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一種高速多通道的收發(fā)器件的制作方法

文檔序號:11132485閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高速多通道的收發(fā)器件,包括陣列光發(fā)射器芯片(1)、平面光波導(dǎo)集成芯片(3)、陣列光探測器芯片(7),其特征在于:所述平面光波導(dǎo)集成芯片(3)由一個實現(xiàn)波分復(fù)用作用的第一光波導(dǎo)芯片和一個實現(xiàn)波分解復(fù)用的第二光波導(dǎo)芯片單片集成于一體,第一光波導(dǎo)芯片的輸入端與陣列光發(fā)射器芯片(1)對應(yīng)耦合,第二光波導(dǎo)芯片的輸入端與多波信號光耦合,第二光波導(dǎo)芯片的輸出端與陣列光探測芯片(7)對應(yīng)耦合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高速多通道的收發(fā)器件,其特征在于:所述陣列光發(fā)射器芯片(1)與平面波導(dǎo)集成芯片(3)之間設(shè)置有硅光透鏡(2),所述第一光波導(dǎo)芯片的輸出端光口設(shè)置有第一插針耦合透鏡(6-1);所述第一光波導(dǎo)芯片的輸出端與第一插針耦合透鏡(6-1)之間設(shè)置光隔離器(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述陣列光發(fā)射器芯片(1)采用高精度貼片、等間距粘接設(shè)置于基底(105)上,其芯片間距與第一光波導(dǎo)芯片的輸入端波導(dǎo)間距相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述第一光波導(dǎo)芯片輸出端與第二光波導(dǎo)芯片輸入端之間間距和與該高速多通道收發(fā)器件配合使用的光模塊的輸入光口與輸出光口之間的間距相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述陣列光發(fā)射器芯片(1)采用四個分立光發(fā)射器芯片(101、102、103、104),所述陣列光發(fā)射器芯片(1)的發(fā)光中心高度與平面光波導(dǎo)集成芯片(3)波導(dǎo)中心高度一致。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述第一光波導(dǎo)芯片的輸入波導(dǎo)設(shè)置有分光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)(401),分光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)(401)與監(jiān)控光輸入探測器芯片(4)對應(yīng)耦合,該分光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)(401)將監(jiān)控光輸入探測器芯片(4)實現(xiàn)對陣列光發(fā)射器芯片(1)的光功率監(jiān)控。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述硅光透鏡(2)使得陣列光發(fā)射器芯片(1)的電接口到平面光波導(dǎo)集成芯片(3)的距離與陣列光探測器芯片(7)的電接口到平面光波導(dǎo)集成芯片(3)的距離相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述第二光波導(dǎo)芯片的輸入端設(shè)置有第二插針耦合透鏡(6-2),第一插針耦合透鏡(6-1)、第二插針耦合透鏡(6-2)相對于平面波導(dǎo)集成芯片(3)的距離相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種高速多通道收發(fā)器件,其特征在于:所述陣列光探測器芯片(7)的光探測面中心與第二光波導(dǎo)芯片輸出波導(dǎo)中心一致;立式熱沉(8)粘貼于所述陣列光探測器芯片(7)上,該立式熱沉(8)上表面采用電路垂直導(dǎo)通所述陣列光探測器芯片(7)。

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