專利名稱:光纖編碼器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及數(shù)控技術(shù)中的編碼器。
目前使用的光電編碼器,其工作原理是碼盤一側(cè)的光源發(fā)出一束光,由碼盤另一側(cè)的光電接收器接收。這種編碼器抗干擾性差,影響其測量精度,對碼盤基板的要求較高,必須具有良好的透明度。
本發(fā)明的目的在于提供一種抗干擾性強,測量精度高,可用各種材料制作碼盤的光纖編碼器。
為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明以面發(fā)光二極管為光源,用離子交換微透鏡將光束聚焦并有效地耦合入光纖,編碼器的入射光和反射光信號由2×1合路器和光纖完成。這種光纖編碼器精度高,體積小,可在航空、航天、氣象及高精度機床中得到廣泛應(yīng)用,同時對碼盤基板材料無特殊要求。
以下結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細的描述。
圖1是本發(fā)明的示意圖。
本發(fā)明選用波長0.66μm的面發(fā)光二極管芯片(1),在芯片上制備一個直徑300μm的環(huán)形電極,用光敏膠將直徑300μm,焦距0.5mm的離子交換微透鏡(2)固定在芯片上,制成光纖編碼器的光源,該光源與光纖(3)的一端有效耦合,光纖的另一端與2×1合路器(4)的一路用光敏膠連接為入射光路。2×1合路器的另一路用光纖(5)與光電接收器(6)連接為反射光路。光信號經(jīng)入射光路照射到碼盤(7)的金屬鉻膜(8)上,產(chǎn)生反射光,該反射光經(jīng)反射光路被光電接收器接收。為了提高測量精度,可在一個編碼器中同時安裝三組光纖傳感系統(tǒng)。
權(quán)利要求1.一種光纖編碼器,它包括有光源,碼盤和2×1合路器,其特征是在面發(fā)光二極管芯片上制備一環(huán)形電極和一微透鏡,并與光纖的一端有效耦合,光纖的另一端與2×1合路器的一路連接,2×1合路器的另一路與光電接收器之間用光纖連接。
專利摘要本裝置公開了一種光纖編碼器,以面發(fā)光二極管和離子交換微透鏡為光源并有效地耦合入光纖,編碼器的入射光和反射光信號由2×1合路器和光纖完成。這種編碼器精度高,體積小,可在航空、航天、氣象及高精度機床中得到廣泛應(yīng)用。
文檔編號G02F3/00GK2118998SQ9220726
公開日1992年10月14日 申請日期1992年4月10日 優(yōu)先權(quán)日1992年4月10日
發(fā)明者霍振光, 徐邁, 岳肅中, 高淑芹 申請人:中科院長春物理研究所