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一種電磁驅(qū)動微扭轉(zhuǎn)鏡組件的制作方法

文檔序號:12116901閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供了一種電磁驅(qū)動微扭轉(zhuǎn)鏡組件,包括微扭轉(zhuǎn)鏡,該微扭轉(zhuǎn)鏡的一個面上固定有永磁鐵,微扭轉(zhuǎn)鏡的兩側(cè)固定有串聯(lián)在一起的驅(qū)動線圈,微扭轉(zhuǎn)鏡的下方設(shè)置有感應(yīng)磁場的磁傳感器。本實用新型采用可動磁鐵固定線圈的驅(qū)動形式,微扭轉(zhuǎn)鏡上無需設(shè)置電連接,可簡化微扭轉(zhuǎn)鏡制作工藝;利用磁傳感器感測微扭轉(zhuǎn)鏡轉(zhuǎn)動過程中磁場強度的變化,實時監(jiān)測并反饋其具體轉(zhuǎn)角,通過控制驅(qū)動線圈電流和頻率實現(xiàn)微扭轉(zhuǎn)鏡穩(wěn)定可靠工作;同時,磁傳感器只是一個電子元器件,相比其他反饋方式,更便于集成,降低成本。

技術(shù)研發(fā)人員:喬大勇;苑偉政
受保護的技術(shù)使用者:南通芯識電子技術(shù)有限公司
文檔號碼:201621078824
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.23
技術(shù)公布日:2017.03.22

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