專利名稱：液晶顯示裝置的濾色片及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種濾色片及其制作方法，更準(zhǔn)確地說，涉及一種含有對準(zhǔn)主圖形(analignkeypattern)、用于液晶顯示裝置的濾色片及其制造方法。
彩色液晶顯示裝置用來顯示圖像。這類裝置帶有兩個基片，其中之一有若干形成二其上的透明掃描電極，另一個上面有若干面朝上述掃描電極的信號電極，上述二基片之間裝有液晶，二基片的外側(cè)裝有偏振板。這類裝置還有相對于前述掃描電極被染成諸如紅、綠、蘭等原色的濾色片。將上述濾色片加到有源矩陣液晶顯示裝置上，其中用薄膜晶體管作為有源器件。掃描電極與信號電極的交點(diǎn)構(gòu)成象素，而相鄰的三個象素即構(gòu)成彩色圖象的一個組元。
上述顯示裝置所用的濾色片形成于基片之上的透明信號電極上面。通過涂敷諸如酪素和明膠等蛋白質(zhì)構(gòu)成的有色基材層，再使該層形成圖案，就能得到這類濾色片。濾色片的基材是介電材料;液晶就放在濾色片與掃描電極之間。
對于這類濾色片，應(yīng)當(dāng)準(zhǔn)確地制作各種顏色的彩色圖形，以便充分顯示液晶顯示器的象素。因此，為了制作濾色片，在制出與基材的各種顏色相對應(yīng)的彩色基材層之后，應(yīng)當(dāng)進(jìn)行光刻處理。
在制作普通濾色片的方法中，為了形成紅色、綠色以及蘭色圖形，用鉻(Cr)在基片上形成對準(zhǔn)主圖形，然后形成一濾色層(acolorresistlayer)。這之后，以上述對準(zhǔn)主圖形為標(biāo)板，通過移動基片用激光束自對準(zhǔn)一掩模，再利用普通光刻工藝將上述濾色層形成圖案。


圖1至圖3是對準(zhǔn)主圖形區(qū)的截面圖，表示按常規(guī)方法形成濾色片的紅色、綠色及蘭色濾色圖形的過程。
對照圖1至圖3，參考號11為基片、參考號12為對準(zhǔn)主圖形，參考號13為紅色濾色層、14為綠色濾色層，而15為蘭色濾色層。參考號16是抗氧化膜，17是激光束。圖1至圖3所示各截面都有相同的結(jié)構(gòu)，不過濾色層不同。以下對照圖1來描述普通對準(zhǔn)主圖形以及用它制作彩色圖形的方法。
首先，通過沉積厚度約1500A的鉻，在基片11上形成鉻層，再利用常規(guī)光刻工藝形成圖案，從而形成對準(zhǔn)主圖形12。繼而，通過涂敷紅色濾色膜形成紅色濾色層13;再在其上形成抗氧化膜16。此后，借助波長約為633nm的激光束17，以對準(zhǔn)主圖形12為標(biāo)板，使暴露出紅色濾色層13的掩模自對準(zhǔn)。最后，經(jīng)普通光刻工藝使紅色濾色層13構(gòu)成圖形，于是形成了紅色圖案。
進(jìn)而，利用由上述鉻組成的對準(zhǔn)主圖形12作為標(biāo)板對準(zhǔn)另一個掩模，再利用與上述相同的制作方法，就能形成圖2和圖3中的綠色圖形和蘭色圖形。不過，綠色濾色層14和蘭色濾色層15具有極低(幾乎為零)的激光束透射比。圖11是表示蘭色圖形、綠色圖形及紅色圖形的透射比相對于激光束波長的響應(yīng)曲線。對照圖11，參考號31表示蘭色濾色層的透射比，參考號32表示綠色濾色層的透射比，而參考號33表示紅色濾色層的透射比。所以，當(dāng)通過涂敷綠色和蘭色濾色膜形成濾色層時，由于測不到激光束的反射光，因而自對準(zhǔn)裝置在檢測對準(zhǔn)主圖形時有困難。也就是說，對于紅色濾色層13的情況，波長為633nm左右的激光的透射比大約是90%，這時能進(jìn)行自對準(zhǔn)，因為激光束在對準(zhǔn)主圖形處被反射，而且反射光信號很容易被自對準(zhǔn)裝置測得。然而，綠色和蘭色濾色層14、15對上述波長的激光束的透射比幾乎為零(比紅色濾色膜的低很多)，正像由圖11所能看到的那樣。除此之外，由鉻構(gòu)成的對準(zhǔn)主圖形的厚度很薄，所以，當(dāng)使用幾乎沒有圖形階梯差的對準(zhǔn)主圖形時，大部分光均被吸收。于是，幾乎沒有光從該對準(zhǔn)主圖形處被反射出來。
圖4是表示按照常規(guī)方法在基片上形成的對準(zhǔn)主圖形和在掩模上形成的對準(zhǔn)主圖形的平面圖，圖5表示由圖4所示的對準(zhǔn)主圖形的反射光測得的波形圖。
參照圖4，a1，c1，a2和c2表示基片上形成的對準(zhǔn)主圖形，而b1和b2表示掩模上形成的對準(zhǔn)主圖形。正如圖4所示，由掩模上的對準(zhǔn)主圖形b1和b2反射的激光束被測得。并對準(zhǔn)基片上形成的對準(zhǔn)主圖形的中央部分。圖5表示在掩模被對準(zhǔn)的情況下，利用示波器從圖4的一組對準(zhǔn)主圖形a1、b1、c1和a2、b2、c2得到的波形圖。參照圖5，波形圖A表示形成紅色濾色層時的情形;波形圖B表示形成蘭色或者綠色濾色層時的情形。如圖5所示，在形成蘭色或者綠色濾色層時很難進(jìn)行對準(zhǔn)工藝，因為幾乎沒有產(chǎn)生要測的反射波信號。因此，要自對準(zhǔn)一個掩模，就應(yīng)該去掉對準(zhǔn)主圖形上面的濾色層。為此，應(yīng)當(dāng)通過用諸如丙酮或者顯影劑等溶劑手工擦洗該主圖形的上部，去掉對準(zhǔn)主圖形上面的部分顏色保護(hù)層的一部分，露出對準(zhǔn)主圖形，這就產(chǎn)生因手工操作而降低生產(chǎn)率及產(chǎn)量的問題。
本發(fā)明的目的在于提供一種濾色片，該濾色片帶有用濾色膜形成的對準(zhǔn)主圖形，以便通過增大對準(zhǔn)主圖形的階梯差來檢測衍射光信號。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種制作濾色片的方法，其中利用上述對準(zhǔn)主圖形的階梯差，通過檢測所得到的衍射光信號形成濾色膜圖形。
本發(fā)明的再一目的是利用上述對準(zhǔn)主圖形來對準(zhǔn)掩模的方法。
為實現(xiàn)本發(fā)明的上述目的，提供了一種濾色片，它包括基片以及為對準(zhǔn)覆蓋在基片上的掩模而在基片上預(yù)定部分形成的對準(zhǔn)主圖形，該對準(zhǔn)主圖形具有預(yù)定尺寸的階梯差，以便在用激光束輻照時產(chǎn)生衍射光?；闲纬捎械谝粸V色層，它在后來的步驟中被曝光。該第一濾色層由濾色膜構(gòu)成，具有較低的激光束透射比，并覆蓋著對準(zhǔn)主圖形。第一濾色層最好由激光束透射比低于90%的材料，如蘭色或者綠色濾色膜組成。
本發(fā)明還提供一種濾色片，它包含基片;在基片的第一部分形成的第一濾色圖形;在基片的第二部分形成的第一對準(zhǔn)主圖形，這個第一對準(zhǔn)主圖形具有階梯差，以便在激光束照射其上時產(chǎn)生衍射光，而且該第一對準(zhǔn)主圖形由與第一濾色圖形同樣的材料制成;在其上帶有第一濾色膜圖形和第一對準(zhǔn)主圖形的基片上形成第二濾色圖形，第二濾色膜圖形覆蓋住第一對準(zhǔn)主圖形。
為了實現(xiàn)本發(fā)明的另一目的，提供一種制作濾色片的方法，它包括以下步驟在基片上形成第一濾色層;對第一濾色層光刻制圖，從而同時形成一個預(yù)定的第一濾色膜圖形和一個第一對準(zhǔn)主圖形，用于其后的掩模對準(zhǔn)工序。用紅色濾色膜制成第一濾色層。在形成第一對準(zhǔn)主圖形之后形成由綠色或者蘭色濾色膜構(gòu)成的第二濾色層，它蓋住第一對準(zhǔn)主圖形，然后利用來自第二濾色層入射面的激光束的衍射光對準(zhǔn)用于使第二濾色層曝光的掩模，所說第二濾色層的入射面處形成由第一對準(zhǔn)主圖形產(chǎn)生的階梯差。
為了實現(xiàn)本發(fā)明的再一個目的，提供了一種對準(zhǔn)曝光掩模的方法，包括以下步驟形成具有階梯差的對準(zhǔn)主圖形，用以在基片上產(chǎn)生激光束的衍射光;形成覆蓋住對準(zhǔn)主圖形的第一濾色層;檢測激光束照射在對準(zhǔn)主圖形上得到的衍射光，以產(chǎn)生一個信號;根據(jù)該信號使暴露出第一濾色層的掩模被對準(zhǔn)。
本發(fā)明還給出一種形成濾色片的方法，包括以下步驟在基片上形成遮光層;使該遮光層光刻制出圖形，從而形成第一對準(zhǔn)主圖形和遮光圖形;在已經(jīng)形成第一對準(zhǔn)主圖形和遮光圖形的基片上形成紅色濾光層;用第一對準(zhǔn)主圖形對紅色濾色層光刻制出圖形，以便在遮光層圖形上同時形成紅色濾色膜圖形和有預(yù)定階梯差的第二對準(zhǔn)主圖形，遮光層圖形處有使綠色濾色層暴露出來的對準(zhǔn)主圖形;在其上已經(jīng)形成第二對準(zhǔn)主圖形的所得結(jié)構(gòu)上形成綠色濾色層;用第二對準(zhǔn)主圖形使綠色濾色層圖形化，以便在一部分紅色濾色圖形上同時形成綠色濾色圖形和有預(yù)定階梯差的第三對準(zhǔn)主圖形，在那部分紅色濾色圖形處要形成使蘭色濾色層暴露出來的對準(zhǔn)主圖形;在具有第三對準(zhǔn)主圖形的所得結(jié)構(gòu)上形成蘭色濾色層;用第三對準(zhǔn)主圖形使蘭色濾色層圖形化，形成蘭色濾色膜圖形。通過用短波長激光束照在第一對準(zhǔn)主圖形上，檢測自第一對準(zhǔn)主圖形反射的激光束的光，以產(chǎn)生一個信號，再按該信號對準(zhǔn)使紅色濾色層暴露出的掩模，從而完成紅色濾色層的圖形化步驟。通過用短波長激光束照在第二對準(zhǔn)主圖形上，檢測從第二對準(zhǔn)主圖形來的激光束衍射光，以產(chǎn)生一個信號，再按該信號對準(zhǔn)使綠色濾色層暴露出的掩模，從而完成綠色濾色層的圖形化步驟。此外，通過用短波長激光束照射第三對準(zhǔn)主圖形，檢測從第三對準(zhǔn)主圖形來的激光束衍射光，以產(chǎn)生一個信號，再按該信號對準(zhǔn)使蘭色濾色層暴露出的掩模，從而完成蘭色濾色層的圖形化步驟。
按照本發(fā)明形成濾色片的方法，形成由濾色膜構(gòu)成的對準(zhǔn)主圖形，以便在形成紅色圖形和綠色圖形時，可將該對準(zhǔn)主圖形分別用于對準(zhǔn)使綠色濾色層及蘭色濾色層暴露的掩模。檢測在對準(zhǔn)主圖形的階梯差上方的綠色濾色膜和蘭色濾色膜的傾斜表面反射出的衍射光，產(chǎn)生一個信號。按此信號對準(zhǔn)使綠色濾色層和蘭色濾色層暴露出來的掩模。從而，可以很簡單地做到掩模的自對準(zhǔn)。
通過參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例，可使上述目的及優(yōu)點(diǎn)變得愈加明白。
圖1至圖3是對準(zhǔn)主圖形區(qū)的截面圖，用來表明按常規(guī)方法形成濾色片的紅色、綠色及蘭色圖形的過程;
圖4是表示按常規(guī)方法在基片上形成的對準(zhǔn)主圖形和在掩模上形成的對準(zhǔn)主圖形的平面圖;
圖5表示由圖4所示對準(zhǔn)主圖形的反射光測得的波形圖;
圖6至圖8表示本發(fā)明一個實施例的對準(zhǔn)主圖形及其形成方法，用于暴露出使濾色片的紅色、綠色及蘭色濾色層的掩模;
圖9是表示本發(fā)明的對準(zhǔn)主圖形和掩模上的對準(zhǔn)主圖形的平面圖;
圖10表示由圖9所示對準(zhǔn)主圖形的衍射光測得的波形圖;
圖11是表示蘭色、綠色和紅色濾色層的透射比相對于激光束波長的響應(yīng)曲線。
以下參考這些附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明。
圖6和圖8表示本發(fā)明一個實施例的對準(zhǔn)主圖形及其形成方法，用于暴露出使濾色片的紅、綠色及蘭色濾色層被對準(zhǔn)的掩模。
圖6表示形成第一對準(zhǔn)主圖形22′和對準(zhǔn)使第一濾色層暴露出的掩模的步驟。
對照圖6，沉積諸如鉻之類的遮光材料達(dá)1500A的厚度，形成一個鉻層，即在基片21上形成一個遮光層。然后，用常規(guī)光刻工藝使上述鉻層形成圖形，從而形成第一對準(zhǔn)主圖形22′。這里，在形成第一對準(zhǔn)主圖形22′的同時，在基片21上形成一個黑色基質(zhì)(圖7的參考數(shù)碼22)，即濾色片的遮光圖形。隨后涂敷紅色濾色膜，厚度為1至2μm，最好厚度接近1.6μm，從而形成作為第一濾色層的紅色濾色層23，再在它上面形成厚度為0.8-1.0μm的第一抗氧化膜26A。隨后，利用波長約633nm的激光束27，同時以第一對準(zhǔn)主圖形22′為標(biāo)板，移動基片21，使紅色濾色層23暴露出的掩模自對準(zhǔn)。也即使激光束27照到第一對準(zhǔn)主圖形22′上，然后檢測自第一對準(zhǔn)主圖形22′反射的光，以產(chǎn)生一個信號。按這個信號對準(zhǔn)上述掩模。此后，通過常規(guī)光刻工藝，使紅色濾色層23圖形化，形成紅色濾色膜圖形(未示出)。在光刻過程中，于曝光步驟之后、顯影步驟之前，除去第一抗氧化膜26A。
這時，在與形成第一對準(zhǔn)主圖形22′的區(qū)域不同的另一區(qū)域形成第二對準(zhǔn)主圖形(圖7中的參考號23′)，用以對準(zhǔn)使接著形成的第二濾色層暴露出的掩模。具體地說，當(dāng)形成上述紅色濾色圖形時，在形成用來對準(zhǔn)使綠色濾色層暴露出的掩模的對準(zhǔn)主圖形的位置上，同時形成由紅色濾色膜構(gòu)成的第二對準(zhǔn)主圖形23′。
圖7表示形成第二對準(zhǔn)主圖形23′以及對準(zhǔn)使第二濾色層暴露出來的掩模的方法。圖7所示的截面圖表示在與形成圖6所示之第一對準(zhǔn)主圖形區(qū)域之外的另一區(qū)域形成的第二對準(zhǔn)主圖形。
對照圖7，在基片21上有按圖6的步驟形成的黑色基質(zhì)22，而在黑色基質(zhì)22上有按圖6步驟形成的第二對準(zhǔn)主圖形23′。將綠色濾色膜涂在由圖6步驟得到的最終結(jié)構(gòu)上，就形成了第二濾色層，即綠色濾色層24。在綠色濾色層24上形成厚度為0.6至1.0μm的第二抗氧化膜26B，再用波長約600nm-700nm的激光束27照射第二對準(zhǔn)主圖形23′。檢測從形成有第二對準(zhǔn)主圖形23′的階梯差處的綠色濾色層24的傾斜表面部分來的衍射光，以產(chǎn)生一個信號，并按該信號對使綠色濾色層24暴露出的掩膜自對準(zhǔn)。隨后，通過接著進(jìn)行的光刻工藝使綠色濾色層24圖形化，形成綠色濾色圖形(未示出)。這時，在要形成蘭色濾色層的對準(zhǔn)主圖形位置處形成由上述綠色濾色膜的第三對準(zhǔn)主圖形(圖8中的參考號24′)。在光刻過程中，在曝光之后、顯影之前，去掉第二抗氧化膜26B。
圖8表示用第三對準(zhǔn)主圖形24′對準(zhǔn)使第三濾色層暴露出來的掩模的步驟。圖8的截面圖表示出第三對準(zhǔn)主圖形24′，該圖形形成在與圖6和7所示之第一、第二對準(zhǔn)主圖形22′和23′形成區(qū)域之外的別的區(qū)域內(nèi)。
對照圖8，在基片21上有按圖6步驟形成的黑色基質(zhì)22，在黑色基質(zhì)22上有按圖6步驟形成的第一濾色膜圖形23，而在第一濾色膜圖形23上有按圖7方法形成的第三對準(zhǔn)主圖形24′。在由圖7步驟得到的最終結(jié)構(gòu)上涂敷蘭色濾色膜，以形成第三濾色層，即蘭色濾色層25。在其上形成厚度為0.6-1.0μm的第三抗氧化膜26c，再用波長約為600nm-700nm的激光束27照射第三對準(zhǔn)主圖形24′。然后檢測來自形成有第三對準(zhǔn)主圖形24′的階梯差的蘭色濾色層25的傾斜表面的衍射光，得到一個信號，并按該信號自對準(zhǔn)使蘭色濾色層25暴露出的掩模。隨之，通過接著進(jìn)行的光刻工序，使蘭色濾色層25圖形化，形成蘭色濾色膜圖形(未示出)。
圖9是圖7所示之本發(fā)明的第二對準(zhǔn)主圖形和掩模上的對準(zhǔn)主圖形的平面圖。圖10表示根據(jù)圖9所示的對準(zhǔn)主圖形的反射光檢測到的波形。
對照圖9，除去用參考號30表示掩模上形成的對準(zhǔn)主圖形外，所有參考號都表示與圖7所示一樣的組成部分。圖10表示，在掩模被對準(zhǔn)時，用示波器從圖9的一組對準(zhǔn)主圖形23′和30所得到的波形圖。對照圖10，波形曲線A得自第二對準(zhǔn)主圖形，而波形曲線B得自掩模上的對準(zhǔn)主圖形。如圖10所示，由于能測得精密的波形圖，所以當(dāng)按本發(fā)明方法形成對準(zhǔn)主圖形時，就很容易實現(xiàn)掩模的自對準(zhǔn)。
按照本發(fā)明的制作濾色片的方法，在形成紅色和綠色濾色膜圖形時，利用上述紅色和綠色濾色膜形成的對準(zhǔn)主圖形被分別用于綠色濾色層和蘭色濾色層的對準(zhǔn)。通過檢測從由對準(zhǔn)主圖形所得的綠色濾色層和蘭色濾色層的階梯差的傾斜表面反射的激光束衍射光，可得到圖10所示的信號，所以能使暴露出綠色及蘭色濾色膜的掩模被自對準(zhǔn)。
因此，由于能夠與手工除去主圖形的光刻膠的傳統(tǒng)方法不同地自動進(jìn)行對準(zhǔn)工藝，使對準(zhǔn)工藝得到簡化，節(jié)省了工作時間并改善了生產(chǎn)能力。
應(yīng)當(dāng)理解，盡管上面詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但其許多變型和變化均可由本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員實行，而不脫離所附權(quán)利要求表示的本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種濾色片，包括一基片；以及在所說基片的預(yù)定部分上形成的對準(zhǔn)主圖形，該圖形用于對準(zhǔn)所述基片上的掩模，所述對準(zhǔn)主圖形具有預(yù)定大小的階梯差，從而在把激光束照在其上時產(chǎn)生衍射光。
2.一種如權(quán)利要求1所述的濾色片，還包括要用所述對準(zhǔn)主圖形使之曝光的第一濾色層，并且該濾色層蓋住所述對準(zhǔn)主圖形;所述第一濾色層形成于所述基片之上。
3.一種如權(quán)利要求2所述的濾色片，其中所述第一濾色層由蘭色濾色膜或綠色濾色膜組成。
4.一種濾色片，包括一基片;在所述基片第一部分形成的第一濾色膜圖形;在所述基片第二部分形成的第一對準(zhǔn)主圖形，所述第一對準(zhǔn)主圖形具有階梯差，以便在把激光束照在其上時產(chǎn)生衍射光，所述第一對準(zhǔn)主圖形由與所述第一濾色膜圖形一樣的材料構(gòu)成;以及在上面具有所述第一濾色膜圖形和所述第一對準(zhǔn)主圖形的所述基片上形成的第二濾色層，所述第二濾色膜圖形覆蓋在所述第一對準(zhǔn)主圖形之上。
5.一種如權(quán)利要求4所述的濾色片，其中，所述第一濾色膜圖形由紅色濾色膜組成，所述第二濾色膜圖形由蘭色濾色膜構(gòu)成。
6.一種形成濾色片的方法，包括步驟在基片上形成第一濾色層;對所述第一濾色層光刻出圖形，以便同時形成第一濾色膜圖形和具有階梯差的第一對準(zhǔn)主圖形，以用于接著進(jìn)行的掩模對準(zhǔn)工藝。
7.一種如權(quán)利要求6所述的形成濾色片的方法，其中，所述第一濾色層由紅色濾色膜組成。
8.一種如權(quán)利要求6所述的形成濾色片的方法，還包括步驟在形成所述第一對準(zhǔn)主圖形之后，形成覆蓋住所述第一對準(zhǔn)主圖形的第二濾色層;利用從由第一對準(zhǔn)主圖形形成的所述階梯差處的所述第二對準(zhǔn)層的傾斜表面來的激光束衍射光使暴露出所述第二濾色層的掩模被對準(zhǔn)。
9.一種曝光掩模的對準(zhǔn)方法，包括步驟在基片上形成具有階梯差的對準(zhǔn)主圖形，用以產(chǎn)生激光束的衍射光;形成蓋住所述對準(zhǔn)主圖形的第一濾色層;將激光束照在所述對準(zhǔn)主圖形上，檢測其衍射光，得到一個信號;按所述信號使暴露出所述第一濾色層的掩模被對準(zhǔn)。
10.一種形成濾色片的方法，包括步驟在基片上形成遮光層;使所述遮光層光刻形成圖形以形成第一對準(zhǔn)主圖形和遮光圖形;在上面已經(jīng)形成了所述第一對準(zhǔn)主圖形和所述遮光圖形的基片上形成紅色濾色層;用所述第一對準(zhǔn)主圖形對所述紅色濾色層光刻形成圖形，以便在所述遮光層上同時形成紅色濾色膜圖形和具有預(yù)定階梯差的第二對準(zhǔn)主圖形;所述遮光圖形處形成使綠色濾色層暴露出來的對準(zhǔn)主圖形;在其上已形成所述第二對準(zhǔn)主圖形的最終結(jié)構(gòu)上形成所述綠色濾色層;用所述第二對準(zhǔn)主圖形使所述綠色濾色層圖形化，以便在所述紅色濾光膜圖形上同時形成綠色濾色圖形和具有預(yù)定階梯差的第三對準(zhǔn)主圖形;所述紅色濾色圖形處形成使蘭色濾色層暴露出的對準(zhǔn)主圖形;在其上已形成所述第三對準(zhǔn)主圖形的最終結(jié)構(gòu)上形成所述蘭色濾色層;用所述第三對準(zhǔn)主圖形使所述蘭色保護(hù)層光刻形成圖形，從而形成蘭色濾色圖樣。
11.一種如權(quán)利要求9所述的形成濾色片的方法，其中，使所述紅色濾色層光刻形成圖形的方法包括步驟將短波長激光束照在所述第一對準(zhǔn)主圖形上;檢測自所述第一對準(zhǔn)主圖形反射的所述激光束的光，產(chǎn)生一個信號;按所述信號對準(zhǔn)使所述紅色保護(hù)層暴露出來的掩模。
12.一種如權(quán)利要求10所述的形成濾色片的方法，其中，所述使所述綠色濾色層圖形化的方法包括步驟將短波長激光束照在所述第二對準(zhǔn)主圖形上;檢測自所述第二對準(zhǔn)主圖樣衍射的所述激光束的光，產(chǎn)生一個信號;按所述信號使暴露出所述綠色保護(hù)層的掩模被對準(zhǔn)。
13.一種如權(quán)利要求11所述的形成濾色片的方法，其中，使所述蘭色濾色層圖形化的方法包括步驟將短波長激光束照在所述第三對準(zhǔn)主圖形上;檢測自所述第三對準(zhǔn)主圖形衍射的所述激光束的光，產(chǎn)生一個信號;按所述信號使暴露出所述蘭色保護(hù)層的掩模被對準(zhǔn)。
14.一種如權(quán)利要求11所述的形成濾色片的方法，其中，所述第一對準(zhǔn)主圖形由鉻或者氧化鉻構(gòu)成。
全文摘要
公開了一種具有對準(zhǔn)圖形、以便容易對準(zhǔn)掩模的濾色片及其制作方法。另外還揭示了用對準(zhǔn)主圖形對準(zhǔn)掩模的方法。在基片上形成一種具有預(yù)定階梯差、以便產(chǎn)生激光束衍射光的對準(zhǔn)主圖形，然后形成蓋在上述對準(zhǔn)主圖形的濾色層。之后，通過將一束激光束照射在上述對準(zhǔn)主圖形上，測得衍射光，以便產(chǎn)生一個信號，同時使暴露出上述濾色層的掩模被對準(zhǔn)。由于可測得精確的波形圖，所以能很容易地實行掩模的自對準(zhǔn)。
文檔編號G02F1/1335GK1089360SQ9311284
公開日1994年7月13日 申請日期1993年12月14日 優(yōu)先權(quán)日1992年12月14日
發(fā)明者金元浩, 崔東旭 申請人:三星電子株式會社