感光性樹(shù)脂組合物、硬化物及其制造方法、樹(shù)脂圖案的制造方法、硬化膜、液晶顯示裝置 ...的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及一種感光性樹(shù)脂組合物（W下，有時(shí)僅稱為"本發(fā)明的組合物"）。另 夕F，本發(fā)明設(shè)及一種使上述感光性樹(shù)脂組合物硬化而成的硬化物及其制造方法、使用上述 感光性樹(shù)脂組合物的樹(shù)脂圖案制造方法、使上述感光性樹(shù)脂組合物硬化而成的硬化膜、W 及使用上述硬化膜的各種圖像顯示裝置。
[0002] 更詳細(xì)而言，本發(fā)明設(shè)及一種適合于形成液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光 (Electroluminescence,EL)顯示裝置、觸摸屏顯示裝置、集成電路元件、固體攝影元件等的 電子零件的平坦化膜、保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的感光性樹(shù)脂組合物、及使用其的硬化膜的制 造方法。
【背景技術(shù)】
[0003] 根據(jù)固體攝影元件或液晶顯示裝置的發(fā)展，而開(kāi)始廣泛進(jìn)行利用有機(jī)原材料（樹(shù) 脂）來(lái)制作微透鏡、光波導(dǎo)、抗反射膜等光學(xué)構(gòu)件。
[0004] 為了使該些光學(xué)構(gòu)件的折射率變高，而正在研究添加氧化錯(cuò)等粒子。
[0005] 另外，作為現(xiàn)有的組合物，已知有專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2中所記載的組合物。
[0006] 在專利文獻(xiàn)1中揭示有一種含有金屬微粒子的組合物，其包括含有至少1個(gè)硫原 子的雜環(huán)化合物、及金屬微粒子。
[0007] 在專利文獻(xiàn)2中揭示有一種硬化性樹(shù)脂組合物，其特征在于包括；[A]分子中含有 2個(gè)W上的環(huán)氧基的聚合物，[B]陽(yáng)離子聚合性化合物（但是，該[A]成分除外），W及[幻 選自唾挫類、唾挫咐類、亞橫酷胺類、二硫代氨基甲酸醋類及秋蘭姆類的群組中的至少1種 化合物。
[000引[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0009] [專利文獻(xiàn)]
[0010] [專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)2008-1844號(hào)公報(bào)
[0011] [專利文獻(xiàn)2]日本專利特開(kāi)2005-17321號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[001引發(fā)明要解決的課題
[0013] 本發(fā)明的目的在于提供一種可獲得霧度小、折射率高的硬化物，且解析性優(yōu)異的 感光性樹(shù)脂組合物。
[0014] 解決問(wèn)題的技術(shù)手段
[0015] 本發(fā)明的上述課題通過(guò)W下的<1〉、<12〉?<15〉、<17〉、<18〉或<19〉中所記載的 手段來(lái)解決。W下一并記載作為優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)的<2〉?<11〉及<16〉。
[0016] <1〉一種感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于包括；（成分A)具有含有酸基由酸分解性 基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、（成分B)具有2個(gè)W上的氮原子的雜環(huán)化合物、（成分 C)光酸產(chǎn)生劑、（成分D)金屬氧化物粒子、W及（成分巧溶劑。
[0017] <2〉根據(jù)上述<1〉所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中成分B是具有在1位、3位上至 少含有氮原子的雜環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物。
[001引 <3〉根據(jù)上述<1〉或<2〉所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中成分B是具有在1位、3 位上至少含有氮原子的5元雜環(huán)結(jié)構(gòu)或6元雜環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物。
[0019] <4〉根據(jù)上述<1〉至<3〉中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中成分B的雜環(huán)的 環(huán)員包含碳原子及氮原子。
[0020] <5〉根據(jù)上述<1〉至<4〉中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中成分B為由下述 式（1)所表示的化合物。
[0021]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于包括： (成分A)具有含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、 (成分B)具有2個(gè)?6個(gè)氮原子的雜環(huán)化合物、 (成分C)光酸產(chǎn)生劑、 (成分D)金屬氧化物粒子、以及 (成分E)溶劑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B是具有在1位、3位上至少含有 氮原子的雜環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B是具有在1位、3位上至少 含有氮原子的5元雜環(huán)結(jié)構(gòu)或6元雜環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B的雜環(huán)的環(huán)員包 含碳原子及氮原子。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B為由下述式（1) 所表示的化合物：
(式（1)中，R1及R2分別獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子或一價(jià)的有機(jī)基，R1與R 2可鍵結(jié) 而為二價(jià)的有機(jī)基，R3及R4分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)的有機(jī)基，L 1表示形成5元環(huán)或 6元環(huán)的二價(jià)的連結(jié)基，R3或R4與L 1可鍵結(jié)而形成環(huán)，另外，當(dāng)存在由虛線所記載的含氮雙 鍵時(shí)，虛線的鍵結(jié)表示不存在R2及R 4,當(dāng)不存在由虛線所記載的含氮雙鍵時(shí)，虛線的鍵結(jié)表 示存在R2及R4)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B含有巰基或硫酮 基。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B為由下述式（1-1) 或式（1-2)所表示的化合物： [化2]
(式（1-1)及式（1-2)中，R6?R8分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)的有機(jī)基，L 2及L 3分 別獨(dú)立地表示形成5元環(huán)或6元環(huán)的二價(jià)的連結(jié)基，R6與L 2可鍵結(jié)而形成環(huán)，R 7或R8與L 3 可鍵結(jié)而形成環(huán)）。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其成分B的分子量為1，OOO 以下。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其相對(duì)于組合物的總固體 成分，成分D的含量為30質(zhì)量％以上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其還包括（成分F)交聯(lián) 劑。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其還包括（成分G)抗氧 化劑。
12. -種硬化物的制造方法，其至少依次包括步驟（a)?步驟（c): (a) 涂布步驟，將根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物涂布于基板 上； (b) 溶劑去除步驟，自所涂布的樹(shù)脂組合物中去除溶劑；以及 (c) 熱處理步驟，對(duì)去除了溶劑的樹(shù)脂組合物進(jìn)行熱處理。
13. -種樹(shù)脂圖案制造方法，其至少依次包括步驟（1)?步驟（5): (1) 涂布步驟，將根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物涂布于基板 上； (2) 溶劑去除步驟，自所涂布的樹(shù)脂組合物中去除溶劑； (3) 曝光步驟，利用光化射線將去除了溶劑的樹(shù)脂組合物曝光成圖案狀； (4) 顯影步驟，利用水性顯影液對(duì)經(jīng)曝光的樹(shù)脂組合物進(jìn)行顯影；以及 (5) 熱處理步驟，對(duì)經(jīng)顯影的樹(shù)脂組合物進(jìn)行熱處理。
14. 一種硬化物，其通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求12所述的硬化物的制造方法或根據(jù)權(quán)利要求13 所述的樹(shù)脂圖案制造方法而獲得。
15. -種硬化膜，其是使根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物硬化 而形成。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15項(xiàng)所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
17. -種液晶顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的硬化膜。
18. -種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的硬化膜。
19. 一種觸摸屏顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的硬化膜。
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種可獲得霧度小、折射率高的硬化物，且解析性優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的特征在于包括：(成分A)具有含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、(成分B)具有2個(gè)以上的氮原子的雜環(huán)化合物、(成分C)光酸產(chǎn)生劑、(成分D)金屬氧化物粒子、以及(成分E)溶劑。另外，成分B優(yōu)選為具有在1位、3位上至少含有氮原子的雜環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物。
【IPC分類】G03F7-004, H01L51-50, H05B33-22, G03F7-039, H05B33-12, C08L101-02
【公開(kāi)號(hào)】CN104541202
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380042751
【發(fā)明人】中村秀之, 鈴木成一
【申請(qǐng)人】富士膠片株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2013年8月29日
【公告號(hào)】WO2014034768A1