技術特征：

技術總結
一種可調整衍射光柵包括：光學元件和變形機構。光學元件具有用于接收輸入輻射束的光學表面。光學元件設置有在光學表面下方的多個閉合通道，在每一閉合通道上方，光學表面由材料薄膜形成。變形機構包括一個或多個致動器，所述一個或多個致動器可操作以使在閉合通道上的薄膜變形，以便控制光學表面的形狀和在光學表面上形成周期性結構，所述周期性結構用作衍射光柵使得輸入輻射束從光學元件衍射以形成多個角分離的子束。

技術研發(fā)人員：J·德克爾斯;H-K·尼恩惠斯;M·J·M·林肯斯;J·A·G·阿克曼斯;G·C·德弗里斯;E·R·魯普斯特拉
受保護的技術使用者：ASML荷蘭有限公司
技術研發(fā)日：2015.11.10
技術公布日：2017.08.01