專利名稱：散射靶固定機(jī)構(gòu)及電子自旋分析器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及散射靶固定機(jī)構(gòu)和電子自旋分析器，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及最好用于諸如電子材料分析器和磁性材料表面分析器之類的高效電子自旋分析器的散射靶固定機(jī)構(gòu)和電子自旋分析器。
就進(jìn)行被20-60Kev加速的電子的自旋分析的小型電子自旋分析器而言，由于分析器內(nèi)部空間較小，不易于更換散射靶。于是，在上述常規(guī)電子自旋分析器中，如果不把包括真空室的分析器設(shè)備主體拆開(kāi)，取出分析器，則不能更換散射靶。
另一方面，電子自旋分析器的分析性能取決于散射靶的厚度。對(duì)于電子自旋分析器的定量測(cè)定的計(jì)算來(lái)說(shuō)，測(cè)量分析性能的靶厚度相關(guān)性是有用的。但是，常規(guī)的技術(shù)不易于更換散射靶，從而在上述常規(guī)分析器中，不能確保高的定量測(cè)定。
本發(fā)明的目的是提供一種便于更換散射靶的新的散射靶固定機(jī)構(gòu)，以及提供具有便于更換散射靶的散射靶固定機(jī)構(gòu)的電子自旋分析器。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明涉及一種包含由導(dǎo)電材料制成的，固定散射靶的散射靶固定器，由絕緣材料制成的，絕緣支承散射靶固定器的絕緣支承器，以及把散射靶固定器和絕緣支承器導(dǎo)向設(shè)置散射靶的指定位置的導(dǎo)引件的散射靶固定機(jī)構(gòu)，本發(fā)明還涉及一種包含電子束發(fā)生裝置，與電子束發(fā)生裝置的電子束射出孔相對(duì)的半球形加速電極，支承加速電極的電極支承件，位于加速電極外表面上的散射電子檢測(cè)器，在電極支承件上形成的開(kāi)孔中配置的散射靶，由導(dǎo)電材料制成的從加速電極和電極支承件形成的空間的外部固定散射靶的散射靶固定件，由絕緣材料制成的絕緣支承散射靶固定件的絕緣支承件，以及覆蓋絕緣支承件的外圍以便一起裝上和取下散射靶、散射靶固定件和絕緣支承件的導(dǎo)引件的電子自旋分析器。
根據(jù)本發(fā)明的散射靶固定機(jī)構(gòu)和電子自旋分析器，散射靶由散射靶固定件從由加速電極和加速電極支承件形成的空間的外部支承，散射靶固定件由絕緣支承件以絕緣的方式支承。
隨后，設(shè)置導(dǎo)引件，以便覆蓋絕緣支承件的外圍，可沿著導(dǎo)引件一起裝上和取下散射靶固定件和絕緣支承件。從而，可容易地更換散射靶。
此外，由于散射靶固定件由導(dǎo)電材料制成，絕緣支承件由絕緣材料制成，因此可從外部向散射靶提供電流。即，散射靶固定件和絕緣支承件用作散射靶的電極。于是，除上述部件之外，不需要另一電極部件，從而根據(jù)本發(fā)明的電子自旋分析器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
為了更好地理解本發(fā)明，參考附圖，其中

圖1示意地表示了本發(fā)明的電子自旋分析器的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)；圖2示意地表示了沿導(dǎo)引件把散射靶，散射靶固定件和絕緣支承件從圖1中所示的電子自旋分析器取出的情況。
下面將參考附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
圖1示意地表示了本發(fā)明的電子自旋分析器中的一個(gè)實(shí)施例，它具有本發(fā)明的散射靶。
圖1中所示的電子自旋分析器具有電子束發(fā)生裝置1，與電子束發(fā)生裝置1的電子束射出孔1A相對(duì)，由外電極2-1和內(nèi)電極2-2構(gòu)成的半球形加速電極，電極支承件3，位于構(gòu)成加速電極的外電極2-1外表面上的一對(duì)散射電子檢測(cè)器4-1和4-2，以及在加速電極內(nèi)，在電極支承件3的開(kāi)孔中形成的散射靶5。
散射靶5由散射靶固定件6從由構(gòu)成加速電極2-1的外電極2-1和電極支承件3形成的空間的外部支承。隨后，散射靶固定件6的外表面由絕緣支承件7絕緣支承。此外，沿著絕緣支承件7的外表面，設(shè)置一個(gè)導(dǎo)引件8。
根據(jù)圖1中所示的電子自旋分析器的結(jié)構(gòu)，由于如圖2中所示，可沿著導(dǎo)引件8自由地裝上和取下靶射靶5，散射靶固定件6和絕緣支承件7，因此，可容易地更換散射靶。
此外，散射靶固定件6由導(dǎo)電材料制成，絕緣支承件7由絕緣材料制成。于是，可通過(guò)散射靶固定件6把電流引入散射靶5，從而上述部件6和7用作散射靶5的電極。即，由于除了上述部件之外，不需要另一電極，因此電子自旋分析器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
另外，圖1中沒(méi)有明確地描述出，電子束發(fā)生裝置1至導(dǎo)引件8整個(gè)被安裝在給定的真空室中。隨后，經(jīng)過(guò)穿入真空室壁的絕緣體，從位于真空室外的高電壓引入接頭10，把給定的電流引入散射靶固定件6。
構(gòu)成散射靶固定件6的導(dǎo)電材料可采用非磁性不銹鋼和諸如鈦，鉬和鎢之類的非磁性絕緣材料。
構(gòu)成絕緣支承件7的絕緣材料可采用氧化鋁，氮化鋁，二氧化硅和藍(lán)寶石。
導(dǎo)引件8可由諸如非磁性不銹鋼，鉬和鎢之類的非磁性機(jī)械材料制成。
圖1中，電子束的軌跡用箭頭描述，從而，來(lái)自于電子束發(fā)生裝置1的電子束被引到并撞擊散射靶5，以便相對(duì)于電子束檢測(cè)器4-1和4-2被散射。
雖然參考上述例子，詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明，但是本發(fā)明并不局限于上述公開(kāi)內(nèi)容，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可做出各種變化和修改。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在電子束分析器中可容易地更換散射靶。于是，可使更換散射靶的工作性能和工作時(shí)間非常高效，并可容易地評(píng)估分析器的定量測(cè)定。
權(quán)利要求
1.一種散射靶固定機(jī)構(gòu)，包含由導(dǎo)電材料制成的、固定散射靶的散射靶固定器，由絕緣材料制成的、絕緣支承散射靶固定器的絕緣支承器，以及把散射靶固定器和絕緣支承器引向設(shè)置散射靶的指定位置的導(dǎo)引件。
2.一種電子自旋分析器，包含電子束發(fā)生裝置，與電子束發(fā)生裝置的電子束射出孔相對(duì)的半球形加速電極，支承加速電極的電極支承件，位于加速電極外表面上的散射電子檢測(cè)器，在電極支承件上形成的開(kāi)孔中配置的散射靶，由導(dǎo)電材料制成的、從加速電極和電極支承件形成的空間的外部固定散射靶的散射靶固定件，由絕緣材料制成的、絕緣支承散射靶固定件的絕緣支承件，以及覆蓋絕緣支承件的外圍以便一起裝上和取下散射靶、散射靶固定件和絕緣支承件的導(dǎo)引件。
3.按照權(quán)利要求2所述的電子自旋分析器，其中加速電極由一個(gè)內(nèi)電極和一個(gè)外電極組成。
全文摘要
組成電子自旋分析器的散射靶由散射靶固定件從由加速電極和電極支承件形成的空間的外部支承,所述散射靶固定件由導(dǎo)電材料制成。散射靶固定件由絕緣支承件絕緣支承,所述絕緣支承件由絕緣材料制成。此外,設(shè)置一個(gè)導(dǎo)引件,以便覆蓋絕緣支承件的外圍,用于導(dǎo)引散射靶,散射靶固定件和絕緣支承件。
文檔編號(hào)H01J37/295GK1336542SQ0111743
公開(kāi)日2002年2月20日 申請(qǐng)日期2001年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月28日
發(fā)明者武笠幸一, 池田正幸, 末岡和久, 武藤征一, 上遠(yuǎn)野久夫, 上田映介 申請(qǐng)人:北海道大學(xué)