本發(fā)明涉及光刻制備領(lǐng)域，特別涉及一種濾光膜的制備方法及濾光膜組件。

背景技術(shù)：

1、濾光膜的制備過(guò)程中，需要經(jīng)過(guò)在基板上制作防反射的遮光層后，在基板上制備濾光膜。制備濾光膜的過(guò)程需要對(duì)成型的濾光膜進(jìn)行固型處理，以使濾光膜保持固定的形狀，但現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)成型的濾光膜進(jìn)行固型采用烘焙圖形的方法，而烘焙過(guò)程需要耗費(fèi)較長(zhǎng)的時(shí)間，降低制備濾光膜的制備效率，尤其在制備彩色濾光膜的過(guò)程中，需要耗費(fèi)的時(shí)間成倍增加。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種濾光膜的制備方法及濾光膜組件，解決了現(xiàn)有技術(shù)中制備彩色濾光膜的過(guò)程中，需要耗費(fèi)過(guò)多時(shí)間的問(wèn)題。

2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種濾光膜的制備方法，包括：

3、在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)為經(jīng)成型處理后，未進(jìn)行固型處理的濾光膜；

4、在所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，以使所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為待處理濾光膜；

5、對(duì)所述待處理濾光膜進(jìn)行烘焙處理，作為濾光膜。

6、可選的，所述在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；在所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，包括：

7、在所述基板上制備目標(biāo)顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；

8、在所述目標(biāo)顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置所述冷凍保護(hù)層，以使所述目標(biāo)顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定；

9、將下一顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，作為所述目標(biāo)顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，循環(huán)執(zhí)行所述在所述基板上制備目標(biāo)顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)至所述在所述目標(biāo)顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置所述冷凍保護(hù)層的步驟，直至全部顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為所述待處理濾光膜。

10、可選的，所述在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；在所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，包括：

11、在所述基板上制備第一顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；

12、在所述第一顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置所述冷凍保護(hù)層，以使所述第一顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為第一顏色待處理濾光膜；

13、在制備有所述第一顏色待處理濾光膜的基板上制備第二顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；

14、在所述第二顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置所述冷凍保護(hù)層，以使所述第二顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為第二顏色待處理濾光膜；

15、在制備有所述第一顏色待處理濾光膜和所述第二顏色待處理濾光膜的基板上制備第三顏色的待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；

16、在所述第三顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置所述冷凍保護(hù)層，以使所述第三顏色的所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為第三顏色待處理濾光膜，將所述第一顏色待處理濾光膜，所述第二顏色待處理濾光膜和所述第三顏色待處理濾光膜作為所述待處理濾光膜；所述第一顏色待處理濾光膜，所述第二顏色待處理濾光膜和所述第三顏色待處理濾光膜分別為紅、綠、藍(lán)三原色的待處理濾光膜。

17、可選的，所述在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，包括：

18、在所述基板上設(shè)置待處理濾光膜層；

19、對(duì)所述待處理濾光膜層依次進(jìn)行曝光和顯影處理，得到所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)。

20、可選的，在所述對(duì)所述待處理濾光膜進(jìn)行烘焙處理，作為濾光膜之后，還包括：

21、在所述濾光膜的表面設(shè)置平滑保護(hù)層，以使所述濾光膜表面平整。

22、可選的，在所述基板上設(shè)置待處理濾光膜層之前，還包括：

23、在透明玻璃基板上制備防反射的遮光層，作為所述基板。

24、本發(fā)明還提供了一種濾光膜組件，由上述的濾光膜的制備方法制備得到，包括：

25、基板和濾光膜；

26、所述濾光膜設(shè)置在所述基板的一側(cè)；

27、所述濾光膜由待固型濾光膜結(jié)構(gòu)和設(shè)置在所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面的冷凍保護(hù)層，經(jīng)烘焙處理形成，所述冷凍保護(hù)層用于固定所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀。

28、可選的，所述濾光膜為多種顏色的濾光膜。

29、可選的，所述多種顏色的濾光膜為包括紅、綠、藍(lán)三原色的濾光膜。

30、可選的，所述濾光膜的表面設(shè)置有平滑保護(hù)層；所述平滑保護(hù)層用于使所述濾光膜表面平整。

31、可見(jiàn)，本發(fā)明提供的濾光膜的制備方法，包括在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，待固型濾光膜結(jié)構(gòu)為經(jīng)成型處理后，未進(jìn)行固型處理的濾光膜。在待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，以使待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為待處理濾光膜，對(duì)待處理濾光膜進(jìn)行烘焙處理，作為濾光膜。本發(fā)明制備濾光膜時(shí)，通過(guò)在傳統(tǒng)工藝流程中顯影之后采用設(shè)置冷凍保護(hù)層的方式固定待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，在制備好待處理濾光膜后，統(tǒng)一對(duì)待處理濾光膜進(jìn)行烘焙，相對(duì)于每制備好一個(gè)待固型濾光膜結(jié)構(gòu)即進(jìn)行烘焙，能夠節(jié)省制備濾光膜所需的時(shí)間，提高了制備的效率。

32、此外，本發(fā)明還提供了一種濾光膜組件，同樣具有上述有益效果。

技術(shù)特征：

1.一種濾光膜的制備方法，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光膜的制備方法，其特征在于，所述在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；在所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光膜的制備方法，其特征在于，所述在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；在所述待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光膜的制備方法，其特征在于，所述在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光膜的制備方法，其特征在于，在所述對(duì)所述待處理濾光膜進(jìn)行烘焙處理，作為濾光膜之后，還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光膜的制備方法，其特征在于，在所述基板上設(shè)置待處理濾光膜層之前，還包括：

7.一種濾光膜組件，由權(quán)利要求1至6所述的濾光膜的制備方法制備得到，其特征在于，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濾光膜組件，其特征在于，所述濾光膜為多種顏色的濾光膜。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濾光膜組件，其特征在于，所述多種顏色的濾光膜為包括紅、綠、藍(lán)三原色的濾光膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的濾光膜組件，其特征在于，所述濾光膜的表面設(shè)置有平滑保護(hù)層；所述平滑保護(hù)層用于使所述濾光膜表面平整。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種濾光膜的制備方法及濾光膜組件，應(yīng)用于光刻制備領(lǐng)域，包括：在基板上制備待固型濾光膜結(jié)構(gòu)；待固型濾光膜結(jié)構(gòu)為經(jīng)成型處理后，未進(jìn)行固型處理的濾光膜；在待固型濾光膜結(jié)構(gòu)暴露的表面設(shè)置冷凍保護(hù)層，以使待固型濾光膜結(jié)構(gòu)的形狀固定，作為待處理濾光膜，對(duì)待處理濾光膜進(jìn)行烘焙處理，作為濾光膜。本發(fā)明制備濾光膜時(shí)，通過(guò)在傳統(tǒng)工藝流程中顯影之后采用設(shè)置冷凍保護(hù)層的方式固定待固型濾光膜結(jié)構(gòu)，在制備好待處理濾光膜后，統(tǒng)一對(duì)待處理濾光膜進(jìn)行烘焙，相對(duì)于每制備好一個(gè)待固型濾光膜結(jié)構(gòu)即進(jìn)行烘焙，能夠節(jié)省制備濾光膜所需的時(shí)間，提高了制備的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：姚樹(shù)歆,姚峰英
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19