本實用新型涉及半導(dǎo)體晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型的串級顯影槽。

背景技術(shù)：

目前的半導(dǎo)體企業(yè)黃光工序的顯影基本都是平行放置的二級或者三級的串級顯影槽結(jié)構(gòu)，顯影作業(yè)時，為了提升產(chǎn)品的品質(zhì)，反應(yīng)片需要經(jīng)過多次顯影液處理。每次都是從第一槽開始，然后依次經(jīng)第二槽、第三槽的顯影液處理。這樣第一槽溶液一般都會先臟，當(dāng)累計反應(yīng)片數(shù)到達(dá)一定的程度時，第一槽的溶液首先報廢。然后下一槽溶液可以作為第一次又開始循環(huán)利用，這樣的結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)顯影時溶液的循環(huán)利用，節(jié)約物料成本，并且由于循環(huán)利用而利于環(huán)保。

然而現(xiàn)有的串級顯影槽結(jié)構(gòu)在實際操作時并不方便，以三級串級顯影槽為例，由于每次當(dāng)?shù)谝徊廴芤簣髲U時，下一槽溶液就會被當(dāng)做首次溶液，用燒杯從第二個槽子人工舀到第一個槽子中，從第三個槽子中舀到第二個槽子中，操作及其不便，且在管理時，有時也會因為員工失誤沒有執(zhí)行這樣的操作，給材料的異常也帶來一定的隱患，影響產(chǎn)品的合格率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)中缺陷與不足的問題，本實用新型提出了一種新型的串級顯影槽，實現(xiàn)了串級顯影槽溶液間的自動替換，提升了工作效率和產(chǎn)品的合格率。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種新型的串級顯影槽，包括支架、第一槽、第二槽、第三槽、回收桶和放液閥門，所述支架為階梯形，第一槽、第二槽、第三槽依次固定在支架的第一階梯、第二階梯、第三階梯上，每一槽上分別安裝有放液閥門，且第三槽的放液閥門位于第二槽上方，第二槽的放液閥門位于第一槽上方，所述回收桶放置在第一槽的放液閥門下方。

進(jìn)一步的，所述第一槽、第二槽、第三槽材料為不銹鋼。

進(jìn)一步的，所述第一槽、第二槽、第三槽均為方形，且大小相同。

進(jìn)一步的，所述放液閥門設(shè)置在每一槽側(cè)面的下端位置。

進(jìn)一步的，所述每一槽的底板設(shè)置為向下一階梯傾斜5度。

本實用新型具有如下有益效果：所述串級顯影槽通過放液閥門將后一槽的溶液放入到前一槽中，且自動替換徹底，提高了工作效率，也避免了因人工替換溶液不徹底而造成不同槽子間溶液的交叉污染，提升了產(chǎn)品的合格率。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例，進(jìn)一步闡述本實用新型。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。

如圖所示，一種新型的串級顯影槽，包括支架1、第一槽2、第二槽3、第三槽4、回收桶5和放液閥門6，所述支架1為階梯形，第一槽2、第二槽3、第三槽4依次固定在支架1的第一階梯、第二階梯、第三階梯上，每一槽上分別安裝有放液閥門6，且第三槽4的放液閥門6位于第二槽3上方，第二槽3的放液閥門6位于第一槽2上方，所述回收桶5放置在第一槽2的放液閥門6下方。

進(jìn)一步的，所述第一槽2、第二槽3、第三槽4材料為不銹鋼。

進(jìn)一步的，所述第一槽2、第二槽3、第三槽4均為方形，且大小相同。

進(jìn)一步的，所述放液閥門6設(shè)置在每一槽側(cè)面的下端位置。

進(jìn)一步的，所述每一槽的底板設(shè)置為向下一階梯傾斜5度。

具體的，本實用新型設(shè)計成階梯型的串級結(jié)構(gòu)，顯影作業(yè)時，利用重力向下的原理，通過放液閥門的控制，當(dāng)累計反應(yīng)片數(shù)到達(dá)一定的程度時，將第一槽的報廢溶液放到回收桶中，使第二槽的溶液自動流到第一槽中，第三槽的溶液自動流到第二槽中，這樣一來，操作簡單，省時省力，并且可以使不同槽子中溶液替換徹底，避免了在溶液替換中造成不同槽中溶液的交叉污染，提升了產(chǎn)品合格率。