專利名稱：光波導(dǎo)元件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用光刻蝕法在圓片表面制作光波導(dǎo)元件圖形的方法。
通常，將光波導(dǎo)元件連接到光纖上時(shí)所要處理的主要問題有例如菲涅耳反射損耗、終端錯(cuò)位損耗和光波導(dǎo)元件因在光波導(dǎo)元件與光纖之間的接頭的光反射而引起的性能下降。
按照現(xiàn)有技術(shù)，因終端錯(cuò)位和菲涅耳反射引起的接頭損耗問題幾乎已得到解決，但光波導(dǎo)與光纖彼此接觸時(shí)會(huì)產(chǎn)生約30分貝的回波損耗。由于這種回波損耗從而因光程變化導(dǎo)致串?dāng)_的產(chǎn)生，直接影響整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。因此，為消除這種有害的現(xiàn)象，在各光學(xué)元件連接在一起之前，將各光波導(dǎo)和光纖陣列各自的端部傾斜磨削成7～8度角。
擬與光纖連接的光波導(dǎo)元件的一般制造方法如

圖1所示。參閱圖1和圖2。硅圓片10與光掩膜垂直對齊之后，用光刻蝕法在圓片10上制作多個(gè)光波導(dǎo)元件圖形30。接著沿垂直劃線18和水平劃線16切割光波導(dǎo)元件圖形。
垂直劃線18和水平劃線16彼此垂直相交，沿兩組劃線切割圓片10時(shí)，光波導(dǎo)元件圖形30就被分開，各圖形30由多個(gè)構(gòu)成光波導(dǎo)元件的光波導(dǎo)32組成。
這之后，將光波導(dǎo)元件32的端部傾斜磨削成大約8度角，從而使接觸面34都傾斜8度。綜上所述，傳統(tǒng)方法具有這樣的缺點(diǎn)先是沿垂直方向在圓片上制作多個(gè)光波導(dǎo)元件圖形，接著沿垂直和水平劃線將其切割成多個(gè)分立的光波導(dǎo)元件，最后將所有光波導(dǎo)元件的端面都傾斜磨削成大約8度角。
本發(fā)明的目的是提供一種既縮短制造時(shí)間又降低生產(chǎn)成本的光波導(dǎo)元件制造方法。
因此，本發(fā)明提供的光波導(dǎo)元件的制造方法是用光刻蝕法在圓片襯底上制作多個(gè)光波導(dǎo)元件圖形，但這光波導(dǎo)元件圖形是在圓片上與垂直和水平劃線傾斜一定的角度以(θ)制作的。
所述方法最好還包括沿水平和垂直劃線切割圓片制取多個(gè)光波導(dǎo)元件的工序。所述角度(θ)可以取1～20度。
光波導(dǎo)元件圖形可用作石英光波導(dǎo)元件、聚合物光波導(dǎo)元件、激光二極管或光檢測元件。圓片襯底可以是硅圓片、砷化鎵圓片、鈮酸鋰圓片或石英圓片。
所述方法還可以包括以所述角度(θ)將各光波導(dǎo)元件與一個(gè)或多個(gè)光纖連接起來的工序。所述角度(θ)最好大于光波導(dǎo)元件和光纖中固有的數(shù)值孔徑(NA)值。
現(xiàn)在參看附圖舉例說明本發(fā)明。附圖中圖1是圓片上直角制作的光波導(dǎo)元件圖形的頂視平面圖；圖2是圖1中所示“A”的放大圖；圖3是圓片上傾斜制作的光波導(dǎo)元件圖形的頂視平面圖；圖4是圓片上與劃線傾斜一定的角度(x)制作的光波導(dǎo)元件圖形的示意圖；圖5是圖4中所示“B”的放大圖。
參看圖3和圖4。硅圓片10與光掩膜彼此成一定的角度對齊之后，用光刻蝕法在圓片10上制作多個(gè)光波導(dǎo)元件圖形12。至于圓片材料，可以采用砷化鎵(GaAs)、鈮酸鋰(LiNbO3)和石英(SiO2)。光波導(dǎo)元件圖形可用作石英波導(dǎo)元件、聚合物波導(dǎo)元件、激光二極管或光檢測元件。
參閱圖4。在圓片上與水平和垂直劃線16，18傾斜成一定的角度(θ)制作多個(gè)光學(xué)波導(dǎo)元件圖形12。為降低光纖連接到光波導(dǎo)元件時(shí)的回波損耗，角度(θ)取大于光波導(dǎo)14和光纖中固有的數(shù)值孔徑(NA)值，更具體地說，大約1～20度的角度。
這之后，在保持所述一定角的情況下，沿水平劃線18和垂直劃線16切取光波導(dǎo)元件圖形，從而使所有光波導(dǎo)元件圖形12分開，各光波導(dǎo)元件圖形由多個(gè)構(gòu)成光波導(dǎo)元件的光波導(dǎo)14組成。
綜上所述，本發(fā)明制造光波導(dǎo)元件的方法有這樣的好處各光波導(dǎo)元件圖形直接以一定的角度在圓片上制作，取消了切割之后傾斜磨削和拋光光波導(dǎo)端部的分離工序，從而避免光波導(dǎo)元件產(chǎn)量下降。此外，由于縮短了加工時(shí)間，因而生產(chǎn)率提高了，從而也能顯著降低生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求
1.一種制造光波導(dǎo)元件的方法，包括下列工序用光刻蝕法在圓片襯底上制取多個(gè)光波導(dǎo)元件圖形，光波導(dǎo)元件圖形是在圓片上與垂直和水平劃線傾斜成一定的角度(θ)制作的。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，它還包括沿水平和垂直劃線切割圓片制作多個(gè)光波導(dǎo)元件的工序。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述角度(θ)為1～20度。
4.如以上任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，所述光波導(dǎo)元件圖形用作石英光波導(dǎo)元件、聚合物光波導(dǎo)元件或光檢測元件。
5.如以上任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，圓片襯底為硅圓片、砷化鎵圓片、鈮酸鋰圓片或石英圓片。
6.如權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，它還包括將各光波導(dǎo)元件以所述角度(θ)與一個(gè)或多個(gè)光纖連接的工序。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述角度(θ)大于光波導(dǎo)元件和光纖中固有的數(shù)值孔徑(NA)值。
全文摘要
一種制造光波導(dǎo)元件的方法,該方法用光刻蝕法在圓片襯底上制作多個(gè)光波導(dǎo)元件圖形12。光波導(dǎo)元件圖形12在圓片上是與垂直劃線18及水平劃線16傾斜成一定的角度(θ)形成的。沿水平劃線16和垂直劃線18切割圓片,形成多個(gè)光波導(dǎo)元件12。傾斜角降低了光波導(dǎo)元件與光纖連接時(shí)的回波損耗。
文檔編號G02B6/00GK1179545SQ97119550
公開日1998年4月22日 申請日期1997年9月16日 優(yōu)先權(quán)日1997年9月16日
發(fā)明者李泰衡, 俞炳權(quán) 申請人:三星電子株式會(huì)社