專(zhuān)利名稱(chēng)：主盤(pán)干燥蓋組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于盤(pán)片表面處理的裝置和方法。具體說(shuō)，本發(fā)明涉及在光盤(pán)上涂覆光活性層的裝置和方法。
現(xiàn)有技術(shù)的描述在本領(lǐng)域中已嘗試過(guò)將材料層分配在圓盤(pán)形基底上的許多方法。Bonu的美國(guó)專(zhuān)利4,350,562揭示了一種支承在氣流床之上的薄片，氣流從薄片之下提供且被側(cè)壁封閉，以防止薄片的側(cè)向分配。而后從上面刻劃薄片，且噴水進(jìn)行清潔。懸浮薄片的自由浮動(dòng)不利于涂層薄片所需的精度。而且，從薄片和側(cè)壁之間逃逸的氣體將導(dǎo)致擾動(dòng)，擾動(dòng)將給涂層工藝過(guò)程帶來(lái)負(fù)面影響。另外，用水沖洗帶有涂層的薄片，其中所攜帶的不想要的離子會(huì)導(dǎo)致涂層的退化。
Motoki等人的美國(guó)專(zhuān)利4,637,146揭示了一種類(lèi)似的裝置，不同之處在于只是在薄片之上的一點(diǎn)提供氣流。薄片之上的盤(pán)片蓋是平坦的，且在其間提供了一致的壓縮氣流。通過(guò)連接止動(dòng)件從側(cè)向保持該薄片，在涂覆好薄片之后，用水溶液進(jìn)行沖洗。因?yàn)槭且恢碌膲嚎s氣流，所以只能在薄片上施加一致的涂層。此外，接觸且將薄片夾持在穩(wěn)定位置的止動(dòng)件會(huì)干擾施加涂層所需的精度。而且，用水沖洗帶有涂層的薄片，其中所攜帶的不想要的離子會(huì)導(dǎo)致涂層的退化。
Kawasumi等人的美國(guó)專(zhuān)利4,936,940和Amemiya等人的美國(guó)專(zhuān)利5,385,624揭示了一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)，薄片直接支承和保持在該旋轉(zhuǎn)臺(tái)上。位于薄片之上的一平坦的蓋子使得在其間產(chǎn)生了一致的氣流，且引入了適于去除抵抗層或適于清潔表面的一活性氣體。薄片與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的直接接觸會(huì)損傷薄片的下側(cè)，由此負(fù)面影響整個(gè)工藝過(guò)程。此外，蓋子的角度是不可調(diào)節(jié)的，且不能改變沿著薄片的表面散發(fā)出的氣體的壓力，從而不能在其上獲得受控制的可變的涂層厚度。
Tsunekawa等人的美國(guó)專(zhuān)利5,478,401和Buchta等人的美國(guó)專(zhuān)利5,491,112揭示了連接于薄片或盤(pán)片的關(guān)鍵部的凸起物。一平坦的蓋子位于薄片或盤(pán)片之上，以在其間形成一致的氣流，凸起物連接于薄片或盤(pán)片的關(guān)鍵部會(huì)損傷薄片的下側(cè)，由此給整個(gè)工藝過(guò)程帶來(lái)負(fù)面影響。此外，蓋子的角度是不可調(diào)節(jié)的，且不能改變沿著薄片的表面散發(fā)出的氣體的壓力，從而不能在其上獲得受控制的可變的涂層厚度。
上述所有的現(xiàn)有技術(shù)都不足以在薄片或盤(pán)片上精確地分配一涂層。因此，長(zhǎng)期以來(lái)始終需要改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)的薄片或盤(pán)片涂層裝置的持久，使得該裝置精確、可靠，設(shè)計(jì)和使用簡(jiǎn)單，制造和使用更為經(jīng)濟(jì)和有效，且不會(huì)損傷薄片或盤(pán)片。
本發(fā)明的簡(jiǎn)要說(shuō)明本發(fā)明是一主光盤(pán)制造裝置和方法，用以將一光活性硝化纖維素染料聚合物溶液旋轉(zhuǎn)涂覆到一透明的聚碳酸酯盤(pán)片基底上，且快速、適當(dāng)?shù)毓袒透稍镄D(zhuǎn)涂覆的溶液，以獲得特定線性斜面的光活性薄層。該薄層在所述盤(pán)片基底的外周緣處較厚(厚度大約增加100埃)，在其內(nèi)部較薄。因此，接著在所述盤(pán)片的外周緣上記錄的數(shù)據(jù)坑(data pits)較深，因此，在主盤(pán)模制過(guò)程中可象在主盤(pán)中心處的較淺數(shù)據(jù)坑一樣容易地復(fù)制。該裝置包括一盤(pán)片殼體，該殼體可以下降，精確地接近盤(pán)片基底的活性層大約2至3.5mm的距離。該盤(pán)片殼體是圓柱形的，它帶有三個(gè)同心且平行的板，作為安裝在圓柱體封閉頂端的一高度平臺(tái)。每對(duì)板具有安裝在其間的一對(duì)軸承，這對(duì)軸承安裝在垂直于一對(duì)調(diào)節(jié)螺釘?shù)囊粋€(gè)平面中，使得該殼體可定向在基本平行于盤(pán)片基底的可能的無(wú)限平面中。一燒結(jié)的多孔聚丙烯過(guò)濾器延伸通過(guò)該殼體的開(kāi)放底端。潔凈、干燥且溫暖的氮?dú)膺M(jìn)入到由圓柱形殼體和過(guò)濾器形成的殼體腔室中，建立的氣體壓力使氮?dú)馔ㄟ^(guò)過(guò)濾器，且以平滑、均勻的氣流噴在硝化纖維素染料聚合物溶液上，致使該溶液固化和干燥。通過(guò)調(diào)節(jié)位于過(guò)濾器中心且固定于殼體內(nèi)部的調(diào)節(jié)螺釘，將過(guò)濾器彎成凸形(如果需要的話，或者凹形)，可獲得所需的斜面。過(guò)濾器的形狀使得可在過(guò)濾器與盤(pán)片基底的中心之間形成2mm的間隙，在過(guò)濾器和盤(pán)片基底的周緣之間形成3.5mm的間隙。在中心處的較小間隙趨于使溶液快速地干燥，因此得到較薄的活性層。相應(yīng)地，在盤(pán)片周緣處的較大間隙導(dǎo)致活性層的較慢干燥和固化，因此，趨于形成較厚的活性層。盤(pán)片中心處的較薄層至盤(pán)片周緣處的較厚層之間的斜面趨于是所需的線性斜面。
本發(fā)明的目的本發(fā)明的主要目的是增加主盤(pán)制造過(guò)程中模制產(chǎn)品的產(chǎn)量。
因此，一直接相關(guān)的目的是在主盤(pán)制造系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂層和干燥過(guò)程中在盤(pán)片基底上形成線性斜面的光活性涂層，主盤(pán)制造系統(tǒng)在盤(pán)片基底的外周緣上比在其中心形成了較厚的光活性涂層，因此可更深且更容易地模制將要記錄在盤(pán)片外周緣上的數(shù)據(jù)坑。由此可得到一主盤(pán)，在其外部可以象在其內(nèi)部幾乎一樣容易地模制，以獲得復(fù)制盤(pán)批量生產(chǎn)的較大產(chǎn)量。
因此，本發(fā)明的一目的是制造一盤(pán)片基底干燥蓋，它可放置在已旋轉(zhuǎn)涂覆有光活性溶液的盤(pán)片基底上，因此，可按照需要將蓋子的一多孔的空氣過(guò)濾器調(diào)節(jié)至距盤(pán)片基底的一可變距離。
本發(fā)明的另一目的是使?jié)崈簟⒏稍锴沂軣岬牡獨(dú)膺M(jìn)入到殼體的內(nèi)部腔室中以進(jìn)行積聚，在壓力之下均勻地通過(guò)多孔的過(guò)濾器，噴在盤(pán)片基底上的活性溶液上，有助于活性溶液的固化和干燥過(guò)程中。
一最終目的是利用過(guò)濾器的彎曲和傾斜的形狀，以及與可變的和受熱的氮?dú)鈿饬鞯慕Y(jié)合，以獲得盤(pán)片基底上的傾斜活性薄層，這又增加了主盤(pán)模制制造的產(chǎn)量。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1是一主光盤(pán)制造系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂層環(huán)境的立體圖，在該系統(tǒng)中應(yīng)用了本發(fā)明的干燥蓋。
圖2是本發(fā)明干燥蓋的一透明立體圖，特別示出了殼體定向平臺(tái)的功能。
圖3是本發(fā)明盤(pán)片蓋子的分解立體圖，示出了多孔的過(guò)濾器及其一體的構(gòu)件。
圖4是盤(pán)片干燥蓋的一實(shí)施例的帶有局部剖視的主視圖，示出了殼體空腔、多孔的過(guò)濾器和殼體定向機(jī)構(gòu)。
圖5是與圖4相似的盤(pán)片干燥蓋的另一實(shí)施例的帶有局部剖視的主視圖，但示出了三個(gè)獨(dú)特且獨(dú)立的環(huán)或殼體空腔的氣體集中分隔室。
較佳實(shí)施例的詳盡描述現(xiàn)參見(jiàn)圖1，示出了在其所應(yīng)用的一般環(huán)境中的本發(fā)明的盤(pán)片干燥蓋10。蓋子10連接于一水平支承件移動(dòng)臂12，移動(dòng)臂12可以使一豎直支承桿14如箭頭16和18所示上下移動(dòng)。臂12還可以沿桿14如箭頭20所示水平轉(zhuǎn)動(dòng)，以方便地將蓋子10移動(dòng)至和移動(dòng)出旋轉(zhuǎn)涂層過(guò)程的路徑。一鎖定機(jī)構(gòu)22可依照需要沿桿14將蓋子10固定在任何合適和方便的位置，直到支承臂12到達(dá)一基臺(tái)24?？梢赞D(zhuǎn)動(dòng)一微調(diào)件26，以對(duì)著臂12推動(dòng)一定向桿28，以將蓋子10精確地定向在一旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30之上的一特定距離，旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30連接于心軸32且封裝在一旋轉(zhuǎn)涂層圓筒34之內(nèi)。一旋轉(zhuǎn)涂層分配件36被構(gòu)制成可如箭頭38所示水平運(yùn)動(dòng)，以在旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30的中心40處分配一定量的光活性溶液，在較佳實(shí)施例中該溶液是硝化纖維素染料聚合物。在傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂層過(guò)程中，一旦由溶液管42供給的光活性溶液完全分配在盤(pán)片基板30之上時(shí)，分配件36轉(zhuǎn)出盤(pán)片30，并且臂12可沿豎直桿14下降，以將蓋子10降低且直接設(shè)定在盤(pán)片30之上。一旦蓋子10蓋住了旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30，通過(guò)氣管44供給的潔凈、干燥且溫暖的氮?dú)膺M(jìn)入到蓋子10的腔體46(虛線所示)中，且蓋住旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30，以干燥剛分配的活性層。
現(xiàn)參見(jiàn)圖2，其所示的是本發(fā)明的蓋子10的透明立體圖，示出了定向平臺(tái)48的清楚視圖。平臺(tái)48由平行且同心調(diào)平板的頂部50、中部52和底部54組成。平臺(tái)48通過(guò)一中空的圓柱體49連接于臂12。第一對(duì)軸承56和58位于頂板50和中板52之間、在垂直于第一對(duì)調(diào)節(jié)螺釘60和62的平面的平面中。第二對(duì)軸承64和66則位于中板52和底板54之間、在垂直于第二對(duì)調(diào)節(jié)螺釘68和70的平面的平面中。調(diào)節(jié)螺釘60和68分別裝配有穩(wěn)定彈簧76和78。定向平臺(tái)48牢固地附著在蓋子10的圓柱形盤(pán)片殼體74的頂部72上。從圖2中可以看出，當(dāng)上下調(diào)節(jié)螺釘60時(shí)，頂板50將圍繞第一軸承56和58傾斜和彎曲，致使所連接的殼體72同樣跟著傾斜。也可以看出，當(dāng)上下調(diào)節(jié)螺釘68時(shí)，中板52將在第二軸承64和66之上傾斜，致使殼體74在垂直于螺釘60的傾斜表面的一表面中再次傾斜。通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘68和60，可觀察到，殼體74可在圍繞水平面的無(wú)限數(shù)量的平面中相應(yīng)地傾斜，以平行于旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30且直接在盤(pán)片30之上精確地定向殼體74。
現(xiàn)參見(jiàn)圖3所示的分解立體圖，將對(duì)干燥蓋10進(jìn)行更為詳盡的描述。在圖3中，再次在帶有定向平臺(tái)48的情況下描述殼體74，定向平臺(tái)48將殼體74連接于移動(dòng)臂12，進(jìn)氣管44從中穿過(guò)而進(jìn)入到還是以虛線示出的腔體46中。殼體74在其底部周邊設(shè)置有齒板80，以將氣體過(guò)濾器82容納在其內(nèi)。在較佳實(shí)施例中，過(guò)濾器82是比旋轉(zhuǎn)涂層盤(pán)片30直徑大的燒結(jié)的多孔聚丙烯盤(pán)片，但并不一定局限于此。過(guò)濾器82通過(guò)不銹鋼環(huán)84牢固地固定于板80中，環(huán)84帶有內(nèi)部?jī)A斜邊緣85，且通過(guò)多個(gè)環(huán)螺釘86連接于殼體74，環(huán)螺釘86穿過(guò)環(huán)螺釘孔88而進(jìn)入到殼體螺釘孔90中。過(guò)濾器82還通過(guò)一中心緊固和過(guò)濾器凸形調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接于殼體74，該機(jī)構(gòu)包括一中心過(guò)濾器、帶有傾斜邊緣93的倒置插入杯92，杯92強(qiáng)有力地插入到一中心過(guò)濾孔94中且罩有一安裝墊圈96。一過(guò)濾器凸形調(diào)節(jié)螺釘98通過(guò)插入杯92、過(guò)濾孔94、墊圈96和一限制彈簧100插入到一凸形調(diào)節(jié)螺母102中，螺母102連接在一中心安裝條104上。而安裝條104又用一對(duì)安裝螺釘105牢固地固定于頂部108的孔106，且橫切殼體腔室46的進(jìn)氣管44。
現(xiàn)參見(jiàn)圖4和圖5，旋轉(zhuǎn)盤(pán)蓋子10的豎剖視圖描述在除了圖5中的殼體腔室46與圖4中有所改變這一顯著區(qū)別的相同的圖中。實(shí)際上本發(fā)明的所有構(gòu)件已涵蓋在圖1、圖2和圖3中，不必再進(jìn)行引述。但是，圖4和圖5的局部剖視圖更清楚地示出了定向平臺(tái)48和柔韌的多孔過(guò)濾器82的獨(dú)特功能和操作。在圖4和圖5中，所示的殼體74是剖視的，所示的定向板54帶有剖視的調(diào)節(jié)螺釘孔部分108和110，螺釘孔部分108和110分別示出了板定向調(diào)節(jié)螺釘68和70的全部延伸。中板52示出了分別用于板定向調(diào)節(jié)螺釘68和70的隱藏螺釘通道112和114，且還示出了一剖視部分116，以清楚地示出板調(diào)節(jié)螺釘60的前進(jìn)。而頂板50示出了分別用于調(diào)節(jié)螺釘68、60和70的隱藏螺釘孔118、120和122。多個(gè)平臺(tái)固定螺釘124示出定向平臺(tái)48牢固地連接于殼體74且控制殼體74的橫向定位。在圖4和圖5中，還可觀察到，通過(guò)上下調(diào)節(jié)螺釘68，并與相對(duì)的固定螺釘70協(xié)作，可致使第一板50圍繞一水平平面在軸承64和66上的第一垂直平面中傾斜。相應(yīng)地，通過(guò)上下調(diào)節(jié)螺釘60，并與相對(duì)的固定螺釘62協(xié)作，可致使第二板52圍繞一水平平面在軸承56和58上的第二垂直平面中傾斜。
除殼體74和所連接的過(guò)濾器82相對(duì)旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底30的總的定向，過(guò)濾器82的凸形也是可調(diào)節(jié)的。在圖4和圖5中，過(guò)濾器調(diào)節(jié)螺釘98可上下移動(dòng)，使過(guò)濾器82的凸形突出，如圖4和圖5所示，或者凹進(jìn)，如圖4中的虛線126所示。在較佳實(shí)施例中，為了在盤(pán)片基底30的中心設(shè)定大約2mm的間隙128和在盤(pán)片基底30的外周緣設(shè)定大約3.5mm的間隙130，如圖4和圖5所示的突出定向是符合需要的。通過(guò)這樣的定向，溫暖的氮?dú)鈴倪^(guò)濾器82流出且噴在活性薄層132上，在圖4和圖5中被大大地放大，以清楚地顯示，這將在盤(pán)片30的中心導(dǎo)致快速的干燥效果，在其外周緣產(chǎn)生一較慢的干燥過(guò)程，這又趨于形成所需的光活性薄層132的線性斜面。應(yīng)指出，盤(pán)片30通過(guò)該領(lǐng)域中傳統(tǒng)的吸附技術(shù)在心軸裝置32上旋轉(zhuǎn)且固定于該裝置。
現(xiàn)單獨(dú)參見(jiàn)圖5，可觀察到，一個(gè)三環(huán)形的氣體間隔保持裝置132位于上部且牢固地固定于過(guò)濾器82。裝置132由內(nèi)部134、中部136和外部138三個(gè)氣體保持和分配環(huán)組成，這三部分是分別由三個(gè)獨(dú)立的氣體傳送管140、142和144供給的。通過(guò)該變化的實(shí)施例，可以改變氣體壓力和相應(yīng)的通過(guò)過(guò)濾器82且接著橫過(guò)盤(pán)片30的氣體流速。通過(guò)該裝置，可按照需要更加精確地控制和改變圖4和圖5中虛線132所示的光活性薄層的斜面。
權(quán)利要求
1．用于干燥盤(pán)片基底上的帶有所需斜面的旋轉(zhuǎn)涂覆薄層的一盤(pán)片閉合體，它包括一盤(pán)片殼體；連接于所述殼體的一殼體定向平臺(tái)；設(shè)置在所述殼體上接近所述盤(pán)片基底的一過(guò)濾器；用以改變所述過(guò)濾器和所述盤(pán)片基底之間的間隙的調(diào)節(jié)裝置；以及通過(guò)所述過(guò)濾器且橫過(guò)所述盤(pán)片基底用以將氣體分配進(jìn)入所述殼體的裝置。
2．如權(quán)利要求1所述的閉合體，其特征在于所述薄層是一光活性薄層。
3．如權(quán)利要求2所述的閉合體，其特征在于所述活性薄層是硝化纖維素染料聚合物溶液。
4．如權(quán)利要求1所述的閉合體，其特征在于所述斜面是一線性斜面。
5．如權(quán)利要求4所述的閉合體，其特征在于所述線性斜面從所述盤(pán)片基底的中心至所述盤(pán)片基底的外周緣逐漸增加所述薄層的厚度。
6．如權(quán)利要求1所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述殼體是圓柱形的形狀，且具有一頂部和一底部，其中所述頂部是閉合的，而所述底部是開(kāi)放的。
7．如權(quán)利要求6所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述定向平臺(tái)設(shè)置在所述殼體的所述頂部上。
8．如權(quán)利要求7所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述定向平臺(tái)包括至少兩個(gè)面對(duì)面并置的盤(pán)片，該盤(pán)片具有夾持在其間的軸承裝置，允許在至少兩個(gè)垂直平面中傾斜/轉(zhuǎn)動(dòng)。
9．如權(quán)利要求8所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于調(diào)節(jié)是通過(guò)彈簧加載的一對(duì)螺釘完成的，該對(duì)螺釘設(shè)置在所述板之間、在至少兩個(gè)彼此垂直的平面上。
10．如權(quán)利要求1所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述過(guò)濾器是圓盤(pán)形的。
11．如權(quán)利要求10所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述過(guò)濾器被一不銹鋼環(huán)界定在所述殼體內(nèi)，該不銹鋼環(huán)將所述過(guò)濾器牢固地固定于所述殼體的周緣。
12．如權(quán)利要求11所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述過(guò)濾器在所述殼體內(nèi)建立起氣體壓力，且使所述氣體均勻地分布在所述盤(pán)片基底上。
13．如權(quán)利要求12所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述過(guò)濾器是燒結(jié)的多孔聚丙烯過(guò)濾器。
14．如權(quán)利要求1所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于用以改變所述過(guò)濾器和所述盤(pán)片基底之間間隙的所述調(diào)節(jié)裝置包括一可調(diào)節(jié)的輪轂(hub)，該輪轂安裝在所述過(guò)濾器的中心，與所述殼體可變化的連通。
15．如權(quán)利要求14所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述過(guò)濾可變化的連通裝置包括彈簧加載的螺釘，該螺釘可提升和降低所述過(guò)濾器的中心部分，由此所述過(guò)濾器的周緣保持固定，因此致使所述過(guò)濾器在所述盤(pán)片基底之上呈現(xiàn)突出和凹進(jìn)的形狀。
16．如權(quán)利要求1所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述氣體分配裝置包括與所述殼體相通且將氣體分配入所述殼體的一氣管，通過(guò)在由所述過(guò)濾器和所述殼體界定的位于所述殼體內(nèi)的一腔體中建立足夠的壓力，使所述氣體均勻地通過(guò)所述過(guò)濾器且分布在所述盤(pán)片基底上。
17．如權(quán)利要求16所述的盤(pán)片閉合體，其特征在于所述氣體是潔凈、干燥且加熱的氮?dú)?，不帶有直徑超過(guò)0.1微米的顆粒，且加熱至大約80至90度的室溫。
18．在旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底上精確地形成傾斜和可控制層的一種工藝，它包括以下步驟分配一定量的溶液，該溶液包括將形成在所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底中心部的所述薄層；在所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底上放置一干燥蓋；定向且調(diào)節(jié)所述干燥蓋，使其很接近、平齊且平行于所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底；通過(guò)所述干燥蓋中與所述盤(pán)片基底同心的一過(guò)濾圓盤(pán)，將潔凈、干燥且溫暖的氣流從所述干燥蓋平穩(wěn)且均勻地傳輸至所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)之上；依照需要通過(guò)在其中心可變化地彎曲所述過(guò)濾圓盤(pán)，以形成面向所述盤(pán)片基底的突出和凹進(jìn)的過(guò)濾表面，由此改變所述干燥蓋過(guò)濾圓盤(pán)之間的間隙，因此所述過(guò)濾圓盤(pán)和所述盤(pán)片基底之間的距離在所述同心盤(pán)片的中心處小于在其外周緣處的距離，致使所述溫暖氣體在所述盤(pán)片基底上快速地向外流出，并且所述盤(pán)片基底的中心承受較大的壓力，其外周緣處承受較小的壓力，致使所述溶液在所述盤(pán)片基底的中心處較快地固化和硬化，且形成大約2000埃的較薄層，致使所述溶液在其外周緣處較慢地固化和硬化，且形成大約2100埃的較厚層，以得到從所述盤(pán)片基底的中心至其外周緣的所需的斜面。
19．如權(quán)利要求18所述的工藝，其特征在于所述固化得到了一傾斜的光活性薄層。
20．如權(quán)利要求19所述的工藝，其特征在于所述活性薄層是硝化纖維素染料聚合物。
21．如權(quán)利要求18所述的工藝，其特征在于所述氣體是氮?dú)狻?br> 22．如權(quán)利要求21所述的工藝，其特征在于凈化所述氮?dú)猓猿ブ睆酱笥?.1微米的所有顆粒物質(zhì)。
23．如權(quán)利要求22所述的工藝，其特征在于所述氮?dú)饧訜嶂寥A氏溫度大約80至90度的環(huán)境室溫。
24．用以在盤(pán)片基底上得到可控制且傾斜的光活性薄層的一種旋轉(zhuǎn)涂層干燥蓋，它包括將光活性溶液施加至旋轉(zhuǎn)盤(pán)片基底的裝置；為了得到固化的光活性薄層，在硬化、干燥過(guò)程中蓋住所述盤(pán)片基底的裝置；精確地調(diào)平所述蓋子裝置的裝置，以將所述蓋子裝置設(shè)定在接近所述盤(pán)片基底的一平行位置；以均勻、可控制且分布的方式使氣體通過(guò)所述蓋子裝置傳送至所述盤(pán)片基底上的過(guò)濾裝置；以一方式調(diào)節(jié)所述過(guò)濾裝置的裝置，以改變所述過(guò)濾裝置和所述盤(pán)片基底之間的距離，該方式是在所述盤(pán)片基底的中心部使所述活性溶液快速地固化和硬化，在其外周緣處較慢地固化，由此在鄰近所述盤(pán)片基底的中心處得到較薄的活性層，在其外周緣處得到較厚的層，以獲得一受控制的傾斜光活性層。
25．如權(quán)利要求24所述的干燥蓋，其特征在于該活性溶液是硝化纖維素染料聚合物。
26．如權(quán)利要求24所述的干燥蓋，其特征在于該氣體是氮?dú)猓摰獨(dú)獬チ酥睆酱笥?.1微米的所有顆粒物質(zhì)，且加熱至大約華氏溫度80至90度的環(huán)境室溫。
全文摘要
公開(kāi)了一種旋轉(zhuǎn)涂層器干燥蓋,它具有獨(dú)特的功能和結(jié)構(gòu),可精確地控制聚碳酸酯盤(pán)片基底上的硝化纖維素染料聚合物溶液的光活性薄層的干燥過(guò)程。該蓋子構(gòu)制有一定向平臺(tái),以進(jìn)行該蓋子的多孔氣體過(guò)濾圓盤(pán)相對(duì)光活性層的角度和距離的微調(diào)?；酒叫星遗c盤(pán)片基底同心的過(guò)濾器可以變化成平坦、突出或凹進(jìn)的拱形,以使氣體流過(guò)盤(pán)片基底之上,由此可獲得光活性薄層的可變的線性斜面,該薄層在周緣處比在盤(pán)片的中心要厚。這使得較深的數(shù)據(jù)坑可形成在難以模制的盤(pán)片外周緣上,由此增加了主盤(pán)制造過(guò)程的產(chǎn)量。
文檔編號(hào)G03F7/16GK1311718SQ9980270
公開(kāi)日2001年9月5日 申請(qǐng)日期1999年1月15日 優(yōu)先權(quán)日1998年2月7日
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