本技術(shù)屬于吸盤，尤其涉及一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤。

背景技術(shù)：

1、直寫光刻機(jī)吸盤是光刻機(jī)的重要組成部分。吸盤的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素對(duì)pcb制版的實(shí)際生產(chǎn)制造有著重要影響。在使用直寫光刻機(jī)進(jìn)行pcb制版時(shí)，由于pcb板差異很大，市場(chǎng)上常用的單臺(tái)面、雙臺(tái)面機(jī)型，其吸盤部分是相似的，都是針對(duì)尺寸在24、32寸等常規(guī)統(tǒng)一大小的pcb板。但是隨著市場(chǎng)發(fā)展，定制的pcb板尺寸越來越多，且呈現(xiàn)出尺寸不統(tǒng)一的現(xiàn)象，現(xiàn)有的吸盤已無法滿足需求，隨之而來逐漸需要定制大尺寸的吸盤通過多分區(qū)域的設(shè)計(jì)來滿足不同尺寸的pcb板。

2、例如公告號(hào)為cn202221515u的中國實(shí)用新型專利公開了用于直寫式光刻機(jī)的多區(qū)域真空吸盤。包括矩形盤狀的吸盤本體，吸盤本體一側(cè)面中部設(shè)有一圓形的空腔，空腔處通過螺釘設(shè)有腔蓋；所述吸盤本體另一側(cè)面上由一側(cè)邊緣向中部延伸設(shè)有一條安裝槽，吸盤本體上均布設(shè)有兩條以上的大半圓形的真空槽，其中最內(nèi)側(cè)的一條真空槽位于安裝槽內(nèi)，其它真空槽均環(huán)繞在安裝槽外側(cè)；每條真空槽的底部連通著一條進(jìn)氣管，進(jìn)氣管的進(jìn)氣口位于吸盤本體另一側(cè)邊緣；每條真空槽外側(cè)的吸盤本體上設(shè)有兩個(gè)擋銷。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了一個(gè)真空吸盤可吸附不同規(guī)格的硅片，避免了多種規(guī)格硅片吸盤的制作，降低了生產(chǎn)成本；同時(shí)，避免了曝光過程中頻繁更換硅片吸盤，提高了生產(chǎn)效率。

3、上述專利所提供的技術(shù)方案中雖然實(shí)現(xiàn)了對(duì)多種規(guī)格的硅片的吸附，但面對(duì)越來越多的定制化尺寸，該方案已經(jīng)無法滿足實(shí)際的生產(chǎn)需求。因此，為了滿足吸盤需求，本實(shí)用新型將設(shè)計(jì)一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤來解決該問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于：為了解決當(dāng)前吸盤無法滿足眾多尺寸的pcb的吸附需求的問題，而提出的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

3、一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，包括呈陣列布置的若干邏輯閥，所述邏輯閥的出氣口與負(fù)壓設(shè)備連通，若干邏輯閥的進(jìn)氣口形成用于吸附板材的吸附平面；

4、所述邏輯閥包括：

5、導(dǎo)氣通道，進(jìn)氣口和出氣口分別設(shè)置在導(dǎo)氣通道的兩端；以及

6、活塞，通過彈性件可活動(dòng)的設(shè)置在進(jìn)氣口和出氣口之間，且活塞與導(dǎo)氣通道的內(nèi)壁之間形成有環(huán)形的導(dǎo)氣間隙；

7、其中，進(jìn)氣口未被板材覆蓋的邏輯閥內(nèi)部的活塞通過負(fù)壓設(shè)備的抽吸力將出氣口封堵。

8、優(yōu)選的，所述導(dǎo)氣通道的內(nèi)部嵌入設(shè)置有密封圈，所述密封圈與導(dǎo)氣通道同軸設(shè)置，所述進(jìn)氣口未被板材覆蓋的邏輯閥內(nèi)部的活塞通過負(fù)壓設(shè)備的抽吸力壓抵在密封圈上，使出氣口封堵。

9、優(yōu)選的，所述邏輯閥還包括閥體和閥蓋，所述出氣口和導(dǎo)氣通道均開設(shè)在閥體上，所述進(jìn)氣口開設(shè)在閥蓋上。

10、優(yōu)選的，還包括安裝板，所述邏輯閥安裝在安裝板其中一個(gè)板面上開設(shè)的安裝孔內(nèi)部。

11、優(yōu)選的，所述邏輯閥的進(jìn)氣口設(shè)置在安裝孔的內(nèi)部或者與安裝板的其中一個(gè)板面相平齊。

12、優(yōu)選的，所述安裝板的內(nèi)部設(shè)置有抽真空腔，所述出氣口與抽真空腔相連通，且抽真空腔與負(fù)壓設(shè)備連通。

13、優(yōu)選的，所述安裝板包括固定連接的上板體和下板體，所述安裝孔開設(shè)在上板體上，所述抽真空腔設(shè)置在上板體和下板體之間。

14、優(yōu)選的，所述抽真空腔開設(shè)在下板體靠近上板體的板面上。

15、優(yōu)選的，還包括設(shè)置在邏輯閥的進(jìn)氣口位置的吸盤墊，所述吸盤墊上對(duì)應(yīng)進(jìn)氣口的位置開設(shè)有氣孔。

16、優(yōu)選的，還包括設(shè)置在邏輯閥的進(jìn)氣口位置的過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)用于過濾進(jìn)入到進(jìn)氣口內(nèi)部的氣體。

17、綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是：

18、本實(shí)用新型中，通過設(shè)置呈陣列布置的若干邏輯閥，在邏輯閥的進(jìn)氣口未被板材(例如pcb)覆蓋時(shí)，該邏輯閥可以在負(fù)壓設(shè)備啟動(dòng)的一瞬間關(guān)閉，防止該邏輯閥漏氣，而當(dāng)邏輯閥的進(jìn)氣口被板材(例如pcb)覆蓋時(shí)，由于外部環(huán)境中的空氣無法通過該進(jìn)氣口進(jìn)入到導(dǎo)氣通道的內(nèi)部，由此，負(fù)壓設(shè)備產(chǎn)生的負(fù)壓就會(huì)傳遞到該進(jìn)氣口的位置，完成對(duì)板材(例如pcb)的吸附固定，整個(gè)吸盤可以根據(jù)板材(例如pcb)的實(shí)際尺寸進(jìn)行吸附面積的自適應(yīng)改變，從而滿足各種尺寸的板材(例如pcb)的生產(chǎn)需求。

技術(shù)特征：

1.一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，包括呈陣列布置的若干邏輯閥(1)，所述邏輯閥(1)的出氣口(111b)與負(fù)壓設(shè)備連通，若干邏輯閥(1)的進(jìn)氣口(111a)形成用于吸附板材的吸附平面；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，所述導(dǎo)氣通道(111c)的內(nèi)部嵌入設(shè)置有密封圈(14)，所述密封圈(14)與導(dǎo)氣通道(111c)同軸設(shè)置，所述進(jìn)氣口(111a)未被板材覆蓋的邏輯閥(1)內(nèi)部的活塞(12)通過負(fù)壓設(shè)備的抽吸力壓抵在密封圈(14)上，使出氣口(111b)封堵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，所述邏輯閥(1)還包括閥體(11)和閥蓋(15)，所述出氣口(111b)和導(dǎo)氣通道(111c)均開設(shè)在閥體(11)上，所述進(jìn)氣口(111a)開設(shè)在閥蓋(15)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，還包括安裝板(2)，所述邏輯閥(1)安裝在安裝板(2)其中一個(gè)板面上開設(shè)的安裝孔(211)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，所述邏輯閥(1)的進(jìn)氣口(111a)設(shè)置在安裝孔(211)的內(nèi)部或者與安裝板(2)的其中一個(gè)板面相平齊。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，所述安裝板(2)的內(nèi)部設(shè)置有抽真空腔(23)，所述出氣口(111b)與抽真空腔(23)相連通，且抽真空腔(23)與負(fù)壓設(shè)備連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，所述安裝板(2)包括固定連接的上板體(21)和下板體(22)，所述安裝孔(211)開設(shè)在上板體(21)上，所述抽真空腔(23)設(shè)置在上板體(21)和下板體(22)之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，所述抽真空腔(23)開設(shè)在下板體(22)靠近上板體(21)的板面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，還包括設(shè)置在邏輯閥(1)的進(jìn)氣口(111a)位置的吸盤墊(3)，所述吸盤墊(3)上對(duì)應(yīng)進(jìn)氣口(111a)的位置開設(shè)有氣孔(31)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，其特征在于，還包括設(shè)置在邏輯閥(1)的進(jìn)氣口(111a)位置的過濾網(wǎng)(4)，所述過濾網(wǎng)(4)用于過濾進(jìn)入到進(jìn)氣口(111a)內(nèi)部的氣體。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種自適應(yīng)分區(qū)吸盤，屬于吸盤技術(shù)領(lǐng)域，包括呈陣列布置的若干邏輯閥，所述邏輯閥的出氣口與負(fù)壓設(shè)備連通，若干邏輯閥的進(jìn)氣口形成用于吸附板材的吸附平面；所述邏輯閥包括：導(dǎo)氣通道以及活塞，進(jìn)氣口和出氣口分別設(shè)置在導(dǎo)氣通道的兩端；活塞通過彈性件可活動(dòng)的設(shè)置在進(jìn)氣口和出氣口之間，且活塞與導(dǎo)氣通道的內(nèi)壁之間形成有環(huán)形的導(dǎo)氣間隙；其中，進(jìn)氣口未被板材覆蓋的邏輯閥內(nèi)部的活塞通過負(fù)壓設(shè)備的抽吸力將出氣口封堵。本技術(shù)中的吸盤可以根據(jù)板材的實(shí)際尺寸進(jìn)行吸附面積的自適應(yīng)改變，從而滿足各種尺寸的板材的生產(chǎn)需求。

技術(shù)研發(fā)人員：程剛,劉新宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231211
技術(shù)公布日：2024/12/23