一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器，當(dāng)TE光從單模輸入波導(dǎo)輸入，其經(jīng)過輸入漸變波導(dǎo)時被轉(zhuǎn)化為多模波導(dǎo)的基模，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵把滿足相位匹配條件波長的入射光反向耦合為多模波導(dǎo)的一階模，反射光通過下路耦合區(qū)時被轉(zhuǎn)換為下路單模波導(dǎo)的TE模，透射光則通過輸出漸變波導(dǎo)，從單模輸出波導(dǎo)輸出；同樣的，TE光從上路單模波導(dǎo)輸入，上路耦合區(qū)將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)的TE一階模，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵把滿足相位匹配條件波長的入射光反向耦合為多模波導(dǎo)的基模，反射光通過輸出漸變波導(dǎo)，從單模輸出波導(dǎo)輸出。本發(fā)明實現(xiàn)了光信號分插復(fù)用功能，可應(yīng)用于片上高密度集成的光互連系統(tǒng)。
【專利說明】
一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及一種光信號分插復(fù)用集成器件，特別是涉及一種基于反對稱多模布拉 格波導(dǎo)光柵的光信號分插復(fù)用器。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著集成電路的飛速發(fā)展，晶體管特征尺寸不斷減小，高速信息在電互連傳遞時 不可避免的遭遇了速度、帶寬和功耗等方面的一系列瓶頸?；诠韫鈱W(xué)的片上光互連為這 一技術(shù)難題的解決提供了一種可行的方案，信息的交換將在光的傳輸層上直接進行。
[0003] 光濾波器作為光互連的一個基礎(chǔ)功能器件，可靈活地實現(xiàn)不同信號的分離、上路 和下路，是密集波分復(fù)用光網(wǎng)絡(luò)非常重要的一個環(huán)節(jié)。目前可實現(xiàn)光信號分插復(fù)用功能的 器件主要有三種結(jié)構(gòu)：第一種是微環(huán)諧振腔結(jié)構(gòu)，它能提供較高的Q值，但是它要實現(xiàn)大的 濾波帶寬比較困難;第二種是定向耦合器結(jié)構(gòu)，它需要嚴(yán)格控制拍長，且不容易進行波長選 擇;第三種是光柵輔助型耦合區(qū)結(jié)構(gòu)，它是利用周期性的折射率微擾區(qū)，實現(xiàn)兩相位失配波 導(dǎo)間能量耦合，但是其制作工藝精度要求很高，不適合商業(yè)化生產(chǎn)線制作。
[0004] 因此，研制出結(jié)構(gòu)簡單、尺寸緊湊，功能齊全、易于集成和制作的光分插復(fù)用器，是 今后發(fā)展片上集成光通信技術(shù)的重要而有意義的工作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的在于提供一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器，結(jié) 構(gòu)簡單、尺寸緊湊，功能齊全、容差大、易于集成和制作。
[0006] 本發(fā)明一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器，包括單模輸入波 導(dǎo)、輸入漸變波導(dǎo)、下路耦合區(qū)、多模波導(dǎo)、反對稱布拉格波導(dǎo)光柵、輸出漸變波導(dǎo)、上路耦 合區(qū)、上路漸變波導(dǎo)、單模輸出波導(dǎo)、上路單模波導(dǎo)、下路漸變波導(dǎo)和下路單模波導(dǎo)，其中輸 入漸變波導(dǎo)和下路漸變波導(dǎo)間的耦合區(qū)為下路耦合區(qū)，輸出漸變波導(dǎo)和上路漸變波導(dǎo)間的 耦合區(qū)為上路耦合區(qū)，輸入漸變波導(dǎo)兩端分別與單模輸入波導(dǎo)和多模波導(dǎo)連接，輸出漸變 波導(dǎo)兩端分別與單模輸出波導(dǎo)和多模波導(dǎo)連接，下路漸變波導(dǎo)與下路單模波導(dǎo)連接，上路 漸變波導(dǎo)與上路單模波導(dǎo)連接，所述反對稱布拉格波導(dǎo)光柵位于多模波導(dǎo)上，呈反對稱分 布;TE光從單模輸入波導(dǎo)輸入，輸入漸變波導(dǎo)將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)的TE基模，反對稱布拉格 波導(dǎo)光柵把滿足相位匹配條件波長的入射光反向耦合為多模波導(dǎo)中的TE-階模的反射光， 該反射光通過下路耦合區(qū)時被轉(zhuǎn)換為下路端的下路單模波導(dǎo)的TE模，從下路端輸出，把不 滿足相位匹配條件波長的透射光通過輸出漸變波導(dǎo)從單模輸出波導(dǎo)輸出；同樣的，上路光 從上路單模波導(dǎo)輸入，上路耦合區(qū)將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)的TE-階模，反對稱布拉格波導(dǎo)光 柵把滿足相位匹配條件波長的上路光反向耦合為多模波導(dǎo)中的TE基模的反射光，該反射光 通過輸出漸變波導(dǎo)時被轉(zhuǎn)換為單模輸出波導(dǎo)的TE模，從輸出端單模輸出波導(dǎo)輸出。
[0007] 所述的單模輸入波導(dǎo)、輸入漸變波導(dǎo)、多模波導(dǎo)、反對稱布拉格波導(dǎo)光柵、輸出漸 變波導(dǎo)、上路漸變波導(dǎo)、下路漸變波導(dǎo)、單模輸出波導(dǎo)、下路單模波導(dǎo)和上路單模波導(dǎo)，為條 形波導(dǎo)。
[0008] 所述的輸入/出漸變波導(dǎo)的波導(dǎo)寬度漸變區(qū)發(fā)生在波導(dǎo)的一側(cè)，波導(dǎo)另一側(cè)保持 不變。
[0009] 所述輸入漸變波導(dǎo)和輸出漸變波導(dǎo)結(jié)構(gòu)完全一致。
[0010] 所述的下路漸變波導(dǎo)的波導(dǎo)寬度漸變區(qū)發(fā)生在波導(dǎo)的一側(cè)，波導(dǎo)另一側(cè)保持不 變。
[0011] 所述下路漸變波導(dǎo)和上路漸變波導(dǎo)結(jié)構(gòu)完全一致。
[0012] 所述由輸入漸變波導(dǎo)和下路漸變波導(dǎo)組成的下路耦合區(qū)，該下路漸變波導(dǎo)在輸入 漸變波導(dǎo)的一側(cè)，兩波導(dǎo)的非漸變側(cè)邊相對，保持兩波導(dǎo)間隔不變。
[0013] 所述由輸出漸變波導(dǎo)和上路漸變波導(dǎo)組成的上路耦合區(qū)，該上路漸變波導(dǎo)在輸出 漸變波導(dǎo)的一側(cè)，兩波導(dǎo)的非漸變側(cè)邊相對，保持兩波導(dǎo)間隔不變。
[0014]所述的反對稱布拉格波導(dǎo)光柵的周期滿足將多模波導(dǎo)中的TE基模和TE-階模相 互發(fā)生耦合的相位匹配條件。
[0015]該反對稱布拉格波導(dǎo)光柵的周期性折射率微擾區(qū)在多模波導(dǎo)的兩側(cè)邊上，所述構(gòu) 成布拉格波導(dǎo)光柵的周期單元形狀均為矩形。
[0016]米用本發(fā)明的技術(shù)方案，TE光從單模輸入波導(dǎo)輸入，其經(jīng)過輸入漸變波導(dǎo)時被轉(zhuǎn) 化為多模波導(dǎo)的基模，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵把滿足相位匹配條件波長的入射光反向耦合 為多模波導(dǎo)的一階模，反射光通過下路耦合區(qū)時被轉(zhuǎn)換為下路漸變波導(dǎo)的TE模，從下路單 模波導(dǎo)輸出，透射光則通過輸出漸變波導(dǎo)，從單模輸出波導(dǎo)輸出；同樣的，TE光從上路單模 波導(dǎo)輸入，上路耦合區(qū)將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)的TE-階模，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵把滿足相 位匹配條件波長的入射光反向耦合為多模波導(dǎo)的基模，反射光通過輸出漸變波導(dǎo)，從輸出 端輸出。本發(fā)明實現(xiàn)了光信號分插復(fù)用功能，具有結(jié)構(gòu)簡單，尺寸緊湊和容差大等優(yōu)點，制 作工藝具有CMOS工藝兼容性，易于集成和擴展，方便低成本制造，可應(yīng)用于片上高密度集成 的光互連系統(tǒng)。
[0017] 本發(fā)明的有益效果是： 1、結(jié)合反對稱布拉格波導(dǎo)光柵和非對稱漸變定向耦合器實現(xiàn)了光信號分插復(fù)用功能， 具有插損小和容差大等特點。
[0018] 2、器件設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單，尺寸緊湊。
[0019] 3、器件制作工藝具有CMOS工藝兼容性，使得器件易于集成和擴展，方便低成本制 造，可廣泛應(yīng)用于片上高密度集成的光互連通信系統(tǒng)。
【附圖說明】
[0020] 圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖； 圖2是圖1中條形波導(dǎo)的剖面圖； 圖3是圖1中布拉格波導(dǎo)光柵的周期單元形狀示意圖； 圖4是圖1中布拉格波導(dǎo)光柵的俯視圖； 以下結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。
[0021] 圖中標(biāo)識： 1、單模輸入波導(dǎo) 2、輸入漸變波導(dǎo) 3、下路耦合區(qū) 4、多模波導(dǎo) 5、反對稱布拉格波導(dǎo)光柵 6、輸出漸變波導(dǎo) 7、上路耦合區(qū) 8、上路漸變波導(dǎo) 9、單模輸出波導(dǎo) 10、上路單模波導(dǎo) 11、下路漸變波導(dǎo) 12、下路單模波導(dǎo)。
【具體實施方式】
[0022]如圖1所不，本發(fā)明一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器，包括單 模輸入波導(dǎo)（1)、輸入漸變波導(dǎo)（2 )、下路親合區(qū)（3 )、多模波導(dǎo)(4 )、反對稱布拉格波導(dǎo)光柵 (5)、輸出漸變波導(dǎo)(6)、上路耦合區(qū)（7)、上路漸變波導(dǎo)(8)、單模輸出波導(dǎo)(9)、上路單模波 導(dǎo)（10)、下路漸變波導(dǎo)（11)和下路單模波導(dǎo)（12)，其中輸入漸變波導(dǎo)（2)和下路漸變波導(dǎo) (11)間的耦合區(qū)為下路耦合區(qū)（3)，輸出漸變波導(dǎo)(6)和上路漸變波導(dǎo)(8)間的耦合區(qū)為上 路耦合區(qū)（7)，輸入漸變波導(dǎo)（2)兩端分別與單模輸入波導(dǎo)（1)和多模波導(dǎo)(4)連接，輸出漸 變波導(dǎo)(6)兩端分別與單模輸出波導(dǎo)(9)和多模波導(dǎo)(4)連接，下路漸變波導(dǎo)（11)與下路單 模波導(dǎo)（12)連接，上路漸變波導(dǎo)(8)與上路單模波導(dǎo)（10)連接，所述的反對稱布拉格波導(dǎo)光 柵(5)位于多模波導(dǎo)(4)上，呈反對稱分布;TE光從單模輸入波導(dǎo)（1)輸入，輸入漸變波導(dǎo)(2) 將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)(4)的TE基模，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5)把滿足相位匹配條件波長的 入射光反向親合為多模波導(dǎo)(4 )中的TE-階模的反射光，該反射光通過下路親合區(qū)（3 )時被 轉(zhuǎn)換為下路端的下路單模波導(dǎo)（12)的TE模，從下路端輸出，把不滿足相位匹配條件波長的 透射光通過輸出漸變波導(dǎo)（6)從單模輸出波導(dǎo)（9)輸出；同樣的，上路光從上路單模波導(dǎo) (10 )輸入，上路親合區(qū)（7 )將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)(4 )的TE-階模，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5 ) 把滿足相位匹配條件波長的上路光反向耦合為多模波導(dǎo)(4)中的TE基模的反射光，該反射 光通過輸出漸變波導(dǎo)(6)時被轉(zhuǎn)換為單模輸出波導(dǎo)(9)的TE模，從輸出端單模輸出波導(dǎo)(9) 輸出，本發(fā)明實現(xiàn)了光信號的分插復(fù)用功能，具有結(jié)構(gòu)簡單，尺寸緊湊和容差大等優(yōu)點，制 作工藝具有CMOS工藝兼容性，易于集成和擴展，方便低成本制造，可應(yīng)用于片上高密度集成 的光互連系統(tǒng)。
[0023]所述的輸入漸變波導(dǎo)(2)由漸變的條形波導(dǎo)組成，功能是將單模輸入波導(dǎo)（1)的TE 模轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)（4)的TE基模;輸入漸變波導(dǎo)（2)和下路漸變波導(dǎo)（11)組成下路耦合區(qū) (3)； 所述的輸出漸變波導(dǎo)(6)的結(jié)構(gòu)和輸入漸變波導(dǎo)(2)結(jié)構(gòu)一致，功能是將多模波導(dǎo)(4) 的TE基模轉(zhuǎn)換為單模輸出波導(dǎo)（9)的TE模;輸出漸變波導(dǎo)（6)和上路漸變波導(dǎo)（8)組成上路 耦合區(qū)（7); 所述的反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5)的周期性折射率微擾區(qū)對稱設(shè)在多模波導(dǎo)(4)的兩 側(cè)邊上，呈反對稱分布；當(dāng)多模波導(dǎo)(4)中入射光波長滿足相位匹配條件的TE基模通過反對 稱布拉格波導(dǎo)光柵(5 )時，被反向親合為多模波導(dǎo)(4 )的TE-階模，該TE-階模的反射光通 過下路耦合區(qū)（3)時被轉(zhuǎn)換為下路單模波導(dǎo)（12)的TE模，從輸出端下路單模波導(dǎo)（12)輸出； 而當(dāng)多模波導(dǎo)(4)中波長不滿足相位匹配條件的TE基模的透射光通過反對稱布拉格波導(dǎo)光 柵(5)時，該透射光不會受到反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5)的影響，繼續(xù)向前傳輸，通過輸出漸 變波導(dǎo)(6)時，被轉(zhuǎn)換為單模輸出波導(dǎo)(9)的TE模，從輸出端單模輸出波導(dǎo)(9)輸出；當(dāng)上路 光從上路單模輸入波導(dǎo)（10 )中輸入，通過上路耦合區(qū)（7 )時，被轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)(4 )的TE- 階模，波長滿足相位匹配條件的TE-階模通過反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5)時，被反向耦合為 多模波導(dǎo)(4)的TE基模的反射光，該反射光通過輸出漸變波導(dǎo)(6)時，被轉(zhuǎn)換為單模輸出波 導(dǎo)(9)的TE模，從輸出端單模輸出波導(dǎo)(9)輸出。
[0024]如圖1、圖3和圖4所示，所述的反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5)是通過在波導(dǎo)上刻蝕一 維矩形周期單元形成的，反對稱布拉格波導(dǎo)光柵(5)的周期滿足多模波導(dǎo)(4)的TE基模反向 耦合到TE-階模的相位匹配條件。
[0025]為滿足多模波導(dǎo)(4)TE模反向耦合到TE-階模的要求，需要設(shè)計布拉格波導(dǎo)光柵 周期，可以通過以下公式獲得
式中Λ為光柵周期，,?為多模波導(dǎo)TE基模的傳播常數(shù)，為多模波導(dǎo)TE-階模式的 傳播常數(shù)。
[0026] 如圖1所不一種實施例，本發(fā)明一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù) 用器，由單模波導(dǎo)、漸變波導(dǎo)、多模波導(dǎo)和反對稱布拉格波導(dǎo)光柵構(gòu)成，該器件所有組成部 分皆位于同一平面內(nèi)。圖1中的所有單模波導(dǎo)1、9、10、12，漸變波導(dǎo)2、6、8、11，多模波導(dǎo)4和 布拉格波導(dǎo)光柵5，皆采用圖2所示的條形波導(dǎo)。
[0027] 實施例： 如圖1、圖2和圖4所示，采用頂層硅厚為220 nm、氧化硅埋層2μπι的絕緣層上硅(SOI)材 料，在完成晶圓表面清洗后，進行深紫外光刻或電子束直寫光刻獲得硅刻蝕掩膜，通過硅干 法刻蝕，制作出高度為220 nm的條形波導(dǎo)，其中單模輸入波導(dǎo)和單模輸出波導(dǎo)寬度為600 nm，多模波導(dǎo)寬為1100 nm，輸入漸變波導(dǎo)寬度由600 nm變化到1100 nm，變化長度為100μπι， 下路漸變波導(dǎo)寬度由100 nm變化到450 nm，變化長度為100μπι，輸入漸變波導(dǎo)與下路漸變波 導(dǎo)的間隔為100 nm，輸出漸變波導(dǎo)和輸入漸變波導(dǎo)結(jié)構(gòu)相同，上路漸變波導(dǎo)與下路漸變波 導(dǎo)結(jié)構(gòu)相同，多模波多模波導(dǎo)的兩側(cè)邊刻蝕反對稱結(jié)構(gòu)的布拉格波導(dǎo)光柵，矩形光柵齒為 150 nm，其周期為318 nm，布拉格波導(dǎo)光柵的長度為300 μπι。波導(dǎo)刻蝕完畢后，用PECVD生長 lym厚度的二氧化硅，作為覆蓋層。
[0028]上述實施例中的光柵周期參數(shù)是針對工作波長為1550 nm，1100 nm寬度的多模條 形波導(dǎo)設(shè)計的，器件也適合其它工作波長和寬度的多模條形波導(dǎo)，也適用于不同的頂層硅 厚度的條形波導(dǎo)，只需改變漸變型波導(dǎo)的尺寸和設(shè)計不同的光柵周期參數(shù)，即可實現(xiàn)光分 插復(fù)用功能。整個器件只需一次刻蝕即可完成制作。
[0029]上述【具體實施方式】用來解釋說明本發(fā)明，而不是對本發(fā)明進行限制，在本發(fā)明的 精神和權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)，對本發(fā)明作出的任何修改和改變，都落入本發(fā)明的保護范 圍。
【主權(quán)項】
1. 一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器，其特征在于:包括單模輸入 波導(dǎo)、輸入漸變波導(dǎo)、下路耦合區(qū)、多模波導(dǎo)、反對稱布拉格波導(dǎo)光柵、輸出漸變波導(dǎo)、上路 耦合區(qū)、上路漸變波導(dǎo)、單模輸出波導(dǎo)、上路單模波導(dǎo)、下路漸變波導(dǎo)和下路單模波導(dǎo)，其中 輸入漸變波導(dǎo)和下路漸變波導(dǎo)間的耦合區(qū)為下路耦合區(qū)，輸出漸變波導(dǎo)和上路漸變波導(dǎo)間 的耦合區(qū)為上路耦合區(qū)，輸入漸變波導(dǎo)兩端分別與單模輸入波導(dǎo)和多模波導(dǎo)連接，輸出漸 變波導(dǎo)兩端分別與單模輸出波導(dǎo)和多模波導(dǎo)連接，下路漸變波導(dǎo)與下路單模波導(dǎo)連接，上 路漸變波導(dǎo)與上路單模波導(dǎo)連接，所述的反對稱布拉格波導(dǎo)光柵位于多模波導(dǎo)上，呈反對 稱分布;TE光從單模輸入波導(dǎo)輸入，輸入漸變波導(dǎo)將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)的TE基模，反對稱布 拉格波導(dǎo)光柵把滿足相位匹配條件波長的入射光反向耦合為多模波導(dǎo)中的TE-階模的反 射光，該反射光通過下路耦合區(qū)時被轉(zhuǎn)換為下路端的下路單模波導(dǎo)的TE模，從下路端輸出， 把不滿足相位匹配條件波長的透射光通過輸出漸變波導(dǎo)從單模輸出波導(dǎo)輸出；同樣的，上 路光從上路單模波導(dǎo)輸入，上路耦合區(qū)將其轉(zhuǎn)換為多模波導(dǎo)的TE-階模，反對稱布拉格波 導(dǎo)光柵把滿足相位匹配條件波長的上路光反向耦合為多模波導(dǎo)中的TE基模的反射光，該反 射光通過輸出漸變波導(dǎo)時被轉(zhuǎn)換為單模輸出波導(dǎo)的TE模，從輸出端單模輸出波導(dǎo)輸出。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用器，其特 征在于:所述的單模輸入波導(dǎo)、輸入漸變波導(dǎo)、多模波導(dǎo)、反對稱布拉格波導(dǎo)光柵、輸出漸變 波導(dǎo)、上路漸變波導(dǎo)、下路漸變波導(dǎo)、單模輸出波導(dǎo)、下路單模波導(dǎo)和上路單模波導(dǎo)，為條形 波導(dǎo)。3. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述的輸入/出漸變波導(dǎo)的波導(dǎo)寬度漸變區(qū)發(fā)生在波導(dǎo)的一側(cè)，波導(dǎo)另一 側(cè)保持不變。4. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述輸入漸變波導(dǎo)和輸出漸變波導(dǎo)結(jié)構(gòu)完全一致。5. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述的下路漸變波導(dǎo)的波導(dǎo)寬度漸變區(qū)發(fā)生在波導(dǎo)的一側(cè)，波導(dǎo)另一側(cè)保 持不變。6. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述下路漸變波導(dǎo)和上路漸變波導(dǎo)結(jié)構(gòu)完全一致。7. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述由輸入漸變波導(dǎo)和下路漸變波導(dǎo)組成的下路耦合區(qū)，該下路漸變波導(dǎo) 在輸入漸變波導(dǎo)的一側(cè)，兩波導(dǎo)的非漸變側(cè)邊相對，保持兩波導(dǎo)間隔不變。8. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述由輸出漸變波導(dǎo)和上路漸變波導(dǎo)組成的上路耦合區(qū)，該上路漸變波導(dǎo) 在輸出漸變波導(dǎo)的一側(cè)，兩波導(dǎo)的非漸變側(cè)邊相對，保持兩波導(dǎo)間隔不變。9. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:所述的反對稱布拉格波導(dǎo)光柵的周期滿足將多模波導(dǎo)中的TE基模和TE- 階模相互發(fā)生耦合的相位匹配條件。10. 根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的任意一種基于反對稱多模布拉格波導(dǎo)光柵的光分插復(fù)用 器，其特征在于:該反對稱布拉格波導(dǎo)光柵的周期性折射率微擾區(qū)在多模波導(dǎo)的兩側(cè)邊上， 所述構(gòu)成布拉格波導(dǎo)光柵的周期單元形狀均為矩形。
【文檔編號】H04J14/02GK105866893SQ201610400687
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年6月8日
【發(fā)明人】邱暉曄, 梁雄, 蘇玉霞, 賴國忠
【申請人】龍巖學(xué)院