專利名稱：陰極靶修磨器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種陰極靶修磨器，尤其是一種用于工業(yè)生產(chǎn)中的制備超硬薄膜的離子源裝置中的陰極靶修磨器。
2、工作效率低。由于傳統(tǒng)的修磨將該陰極靶卸下，然后進行修磨，這樣做會影響離子源裝置的正常工作，特別是在生產(chǎn)線上，會造成停工現(xiàn)象，工作效率低。
本實用新型的技術方案是本實用新型包括支架2、電機9和切削裝置5，切削裝置5包括銑刀12，該銑刀12通過刀柄11夾持在銑刀夾頭10上，其特殊之處在于所述電機9通過傳動裝置8與切削裝置5聯(lián)接，所述傳動裝置8與銑刀夾頭10間為磁性聯(lián)接；所述支架2上設有驅(qū)動裝置13，該驅(qū)動裝置13與銑刀夾頭10聯(lián)接；所述切削裝置5外側(cè)設有波紋管4。
上述波紋管4一端通過波紋管固定管14設置在支架2上，另一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯(lián)接。
上述支架2包括驅(qū)動裝置支撐板7和切削裝置支撐板1，驅(qū)動裝置13設置在驅(qū)動裝置支撐板7上，切削裝置5設置在切削裝置支撐板1上。
上述驅(qū)動裝置13包括汽缸6，該汽缸6一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯(lián)接，另一端設置在驅(qū)動裝置支撐板7上。
本實用新型具有以下優(yōu)點1、操作簡單。本實用新型直接設置在電子源裝置中的鍍膜裝置上，其銑刀可直接伸到陰極靶靶面上進行切削修磨，不需將陰極靶卸下；并且本實用新型的切削裝置外側(cè)設有波紋管，其可保證切削裝置與鍍膜裝置間保持真空，即修磨過程直接在真空狀態(tài)下完成，不用重新抽真空，操作簡單。
2、工作效率高。本實用新型與鍍膜裝置連為一體，其銑刀可直接伸到陰極靶靶面上進行切削修磨，不需將陰極靶卸下，可以保證生產(chǎn)線工作的連續(xù)性，工作效率高。
當陰極靶面燒蝕后，由計算機發(fā)出指令，將陰極靶收回，同時將靶升到預定的位置，銑刀12在汽缸6的作用下伸到靶面上，銑刀12在電機9的驅(qū)動下旋轉(zhuǎn)，陰極靶也同時進行旋轉(zhuǎn)，對陰極靶面進行修磨，修磨完后，將銑刀12收回，陰極靶重新升回工作位置，繼續(xù)放電工作。
權(quán)利要求1.一種用于工業(yè)生產(chǎn)中的制備超硬薄膜的離子源裝置的陰極靶修磨器，包括支架(2)、電機(9)和切削裝置(5)，所述切削裝置(5)包括銑刀(12)，該銑刀(12)通過刀柄(11)夾持在銑刀夾頭(10)上，其特征在于所述電機(9)通過傳動裝置(8)與切削裝置(5)聯(lián)接，所述傳動裝置(8)與銑刀夾頭(10)間為磁性聯(lián)接；所述支架(2)上設有驅(qū)動裝置(13)，該驅(qū)動裝置(13)與銑刀夾頭(10)聯(lián)接；所述切削裝置(5)外側(cè)設有波紋管(4)。
2.如權(quán)利要求1所述的陰極靶修磨器，其特征在于所述波紋管(4)一端通過波紋管固定管(14)設置在支架(2)上，另一端通過波紋管移動板(3)與銑刀夾頭(10)聯(lián)接。
3.如權(quán)利要求2所述的陰極靶修磨器，其特征在于所述支架(2)包括驅(qū)動裝置支撐板(7)和切削裝置支撐板(1)，所述驅(qū)動裝置(13)設置在驅(qū)動裝置支撐板(7)上，所述切削裝置(5)設置在切削裝置支撐板(1)上。
4.如權(quán)利要求3所述的陰極靶修磨器，其特征在于所述驅(qū)動裝置(13)包括汽缸(6)，所述汽缸(6)一端通過波紋管移動板(3)與銑刀夾頭(10)聯(lián)接，另一端設置在驅(qū)動裝置支撐板(7)上。
專利摘要本實用新型涉及一種用于工業(yè)生產(chǎn)中的制備超硬薄膜的離子源裝置中的陰極靶修磨器。包括支架2、電機9和切削裝置5,所述切削裝置5包括銑刀12,該銑刀12通過刀柄11夾持在銑刀夾頭10上,電機9通過傳動裝置8與切削裝置5聯(lián)接,所述傳動裝置8與銑刀夾頭10間為磁性聯(lián)接;所述支架2上設有驅(qū)動裝置13,該驅(qū)動裝置13與銑刀夾頭10聯(lián)接;所述切削裝置5外側(cè)設有波紋管4。本實用新型操作簡單,工作效率高。
文檔編號H01J9/00GK2496129SQ0124704
公開日2002年6月19日 申請日期2001年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月14日
發(fā)明者趙玉清 申請人:陜西百納科技發(fā)展有限責任公司