一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及玻璃光罩技術領域，尤其涉及一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置。
【背景技術】
[0002]玻璃光罩photomask，也稱鉻版，是指在玻璃基板材料上濺射一層金屬涂層然后覆蓋一層表面光阻最后通過曝光顯影蝕刻脫膜相關工序制作各種金屬圖形線路，以便用于感光膠涂層選擇性曝光的一種結構。
[0003]由于玻璃光罩在制作、轉移運輸或使用的過程中容易產(chǎn)生表面靜電，造成玻璃光罩金屬圖層損傷，嚴重影響玻璃光罩的使用壽命。因此，現(xiàn)有技術中，為防止玻璃光罩表面產(chǎn)生靜電造成金屬圖層損傷，一般使用保鮮膜人工貼附到玻璃光罩正反兩面，既可以防止表面靜電損傷玻璃光罩金屬圖層，也能夠避免玻璃光罩表面污染。
[0004]但是，保鮮膜較薄，質地柔軟，因此在使用過程中極易造成破損起不到保護作用，同時手工貼膜，不易操作，且容易在保鮮膜和玻璃光罩之間形成氣泡。

【發(fā)明內容】

[0005]為此，本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，以克服現(xiàn)有技術中玻璃光罩表面產(chǎn)生靜電造成金屬圖層損傷的不足。
[0006]本實用新型提供了一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，所述裝置包括:用于平整PET防靜電膜并能夠將所述PET防靜電膜貼附到玻璃光罩上的主動輥軸、用于安裝所述PET防靜電膜的被動輥軸、以及用于驅動所述主動輥軸運轉的驅動裝置，所述主動輥軸和所述被動輥軸之間由所述PET防靜電膜連接，所述被動輥軸的運轉則由所述主動輥軸通過所述PET防靜電膜帶動。
[0007]其中，所述裝置包括兩個所述主動輥軸和兩個所述被動輥軸，且一個所述主動輥軸和一個所述被動輥軸組成一組，其中，一組所述主動滾軸和所述被動滾軸設置于所述玻璃光罩的上方，另一組所述主動滾軸和所述被動滾軸設置于所述玻璃光罩的下方，且兩個所述主動輥軸緊鄰設置以便在所述玻璃光罩上下兩面分別貼附所述PET防靜電膜。
[0008]所述裝置還包括:用于回收PET覆蓋膜的兩個回收輥軸，且所述兩個回收輥軸通過所述被動輥軸的運轉間接實現(xiàn)驅動運轉。
[0009]本實用新型所述一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，通過設置主動輥軸、被動輥軸、以及驅動裝置，使得PET防靜電膜可以自動貼附到玻璃光罩上?？朔恕颈尘凹夹g】中所述手工貼附保鮮膜時不易操作的弊端。又由于所述裝置中主動輥軸可以起到平整PET防靜電膜的作用，故克服了【背景技術】中手工貼膜容易在保鮮膜和玻璃光罩之間形成氣泡的弊端。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實施例所述一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面，結合附圖對本實用新型進行詳細描述。
[0012]如圖1所示，本實施例提供了一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，該裝置包括:用于平整PET防靜電膜21并能夠將其貼附到玻璃光罩20上的主動輥軸11、用于安裝PET防靜電膜21的被動輥軸12、以及用于驅動主動輥軸11運轉的驅動裝置(圖中未標示)，主動輥軸11和被動輥軸12之間由PET防靜電膜21連接，被動輥軸12的運轉則由主動輥軸11通過PET防靜電膜21帶動。
[0013]為實現(xiàn)玻璃光罩20上下兩面同時貼PET防靜電膜21，所述裝置包括兩個主動輥軸11和兩個被動輥軸12，且一個主動輥軸11和一個被動輥軸12組成一組。其中，一組所述主動滾軸11和所述被動滾軸12設置于玻璃光罩20的上方，另一組所述主動滾軸11和所述被動滾軸12設置于玻璃光罩20的下方，且兩個所述主動輥軸11緊鄰設置以便在玻璃光罩20上下兩面分別貼附PET防靜電膜21。
[0014]為實現(xiàn)PET覆蓋膜22的回收，本實施例所述一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置還包括兩個用于回收PET覆蓋膜22的回收輥軸13，且所述兩個回收輥軸13通過被動輥軸12的轉動間接實現(xiàn)驅動運轉。
[0015]本實施例所述PET防靜電膜21，其寬度為550mm，與其尺寸匹配的被動輥軸12最大貼膜寬度為600_，用于驅動裝置(圖中未標示)運轉的壓縮空氣氣壓為5.5?6.5bar。
[0016]本實施例所述裝置首次在玻璃光罩行業(yè)將PET防靜電膜與上述貼膜裝置相結合用于防止玻璃光罩表面靜電擊傷。PET防靜電膜不但具有防靜電特點，還耐磨防塵不易劃傷。
[0017]本實施例所述裝置由于使用機器自動貼附，避免了貼附時氣泡的產(chǎn)生。
[0018]綜上所述，本實用新型所述一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，通過設置主動輥軸、被動輥軸、以及驅動裝置，使得PET防靜電膜可以自動貼附到玻璃光罩上?？朔恕颈尘凹夹g】中所述手工貼附保鮮膜時不易操作的弊端。又由于本實用新型所述裝置中被動輥軸可以起到平整PET防靜電膜的作用，故克服了【背景技術】中手工貼膜容易在保鮮膜和玻璃光罩之間形成氣泡的弊端。
[0019]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，其特征在于，所述裝置包括:用于平整PET防靜電膜并能夠將所述PET防靜電膜貼附到玻璃光罩上的主動輥軸、用于安裝所述PET防靜電膜的被動輥軸、以及用于驅動所述主動輥軸運轉的驅動裝置，所述主動輥軸和所述被動輥軸之間由所述PET防靜電膜連接，所述被動輥軸的運轉則由所述主動輥軸通過所述PET防靜電膜帶動。
2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置包括兩個所述主動輥軸和兩個所述被動輥軸，且一個所述主動輥軸和一個所述被動輥軸組成一組，其中，一組所述主動滾軸和所述被動滾軸設置于所述玻璃光罩的上方，另一組所述主動滾軸和所述被動滾軸設置于所述玻璃光罩的下方，且兩個所述主動輥軸緊鄰設置以便在所述玻璃光罩上下兩面分別貼附所述PET防靜電膜。
3.根據(jù)權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括用于回收PET覆蓋膜的兩個回收輥軸，且所述兩個回收輥軸通過所述被動輥軸的運轉間接實現(xiàn)驅動運轉。
【專利摘要】本實用新型提供了一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，包括：用于平整PET防靜電膜并能夠將其貼附到玻璃光罩上的主動輥軸、用于安裝PET防靜電膜的被動輥軸、以及用于驅動主動輥軸運轉的驅動裝置，主動輥軸和被動輥軸之間由PET防靜電膜連接，被動輥軸的運轉則由主動輥軸通過PET防靜電膜帶動。本實用新型所述一種防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的裝置，通過設置主動輥軸、被動輥軸、以及驅動裝置，使得PET防靜電膜可以自動貼附到玻璃光罩上,實現(xiàn)防止玻璃光罩金屬圖層靜電擊傷的功能。克服了【背景技術】中所述手工貼附保鮮膜時可操作性差且容易在保鮮膜和玻璃光罩之間形成氣泡的弊端。
【IPC分類】G03F1-40
【公開號】CN204479905
【申請?zhí)枴緾N201520196720
【發(fā)明人】不公告發(fā)明人
【申請人】廣州市仕元光電有限公司
【公開日】2015年7月15日
【申請日】2015年4月3日