的基板上形成襯墊。例如，是在構(gòu)成上述的液晶顯示裝置及電泳顯示裝置的兩個(gè)基板間的晶粒間隙的時(shí)候是有用的，當(dāng)然能夠適用于其他以這種微小的間隙為必要的半導(dǎo)體制造技術(shù)。
在金屬配線形成方法中，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀金屬材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的液狀金屬材料，在基板上形成金屬配線。例如，能夠適用于連接在上述的液晶顯示裝置中的驅(qū)動(dòng)器和各電極的金屬配線，及連接在上述的有機(jī)EL裝置中的TFT等和各電極的金屬配線。另外，在這種扁平顯示器以外，能夠適用于一般的半導(dǎo)體制造技術(shù)是當(dāng)然的。
在透鏡形成方法中，在多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入透鏡材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的透鏡材料，在透明基板上形成多個(gè)微透鏡。例如，作為上述的在FED裝置的光束聚束用的儀器是可以適用的。另外，可以適用于各種光學(xué)儀器是當(dāng)然的。
在保護(hù)膜形成方法中，在多個(gè)液滴排出頭中導(dǎo)入保護(hù)膜材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的保護(hù)膜材料，在基板上形成任意形狀的光保護(hù)膜。例如，在上述的各種顯示裝置的隔排的形成，當(dāng)然，在為半導(dǎo)體制造技術(shù)的主體的光石印法中，在光保護(hù)膜的涂敷中可以廣泛適用。
在光擴(kuò)散體形成方法中，使用通過頭機(jī)構(gòu)的組裝裝置組裝的頭機(jī)構(gòu)，是在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體的光擴(kuò)散體形成方法，在多個(gè)液滴排出頭上導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，通過頭機(jī)構(gòu)使多個(gè)液滴排出頭有選擇地噴出主掃描和副掃描的光擴(kuò)散材料，而形成多個(gè)光擴(kuò)散體。這種情形也是可以適用于各種光學(xué)儀器則是當(dāng)然的。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的液滴排出頭、其擦拭方法和具有其的電子機(jī)器，噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩端，由于由樹脂作鑄型，在作液滴排出頭的擦拭時(shí)，能夠有效地防止對(duì)擦拭部件的掛扯及堵塞。另外，能夠高效地擦拭液滴排出頭。從而，能夠提高裝置的可靠性。
另外，根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法，有機(jī)EL裝置的制造方法、電子放射裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法和電泳顯示裝置的制造方法，由于能夠穩(wěn)定地供給在各裝置中的濾清材料及發(fā)光材料等，從而能夠提高制造效率。
另外，根據(jù)本發(fā)明的濾清器的制造方法，有機(jī)EL的制造方法、襯墊形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、保護(hù)膜形成方法和光擴(kuò)散體形成方法，由于能夠穩(wěn)定地供給在各電子儀器及各光學(xué)儀器中的濾清材料及發(fā)光材料等，從而能夠提高制造效率。
權(quán)利要求
1.一種液滴排出頭，具有液體導(dǎo)入部、連接所述液體導(dǎo)入部的泵部和重疊設(shè)置在所述泵部并且形成噴嘴口的噴嘴形成板，其特征在于，所述噴嘴形成板從液滴排出側(cè)看形成為略方形，在沿著所述噴嘴形成板的至少長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的至少一方，鑄型樹脂。
2.按照權(quán)利要求1所述的液滴排出頭，其特征在于，沿著其長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的端部比所述泵部更靠?jī)?nèi)側(cè)形成所述噴嘴形成板，所述樹脂，在沿著所述泵部的長(zhǎng)邊方向的周緣部和沿著所述噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部之間，于形成的階梯部被鑄型。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的液滴排出頭，其特征在于，所述樹脂，從所述噴嘴形成板的表面稍微突出地被鑄型。
4.按照權(quán)利要求1、2或3所述的液滴排出頭，其特征在于，所述噴嘴形成板是在液滴排出以后由擦拭具作擦拭處理的構(gòu)件，在沿著所述噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部中的最初與所述擦拭具接觸側(cè)的側(cè)面部，鑄型所述樹脂。
5.按照權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭，其特征在于，在沿著所述噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩側(cè)面部鑄型所述樹脂。
6.一種液滴排出頭，具有液體導(dǎo)入部、連接所述液體導(dǎo)入部的泵部和重疊設(shè)置在所述泵部并且形成噴嘴口的噴嘴形成板，其特征在于，所述噴嘴形成板從液滴排出側(cè)看形成為略方形，沿著所述噴嘴形成板的至少長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的至少一方，作倒角。
7.按照權(quán)利要求6所述的液滴排出頭，其特征在于，所述噴嘴形成板是在液滴排出以后由擦拭具作擦拭處理的構(gòu)件，在沿著所述噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的周緣部中的最初與所述擦拭具接觸側(cè)的周緣部，作倒角。
8.按照權(quán)利要求6或7所述的液滴排出頭，其特征在于，沿著所述噴嘴形成板的長(zhǎng)邊方向的兩周緣被作倒角。
9.按照權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭，其特征在于，所述噴嘴形成板由包含構(gòu)成所述泵部的壓力室的內(nèi)腔而構(gòu)成。
10.一種液滴排出頭的擦拭方法，是擦拭在權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭，其特征在于，在所述噴嘴形成板的表面接觸擦拭片，使所述擦拭片，在所述液滴排出頭對(duì)于液滴排出對(duì)象物相對(duì)地掃描的方向作相對(duì)地移動(dòng)，而擦拭所述噴嘴形成板的表面。
11.一種電子機(jī)器，其特征在于，具有權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭，和擦拭所述液滴排出頭的所述噴嘴形成板的表面的刮刷裝置。
12.按照權(quán)利要求11所述的電子機(jī)器，其特征在于，所述刮刷裝置具有，接觸所述噴嘴形成板的表面擦拭其的擦拭片、卷裝所述擦拭片的擦拭滾輪和使所述液滴排出頭和所述擦拭滾輪在擦拭方向相對(duì)地移動(dòng)的移動(dòng)裝置。
13.按照權(quán)利要求12所述的電子機(jī)器，其特征在于，由所述移動(dòng)裝置帶來的所述液滴排出頭的相對(duì)的移動(dòng)方向，是所述液滴排出頭對(duì)于液滴排出對(duì)象物相對(duì)地掃描的方向。
14.按照權(quán)利要求12或13所述的電子機(jī)器，其特征在于，所述擦拭滾輪由柔軟材料構(gòu)成。
15.按照權(quán)利要求12、13或14所述的電子機(jī)器，其特征在于，所述擦拭滾輪對(duì)于所述擦拭方向的相對(duì)移動(dòng)，向反方向旋轉(zhuǎn)。
16.一種液晶顯示裝置的制造方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在濾色器的基板上形成多個(gè)濾清單元，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的濾清材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述濾清材料而形成多個(gè)所述濾清單元。
17.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在基板上的多個(gè)像素單元分別形成EL發(fā)光層，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的發(fā)光材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述發(fā)光材料而形成多個(gè)所述EL發(fā)光層。
18.一種電子放射裝置的制造方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在電極上形成多個(gè)熒光體，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的熒光材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述電極進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述熒光材料而形成多個(gè)所述熒光體。
19.一種PDP裝置的制造方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的熒光材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述背面基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述熒光材料而形成多個(gè)所述熒光體。
20.一種電泳顯示裝置的制造方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在電極上的多個(gè)凹部形成泳動(dòng)體，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的泳動(dòng)體材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述電極進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述泳動(dòng)體材料而形成多個(gè)所述泳動(dòng)體。
21.一種濾色器的制造方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在基板上制造配列為多個(gè)濾清單元的濾色器，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的濾清材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述濾清材料而形成多個(gè)所述濾清單元。
22.按照權(quán)利要求21所述的濾色器的制造方法，其特征在于，所述多個(gè)濾清單元被收放在通過設(shè)在所述基板上的凸?fàn)畹母舭逍纬傻陌疾刻?，在形成所述濾清單元之前，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入隔板材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述隔板材料而形成所述隔板。
23.按照權(quán)利要求22所述的濾色器的制造方法，其特征在于，形成覆蓋所述多個(gè)濾清單元和所述隔板的覆蓋鍍層膜，在形成所述濾清單元以后，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入透光的鍍敷材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述鍍敷材料而形成所述覆蓋鍍層膜。
24.一種有機(jī)EL的制造方法，所述有機(jī)EL是使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭，使含有EL發(fā)光層的多數(shù)的多個(gè)像素單元在基板上配列而成，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入各種顏色的發(fā)光材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述發(fā)光材料而形成多個(gè)所述EL發(fā)光層。
25.按照權(quán)利要求24所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于，所述多個(gè)EL發(fā)光層收放在由設(shè)在所述基板上的凸?fàn)畹母舭逍纬傻陌疾刻帲谛纬伤鯡L發(fā)光層之前，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入隔板材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述隔板材料而形成所述隔板。
26.按照權(quán)利要求25所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于，在所述多個(gè)EL發(fā)光層和所述基板之間，對(duì)應(yīng)于所述EL發(fā)光層形成多個(gè)像素電極，在形成所述隔板之前，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀電極材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述液狀電極材料而形成多個(gè)所述像素電極。
27.按照權(quán)利要求26所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于，覆蓋所述多個(gè)EL發(fā)光層和所述隔板而形成相對(duì)向的電極，在形成所述EL發(fā)光層以后，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀電極材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述液狀電極材料而形成所述相對(duì)向的電極。
28.一種襯墊形成方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在2個(gè)基板之間形成為了構(gòu)成微小的晶粒間隙的多個(gè)粒子狀的襯墊，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入構(gòu)成襯墊的粒子材料，使所述多個(gè)液滴排出頭至少對(duì)于一側(cè)的所述基板相對(duì)地進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述粒子材料而在所述基板上形成所述襯墊。
29.一種金屬配線的形成方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在基板上形成金屬配線，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入液狀金屬材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述液狀金屬材料而形成所述金屬配線。
30.一種透鏡形成方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在基板上形成多個(gè)微透鏡，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入透鏡材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述透鏡材料而形成多個(gè)所述微透鏡。
31.一種保護(hù)膜形成方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在基板上形成任意形狀的保護(hù)膜，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入保護(hù)膜材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述保護(hù)膜材料而形成所述保護(hù)膜。
32.一種光擴(kuò)散體形成方法，使用多個(gè)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的液滴排出頭、在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體，其特征在于，在所述多個(gè)液滴排出頭導(dǎo)入光擴(kuò)散體材料，使所述多個(gè)液滴排出頭相對(duì)于所述基板進(jìn)行掃描，有選擇地排出所述光擴(kuò)散材料而形成多個(gè)所述光擴(kuò)散體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠有效地防止對(duì)擦拭部件的掛扯及堵塞的液滴排出頭及其擦拭方法和具有液滴排出頭的電子機(jī)器。該液滴排出頭，具有液體導(dǎo)入部(45)，和連接著液體導(dǎo)入部(45)的泵部(48)，和重疊設(shè)在泵部(48)、而形成噴嘴口(63)的噴嘴形成板(49)，所述噴嘴形成板(49)從液滴排出頭側(cè)看形成為略方形，在沿著所述噴嘴形成板(49)的至少長(zhǎng)邊方向的側(cè)面部的至少一方，鑄型樹脂(62)。
文檔編號(hào)H01J11/34GK1413833SQ02147300
公開日2003年4月30日 申請(qǐng)日期2002年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月22日
發(fā)明者中村真一, 山田善昭 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社