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切割機雙顯微鏡系統(tǒng)及其工作過程的制作方法

文檔序號:12458124閱讀:192來源:國知局
切割機雙顯微鏡系統(tǒng)及其工作過程的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及雙顯微鏡切換裝置,在不同顯微鏡鏡頭間自由切換,從而提高系統(tǒng)識別的速度和成功率。



背景技術:

切割機是一種半導體后封裝關鍵設備,其作用是將器件分割成單個的電路單元。器件上都有特殊標記,切割機通過識別器件上的標記來對準器件進行切割,而這些標記有大有小,傳統(tǒng)的設備只有一種顯微鏡頭,這種鏡頭識別大標記時特征往往不全,容易識別失敗,而識別小標記時特征的精度不夠,這樣造成了切割機在對準時的成功率和速度都不高,影響了產線效率。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供切割機雙顯微鏡系統(tǒng)及其工作過程,能保證系統(tǒng)在不同顯微鏡頭間自由切換,得到最合適圖像進行識別,提高系統(tǒng)對準的效率。

為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種主軸雙顯微鏡系統(tǒng),包括鏡頭1、鏡頭2、反射鏡1、反射鏡2、活動反射鏡、反射鏡電機、攝像頭、工作臺、編碼器和工控機;圖像經(jīng)過鏡頭1、反射鏡1或者鏡頭2、反射鏡2進入活動反射鏡,最后由攝像頭輸出給工控機;活動反射鏡由反射鏡電機帶動可以自由旋轉,當需要鏡頭1的圖像時,電機帶動活動反射鏡旋轉到左45度位置,需要鏡頭2的圖像時,電機帶動活動反射鏡旋轉到右45度位置;反射鏡電機安裝了編碼器來反饋活動反射鏡位置,工控機能實時讀取反射鏡位置;工控機通過讀取平臺位置來判斷使用哪個鏡頭的圖像,再控制反射鏡電機旋轉到相應位置后來采集攝像頭圖像。

優(yōu)選的,為了增加反射鏡電機的旋轉精度,在反射鏡電機上安轉了一個編碼器讀取電機的位置,工控機通過位置反饋來實時調整電機位置。

優(yōu)選的,反射鏡1和反射鏡2位置和角度不可動,這樣能穩(wěn)定改變光路方向。

優(yōu)選的,鏡頭1和鏡頭2可以使用不同類型的顯微鏡頭,通過調整反射鏡的材質和安裝角度來兼容。

本發(fā)明還提供上述切割機雙顯微鏡系統(tǒng)的工作過程,包括如下步驟:

1)當要使用鏡頭2圖像進行粗對準時,工控機控制反射鏡電機帶動活動反射鏡旋轉到右45度,工控機實時讀取編碼器位置,當?shù)竭_指定位置后系統(tǒng)打開攝像頭采集鏡頭2、反射鏡2過來的圖像;

2)粗對準完成后,系統(tǒng)需要使用鏡頭1的圖像進行精對準,這時工控機控制反射鏡電機帶動活動反射鏡旋轉到左45度,工控機實時讀取編碼器位置,當?shù)竭_指定位置后系統(tǒng)打開攝像頭采集鏡頭1、反射鏡1過來的圖像,通過圖像識別完成精對準。

本發(fā)明的優(yōu)點和有益效果在于:提供一種切割機雙顯微鏡系統(tǒng)及其工作過程,能在不同顯微鏡鏡頭間自由切換,從而提高系統(tǒng)識別的速度和成功率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的示意圖;

圖2是本發(fā)明的控制圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例,對本發(fā)明的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術方案,而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。

本發(fā)明具體實施的技術方案是:

如圖1所示,一種切割機雙顯微鏡系統(tǒng),包括鏡頭11、鏡頭22、反射鏡13、反射鏡24、活動反射鏡5、反射鏡電機6、攝像頭7、工作臺8、編碼器9和工控機10;圖像經(jīng)過鏡頭11、反射鏡11或者鏡頭22、反射鏡24進入活動反射鏡5,最后由攝像頭7輸出給工控機10;活動反射鏡5由反射鏡電機6帶動可以自由旋轉,當需要鏡頭11的圖像時,電機6帶動活動反射鏡5旋轉到右45度位置,需要鏡頭22的圖像時,電機6帶動活動反射鏡5旋轉到左45度位置;工控機10通過讀取平臺8位置來判斷使用哪個鏡頭的圖像,再控制反射鏡電機6旋轉到相應位置后來采集攝像頭7圖像。

本發(fā)明還提供上述切割機雙顯微鏡系統(tǒng)的工作過程,包括如下步驟:

1)當要使用鏡頭22圖像進行粗對準時,工控機10控制反射鏡電機6帶動活動反射鏡5旋轉到右45度,工控機10實時讀取編碼器9位置,當?shù)竭_指定位置后系統(tǒng)打開攝像頭7采集鏡頭22、反射鏡24過來的圖像;

2)粗對準完成后,系統(tǒng)需要使用鏡頭11的圖像進行精對準,這時工控機10控制反射鏡電機6帶動活動反射鏡5旋轉到左45度,工控機10實時讀取編碼器9位置,當?shù)竭_指定位置后系統(tǒng)打開攝像頭7采集鏡頭11、反射鏡13過來的圖像,通過圖像識別完成精對準。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本發(fā)明技術原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。

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