邊緣曝光機(jī)及邊緣曝光區(qū)域打碼方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示面板生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種邊緣曝光機(jī)及邊緣曝光區(qū)域打碼方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)與有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(Organic Light Emitting D1de，0LED)等平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺式計算機(jī)等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。
[0003]現(xiàn)有市場上的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在薄膜晶體管陣列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)與彩色濾光片基板(ColorFilter，CF)之間灌入液晶分子，并在兩片基板上施加驅(qū)動電壓來控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)方向，以將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]液晶顯示面板的制程可劃分為三個階段:第一階段為陣列制程(Array)，即把薄膜晶體管制作在陣列玻璃基板上;第二階段為組合制程(Cell)，即把彩色濾光基板與薄膜晶體管陣列基板對組，并在中間灌入液晶分子;第三階段為模組制程(LCM)，即在組合后的面板背后加上背光組件及外接集成電路板，完成液晶顯示面板的制作。在Array制程中，需要先在陣列玻璃基板的上涂布正性光阻層，然后通過曝光制程對玻璃基板進(jìn)行打碼及邊緣曝光;其中，所謂打碼即在TFT制程中為每一片陣列玻璃基板刻上唯一的數(shù)字與字母組合的序列號碼以將其進(jìn)行分辨，避免帳料異常，以及異常追溯，其原理是使用鐳射光照射涂布正性光阻的玻璃與正性光阻發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而形成圖案;所謂邊緣曝光，即為避免后制程機(jī)臺發(fā)生放電導(dǎo)致破片，需要去除陣列玻璃基板邊緣的正性光阻，其原理是通過紫外光線照射涂布正性光阻的玻璃與正性光阻發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，去除玻璃基板邊緣光阻。
[0005]傳統(tǒng)打碼位置必須選擇邊緣曝光區(qū)域以外，否則打碼所形成的數(shù)字圖案會被邊緣曝光消除。如圖1所示，其為一種現(xiàn)有的陣列玻璃基板邊緣曝光區(qū)域及打碼區(qū)域的示意圖，一玻璃大板10’上具有四個面積相等的陣列玻璃基板11’，四個陣列玻璃基板11’四周邊緣位置為邊緣曝光區(qū)域12’，每個條形區(qū)域的寬度為O?50mm且所有的條形區(qū)域?qū)挾缺３忠恢?。由于陣列玻璃基?1’的邊緣位置在曝光制程中需要邊緣曝光，因此不能將打碼區(qū)域13’選擇在邊緣曝光區(qū)域12’之內(nèi)，否則打碼所形成的圖案會在邊緣曝光時消除，但如果將打碼區(qū)域13’設(shè)置在邊緣曝光區(qū)域12’之外，則會占用顯示區(qū)域的空間，降低陣列玻璃基板的利用率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種邊緣曝光機(jī)，能夠在對基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域，避免打碼區(qū)域的二次曝光，提高基板的利用率。
[0007]本發(fā)明的另一目的在于提供一種邊緣曝光范圍內(nèi)打碼方法，對基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域，在完成邊緣曝光和打碼的前提下，避免打碼區(qū)域的二次曝光，提高玻璃基板的利用率。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明首先提供一種邊緣曝光機(jī)，包括:用于承載基板的載臺、位于載臺上方的邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板、位于所述邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板上方的曝光燈源、邊緣寬度控制電動機(jī)、及驅(qū)動所述打碼區(qū)遮光板移動的方向驅(qū)動電動機(jī)；
[0009]所述邊緣曝光遮光板具有寬度可調(diào)的透光區(qū)域，所述邊緣寬度控制電動機(jī)用于控制所述邊緣曝光遮光板上的透光區(qū)域的寬度，從而對基板的邊緣曝光區(qū)域的寬度進(jìn)行控制;
[0010]所述打碼區(qū)遮光板為不透光的擋板，用于在對基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域。
[0011 ]所述方向驅(qū)動電動機(jī)包括橫向方向驅(qū)動電動機(jī)和豎向方向驅(qū)動電動機(jī)，分別用于驅(qū)動所述打碼區(qū)遮光板在橫向和豎向上的移動;在對基板進(jìn)行曝光時，所述橫向方向驅(qū)動電動機(jī)和豎向方向驅(qū)動電動機(jī)根據(jù)基板上預(yù)設(shè)的打碼區(qū)域的位置驅(qū)動所述打碼區(qū)遮光板移動至對應(yīng)所述邊緣曝光遮光板的透光區(qū)域內(nèi)的位置，從而在對基板上的邊緣區(qū)域進(jìn)行曝光時保留其中一部分不被曝光的區(qū)域用于打碼。
[0012]所述打碼區(qū)遮光板的尺寸與基板上預(yù)設(shè)的打碼區(qū)的尺寸相對應(yīng)，尺寸大于所述基板上預(yù)設(shè)的打碼區(qū)內(nèi)號碼的尺寸。
[0013]所述邊緣曝光遮光板與所述曝光燈源為同步移動，所述曝光燈源為紫外光燈源，在對基板進(jìn)行曝光時，所述曝光燈源發(fā)出的光穿過所述邊緣曝光遮光板的透光區(qū)域照射在基板的邊緣區(qū)域而進(jìn)行曝光。
[0014]本發(fā)明還提供一種邊緣曝光區(qū)域的打碼方法，包括以下步驟:
[0015]步驟1、提供一涂布有光阻材料的基板，在所述基板上預(yù)設(shè)位于其四周邊緣位置的邊緣曝光區(qū)域、及位于所述邊緣曝光區(qū)域內(nèi)的打碼區(qū)域；
[0016]步驟2、提供一邊緣曝光機(jī)，包括:用于承載基板的載臺、位于載臺上方的邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板、位于所述邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板上方的曝光燈源、邊緣寬度控制電動機(jī)、及驅(qū)動所述打碼區(qū)遮光板移動的方向驅(qū)動電動機(jī)；
[0017]所述邊緣曝光遮光板具有寬度可調(diào)的透光區(qū)域，所述邊緣寬度控制電動機(jī)用于控制所述邊緣曝光遮光板上的透光區(qū)域的寬度，從而對基板的邊緣曝光區(qū)域的寬度進(jìn)行控制;
[0018]所述打碼區(qū)遮光板為不透光的擋板，用于在對基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域；
[0019]將所述基板放置于所述邊緣曝光機(jī)的載臺上，將生產(chǎn)配方輸入所述邊緣曝光機(jī)中，所述生產(chǎn)配方包括預(yù)設(shè)的邊緣曝光區(qū)域的寬度和打碼區(qū)域的位置；
[0020]步驟3、所述邊緣寬度控制電動機(jī)根據(jù)生產(chǎn)配方對所述邊緣曝光遮光板上的透光區(qū)域的寬度進(jìn)行調(diào)節(jié)，以使其對應(yīng)預(yù)設(shè)的邊緣曝光區(qū)域的寬度；
[0021]所述方向驅(qū)動電動機(jī)根據(jù)生產(chǎn)配方驅(qū)動所述打碼區(qū)遮光板移動至所述基板上預(yù)設(shè)的打碼區(qū)域的上方；
[0022]步驟4、所述曝光燈源發(fā)出的光穿過所述邊緣曝光遮光板的透光區(qū)域照射在所述基板預(yù)設(shè)的邊緣曝光區(qū)域上而進(jìn)行曝光，在對應(yīng)所述打碼區(qū)域的位置，所述曝光燈源發(fā)出的光被所述打碼區(qū)遮光板遮擋而使得位于所述邊緣曝光區(qū)域內(nèi)的打碼區(qū)域不被曝光；
[0023]步驟5、在未被曝光的打碼區(qū)域內(nèi)進(jìn)行打碼。
[0024]所述步驟I中所提供的基板上涂布的光阻材料為正性光阻材料。
[0025]所述方向驅(qū)動電動機(jī)包括橫向方向驅(qū)動電動機(jī)和豎向方向驅(qū)動電動機(jī)，分別用于驅(qū)動所述打碼區(qū)遮光板在橫向和豎向上的移動;所述步驟3中，所述橫向方向驅(qū)動電動機(jī)和豎向方向驅(qū)動電動機(jī)根據(jù)生產(chǎn)配方將所述打碼區(qū)遮光板移動至所述基板上預(yù)設(shè)的打碼區(qū)域的上方。
[0026]所述步驟4中，所述邊緣曝光遮光板與所述曝光燈源沿所述預(yù)設(shè)的邊緣曝光區(qū)域同步移動，從而對所述邊緣曝光區(qū)域逐步進(jìn)行曝光直至完成。
[0027]所述打碼區(qū)遮光板的尺寸與預(yù)設(shè)的打碼區(qū)的尺寸相對應(yīng)，尺寸大于所述打碼區(qū)內(nèi)號碼的尺寸。