平行光單面曝光裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種平行光單面曝光裝置，該裝置包括機臺、玻璃曝光臺面、直線傳動機構、氣路組件和橡皮框；直線傳動機構上活動安設有沿該直線傳動機構做直線勻速運動的燈箱，燈箱內(nèi)置有曝光燈，且該燈箱上設有冷卻組件；橡皮框的一端鉸接在玻璃曝光臺面的末端上，且該橡皮框與玻璃曝光臺面接觸貼合圍合成容納該被曝光物的腔體；氣路組件包括置于機臺內(nèi)的真空泵及與真空泵電連接的電磁閥和置于橡皮框上的抽氣嘴和氣管接頭。本實用新型增設氣路組件和橡皮框，橡皮框與玻璃曝光臺面的接觸能確保四周不漏氣，且氣路組件可確保原稿與被曝光物貼合，解決現(xiàn)有的曝光裝置對大小不一樣的被曝光物的曝光時間相同而消耗同樣多的電能，避免了能耗的損失。
【專利說明】平行光單面曝光裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及曝光【技術領域】，尤其涉及一種平行光單面曝光裝置。

【背景技術】
[0002]目前的單面曝光裝置是屬于精密光刻成像裝置中，都是采用紫外光照射，使可接受某特定波長的感光材料在受到光照射的區(qū)域形成與菲林上圖案完全一致的裝置?，F(xiàn)有的曝光裝置不論是普通漫反射光源型式的還是菲涅爾透鏡平行光光源型式的，其曝光燈與被曝光物之間的距離都是固定的，燈源工作時是對曝光裝置的整個曝光臺面同時作用的，所以被曝光物面積大小不一樣時也需要用相同的曝光時間來曝光，無法針對大小不一樣的被曝光物來選取曝光時間；曝光燈燈源中心的光能量總是比周邊的光能量強，所以被曝光物的物體所接收到的光能量總是不均勻的；曝光燈工作時大部分電能轉(zhuǎn)化成了熱能，所以整個曝光室和曝光臺面在曝光燈工作時溫度會大幅升高，這時就需要一個強力的冷卻裝置對整個曝光室和曝光臺面進行冷卻，因為曝光室和曝光臺面空間較大，難于做到對曝光臺面每個區(qū)域進行均勻降溫，造成曝光臺上的原稿因受熱過熱或受熱不均勻而出現(xiàn)脹縮，造成菲林片上的圖像發(fā)生變形，這樣被曝光物上形成的圖像就會和原稿的不一樣，不能保證曝光過程的良品率。
實用新型內(nèi)容
[0003]針對上述技術中存在的不足之處，本實用新型提供一種能源損耗小、曝光能量分布均勻及曝光效率高的平行光單面曝光裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種平行光單面曝光裝置，包括機臺、置于機臺上且用于放置被曝光物的玻璃曝光臺面、置于玻璃曝光臺面下方的直線傳動機構、用于保證工作時被曝光物與玻璃曝光臺面貼合的氣路組件和粘接有橡皮布的橡皮框；所述直線傳動機構上活動安設有沿該直線傳動機構做直線勻速運動的燈箱，所述燈箱內(nèi)置有曝光燈，且該燈箱上設有冷卻組件；所述橡皮框的一端鉸接在玻璃曝光臺面的末端上，且該橡皮框與玻璃曝光臺面接觸貼合圍合成容納該被曝光物的腔體；所述氣路組件包括置于機臺內(nèi)的真空泵及與真空泵電連接的電磁閥和置于橡皮框上的抽氣嘴和氣管接頭，該電磁閥常態(tài)時，上述腔體依次經(jīng)抽氣嘴、氣管接頭、真空氣管與電磁閥形成的氣路與大氣連通；該電磁閥通電時，真空泵經(jīng)電磁閥、真空氣管、氣管接頭、抽氣嘴與上述腔體連通。
[0005]其中，所述直線傳動機構包括設置在機臺內(nèi)的支承臺、安設在支承臺兩側上的直線軸承和安裝在燈箱底部的滾珠絲桿運動幅，所述滾珠絲桿運動幅通過軸承座固定在支承臺上，直線軸承之間設置有直線導軌，所述滾珠絲桿運動幅與驅(qū)動組件驅(qū)動連接，驅(qū)動組件通過滾珠絲桿運動幅驅(qū)動直線導軌后，所述燈箱沿著該直線導軌做直線勻速運動。
[0006]其中，所述驅(qū)動組件包括同步輪、同步帶和電機，所述滾珠絲桿運動幅置于該同步輪內(nèi)，且該同步輪通過同步帶和與電機驅(qū)動連接。
[0007]其中，所述冷卻組件包括分別設置在燈箱兩側上的冷風出口、多個導風板和風道；所述冷風機通過兩個冷風管分別依次與對應的風道、多個導風板和兩個冷風出口相通，且所述冷風機產(chǎn)生的冷風經(jīng)由對應的冷風管、風道和多個導風板后從燈箱兩側的冷風出口吹向受熱的玻璃曝光臺面。
[0008]其中，所述冷卻組件還包括與燈箱相通的燈管冷卻風機，所述燈管冷卻風機工作時對曝光燈表面降溫，且熱風從排風管排出機臺外。
[0009]其中，所述橡皮框與玻璃曝光臺面接觸的一面上粘接有密封條，所述粘接橡皮布后的橡皮框通過密封條與玻璃曝光臺面接觸后，上述腔體四周密封不漏氣。
[0010]其中，所述燈箱的兩側邊設置有與其一體成型的導向板，所述多個導風板呈一字型橫向設置在導向板上；且每個導風板上均設有與導向板所在面呈斜向設置的斜面，在斜向上的導風板作用下，沿著導向板長方向橫向吹來的風改變風向向上部的冷風出口吹出。[0011 ] 其中，該曝光裝置還包括反光罩，所述反光罩置于燈箱內(nèi)且形狀為拋物線，所述曝光燈置于反光罩的焦點位置上且出光面朝向玻璃曝光臺面。
[0012]本實用新型的有益效果是:與現(xiàn)有技術相比，本實用新型提供的平行光單面曝光裝置，通過直線傳動機構勻速移動對玻璃曝光臺面上被曝光物進行曝光，該曝光方式可以依被曝光物大小的不一樣而自行調(diào)整移動距離也就是曝光時間可依曝光物體大小的不一樣而自行調(diào)整，同時能保證被曝光物接收到的曝光能量是均勻的；增設氣路組件和橡皮框，橡皮框與玻璃曝光臺面的接觸能確保四周不漏氣，且氣路組件可確保菲林與被曝光物貼合，解決現(xiàn)有的曝光裝置對大小不一樣的被曝光物的曝光時間相同而消耗同樣多的電能，避免了能耗的損失。本實用新型具有能源損耗小、曝光能量分布均勻及曝光效率高等特點。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的平行光單面曝光裝置的主視圖；
[0014]圖2為圖1的側視圖；
[0015]圖3為本實用新型中燈箱及冷卻組件的立體圖。
[0016]主要元件符號說明如下:
[0017]1、機臺2、玻璃曝光臺面
[0018]3、直線傳動機構4、橡皮框
[0019]5、氣路組件6、燈箱
[0020]7、曝光燈8、冷卻組件
[0021]9、密封條10、橡皮布
[0022]11、反光罩31、支承臺
[0023]32、直線軸承33、滾珠絲桿運動幅
[0024]34、直線導軌35、同步輪
[0025]36、同步帶37、電機
[0026]51、真空泵52、電磁閥
[0027]53、抽氣嘴54、氣管接頭
[0028]55、真空氣管81、冷風出口
[0029]82、導風板83、風道
[0030]84、排風管85、燈管冷卻風機
[0031]86、導向板87、冷風機
[0032]88、冷風管821、斜面。

【具體實施方式】
[0033]為了更清楚地表述本實用新型，下面結合附圖對本實用新型作進一步地描述。
[0034]請參閱圖1-3，本實用新型提供的平行光單面曝光裝置，包括機臺1、置于機臺I上且用于放置被曝光物的玻璃曝光臺面2、置于玻璃曝光臺面2下方的直線傳動機構3、用于保證工作時被曝光物與玻璃曝光臺面2貼合的氣路組件5和粘接有橡皮布10的橡皮框4 ；直線傳動機構3上活動安設有沿該直線傳動機構3做直線勻速運動的燈箱6，燈箱6內(nèi)置有曝光燈7，且該燈箱6上設有冷卻組件8 ;橡皮框4的一端鉸接在玻璃曝光臺面2的末端上，且該橡皮框4與玻璃曝光臺面2接觸貼合圍合成容納該被曝光物的腔體；氣路組件5包括置于機臺I內(nèi)的真空泵51及與真空泵51電連接的電磁閥52和置于橡皮框4上的抽氣嘴53和氣管接頭54，該電磁閥52常態(tài)時，上述腔體依次經(jīng)抽氣嘴53、氣管接頭54、真空氣管55與電磁閥52形成的氣路與大氣連通；該電磁閥52通電時，真空泵51經(jīng)電磁閥52、真空氣管55、氣管接頭54、抽氣嘴53與上述腔體連通。被曝光物為絲印網(wǎng)框、電子線路板、需要曝光的菲林或其他物體。該曝光機還包括反光罩11，反光罩11置于燈箱6內(nèi)且形狀為拋物線，曝光燈7置于反光罩11的焦點位置上且出光面朝向玻璃曝光臺面2，該反光罩11的拋物線結構分布起到了一定的聚光作用，有效防止曝光燈7的光線從四周分散，提高了聚光效果。
[0035]相較于現(xiàn)有技術的情況，本實用新型提供的平行光單面曝光裝置，通過直線傳動機構3勻速移動對玻璃曝光臺面2上被曝光物進行曝光，該曝光方式可以依被曝光物大小的不一樣而自行調(diào)整移動距離也就是曝光時間可依曝光物體大小的不一樣而自行調(diào)整，同時能保證被曝光物接收到的曝光能量是均勻的；增設氣路組件5和橡皮框4，橡皮框4與玻璃曝光臺面2的接觸能確保四周不漏氣，且氣路組件5可確保原稿與被曝光物貼合，解決現(xiàn)有的曝光裝置對大小不一樣的被曝光物的曝光時間相同而消耗同樣多的電能，避免了能耗的損失。本實用新型具有能源損耗小、曝光能量分布均勻及曝光效率高等特點。
[0036]在本實施例中，直線傳動機構3包括設置在機臺I內(nèi)的支承臺31、安設在支承臺31兩側上的直線軸承32和安裝在燈箱6底部的滾珠絲桿運動幅33，滾珠絲桿運動幅33通過軸承座固定在支承臺31上，直線軸承32之間設置有直線導軌34，滾珠絲桿運動幅33與驅(qū)動組件驅(qū)動連接，驅(qū)動組件通過滾珠絲桿運動幅33驅(qū)動直線導軌34后，燈箱6沿著該直線導軌34做直線勻速運動。驅(qū)動組件包括同步輪35、同步帶36和電機37，滾珠絲桿運動幅33置于該同步輪35內(nèi)，且該同步輪35通過同步帶36和與電機37驅(qū)動連接。
[0037]在本實施例中，冷卻組件8包括分別設置在燈箱6兩側上的冷風出口 81、多個導風板82和風道83 ;冷風機87通過兩個冷風管88分別依次與對應的風道83、多個導風板82和兩個冷風出口 81相通，且冷風機87產(chǎn)生的冷風經(jīng)由對應的冷風管88、風道83和多個導風板82后從燈箱6兩側的冷風出口 81吹向受熱的玻璃曝光臺面2。冷卻組件8還包括與燈箱6相通的燈管冷卻風機85，燈管冷卻風機85工作時對曝光燈7表面降溫，且熱風從排風管84排出機臺外。燈箱6的兩側邊設置有與其一體成型的導向板86，多個導風板82呈一字型橫向設置在導向板86上；且每個導風板82上均設有與導向板86所在面呈斜向設置的斜面821，在斜向上的導風板82作用下，沿著導向板86長方向橫向吹來的風改變風向向上部的冷風出口 81吹出。
[0038]在本實施例中，橡皮框4與玻璃曝光臺面2接觸的一面上粘接有密封條9，粘接橡皮布10后的橡皮框4通過密封9與玻璃曝光臺面2接觸后，上述腔體四周密封不漏氣。
[0039]本實用新型的具體方案為:當有被曝光物如電子線路板和原稿片被放到玻璃曝光臺面2上時，由人工合上橡皮框4使之壓在玻璃曝光臺面2上，經(jīng)橡皮框4底下的軟性密封條9與玻璃曝光臺面2貼合形成密封的腔體。電磁閥52為兩位三通型式的電磁閥，常態(tài)時即不通電狀態(tài)，橡皮框4與玻璃曝光臺面2形成的腔體經(jīng)抽氣嘴53、氣管接頭54、真空氣管55與電磁閥52形成的氣路與大氣連通；當電磁閥52通電時，電磁閥52動作使真空泵51經(jīng)電磁閥52、真空氣管55、氣管接頭54、抽氣嘴53與橡皮框4和玻璃曝光臺面2形成的腔體連通，真空泵51把腔體內(nèi)的空氣抽掉使腔體處于真空狀態(tài)，保證原稿片與被曝光物(電子線路板)或其它被曝光物貼合。當真空值達到預設值時曝光燈7瞬間點亮，光強達到設定值后，燈箱6沿著直線導軌34按預定的速度對被曝光物以類似掃描的方式進行曝光；同時燈管冷卻風機85工作對曝光燈7表面進行降溫，熱風從排風管84排出機臺I外部；并且冷風經(jīng)冷風機87、冷風管88、風道83和導風板82從燈箱6兩側的冷風出口 81吹到玻璃曝光臺面2下對其進行冷卻降溫。燈箱6移動到網(wǎng)框邊緣后，曝光燈7熄滅，燈箱6返回原點位置等待下一次曝光動作，與此同時，燈管冷卻風機85繼續(xù)對曝光燈7表面進行冷卻直到其表面溫度回到室溫狀態(tài)，冷風則繼續(xù)對玻璃曝光臺面2進行冷卻降溫；真空泵51和電磁閥52停止工作，橡皮框4與玻璃曝光臺面2形成的腔體與大氣連通回到正常大氣壓狀態(tài)。
[0040]本新型提供的曝光裝置，在上述技術方案的基礎上具體可以是燈箱6以類似掃描的方式在直線導軌34上勻速移動對玻璃曝光臺面2上被曝光物進行曝光的方式。這種曝光方式的作用是可以依被曝光物大小的不一樣而自行調(diào)整移動距離也就是曝光時間可依曝光物體大小的不一樣而自行調(diào)整，同時能保證被曝光物接收到的曝光能量是均勻的，在類似逐行掃描的過程中，只要燈管沿著其軸向發(fā)出的光能量是均勻的，那么掃描過后被曝光物接受的曝光能量就是均勻的，并且可以針對性的對局部受熱的玻璃曝光臺面進行冷卻，從而提高冷卻效果保證原稿不發(fā)生脹縮，而且可以盡可能的讓燈管接近被曝光物，提高光能量的利用率。當需要曝光時，曝光燈7點亮，電機37按預定的速度經(jīng)同步輪35和同步帶36驅(qū)動滾珠絲桿傳動幅33，帶動燈箱6沿著直線導軌34勻速移動以實現(xiàn)對被曝光物的曝光動作，當燈箱6移動至被曝光物邊緣時，曝光燈7熄滅，電機37反轉(zhuǎn)把燈箱6移回原點位置；在曝光過程中，冷風機87的冷風經(jīng)由冷風管88、風道83、導風板82從燈箱6頂部兩側的冷風出口 81吹出，針對性的對被曝光物燈局部加熱的玻璃曝光臺面2進行冷卻，使玻璃曝光臺面2溫升很小，從而保證玻璃曝光臺面2上的原稿不發(fā)生脹縮，提高曝光過程的良品率。該結構簡單，維護保養(yǎng)方便，降低了整機的成本。
[0041]以上公開的僅為本實用新型的幾個具體實施例，但是本實用新型并非局限于此，任何本領域的技術人員能思之的變化都應落入本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種平行光單面曝光裝置，其特征在于，包括機臺、置于機臺上且用于放置被曝光物的玻璃曝光臺面、置于玻璃曝光臺面下方的直線傳動機構、用于保證工作時被曝光物與玻璃曝光臺面貼合的氣路組件和粘接有橡皮布的橡皮框；所述直線傳動機構上活動安設有沿該直線傳動機構做直線勻速運動的燈箱，所述燈箱內(nèi)置有曝光燈，且該燈箱上設有冷卻組件；所述橡皮框的一端鉸接在玻璃曝光臺面的末端上，且該橡皮框與玻璃曝光臺面接觸貼合圍合成容納該被曝光物的腔體；所述氣路組件包括置于機臺內(nèi)的真空泵及與真空泵電連接的電磁閥和置于橡皮框上的抽氣嘴和氣管接頭，該電磁閥常態(tài)時，上述腔體依次經(jīng)抽氣嘴、氣管接頭、真空氣管與電磁閥形成的氣路與大氣連通；該電磁閥通電時，真空泵經(jīng)電磁閥、真空氣管、氣管接頭、抽氣嘴與上述腔體連通。
2.根據(jù)權利要求1所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，所述直線傳動機構包括設置在機臺內(nèi)的支承臺、安設在支承臺兩側上的直線軸承和安裝在燈箱底部的滾珠絲桿運動幅，所述滾珠絲桿運動幅通過軸承座固定在支承臺上，直線軸承之間設置有直線導軌，所述滾珠絲桿運動幅與驅(qū)動組件驅(qū)動連接，驅(qū)動組件通過滾珠絲桿運動幅驅(qū)動直線導軌后，所述燈箱沿著該直線導軌做直線勻速運動。
3.根據(jù)權利要求2所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，所述驅(qū)動組件包括同步輪、同步帶和電機，所述滾珠絲桿運動幅置于該同步輪內(nèi)，且該同步輪通過同步帶和與電機驅(qū)動連接。
4.根據(jù)權利要求1所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，所述冷卻組件包括分別設置在燈箱兩側上的冷風出口、多個導風板和風道；所述冷風機通過兩個冷風管分別依次與對應的風道、多個導風板和兩個冷風出口相通，且所述冷風機產(chǎn)生的冷風經(jīng)由對應的冷風管、風道和多個導風板后從燈箱兩側的冷風出口吹向受熱的玻璃曝光臺面。
5.根據(jù)權利要求4所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，所述冷卻組件還包括與燈箱相通的燈管冷卻風機，所述燈管冷卻風機工作時對曝光燈表面降溫，且熱風從排風管排出機臺外。
6.根據(jù)權利要求1所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，所述橡皮框與玻璃曝光臺面接觸的一面上粘接有密封條，所述粘接橡皮布后的橡皮框通過密封條與玻璃曝光臺面接觸后，上述腔體四周密封不漏氣。
7.根據(jù)權利要求4所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，所述燈箱的兩側邊設置有與其一體成型的導向板，所述多個導風板呈一字型橫向設置在導向板上；且每個導風板上均設有與導向板所在面呈斜向設置的斜面，在斜向上的導風板作用下，沿著導向板長方向橫向吹來的風改變風向向上部的冷風出口吹出。
8.根據(jù)權利要求1-7任一項所述的平行光單面曝光裝置，其特征在于，該曝光裝置還包括反光罩，所述反光罩置于燈箱內(nèi)且形狀為拋物線，所述曝光燈置于反光罩的焦點位置上且出光面朝向玻璃曝光臺面。
【文檔編號】G03F7/20GK204203629SQ201420717992
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月26日 優(yōu)先權日:2014年11月26日
【發(fā)明者】范金剛, 藍學軍 申請人:深圳市博宇佳瑞光電科技有限公司