陣列基板、陣列基板的制作方法以及液晶顯示面板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板、陣列基板的制作方法以及液晶顯不面板。
【背景技術(shù)】
[0002]根據(jù)應(yīng)用的不同，液晶顯示面板分為透過型液晶顯示面板、反射型液晶顯示面板以及半反半透型液晶顯示面板。相較于前兩種液晶顯示面板，半反半透型液晶顯示面板能反射光，也帶有背光源。光線好的時(shí)候，可以關(guān)掉背光源，利用反射光；光線差的時(shí)，可以點(diǎn)亮背光源。因此半反半透型液晶顯示面板主要用于手機(jī)等中小尺寸產(chǎn)品，能夠滿足其輕便、節(jié)能的述求。
[0003]現(xiàn)有的半反半透型液晶顯示面板中，反射區(qū)域通常設(shè)置在薄膜晶體管區(qū)域上方，在制作時(shí)，需要在襯底基板上先逐層形成薄膜晶體管的各層后，再逐層形成反射區(qū)域的各層，制作工藝繁雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，本發(fā)明提供一種陣列基板、陣列基板的制作方法以及液晶顯示面板，以實(shí)現(xiàn)簡化半反半透型液晶顯示面板中陣列基板的制作工序。
[0005]第一方面，本發(fā)明提供了一種陣列基板。該陣列基板包括:
[0006]襯底基板；
[0007]形成在所述襯底基板上的多個(gè)像素單元，所述像素單元中包括反射區(qū)域、透射區(qū)域和薄膜晶體管區(qū)域；
[0008]所述反射區(qū)域包括形成在所述襯底基板上的有機(jī)膜層，以及位于所述有機(jī)膜層之上的反射金屬層；
[0009]所述薄膜晶體管區(qū)域設(shè)置有薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有機(jī)刻蝕阻擋層；
[0010]所述有機(jī)膜層與所述有機(jī)刻蝕阻擋層材料相同，且在同一制作工藝步驟中形成。
[0011]第二方面，本發(fā)明還提供了一種陣列基板的制作方法。該陣列基板的制作方法，包括:
[0012]提供襯底基板；
[0013]在襯底基板上形成多個(gè)像素單元，所述像素單元中包括反射區(qū)域、透射區(qū)域和薄膜晶體管區(qū)域，其中所述反射區(qū)域包括形成在所述襯底基板上的有機(jī)膜層，以及位于所述有機(jī)膜層之上的反射金屬層，所述有機(jī)膜層與所述薄膜晶體管區(qū)域中薄膜晶體管的源極和漏極之間的有機(jī)刻蝕阻擋層材料相同，且在同一道工藝步驟中形成。
[0014]第三方面，本發(fā)明還提供了一種液晶顯示面板。該液晶顯示面板，包括彩膜基板，本發(fā)明所提供的陣列基板，以及位于所述彩膜基板和所述陣列基板之間的液晶層。
[0015]本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案，其中通過將陣列基板中像素單元?jiǎng)澐譃榉瓷鋮^(qū)域、透視區(qū)域以及薄膜晶體管區(qū)域，并且將反射區(qū)域的有機(jī)膜層與薄膜晶體管區(qū)域的有機(jī)刻蝕阻擋層采用相同材料，在同一制作工藝步驟中形成，能夠有效減少一道有機(jī)膜制程，簡化半反半透液晶顯示面板的制作工藝，降低制作成本。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是圖1沿A1-A2方向的一種剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5是圖1沿A1-A2方向的另一種剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6是圖1沿A1-A2方向的又一種剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板制作方法的流程圖；
[0023]圖8是圖7中S42的一種詳細(xì)制作方案的流程圖；
[0024]圖9是圖7中S42的另一種詳細(xì)制作方案的流程圖；
[0025]圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種液晶顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明?？梢岳斫獾氖牵颂幩枋龅木唧w實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，而非對(duì)本發(fā)明的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分而非全部結(jié)構(gòu)。
[0027]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1沿A1-A2方向的一種剖面結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D1和圖2所示，該陣列基板包括:襯底基板1 ;形成在襯底基板1上的多個(gè)像素單元10 (如圖1所示)，像素單元10中包括反射區(qū)域11、透射區(qū)域12和薄膜晶體管區(qū)域13(圖2中示例性地給出了一個(gè)像素單元10);反射區(qū)域11包括形成在襯底基板1上的有機(jī)膜層111，以及位于有機(jī)膜層111之上的反射金屬層112 ;薄膜晶體管區(qū)域13設(shè)置有薄膜晶體管131，薄膜晶體管131包括有機(jī)刻蝕阻擋層1311 ;有機(jī)膜層111與有機(jī)刻蝕阻擋層1311材料相同，且位于同一層，即在同一制作工藝步驟中形成。
[0028]值得說明的一點(diǎn)是，在圖1所述的實(shí)施例中，薄膜晶體管區(qū)域13位于每一個(gè)像素單元10的左下方，反射區(qū)域11位于每一個(gè)像素單元10的右側(cè)。這僅是本發(fā)明的一個(gè)具體示例，而非對(duì)本發(fā)明的限制。在每一個(gè)像素單元10內(nèi)，反射區(qū)域11、透射區(qū)域12和薄膜晶體管區(qū)域13具體的分布方式還可以有多種。例如，圖3示出了反射區(qū)域11、透射區(qū)域12和薄膜晶體管區(qū)域13在每一個(gè)像素區(qū)域的另一種分布方式。在圖3中，薄膜晶體管區(qū)域13位于每一個(gè)像素單元10的左下方，反射區(qū)域11位于每一個(gè)像素單元10的上方，透射區(qū)域12位于薄膜晶體管區(qū)域13和反射區(qū)域11之間。圖4示出了反射區(qū)域11、透射區(qū)域12和薄膜晶體管區(qū)域13在每一個(gè)像素區(qū)域分布的又一個(gè)具體示例。在圖4中，薄膜晶體管區(qū)域13位于每一個(gè)像素單元10的左下方，反射區(qū)域11位于每一個(gè)像素單元10的右下方，并且直接與薄膜晶體管區(qū)域13相鄰，透射區(qū)域12位于每一個(gè)像素單元10的上方。
[0029]另外，考慮到透視區(qū)域12和反射區(qū)域11的面積比是影響顯示屏畫質(zhì)的重要因素，需要確保每一個(gè)像素單元10內(nèi)的透射區(qū)域12和反射區(qū)域11都能獲得良好的光效率。其中，根據(jù)應(yīng)用的不同，透視區(qū)域12和反射區(qū)域11的面積比可以在2:8至8:2之間進(jìn)行選擇。
[0030]本發(fā)明實(shí)施例中，如圖2所示，薄膜晶體管區(qū)域13中薄膜晶體管131可以為底柵式薄膜晶體管，該薄膜晶體管包括:設(shè)置在襯底基板1上的柵極1312 ;設(shè)置在柵極1312上的柵極絕緣層1313，并且柵極絕緣層1313同時(shí)設(shè)置在反射區(qū)域11和透射區(qū)域12的襯底基板1上；設(shè)置在柵極絕緣層1313上的有源層1314，有源層1314可以為氧化物半導(dǎo)體；設(shè)置在有源層1314上的有機(jī)刻蝕阻擋層1311，有機(jī)刻蝕阻擋層1311為一種光敏的有機(jī)材料(如Toray公司生產(chǎn)的SL4100)，其通過曝光、顯影進(jìn)行圖案化，然后通過加熱烘烤進(jìn)行固化后形成；設(shè)置在有機(jī)刻蝕阻擋層1311和有源層1314上的源極1315和漏極1316。
[0031]氧化物半導(dǎo)體與傳統(tǒng)的非晶硅相比，具有較高的迀移率；與此同時(shí)，制作工藝與低溫多晶硅相比較為簡單，因此，氧化物半導(dǎo)體在半反半透型顯示器有廣泛的應(yīng)用。對(duì)于有源層為氧化物半導(dǎo)體的陣列基板，在所述薄膜晶體管131中設(shè)置有機(jī)刻蝕阻擋層1311的原因是，有機(jī)刻蝕阻擋層1311成膜過程中，只需要曝光形成圖形，不需要刻蝕過程，其對(duì)氧化物薄膜晶體管131的損傷比無機(jī)刻蝕阻擋層成膜過程對(duì)氧化物薄膜晶體管131的損傷小，而且成本更低。
[0032]但是考慮到有機(jī)刻蝕阻擋層1311對(duì)水、離子的隔絕能力較差，在薄膜晶體管區(qū)域13中的有機(jī)刻蝕阻擋層1311的厚度通常大于0.8微米。
[0033]本發(fā)明所提供的陣列基板通過將陣列基板中像素單元?jiǎng)澐譃榉瓷鋮^(qū)域、透視區(qū)域以及薄膜晶體管區(qū)域，并且將反射區(qū)域的有機(jī)膜層與薄膜晶體管區(qū)域的有機(jī)刻蝕阻擋層采用相同材料，且位于同一層，即在同一制作工藝步驟中形成，能夠有效減少一道有機(jī)膜制程，簡化了半反半透液晶顯示面板的制作工藝，降低了制作