感光性樹脂組合物、感光性元件、噴砂用掩模材料及被處理物的表面加工方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物、以及使用了該感光性樹脂組合物的感光性元 件、噴砂用掩模材料、和被處理物的表面加工方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 以前，作為選擇性切削玻璃、陶瓷等被處理物的規(guī)定位置的方法，已知：在被處理 物上設(shè)置包含感光性樹脂組合物的感光層作為掩模材料，通過對上述感光層進行圖案化而 形成抗蝕劑圖案（掩模部）后，噴射研磨劑，對非掩模部進行選擇性切削（即進行噴砂處 理）的方法。
[0003] 噴砂處理用掩模材料用途中使用的感光性樹脂組合物，例如制成在支撐體上設(shè)置 了包含感光性樹脂組合物的感光層的感光性元件而使用。作為感光性樹脂組合物，使用包 含堿溶性樹脂、氨基甲酸酯（甲基）丙烯酸酯和光聚合引發(fā)劑的組成等。作為堿溶性樹脂， 例如提出了含羧基纖維素、含羧基丙烯酸樹脂等（例如，參照專利文獻1和2)。
[0004] 關(guān)于這樣的以前的感光性樹脂組合物，存在如下問題：在制造為感光性元件的情 況下，由于感光性樹脂組合物的粘性而難以從支撐體將感光層剝離。另外，為了提高噴砂耐 性（下面，有時僅稱為"噴砂耐性"），認(rèn)為必須降低固化后的被膜即噴砂處理用掩模的彈性 模量，為此，已知盡可能增多氨基甲酸酯（甲基）丙烯酸酯的配合量。但是，如果增多氨基 甲酸酯（甲基）丙烯酸酯的配合量，則由于在固化前的階段感光層的粘著性會增加，因此有 難以從支撐體將感光層剝離的傾向。其結(jié)果，有時難以將感光層轉(zhuǎn)印到被處理物上。
[0005] 為了保持噴砂耐性且容易將感光層轉(zhuǎn)印到被處理物上，例如提出了如下方案等： 設(shè)置包含聚乙烯醇或者部分皂化聚乙酸乙烯酯的水溶性樹脂層，在聚乙烯醇或者部分皂化 聚乙酸乙烯酯中添加了乙二醇、丙二醇、聚乙二醇等的水溶性樹脂層作為剝離層；設(shè)置包含 堿溶性纖維素衍生物的剝離層（例如，參照專利文獻3或者4)。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0007] 專利文獻
[0008] 專利文獻1 :日本專利第3449572號公報
[0009] 專利文獻2 :日本專利第3846958號公報
[0010] 專利文獻3 :日本特開平6-161098號公報
[0011] 專利文獻4 :日本特開2012-27357號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 發(fā)明要解決的問題
[0013] 但是，專利文獻1~4等所記載的以前的感光性樹脂組合物，與玻璃基板等基材的 密合性不充分，有在該基材上難以形成圖案這樣的問題。在為了提高密合性而使用密合助 劑等的情況下，堿顯影性降低，有難以形成圖案的傾向。
[0014] 因此，本發(fā)明的目的在于提供一種即使未設(shè)置剝離層也能夠?qū)⒅误w從感光層容 易地剝離，能夠在玻璃基板等基材上形成密合性和分辨率優(yōu)異的抗蝕劑圖案的感光性樹脂 組合物、使用了其的感光性元件、被處理物的表面加工方法、噴砂用掩模材料。
[0015] 用于解決問題的方法
[0016] 本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其含有（A)具有羧基的粘合劑聚合物、(B)具 有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物、（C)光聚合引發(fā)劑、（D)含有磷的增塑劑和（E)硅 烷化合物，上述（B)具有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯（甲基）丙 烯酸酯化合物。
[0017] 另外，⑶成分的含有磷的增塑劑優(yōu)選包含下述通式⑴所表示的化合物。
[0018] [化 1]
[0019]
【主權(quán)項】
1. 一種感光性樹脂組合物，其含有： (A) 具有羧基的粘合劑聚合物、 (B) 具有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物、 (C) 光聚合引發(fā)劑、 (D) 含有磷的增塑劑、和 (E) 硅烷化合物， 所述（B)成分的具有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯（甲基）丙 烯酸酯化合物。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，所述（D)成分的含有磷的增塑劑包含下 述通式（I)所表示的化合物，
通式（I)中，R3表示氫原子或者碳原子數(shù)1~3的烷基，R 4表示亞苯基或者下述通式 (II)所表示的2價基團，
通式（II)中，R5表示氫原子或者碳原子數(shù)1~3的烷基。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或者權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，作為所述（A)成分的具 有羧基的粘合劑聚合物的聚合性單體，含有苯乙烯或者苯乙烯衍生物。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述（A)成分的具有羧基 的粘合劑聚合物的酸值為50~250mgK0H/g。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述（A)成分的具有羧基 的粘合劑聚合物的玻璃化溫度Tg為30~100°C。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述氨基甲酸酯（甲基） 丙烯酸酯化合物的重均分子量為2000~45000。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述氨基甲酸酯（甲基） 丙烯酸酯化合物具有2個乙烯性不飽和基團。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述（E)成分的硅烷化合 物包含具有巰基的硅烷化合物。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述（E)成分的硅烷化合 物包含下述通式（III)所表示的化合物，
通式（III)中，R表不碳原子數(shù)1~6的亞烷基，A表不烷基，B表不烷氧基、氣基、燒氧 基烷氧基、乙醜氧基或者條氧基，η表不O~2的整數(shù)。
10. -種感光性元件，其具有支撐體和形成在該支撐體上的由權(quán)利要求1~9中任一項 所述的感光性樹脂組合物形成的感光層。
11. 一種被處理物的表面加工方法，其包含如下工序： 使用權(quán)利要求1~9中任一項所述的感光性樹脂組合物在被處理物上形成感光層的感 光層形成工序； 對所述感光層照射活性光線而在規(guī)定位置形成光固化部的曝光工序； 通過顯影將所述光固化部以外的部分除去，形成抗蝕劑圖案的顯影工序；和 噴射研磨劑，對未形成抗蝕劑圖案部分的被處理物進行切削的噴砂處理工序。
12. -種噴砂用掩模材料，其由權(quán)利要求1~9中任一項所述的感光性樹脂組合物形 成。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物、感光性元件、噴砂用掩模材料和被處理物的表面加工方法，所述感光性樹脂組合物含有(A)具有羧基的粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑、(D)含有磷的增塑劑和(E)硅烷化合物，所述(B)成分的具有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。
【IPC分類】G03F7-004, G03F7-00, G03F7-033
【公開號】CN104749885
【申請?zhí)枴緾N201410814596
【發(fā)明人】小澤恭子, 吉田哲也, 板垣秀一
【申請人】日立化成株式會社
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2014年12月24日