技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種曝光系統(tǒng)、曝光裝置及曝光方法，其曝光系統(tǒng)包括：激光單元、光斑切換單元以及透鏡單元；所述激光單元發(fā)射激光束；所述光斑切換單元，根據(jù)需曝光的加工工件材質(zhì)對(duì)應(yīng)的光斑尺寸，使所述激光束在不同光路之間進(jìn)行切換，獲得對(duì)應(yīng)光斑尺寸的激光束；所述透鏡單元改變所述激光束的方向；通過光斑切換單元的設(shè)置，使得激光束在不同光路之間進(jìn)行切換，從而對(duì)光斑的尺寸范圍進(jìn)行切換，滿足了不同線寬工件對(duì)光斑尺寸的不同要求，提高了對(duì)不同工件的加工適應(yīng)性，有效的節(jié)約了成本。

技術(shù)研發(fā)人員：藍(lán)科;戈亞萍;陳勇輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.02.18
技術(shù)公布日：2017.08.25