本發(fā)明涉及彩膜基板的制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種彩色色阻的制作方法。

背景技術(shù)：

目前，在制作彩色色阻時，可通過采用同一光罩制備彩色色阻及相應(yīng)的檢測用色塊，來降低光罩?jǐn)?shù)量和制作成本。

在開始制作彩色色阻時，需要利用黑色矩陣光罩在襯底基板上形成對位標(biāo)記。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中對位標(biāo)記的示意圖。如圖1所示，對位標(biāo)記(alignmentmark)包括對位標(biāo)記101和對位標(biāo)記102。其中，玻璃基板上的黑色矩陣(bmonglass)具有對位標(biāo)記101。而對位標(biāo)記102則設(shè)置在rgb光罩(rgbmask)上。

對位標(biāo)記101具體包括三個黑色矩陣對位標(biāo)記。其中，第一個黑色矩陣對位標(biāo)記與第二個黑色矩陣對位標(biāo)記相隔一個子像素的寬度h。第一個黑色矩陣對位標(biāo)記與第三個黑色矩陣對位標(biāo)記相隔兩個子像素的寬度2*h。移動rgb光罩。當(dāng)rgb光罩上的對位標(biāo)記102依次與各個黑色矩陣對位標(biāo)記101對準(zhǔn)時，在相應(yīng)的位置形成對應(yīng)各個黑色矩陣對位標(biāo)記101的色塊和色阻。圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的第一種示意圖。如圖2所示，對準(zhǔn)檢測標(biāo)記包括r色塊201、g色塊202和b色塊203。r色塊201與g色塊202相隔h，r色塊201與b色塊203相隔2*h。

圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的第二種示意圖。如圖3所示，當(dāng)在高ppi模式(即高像素密度模式，在此模式下像素尺寸小)下h小于色塊的寬度c時，r色塊201與g色塊202會產(chǎn)生交疊，從而導(dǎo)致無法測量彩色色阻的位置誤差的問題。

圖4為現(xiàn)有技術(shù)中的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的第三種示意圖。為了使色塊不產(chǎn)生交疊，如圖4所示，可以將各色塊做小。但是尺寸較小的色塊會存在易被剝離的風(fēng)險。

現(xiàn)有技術(shù)中彩色色阻的制作方法的缺陷在于：當(dāng)在高ppi模式下子像素的寬度小于色塊的寬度時，色塊之間會產(chǎn)生交疊，從而導(dǎo)致無法測量彩色色阻的位置誤差的問題，而將色塊做小又會存在尺寸較小的色塊易被剝離的風(fēng)險。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種彩色色阻的制作方法，包括：

在襯底基板上形成具有第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、第三標(biāo)記、第一鏤空區(qū)域、第二鏤空區(qū)域和第三鏤空區(qū)域的黑色矩陣層；

移動光罩，使所述光罩上的對位標(biāo)記與所述第一標(biāo)記對齊；利用所述光罩在所述黑色矩陣層上形成第一色阻和第一色塊，并根據(jù)所述第一色塊和所述第一鏤空區(qū)域的位置關(guān)系來核對所述第一色阻的位置；

移動所述光罩，使所述對位標(biāo)記與所述第二標(biāo)記對齊；利用所述光罩在所述黑色矩陣層上形成第二色阻和第二色塊，并根據(jù)所述第二色塊和所述第二鏤空區(qū)域的位置關(guān)系來核對所述第二色阻的位置；

移動所述光罩，使所述對位標(biāo)記與所述第三標(biāo)記對齊；利用所述光罩在所述黑色矩陣層上形成第三色阻和第三色塊，并根據(jù)所述第三色塊和所述第三鏤空區(qū)域的位置關(guān)系來核對所述第三色阻的位置；

其中，所述第一標(biāo)記/第一鏤空區(qū)域和所述第二標(biāo)記/第二鏤空區(qū)域之間在豎直方向上間隔第一距離，所述第一標(biāo)記/第一鏤空區(qū)域和所述第三標(biāo)記/第三鏤空區(qū)域之間在豎直方向上間隔第二距離；所述第一距離和第二距離被配置成使所述第一色塊、第二色塊和第三色塊互不交疊。

在一個實施例中，所述第一距離h1滿足：h1＝n1*v；其中，n1為滿足n1≥1或n1≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度；

所述第二距離h2滿足：h2＝n2*v；其中，n2為不同于n1并且滿足n2≥1或n2≦-1的整數(shù)。

在一個實施例中，所述第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、第三標(biāo)記、第一鏤空區(qū)域、第二鏤空區(qū)域和第三鏤空區(qū)域利用同一光罩同步形成。

在一個實施例中，所述第一色阻、第二色阻和第三色阻各不相同，并且分別為紅色色阻、綠色色阻和藍(lán)色色阻中的一種。

在一個實施例中，所述第一色塊、第二色塊和第三色塊位于子像素與子像素之間的位置。

在一個實施例中，所述第一標(biāo)記、第二標(biāo)記和第三標(biāo)記位于非顯示區(qū)。

在一個實施例中，還包括：在形成所述黑色矩陣層時，還使所述黑色矩陣層具有第四標(biāo)記和第四鏤空區(qū)域；

移動所述光罩，使所述光罩上的對位標(biāo)記與所述第四標(biāo)記對齊；利用所述光罩在所述黑色矩陣層上形成第四色阻和第四色塊，并根據(jù)所述第四色塊和所述第四鏤空區(qū)域的位置關(guān)系來核對所述第四色阻的位置；

其中，所述第一標(biāo)記/第一鏤空區(qū)域和所述第四標(biāo)記/第四鏤空區(qū)域之間在豎直方向上間隔第三距離；所述第一距離、第二距離和第三距離被配置成使所述第一色塊、第二色塊、第三色塊和第四色塊互不交疊。

在一個實施例中，所述第一距離h1滿足：h1＝n1*v；其中，n1為滿足n1≥1或n1≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度；

所述第二距離h2滿足：h2＝n2*v；其中，n2為不同于n1并且滿足n2≥1或n2≦-1的整數(shù)；

所述第三距離h3滿足：h3＝n3*v；其中，n3為不同于n1和n2并且滿足n3≥1或n3≦-1的整數(shù)。

在一個實施例中，所述第一色阻、第二色阻、第三色阻和第四色阻各不相同，并且分別為紅色色阻、綠色色阻、藍(lán)色色阻和白色色阻中的一種。

在一個實施例中，所述第一色塊、第二色塊、第三色塊和第四色塊位于子像素與子像素之間的位置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述方案中的一個或多個實施例可以具有如下優(yōu)點或有益效果：

應(yīng)用本發(fā)明實施例提供的彩色色阻的制作方法，依次移動光罩使對位標(biāo)記分別與第一標(biāo)記、第二標(biāo)記和第三標(biāo)記對齊，并利用該光罩在黑色矩陣層上形成對應(yīng)第一標(biāo)記的第一色阻和第一色塊，對應(yīng)第二標(biāo)記的第二色阻和第二色塊、以及對應(yīng)第三標(biāo)記第三色阻和第三色塊。第一標(biāo)記和第二標(biāo)記之間在豎直方向上間隔第一距離，第一標(biāo)記和第三標(biāo)記之間在豎直方向上間隔第二距離。當(dāng)?shù)谝痪嚯x和第二距離被配置成使第一色塊、第二色塊和第三色塊互不交疊時，能夠在不改變色塊大小的前提下使得各色塊互不交疊。

本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點可通過在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。

附圖說明

附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本發(fā)明的實施例共同用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中：

圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中的對位標(biāo)記的示意圖；

圖2示出了現(xiàn)有技術(shù)中的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的第一種示意圖；

圖3示出了現(xiàn)有技術(shù)中的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的第二種示意圖；

圖4示出了現(xiàn)有技術(shù)中的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的第三種示意圖；

圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的彩色色阻的制作方法的流程示意圖；

圖6示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的對位標(biāo)記的示意圖；

圖7示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的示意圖；

圖8示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例形成的色阻的示意圖；

圖9示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的彩色色阻的制作方法的流程示意圖；

圖10示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的對位標(biāo)記的示意圖；

圖11示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的示意圖；

圖12示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例形成的色阻的示意圖；

圖13示出了根據(jù)本發(fā)明第三實施例的對位標(biāo)記的示意圖；

圖14示出了根據(jù)本發(fā)明第三實施例的對準(zhǔn)監(jiān)測標(biāo)記的示意圖；

圖15示出了根據(jù)本發(fā)明第三實施例形成的色阻的示意圖。

具體實施方式

以下將結(jié)合附圖及實施例來詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式，借此對本發(fā)明如何應(yīng)用技術(shù)手段來解決技術(shù)問題，并達(dá)成技術(shù)效果的實現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實施。需要說明的是，只要不構(gòu)成沖突，本發(fā)明中的各個實施例以及各實施例中的各個特征可以相互結(jié)合，所形成的技術(shù)方案均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

第一實施例

作為示例，本實施例主要針對三個子像素的彩色色阻的制作方法的說明。

圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第一實施例的彩色色阻的制作方法的流程示意圖。如圖5所示，該制作方法可以包括如下步驟s510至s570。

以下工藝步驟s510至s570，可以僅利用兩個光罩進(jìn)行彩色色阻的制作。這兩個光罩可以稱為黑矩陣光罩和色阻光罩。黑矩陣光罩可以包括對位標(biāo)記(alignmentmask)(即，第一標(biāo)記、第二標(biāo)記和第三標(biāo)記)的掩膜圖樣和鏤空區(qū)域(即，第一鏤空區(qū)域、第二鏤空區(qū)域和第三鏤空區(qū)域)的掩膜圖樣。色阻光罩可以包括對位標(biāo)記、對位監(jiān)測標(biāo)記(overlaymask)(即，第一色塊、第二色塊和第三色塊)和色阻(即，第一色阻、第二色阻和第三色阻)的掩膜圖樣。

在步驟s510中，在襯底基板上形成具有如圖6所示的第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602、第三標(biāo)記603、如圖7所示的第一鏤空區(qū)域701、第二鏤空區(qū)域702和第三鏤空區(qū)域703的黑色矩陣層。

優(yōu)選的，第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602、第三標(biāo)記603、第一鏤空區(qū)域701、第二鏤空區(qū)域702和第三鏤空區(qū)域703利用同一光罩同步形成。這里所說的光罩為黑矩陣光罩。利用黑矩陣光罩的對位標(biāo)記掩膜圖樣在例如為玻璃基板的襯底基板上形成第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602、第三標(biāo)記603。同時，利用黑矩陣光罩的鏤空區(qū)域的掩膜圖樣形成第一鏤空區(qū)域701、第二鏤空區(qū)域702和第三鏤空區(qū)域703。

優(yōu)選的，第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602和第三標(biāo)記603位于非顯示區(qū)，從而不影響正常顯示，不會對液晶顯示面板的開口率造成影響。第一鏤空區(qū)域701、第二鏤空區(qū)域702和第三鏤空區(qū)域703位于顯示區(qū)。具體地，第一鏤空區(qū)域701、第二鏤空區(qū)域702和第三鏤空區(qū)域703位于子像素與子像素之間的位置。

在步驟s520中，移動光罩，使如圖6所示的光罩上的對位標(biāo)記604與第一標(biāo)記601對齊。這里所說的光罩為色阻光罩。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第一標(biāo)記601對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s530。

在步驟s530中，利用色阻光罩在黑色矩陣層上形成如圖8所示的第一色阻801和如圖7所示的第一色塊704，并根據(jù)第一色塊704和第一鏤空區(qū)域701的位置關(guān)系來核對第一色阻801的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第一色塊704。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第一色阻801。

由于制作第一色塊704和第一色阻801是在同一道光罩下進(jìn)行的，那么可以通過檢測第一色塊704的位置誤差來檢測第一色阻801的位置。具體地，如圖7所示，通過檢測第一色塊704是否位于第一鏤空區(qū)域701的中心來核對第一色阻801的位置。如果第一色阻801的位置準(zhǔn)確，則所形成的第一色塊704恰位于第一鏤空區(qū)域701的中心。

在步驟s540中，移動色阻光罩，使對位標(biāo)記604與第二標(biāo)記602對齊。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第二標(biāo)記602對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s550。

在步驟s550中，利用色阻光罩在黑色矩陣層上形成如圖8所示的第二色阻802和如圖6所示的第二色塊705，并根據(jù)第二色塊705和第二鏤空區(qū)域702的位置關(guān)系來核對第二色阻802的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第二色塊705。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第二色阻802。通過檢測第二色塊705是否位于第二鏤空區(qū)域702的中心來核對第二色阻802的位置。如果第二色阻802的位置準(zhǔn)確，則所形成的第二色塊705恰位于第二鏤空區(qū)域702的中心。

在步驟s560中，移動色阻光罩，使對位標(biāo)記604與第三標(biāo)記603對齊。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第三標(biāo)記603對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s570。

在步驟s570中，利用色阻光罩在黑色矩陣層上形成如圖8所示的第三色阻803和第三色塊706，并根據(jù)第三色塊706和第三鏤空區(qū)域703的位置關(guān)系來核對第三色阻803的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第三色塊706。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第三色阻803。通過檢測第三色塊706是否位于第三鏤空區(qū)域703的中心來核對第三色阻803的位置。如果第三色阻803的位置準(zhǔn)確，則所形成的第三色塊706恰位于第三鏤空區(qū)域703的中心。

在本實施例中，第一標(biāo)記601和第二標(biāo)記602之間在豎直方向上間隔第一距離。第一標(biāo)記601和第三標(biāo)記603之間在豎直方向上間隔第二距離。第一鏤空區(qū)域701和第二鏤空區(qū)域702之間在豎直方向上間隔第一距離。第一鏤空區(qū)域701和第三鏤空區(qū)域703之間在豎直方向上間隔第二距離。重要地，第一距離和第二距離被配置成使第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。

優(yōu)選的，第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706位于子像素與子像素之間的位置。

在應(yīng)用本實施例的方法制作彩色色阻時，由于在步驟s520、步驟s540和步驟s560中，依次移動色阻光罩使得對位標(biāo)記604分別與第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602和第三標(biāo)記603對齊，因此理論上在步驟s530中形成的第一色塊704與在步驟s550中形成的第二色塊705之間應(yīng)在豎直方向上間隔第一距離，在步驟s530中形成的第一色塊704與和步驟s570中形成的第三色塊706之間應(yīng)在豎直方向上間隔第二距離。通過合理配置第一距離和第二距離的大小，可以在保持色塊大小不變的基礎(chǔ)上有效避免第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706的相互交疊。

本發(fā)明一優(yōu)選的實施例給出了針對第一距離和第二距離的配置方案。

具體地，第一距離h1滿足：h1＝n1*v。其中，n1為滿足n1≥1或n1≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度。第二距離h2滿足：h2＝n2*v。其中，n2為不同于n1并且滿足n2≥1或n2≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度。

需要說明的是，當(dāng)n1為滿足n1≥1的整數(shù)，且n2為不同于n1并且滿足n2≥1的整數(shù)時，色阻光罩下移。當(dāng)n1為滿足n1≦-1的整數(shù)，且n2為不同于n1并且滿足n2≦-1的整數(shù)時，色阻光罩上移。

具體地，如圖8所示，取n1＝1，n2＝2，可得h1＝v，h2＝2*v。也即，色阻光罩進(jìn)行初始對位形成第一色阻801和第一色塊704后，色阻光罩從初始位置向右下方移動至第二標(biāo)記602處(相當(dāng)于在水平方向上向右移動1個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動1個子像素的長度)形成第二色阻802和第二色塊705，從初始位置向右下方移動至第三標(biāo)記603處(相當(dāng)于在水平方向上向右移動2個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動2個子像素的長度)形成第三色阻803和第三色塊706。第一色塊704與第二色塊705在水平方向上間隔1個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔1個子像素的長度，第一色塊704與第三色塊706在水平方向上間隔2個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔2個子像素的長度。第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。

可選的，還可以取n1＝1，n2＝0，可得h1＝v，h2＝0。這樣，第一色塊704與第二色塊705在水平方向上間隔1個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔1個子像素的長度，第一色塊704與第三色塊706在水平方向上間隔2個子像素的寬度，且在豎直方向上無間隔。可以看出，第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。

可選的，還可以取n1＝1，n2＝3，可得h1＝v，h2＝3*v。這樣，第一色塊704與第二色塊705在水平方向上間隔1個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔1個子像素的長度，第一色塊704與第三色塊706在水平方向上間隔2個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔3個子像素的長度?？梢钥闯觯谝簧珘K704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。

需要說明的是，本發(fā)明實施例僅對第一標(biāo)記、第二標(biāo)記和第三標(biāo)記進(jìn)行豎直方向的改進(jìn)。相應(yīng)的，第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706在進(jìn)行了與現(xiàn)有技術(shù)相同或類似的水平方向上的移動，還在豎直方向上進(jìn)行了移動，以使第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。換言之，本發(fā)明實施例對第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706在水平方向上移動的距離不作限定。

優(yōu)選的，第一色阻801、第二色阻802和第三色阻803各不相同，并且分別為紅色色阻、綠色色阻和藍(lán)色色阻中的一種。例如，第一色阻801為紅色色阻。第二色阻802為綠色色阻。第三色阻803為藍(lán)色色阻。

應(yīng)用本發(fā)明實施例提供的彩色色阻的制作方法，依次移動光罩使對位標(biāo)記604分別與第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602和第三標(biāo)記603對齊，并利用該光罩在黑色矩陣層上形成對應(yīng)第一標(biāo)記601的第一色阻801和第一色塊704，對應(yīng)第二標(biāo)記602的第二色阻802和第二色塊705，以及對應(yīng)第三標(biāo)記603的第三色阻803和第三色塊706。第一標(biāo)記601和第二標(biāo)記602之間在豎直方向上間隔第一距離，第一標(biāo)記601和第三標(biāo)記603之間在豎直方向上間隔第二距離。當(dāng)?shù)谝痪嚯x和第二距離被配置成使第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊時，能夠在不改變色塊大小的前提下使得各色塊互不交疊，從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中色塊交疊以及存在色塊剝落風(fēng)險的缺陷。

第二實施例

作為示例，本實施例主要針對四個子像素的彩色色阻的制作方法的說明。

圖9示出了根據(jù)本發(fā)明第二實施例的彩色色阻的制作方法的流程示意圖。如圖9所示，該制作方法可以包括如下步驟s910至s990。

與第一實施例相同，以下工藝步驟s910至s990也可以僅利用兩個光罩進(jìn)行彩色色阻的制作。這兩個光罩可以稱為黑矩陣光罩和色阻光罩。黑矩陣光罩可以包括對位標(biāo)記(即，第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、第三標(biāo)記和第四標(biāo)記)的掩膜圖樣和鏤空區(qū)域(即，第一鏤空區(qū)域、第二鏤空區(qū)域、第三鏤空區(qū)域和第四鏤空區(qū)域)的掩膜圖樣。色阻光罩可以包括對位標(biāo)記、對位監(jiān)測標(biāo)記(第一色塊、第二色塊、第三色塊和第四色塊)和色阻(即，第一色阻、第二色阻、第三色阻和第四色阻)的掩膜圖樣。

在步驟s910中，在襯底基板上形成具有如圖10所示的第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602、第三標(biāo)記603、第四標(biāo)記1001、如圖11所示的第一鏤空區(qū)域701、第二鏤空區(qū)域702、第三鏤空區(qū)域703和第四鏤空區(qū)域1101的黑色矩陣層。

在步驟s920中，移動光罩，使如圖10所示的光罩上的對位標(biāo)記604與第一標(biāo)記601對齊。這里所說的光罩為色阻光罩。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第一標(biāo)記601對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s930。

在步驟s930中，利用光罩在黑色矩陣層上形成如圖12所示的第一色阻801和如圖11所示的第一色塊704，并根據(jù)第一色塊704和第一鏤空區(qū)域701的位置關(guān)系來核對第一色阻801的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第一色塊704。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第一色阻801。

由于制作第一色塊704和第一色阻801是在同一道光罩下進(jìn)行的，那么可以通過檢測第一色塊704的位置誤差來檢測第一色阻801的位置。具體地，如圖11所示，通過檢測第一色塊704是否位于第一鏤空區(qū)域701的中心來核對第一色阻801的位置。如果第一色阻801的位置準(zhǔn)確，則所形成的第一色塊704恰位于第一鏤空區(qū)域701的中心。

在步驟s940中，移動色阻光罩，使對位標(biāo)記604與第二標(biāo)記602對齊。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第二標(biāo)記602對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s950。

在步驟s950中，利用色阻光罩在黑色矩陣層上形成如圖12所示的第二色阻802和如圖10所示的第二色塊705，并根據(jù)第二色塊705和第二鏤空區(qū)域702的位置關(guān)系來核對第二色阻802的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第二色塊705。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第二色阻802。通過檢測第二色塊705是否位于第二鏤空區(qū)域702的中心來核對第二色阻802的位置。如果第二色阻802的位置準(zhǔn)確，則所形成的第二色塊705恰位于第二鏤空區(qū)域702的中心。

在步驟s960中，移動色阻光罩，使對位標(biāo)記604與第三標(biāo)記603對齊。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第三標(biāo)記603對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s970。

在步驟s970中，利用色阻光罩在黑色矩陣層上形成如圖12所示的第三色阻803和如圖10所示的第三色塊706，并根據(jù)第三色塊706和第三鏤空區(qū)域703的位置關(guān)系來核對第三色阻803的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第三色塊706。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第三色阻803。通過檢測第三色塊706是否位于第三鏤空區(qū)域703的中心來核對第三色阻803的位置。如果第三色阻803的位置準(zhǔn)確，則所形成的第三色塊706恰位于第三鏤空區(qū)域703的中心。

在步驟s980中，移動色阻光罩，使對位標(biāo)記604與第四標(biāo)記1001對齊。色阻光罩上的對位標(biāo)記604與第四標(biāo)記1001對齊，色阻光罩定位完成，轉(zhuǎn)到步驟s990。

在步驟s990中，利用色阻光罩在黑色矩陣層上形成如圖12所示的第四色阻1201和第四色塊1102，并根據(jù)第四色塊1102和第四鏤空區(qū)域1101的位置關(guān)系來核對第四色阻1201的位置。

具體地，利用色阻光罩上的對位監(jiān)測標(biāo)記掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第四色塊1102。同時，利用色阻光罩上的色阻掩膜圖樣在黑色矩陣層上形成第四色阻1201。通過檢測第四色塊1102是否位于第四鏤空區(qū)域1101的中心來核對第四色阻1201的位置。如果第四色阻1201的位置準(zhǔn)確，則所形成的第四色塊1102恰位于第四鏤空區(qū)域1101的中心。

在本實施例中，第一標(biāo)記601和第二標(biāo)記602之間在豎直方向上間隔第一距離。第一標(biāo)記601和第三標(biāo)記603之間在豎直方向上間隔第二距離。第一標(biāo)記601和第四標(biāo)記1001之間在豎直方向上間隔第三距離。第一鏤空區(qū)域701和第二鏤空區(qū)域702之間在豎直方向上間隔第一距離。第一鏤空區(qū)域701和第三鏤空區(qū)域703之間在豎直方向上間隔第二距離。第一鏤空區(qū)域701和第四鏤空區(qū)域1101之間在豎直方向上間隔第三距離。重要地，第一距離、第二距離和第三距離被配置成使第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102互不交疊。

在應(yīng)用本實施例的方法制作彩色色阻時，由于在步驟s920、步驟s940、步驟s960和步驟s980中，依次移動色阻光罩使得對位標(biāo)記604分別與第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602、第三標(biāo)記603和第四標(biāo)記1001對齊，因此理論上在步驟s930中形成的第一色塊704與在步驟s950中形成的第二色塊705之間應(yīng)在豎直方向上間隔第一距離，在步驟s930中形成的第一色塊704與和步驟s970中形成的第三色塊706之間應(yīng)在豎直方向上間隔第二距離，在步驟s930中形成的第一色塊704與和步驟s990中形成的第四色塊1102之間應(yīng)在豎直方向上間隔第三距離。通過合理配置第一距離、第二距離和第三距離的大小，可以在保持色塊大小不變的基礎(chǔ)上有效避免第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102的相互交疊。

本發(fā)明一優(yōu)選的實施例給出了針對第一距離、第二距離和第三距離的配置方案。

具體地，第一距離h1滿足：h1＝n1*v。其中，n1為滿足n1≥1或n1≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度。第二距離h2滿足：h2＝n2*v。其中，n2為不同于n1并且滿足n2≥1或n2≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度。第三距離h3滿足h3＝n3*v。其中，n3為不同于n1和n2并且滿足n3≥1或n3≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度。

需要說明的是，當(dāng)n1為滿足n1≥1的整數(shù)，n2為不同于n1并且滿足n2≥1的整數(shù)，且n3為不同于n1和n2并且滿足n3≥1的整數(shù)時，色阻光罩下移。當(dāng)n1為滿足n1≦-1的整數(shù)，n2為不同于n1并且滿足n2≦-1的整數(shù)，且n3為不同于n1和n2并且滿足n3≦-1的整數(shù)時，色阻光罩上移。

具體地，如圖12所示，取n1＝1，n2＝2，n3＝3，可得h1＝v，h2＝2*v，h3＝3*v。也即，色阻光罩進(jìn)行初始對位形成第一色阻801和第一色塊704后，色阻光罩從初始位置向右下方移動至第二標(biāo)記602處(相當(dāng)于在水平方向上向右移動1個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動1個子像素的寬度)形成第二色阻802和第二色塊705，從初始位置向右下方移動至第三標(biāo)記603處(相當(dāng)于在水平方向上向右移動2個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動2個子像素的寬度)形成第三色阻803和第三色塊706，從初始位置向右下方移動至第四標(biāo)記1001處(在水平方向上向右移動3個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動3個子像素的寬度)形成第四色阻1201和第四色塊1102。第一色塊704與第二色塊705在水平方向上間隔1個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔1個子像素的長度，第一色塊704與第三色塊706在水平方向上間隔2個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔2個子像素的長度，第一色塊704與第四色塊1102在水平方向上間隔3個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔3個子像素的長度。第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102互不交疊。

需要說明的是，本發(fā)明實施例僅對第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、第三標(biāo)記和第四標(biāo)記進(jìn)行豎直方向的改進(jìn)。相應(yīng)的，第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102在進(jìn)行了與現(xiàn)有技術(shù)相同或類似的水平方向上的移動，還在豎直方向上進(jìn)行了移動，以使第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102互不交疊。換言之，本發(fā)明實施例對第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102在水平方向上移動的距離不作限定。

優(yōu)選的，第一色阻801、第二色阻802、第三色阻803和第四色阻1201各不相同，并且分別為紅色色阻、綠色色阻、藍(lán)色色阻和白色色阻中的一種。例如，第一色阻801為紅色色阻。第二色阻802為綠色色阻。第三色阻803為藍(lán)色色阻。第四色阻1201為白色色阻。

優(yōu)選的，第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102位于子像素與子像素之間的位置。

應(yīng)用本發(fā)明實施例提供的彩色色阻的制作方法，依次移動光罩使對位標(biāo)記604分別與第一標(biāo)記601、第二標(biāo)記602、第三標(biāo)記603和第四標(biāo)記1001對齊，將利用光罩在黑色矩陣層上形成對應(yīng)第一標(biāo)記601的第一色阻801和第一色塊704、對應(yīng)第二標(biāo)記602的第二色阻802和第二色塊705、對應(yīng)第三標(biāo)記603的第三色阻803和第三色塊706、以及對應(yīng)第四標(biāo)記的第四色阻1201和第四色塊1102。第一標(biāo)記601和第二標(biāo)記602之間在豎直方向上間隔第一距離，第一標(biāo)記601和第三標(biāo)記603之間在豎直方向上間隔第二距離，第一標(biāo)記601和第四標(biāo)記1001之間在豎直方向上間隔第三距離。當(dāng)?shù)谝痪嚯x、第二距離和第三距離被配置成使第一色塊704、第二色塊705、第三色塊706和第四色塊1102互不交疊時，能夠在不改變色塊大小的前提下使得各色塊互不交疊，從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中色塊交疊以及存在色塊剝落風(fēng)險的缺陷。

第三實施例

與第一實施例不同，本實施例提供了另一種針對第一距離和第二距離的配置方案。

具體地，第一距離h1滿足：h1＝n1*v。其中，n1為滿足n1≥1或n1≦-1的整數(shù)，v為子像素的長度。第二距離h2滿足：h2＝n2*v。其中，n2等于n1，v為子像素的長度。

需要說明的是，當(dāng)n1為滿足n1≥1的整數(shù)，且n2等于n1時，色阻光罩下移。當(dāng)n1為滿足n1≦-1的整數(shù)，且n2等于n1時，色阻光罩上移。

具體地，取n1＝1，n2＝1，可得h1＝v，h2＝v。也即，色阻光罩進(jìn)行初始對位形成如圖15所示的第一色阻801和如圖14所示的第一色塊704后，色阻光罩從初始位置向右下方移動至如圖13所示的第二標(biāo)記602處(相當(dāng)于在水平方向上向右移動1個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動1個子像素的長度)形成如圖15所示的第二色阻802和如圖14所示的第二色塊705，從初始位置向右下方移動至如圖13所示的第三標(biāo)記603處(相當(dāng)于在水平方向上向右移動2個子像素的寬度，且在豎直方向上向下移動1個子像素的長度)形成如圖15所示的第三色阻803和如圖14所示的第三色塊706。第一色塊704與第二色塊705在水平方向上間隔1個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔1個子像素的長度，第一色塊704與第三色塊706在水平方向上間隔2個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔1個子像素的長度。第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。

可選的，還可以取n1＝2，n2＝2，可得h1＝2*v，h2＝2*v。這樣，第一色塊704與第二色塊705在水平方向上間隔1個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔2個子像素的長度，第一色塊704與第三色塊706在水平方向上間隔2個子像素的寬度，且在豎直方向上間隔2個子像素的長度。可以看出，第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊。

采用本實施例中的配置方案，當(dāng)?shù)谝痪嚯x、第二距離和第三距離被配置成使第一色塊704、第二色塊705和第三色塊706互不交疊時，能夠在不改變色塊大小的前提下使得各色塊互不交疊，從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中色塊交疊以及存在色塊剝落風(fēng)險的缺陷。

雖然本發(fā)明所公開的實施方式如上，但所述的內(nèi)容只是為了便于理解本發(fā)明而采用的實施方式，并非用以限定本發(fā)明。任何本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明所公開的精神和范圍的前提下，可以在實施的形式上及細(xì)節(jié)上作任何的修改與變化，但本發(fā)明的保護(hù)范圍，仍須以所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。