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著色感光性樹脂組合物的制作方法_2

文檔序號:9630946閱讀:來源:國知局
6、93、94、109、110、117、125、128、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、180、 185、194和214等;作為(11.顏料橙的具體例,可列舉13、31、38、40、42、43、51、55、59、61、 64、65、71 和 73 等;作為C.I.顏料紅的具體例,可列舉 9、97、105、122、123、144、149、166、 168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264和 265 等;作為(:.1.顏料藍(lán)的 具體例,可列舉 15 :3、15 :4、15 :6、16、22、28、60 等;可列舉C.I.顏料紫 14、19、23、29、32、 177等,可列舉C.I.顏料橙73等。上述例示的著色劑中,優(yōu)選地,包含從C.I.顏料黃138、 C.I.顏料黃129、C.I.顏料黃150中選擇的至少一種的著色劑為宜。
[0053] 作為染料的具體例,能夠列舉C.I.溶劑黃2、C.I.溶劑黃14、C.I.溶劑黃16、 C.I.溶劑黃33、C.I.溶劑黃34、C.I.溶劑黃44、C.I.溶劑黃56、C.I.溶劑黃82、C.I.溶 劑黃93、C.I.溶劑黃94、C.I.溶劑黃98、C.I.溶劑黃116、C.I.溶劑黃135 ;C.I.溶劑橙 1、C.I.溶劑橙3、C.I.溶劑橙7、C.I.溶劑橙63 ;C.I.溶劑紅1、C.I.溶劑紅2、C.I.溶 劑紅3、C.I.溶劑紅8、C.I.溶劑紅18、C.I.溶劑紅23、C.I.溶劑紅24、C.I.溶劑紅27、 C.I.溶劑紅35、C.I.溶劑紅43、C.I.溶劑紅45、C.I.溶劑紅48、C.I.溶劑紅49、C.I.溶 劑紅91 :1、C.I.溶劑紅119、C.I.溶劑紅135、C.I.溶劑紅140、C.I.溶劑紅196、C.I.溶 劑紅197 ;C.I.溶劑紫8、C.I.溶劑紫9、C.I.溶劑紫13、C.I.溶劑紫26、C.I.溶劑紫28、 C.I.溶劑紫31、C.I.溶劑紫59 ;C.I.溶劑藍(lán)4、C.I.溶劑藍(lán)5、C.I.溶劑藍(lán)25、C.I.溶 劑藍(lán)35、C.I.溶劑藍(lán)36、C.I.溶劑藍(lán)38、C.I.溶劑藍(lán)70 ;C.I.溶劑綠3、C.I.溶劑綠5、 C.I.溶劑綠7等。
[0054] 這些顏料和染料能夠各自單獨(dú)使用或者將2種以上混合使用。
[0055] 上述著色劑的含量,相對于著色感光性樹脂組合物中的固形分,以重量分率計(jì),能 夠以5~70重量%、優(yōu)選地10~50重量%含有。如果著色劑的含量不到5重量%,能夠 使形成的圖案的色分離能力降低,如果超過70重量%,能夠使光刻性能降低,發(fā)生殘?jiān)鼩?留或者未顯影等問題。
[0056]粘結(jié)劑樹脂
[0057] 本發(fā)明中,粘結(jié)劑樹脂優(yōu)選為具有羧基的單體和可與其共聚的其他單體的共聚 物。
[0058] 作為上述具有羧基的單體,能夠例示甲基丙烯酸等,但并不限定于此。
[0059] 上述可共聚的其他單體,作為具有碳-碳不飽和鍵的單體,作為其具體例,可列舉 苯乙稀、α-甲基苯乙稀、乙烯基甲苯等芳香族乙烯基化合物;丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲 酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基 丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸芐酯等不飽和羧酸酯化合物;丙烯酸氨基乙 酯等不飽和羧酸氨基烷基酯化合物;甲基丙烯酸縮水甘油酯等不飽和羧酸縮水甘油酯化合 物;醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯等羧酸乙烯酯化合物;丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈等乙 烯基氰化合物;3-甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基 氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧 雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜 環(huán)丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán) 丁烷等不飽和羧酸氧雜環(huán)丁烷酯化合物等。這些單體能夠各自單獨(dú)使用或者將2種以上組 合使用。
[0060] 粘結(jié)劑樹脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Μη)],在顯影性的方 面,優(yōu)選為1. 5~6. 0,更優(yōu)選為1. 8~4. 0。
[0061] 在著色感光性樹脂組合物中,粘結(jié)劑樹脂的含量,相對于著色感光性樹脂組合物 的全體固形分,為5~90重量%、優(yōu)選地10~70重量%的范圍。如果粘結(jié)劑樹脂的含量 為5~90重量%,在顯影液中的溶解性充分,因此在非像素部分的基板上不易產(chǎn)生顯影殘 渣,顯影時不易發(fā)生曝光部的像素部分的膜減少,因此非像素部分的脫落性良好。
[0062] 光聚合件化合物
[0063] 本發(fā)明中,光聚合性化合物,作為能夠利用通過光照射由后述的光聚合引發(fā)劑產(chǎn) 生的活性自由基、酸等而使其聚合的單體,只要是通過光聚合引發(fā)劑的作用能夠聚合的化 合物,則并無特別限定,優(yōu)選地,能夠列舉單官能光聚合性化合物、2官能光聚合性化合物或 3官能以上的多官能光聚合性化合物等。
[0064] 作為上述單官能單體的具體例,能夠列舉丙稀酸壬基苯基卡必醇酯、丙稀酸 2-羥基-3-苯氧基丙酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羥基乙酯、Ν-乙烯基吡 咯烷酮等,作為市售品,能夠列舉7 口二7夕只Μ-101 (東亞合成(株)制造)、KAYARAD TC-110S(日本化藥(株)制造)或匕' 只3 -卜158 (大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制造)等。
[0065] 作為上述2官能單體的具體例,能夠列舉二(甲基)丙烯酸1,4-丁二醇酯、二(甲 基)丙烯酸1,6-己二醇酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、三 甘醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚Α的雙(丙烯酰氧基乙基)醚、3-乙基戊二醇二(甲基) 丙烯酸酯等,作為市售品,能夠列舉7 口二7夕只M-210、M-1100、1200(東亞合成(株)制 造)、KAYARADHDDA(日本化藥(株)制造)、匕、只3 -卜260 (大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制 造)、AH-600、AT-600或UA-306H(共榮社化學(xué)社制造)等。
[0066] 作為上述3官能以上的多官能光聚合性化合物的具體的例子,有三羥甲基丙烷三 (甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三 (甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊 四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化二季 戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲 基)丙烯酸酯等,作為市售品,有7口二7夕只1-309、1'〇-1382(東亞合成(株)制造)、 KAYARADTMPTA、KAYARADDPHA或KAYARADDPHA-40H(日本化藥(株)制造)等。
[0067] 此外,也可列舉二甲基丙烯酸丙二醇酯。
[0068] 上述例示的光聚合性化合物中,3官能以上的(甲基)丙烯酸酯類和氨基甲酸酯 (甲基)丙烯酸酯的聚合性優(yōu)異,在能夠提高強(qiáng)度的方面特別優(yōu)選。
[0069] 上述光聚合性化合物能夠各自單獨(dú)地使用或者將2種以上組合使用。
[0070] 上述光聚合性化合物,相對于本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物中的固形分總重 量,優(yōu)選以5~45重量%含有,更優(yōu)選地,以10~35重量%含有。以上述的范圍含有上述 光聚合性化合物的情況下,像素部的強(qiáng)度、平滑性良好。
[0071] 光聚合引發(fā)劑
[0072] 上述光聚合引發(fā)劑,只要能夠使上述粘結(jié)劑樹脂和光聚合性化合物聚合,則能夠 對其種類無特別限制地使用,從聚合特性、引發(fā)效率、吸收波長等的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用肟 系化合物。
[0073] 在本發(fā)明的一具體例中,作為上述肟系化合物的具體例,能夠列舉鄰-乙氧基 羰基-α-氧亞氨基-1-苯基丙烷-1-酮、(Z)-2_((苯甲酰氧基)亞氨基)-1-(4-(苯 硫基)苯基)辛烷-1-酮(參照下述化學(xué)式2)、(E)-l-(((l-(9-乙基-6-(2-甲基 苯甲?;?9H_咔唑-3-基)乙基賴氨酸)氨基)氧)乙酮(參照下述化學(xué)式3)和 (E) -1- (((1- (6- (4- ((2, 2-二甲基-1,3-二氧雜環(huán)戊烷-4-基)甲氧基)-2-甲基苯甲酰 基)-9-乙基-9H-咔唑-3-基)乙基賴氨酸)氨基)氧)乙酮(參照下述化學(xué)式4)等,這 種情況下,在亮度和感光度優(yōu)異的方面優(yōu)選。
[0074]【化2】
[0075]
[0076]【化3】
[0077]
[0078]【化4】
[0079]
[0080] 上述肟系化合物并不限定于上述的實(shí)例,這些能夠各自單獨(dú)地使用或者將2種以 上混合使用。
[0081] 作為市售品,BASF社制造的
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