本發(fā)明涉及液晶面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種噴淋設(shè)備。

背景技術(shù)：

CF Wet設(shè)備(濕式設(shè)備)，如Cleaner(清洗機(jī))用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除粒子(Particle)和有機(jī)物等臟污，Develop(顯影機(jī))用于玻璃基板涂布曝光后光阻的剝離，以形成所需的pattern(圖案)。

請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種噴淋管的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖1所示，Wet設(shè)備的噴淋管10工作原理如下：

藥液或水13以一定壓力供給至噴淋管11，通過噴淋管11上的噴嘴14噴淋在玻璃基板(圖未示)表面。噴嘴14的設(shè)計(jì)，使液體噴出呈一定角度的扇形，保證其在玻璃基板表面均勻噴淋。

液體均勻噴灑在基板表面，是保證基板表面橫向制程能力均等的重要條件。例：Cleaner設(shè)備某噴嘴14分叉時，可能造成此處particle數(shù)偏高，整片基板形成縱向一列particle集中偏高。

生產(chǎn)過程中，Wet設(shè)備發(fā)生制程不良時，需要調(diào)查是否是因?yàn)閲娮?4噴淋不均勻造成，噴嘴14噴淋的角度是否為最佳，噴嘴14噴淋造成不良位置的坐標(biāo)在哪。

由于現(xiàn)有的噴淋管11為固定式設(shè)設(shè)，造成如下不便

1、無法實(shí)現(xiàn)噴嘴14在基板上噴淋位置的移動；

2、無法實(shí)現(xiàn)噴嘴14噴淋與基板的夾角調(diào)節(jié)；

3、無法直觀顯示噴嘴14噴淋處在基板的坐標(biāo)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種噴淋設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中無法實(shí)現(xiàn)噴嘴在基板上噴淋位置的移動、無法實(shí)現(xiàn)噴嘴噴淋與基板的夾角調(diào)節(jié)以及無法直觀顯示噴嘴噴淋處在基板的坐標(biāo)的技術(shù)問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是：提供一種噴淋設(shè)備，所述噴淋設(shè)備包括：

外管；

內(nèi)管，設(shè)于所述外管內(nèi)，所述內(nèi)管設(shè)有多個噴嘴；

其中，所述內(nèi)管可相對所述外管進(jìn)行軸向調(diào)節(jié)和徑向調(diào)節(jié)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述噴淋設(shè)備還包括轉(zhuǎn)接頭，所述轉(zhuǎn)接頭與所述外管連接，用于將液體傳輸給所述內(nèi)管。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述外管設(shè)有軸向開槽，所述軸向開槽設(shè)有軸向刻度。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述軸向開槽上進(jìn)一步設(shè)有坐標(biāo)槽，所述坐標(biāo)槽上設(shè)有坐標(biāo)尺。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述外管還設(shè)有徑向開槽，所述徑向開槽設(shè)有徑向刻度。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述內(nèi)管上設(shè)有軸向中心標(biāo)示線，所述內(nèi)管與所述外管裝配時，所述軸向中心標(biāo)示線位于所述坐標(biāo)槽內(nèi)，并與所述坐標(biāo)尺對齊。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述內(nèi)管上還設(shè)有調(diào)節(jié)柄，所述內(nèi)管與所述外管裝配時，所述調(diào)節(jié)柄位于所述徑向開槽內(nèi)，用于進(jìn)行徑向調(diào)節(jié)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述內(nèi)管上還設(shè)有徑向中心標(biāo)識線，所述徑向中心標(biāo)識線自所述調(diào)節(jié)柄延伸并與所述徑向刻度對齊。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述噴淋設(shè)備還包括防松螺絲，所述防松螺絲在所述內(nèi)管與所述外管裝配時貫穿螺接在所述外管上，用于抵接壓緊所述內(nèi)管。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述外管與所述內(nèi)管之間設(shè)有密封圈。

本發(fā)明的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的噴淋設(shè)備極大地提高了實(shí)用性和靈活性，利于進(jìn)行設(shè)備調(diào)整、不良分析和工程實(shí)驗(yàn)，同時極大地提高了工程效率，減少了噴淋不良，提高了工藝良率，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種噴淋管的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例提供的噴淋設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是圖2中所示的噴淋設(shè)備的外管的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是圖2中所示的噴淋設(shè)備的內(nèi)管的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是圖2中所示的噴淋設(shè)備進(jìn)行徑向調(diào)節(jié)的示意圖；

圖6是圖2中所示的噴淋設(shè)備外管和內(nèi)管的固定方式的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請參閱圖2，圖2是本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例提供的噴淋設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖2所示，本發(fā)明提供一種噴淋設(shè)備100，噴淋設(shè)備100主要包括外管110、內(nèi)管120以及轉(zhuǎn)接頭130。

其中，外管110起銜接、支撐以及標(biāo)示作用，內(nèi)管120起噴淋和移動作用，轉(zhuǎn)接頭130與外管110連接，用于向內(nèi)管120輸入液體140。

具體地，內(nèi)管120套設(shè)于外管110內(nèi)，內(nèi)管120設(shè)有多個噴嘴129；轉(zhuǎn)接頭130與外管110連接，例如可采用螺紋連接的方式，轉(zhuǎn)接頭130用于將液體140傳輸給外管110并通過內(nèi)管120上的多個噴嘴129噴灑從而進(jìn)行清潔作業(yè)，外管110與內(nèi)管120之間設(shè)有密封圈131，密封圈131可以是間隔平行設(shè)置的多道，在內(nèi)管120和外管110配合的兩端均有設(shè)置。

本發(fā)明的供的噴淋設(shè)備100中，內(nèi)管120可相對外管110進(jìn)行軸向調(diào)節(jié)和徑向調(diào)節(jié)。

具體而言，請一并參閱圖3，圖3是圖2中所示的噴淋設(shè)備的外管的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖3所示，外管110的下側(cè)設(shè)有軸向開槽111，軸向開槽111設(shè)有軸向刻度112。以t36代線基板尺寸1500*1850mm為例，軸向刻度112可標(biāo)示-750～750mm。

軸向開槽111上進(jìn)一步設(shè)有坐標(biāo)槽113，坐標(biāo)槽113上設(shè)有坐標(biāo)尺114。

外管110的上側(cè)還設(shè)有徑向開槽115，徑向開槽115設(shè)有徑向刻度116。

請一并參閱圖4，圖4是圖2中所示的噴淋設(shè)備的內(nèi)管的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖4所示，內(nèi)管120上設(shè)有軸向中心標(biāo)示線121，內(nèi)管120與外管110裝配時，軸向中心標(biāo)示線121位于坐標(biāo)槽113內(nèi)，并與坐標(biāo)尺114對齊，調(diào)節(jié)內(nèi)管120與外管110的相對位置時，可通過軸向中心標(biāo)示線121和坐標(biāo)尺114控制調(diào)節(jié)量。

此外，內(nèi)管120上還設(shè)有調(diào)節(jié)柄122，內(nèi)管120與外管110裝配時，調(diào)節(jié)柄122位于徑向開槽115內(nèi)，用于進(jìn)行徑向調(diào)節(jié)。

請一并參閱圖5，圖5是圖2中所示的噴淋設(shè)備進(jìn)行徑向調(diào)節(jié)的示意圖。

如圖5所示，內(nèi)管120上還設(shè)有徑向中心標(biāo)識線123，徑向中心標(biāo)識線123自調(diào)節(jié)柄122延伸并與徑向刻度116對齊。調(diào)節(jié)內(nèi)管120與外管110的相對角度時，可通過徑向中心標(biāo)識線123和徑向刻度116控制調(diào)節(jié)量

請一并參閱圖6，圖6是圖2中所示的噴淋設(shè)備外管和內(nèi)管的固定方式的示意圖。

如圖6所示，噴淋設(shè)備100還包括防松螺絲150，防松螺絲150在內(nèi)管120與外管110裝配時貫穿螺接在外管110上，用于抵接壓緊內(nèi)管120。

優(yōu)選地，防松螺絲150的端部與內(nèi)管120的外壁之間設(shè)有防滑墊片151。防松螺絲150可以避免內(nèi)管120受水力沖擊而滑動。

綜上所述，本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解，本發(fā)明提供的噴淋設(shè)備100極大地提高了實(shí)用性和靈活性，利于進(jìn)行設(shè)備調(diào)整、不良分析和工程實(shí)驗(yàn)，同時極大地提高了工程效率，減少了噴淋不良，提高了工藝良率，降低了生產(chǎn)成本。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。