腔體裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型關(guān)于一種腔體裝置，特別是關(guān)于一種高氣密度的腔體裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]腔，是形容身體中空的部分，而后衍伸為一個(gè)密閉空間的意思。腔體裝置，是用矩形、圓筒型或多邊形殼體圍成一個(gè)具有密閉空間的裝置。腔體裝置常被設(shè)置在需使用氣密制程的設(shè)備單元內(nèi)。而現(xiàn)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電面板產(chǎn)業(yè)、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的設(shè)備中，幾乎都設(shè)有腔體裝置。而這些設(shè)備藉由腔體裝置的氣密空間來(lái)提供一個(gè)干燥且除氣的作業(yè)空間，而避免作業(yè)過(guò)程中氣泡及水分的污染，故腔體裝置的氣密程度即為設(shè)備性能好壞的關(guān)鍵因素。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，腔體裝置常因腔門或腔口周緣表面無(wú)法達(dá)到高程度的平整而導(dǎo)致氣密效果不夠好。亦或，在某些腔體制程中必須先對(duì)腔體抽氣而后通氣，但因?yàn)槌闅馀c通氣之壓差所產(chǎn)生的氣沖，使腔門撐張而產(chǎn)生縫隙，以致氣密效果又更為減弱。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]鑒于以上所述，現(xiàn)有技術(shù)中的腔體裝置有氣密效果不夠完善的缺點(diǎn)，難以滿足日漸提高的產(chǎn)業(yè)設(shè)備要求，實(shí)有改良的必要。
[0005]因此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種高氣密的腔體裝置，能夠提供并持續(xù)保持足夠高的氣密狀態(tài)。
[0006]本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題所采用的技術(shù)手段為提供一種腔體裝置，包含:一殼體構(gòu)件，具有一腔室及連通于該腔室的一腔口部；一閘門構(gòu)件，連接于該殼體構(gòu)件且對(duì)應(yīng)于該腔口部，用來(lái)閉合或開(kāi)啟該殼體構(gòu)件的該腔口部，該閘門構(gòu)件的表面自外而內(nèi)具有一門片部、一彈性皮層部及一壓制框體部，該彈性皮層部為柔軟具有伸縮性的氣密材料層，具有大于該腔口部的外緣輪廓，且貼合于該門片部的內(nèi)側(cè)表面，而在該閘門構(gòu)件閉合于該殼體構(gòu)件時(shí)與該腔口部相對(duì)應(yīng)，該壓制框體部沿著該彈性皮層部的外緣輪廓而框設(shè)疊覆于該彈性皮層部，而使該彈性皮層部固定在該壓制框體部與該門片部之間；以及一氣流構(gòu)件，連通于該腔室，用來(lái)抽取該腔室內(nèi)的氣體或通入氣體至腔室內(nèi)；其中該腔室在被抽氣而呈負(fù)壓狀態(tài)時(shí)，該彈性皮層部受壓而向該腔室形變填入該腔口部且密合于該腔口部的周緣，使該腔體呈氣密狀態(tài)，而該腔室在被通入氣體時(shí)，該彈性皮層部用以緩沖該腔室內(nèi)因壓差而產(chǎn)生的氣沖，使該閘門構(gòu)件仍密合于該腔口部的周緣且該腔體呈氣密狀態(tài)。
[0007]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該殼體構(gòu)件具有一凸出部，框設(shè)凸出于該腔口部的周緣。
[0008]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，其中該腔口部具有一進(jìn)料腔口與一出料腔口。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該門片部具有至少一個(gè)扣環(huán)部，供以扣接該殼體構(gòu)件。
[0009]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該彈性皮層部的外周緣小于該門片部的外周緣。
[0010]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該彈性皮層部為一橡膠彈性皮層部、一硅膠彈性皮層部或一硅橡膠彈性皮層部。
[0011]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該壓制框體部的內(nèi)框緣大于該腔口部的周緣。
[0012]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該壓制框體部的外框緣實(shí)質(zhì)上對(duì)齊于該彈性皮層部的外周緣。
[0013]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該壓制框體部為一金屬框。
[0014]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中提供一種腔體裝置，該壓制框體部穿透該彈性皮層部而釘固于該門片部。
[0015]本實(shí)用新型的腔體裝置具有以下功效。本實(shí)用新型的腔體裝置在抽氣時(shí)藉由彈性皮層部的形變而密合于該腔口部周緣，能夠使縫隙被充填并有效妥貼而使氣密阻隔，以提高腔門與腔口周緣表面的密合程度，使腔體裝置呈高氣密度。并且，本實(shí)用新型的腔體裝置在通氣時(shí)藉由彈性皮層部緩沖腔室內(nèi)因壓差而造成的氣沖，能夠使該閘門構(gòu)件維持穩(wěn)固密合于該腔口部而不會(huì)產(chǎn)生縫隙，以致持續(xù)保持高氣密的狀態(tài)。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為顯示根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的腔體裝置在閘門構(gòu)件開(kāi)啟時(shí)的立體圖。
[0017]圖2為顯示根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的腔體裝置在閘門構(gòu)件閉合時(shí)的剖面圖。
[0018]圖3為顯示根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的腔體裝置在抽氣時(shí)的示意圖。
[0019]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0020]1----殼體構(gòu)件
[0021]100----腔體裝置
[0022]11----腔室
[0023]12a----進(jìn)料腔口
[0024]12b----出料腔口
[0025]13a----凸出部
[0026]13b----凸出部
[0027]2a----閘門構(gòu)件
[0028]2b----閘門構(gòu)件
[0029]21a----門片部
[0030]21b----門片部
[0031]211a---扣環(huán)部
[0032]212a---扣環(huán)部
[0033]213a---扣環(huán)部
[0034]214a---扣環(huán)部
[0035]211b---扣環(huán)部
[0036]212b---扣環(huán)部
[0037]213b---扣環(huán)部
[0038]214b---扣環(huán)部
[0039]22a----彈性皮層部
[0040]22b----彈性皮層部
[0041]23a----壓制框體部
[0042]23b----壓制框體部
[0043]3----氣流構(gòu)件
【具體實(shí)施方式】
[0044]以下根據(jù)圖1至圖3，說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式。該說(shuō)明并非是限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式，而是本實(shí)用新型的實(shí)施例的一種。
[0045]如圖1所示，依據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的一腔體裝置100，包含:一殼體構(gòu)件1，具有一腔室11及連通于該腔室的一腔口部12a、12b ;—閘門構(gòu)件2a、2b，連接于該殼體構(gòu)件1且對(duì)應(yīng)于該腔口部12a、12b，用來(lái)閉合或開(kāi)啟該殼體構(gòu)件的該腔口部12a、12b，該閘門構(gòu)件2a、2b的表面自外而內(nèi)具有一門片部21a、21b、一彈性皮層部22a、22b及一壓制框體部23a、23b，該彈性皮層部22a、22b為柔軟具有伸縮性的氣密材料層，具有大于該腔口部12a、12b的輪廓，且貼合于該門片部21a、21b的內(nèi)側(cè)表面，而在該閘門構(gòu)件2a、2b閉合于該殼體構(gòu)件1時(shí)與該腔口部12a、12b相對(duì)應(yīng)，該壓制框體部23a、23b沿著該彈性皮層部22a、22b的外緣形狀而框設(shè)疊覆于該彈性皮層部22a、22b，而使該彈性皮層部22a、22b固定在該壓制框體部23a、23b與該門片部21a、21b之間；以及一氣流構(gòu)件3，連通于該腔室11，用來(lái)抽取該腔室11內(nèi)的氣體或通入氣體至腔室11內(nèi)。
[0046]如圖1所示，本實(shí)施例中，該腔體裝置100為液晶屏幕的貼合排泡機(jī)。當(dāng)然，本實(shí)用新型不以此為限，該腔體裝置100亦可為液晶屏幕貼合機(jī)、液晶屏幕排泡機(jī)或是任何一種腔體裝置。
[0047]如圖1及圖2所示，該殼體構(gòu)件1為一合金制成的長(zhǎng)方形殼體，而殼體構(gòu)件1的內(nèi)部空間為該腔室11，而該腔口部12a、12b連通于該腔室。在本實(shí)施例中，該腔口部在該殼體構(gòu)件1的前側(cè)及后側(cè)分別具有一進(jìn)料腔口 12a與一出料腔口 12b，用來(lái)供產(chǎn)品自該進(jìn)料腔口12a進(jìn)料加工后而自該出料腔口 12b出料。當(dāng)然，本實(shí)用新型不以此為限，該腔口部亦可具有一個(gè)或兩個(gè)以上的腔口，而腔口的位置也可在該殼體構(gòu)件1的同側(cè)或其它位置。在本實(shí)