本實用新型涉及一種光伏制程顯微鏡，尤其是一種具有新型臺面的光伏制程顯微鏡。

背景技術(shù)：

光伏制程顯微鏡用于光伏電池制絨、刻蝕、絲網(wǎng)、光刻、分檢工序，現(xiàn)有的光伏制程顯微鏡的臺面主要構(gòu)件如圖1所示：包括包漆臺面1a，包漆臺面1a的下邊沿通過固定螺釘2a與連接條3a連接，連接條3a上設(shè)置連接螺栓4a，連接螺栓4a用于將包漆臺面1a與顯微鏡載物臺一側(cè)的移動條5a固定。

現(xiàn)有的顯微鏡的臺面主要存在以下缺陷：（1）由于包漆臺面1a長期使用，漆面磨損金屬面露出，暴露的金屬面與制程中的硅片摩擦，使硅片表面沾污金屬引入制程，污染硅片和產(chǎn)線槽體，產(chǎn)生不良品；（2）此外在放置硅片樣品時極易與突起的螺釘和連接螺栓發(fā)生碰撞和摩擦，另外連接條3a與包漆臺面1a的連接處形成臺階，也會與硅片樣品發(fā)生碰撞和摩擦，這些都會造成硅片電池劃痕、崩邊、脫硅、斷裂等，使用不便，使不良品增多。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種光伏制程顯微鏡，解決現(xiàn)有顯微鏡用于光伏制程時的不便，降低不良品率。

按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述光伏制程顯微鏡，包括顯微鏡機架，在顯微鏡機架上安裝載物臺，載物臺上方的機架上安裝鏡筒和物鏡旋轉(zhuǎn)座，物鏡旋轉(zhuǎn)座上安裝物鏡；其特征是：在所述載物臺的前側(cè)安裝移動條，在載物臺上放置臺面，臺面的兩表面均為平整的表面，臺面通過雙面膠與移動條固定。

進一步的，所述移動條的上表面與載物臺的上表面平行布置。

進一步的，所述臺面采用兩面平整的有機玻璃板。

進一步的，所述臺面采用2mm×160mm×160mm的有機玻璃板。

本實用新型所述的光伏制程顯微鏡，解決了現(xiàn)有技術(shù)中顯微鏡臺面材質(zhì)和結(jié)構(gòu)的缺陷，保證臺面光潔平整，無臺階，樣品放置過程方便快捷，減少了由于碰撞、摩擦造成的劃傷，而使產(chǎn)品不良率降低；而本實用新型所述的顯微鏡改造方便，造價低廉，耐磨不易壞。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有顯微鏡的臺面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的側(cè)視圖。

圖3為本實用新型所述光伏制程顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖3所示：所述光伏制程顯微鏡包括顯微鏡機架1、載物臺2、鏡筒3、物鏡旋轉(zhuǎn)座4、物鏡5、移動條6、臺面7、雙面膠8等。

如圖3所示，本實用新型所述光伏制程顯微鏡，包括顯微鏡機架1，在顯微鏡機架1上安裝載物臺2，載物臺2上方的機架1上安裝鏡筒3和物鏡旋轉(zhuǎn)座4，物鏡旋轉(zhuǎn)座4上安裝物鏡5；在所述載物臺2的前側(cè)安裝移動條6，移動條6的上表面與載物臺2的上表面平行布置；在所述載物臺2上放置臺面7，臺面7的兩表面均為平整的表面，臺面7通過雙面膠8與移動條6固定。

所述臺面7采用兩面平整的有機玻璃板，臺面7采用2mm×160mm×160mm的有機玻璃板，采用非金屬材質(zhì)能夠杜絕金屬污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中顯微鏡臺面材質(zhì)和結(jié)構(gòu)的缺陷，保證臺面光潔平整，無臺階，樣品放置過程方便快捷，減少了由于碰撞、摩擦造成的劃傷，而使產(chǎn)品不良率降低；而本實用新型所述的顯微鏡改造方便，造價低廉，耐磨不易壞。