一種顯微鏡的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種顯微鏡，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，可在不翻轉(zhuǎn)樣品的情況下觀察樣品背面的形貌；所述顯微鏡包括底座、與底座相連的支撐臂和支撐臺(tái)、設(shè)置在底座上方的載物臺(tái)、固定在支撐臺(tái)上的目鏡和物鏡、以及照明系統(tǒng)；其中，目鏡和物鏡之間保持光路；所述顯微鏡還包括由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的光路調(diào)節(jié)裝置，且目鏡和物鏡正對(duì)的反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連；所述光路調(diào)節(jié)裝置包括反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制反射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的背面；透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制透射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的正面；其中，所述照明系統(tǒng)包括反射光源和透射光源；所述載物臺(tái)為透明載物臺(tái)。用于顯微鏡的制造。
【專利說(shuō)明】一種顯微鏡【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種顯微鏡。
【背景技術(shù)】[0002]實(shí)際生產(chǎn)中，在分析顯示面板的不良時(shí)，需要利用顯微鏡對(duì)其微觀形貌進(jìn)行觀察。當(dāng)在顯示面板的一面觀察到不良點(diǎn)時(shí)，通常需要將該顯示面板翻轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)，對(duì)相同位置的另一面也進(jìn)行觀察。但將顯示面板翻轉(zhuǎn)之后很難保證恰好位于同一位置，這樣便需要重新調(diào)整顯微鏡基臺(tái)的方位，操作起來(lái)較為繁瑣。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種顯微鏡，可在不翻轉(zhuǎn)樣品的情況下觀察樣品背面的形貌。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案；
[0005]提供一種顯微鏡，包括底座、與所述底座相連的支撐臂和支撐臺(tái)、設(shè)置在所述底座上方的載物臺(tái)、固定在所述支撐臺(tái)上的目鏡和物鏡、以及照明系統(tǒng)；其中，所述目鏡和所述物鏡之間保持光路；所述顯微鏡還包括由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的光路調(diào)節(jié)裝置，且所述目鏡和所述物鏡正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連；所述光路調(diào)節(jié)裝置包括反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制反射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的背面；所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制透射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的正面；其中，所述照明系統(tǒng)包括所述反射光源和所述透射光源；所述載物臺(tái)為透明載物臺(tái)。
[0006]優(yōu)選的，所述多個(gè)反射鏡包括固定設(shè)置的第一單面反射鏡、第二單面反射鏡、第三單面反射鏡，以及與第一聯(lián)動(dòng)裝置相連的第一雙面反射鏡、與第二聯(lián)動(dòng)裝置相連的第二雙面反射鏡、與第三聯(lián)動(dòng)裝置相連的第四單面反射鏡；其中，所述第一雙面反射鏡、所述第一單面反射鏡、所述第二單面反射鏡、所述第二雙面反射鏡構(gòu)成反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；所述第二雙面反射鏡、所述第三單面反射鏡、所述第四單面反射鏡、所述第一雙面反射鏡構(gòu)成透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
[0007]可選的，所述第一聯(lián)動(dòng)裝置具有X-Y平面和Y-Z平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度；所述第二聯(lián)動(dòng)裝置沿X方向具有可伸縮性；所述第三聯(lián)動(dòng)裝置具有X-Y平面和X-Z平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度；其中，所述X-Y平面平行于所述載物臺(tái)；所述Y-Z平面垂直于所述載物臺(tái)和所述支撐臂；所述X-Z平面垂直于所述X-Y平面和所述Y-Z平面。
[0008]進(jìn)一步可選的，所述底座內(nèi)部具有中空部分；所述第一單面反射鏡設(shè)置在所述支撐臂的內(nèi)壁上，所述第二單面反射鏡和所述第三單面反射鏡設(shè)置在所述底座內(nèi)部的中空部分。
[0009]可選的，所述顯微鏡還包括設(shè)置在所述支撐臺(tái)上的轉(zhuǎn)換器，所述轉(zhuǎn)換器用于裝配所述物鏡；其中，所述轉(zhuǎn)換器上裝配三個(gè)物鏡，且所述三個(gè)物鏡的倍率各不相同。
[0010]進(jìn)一步可選的，所述顯微鏡還包括設(shè)置在所述支撐臺(tái)上的鏡筒，所述鏡筒用于裝配所述目鏡；其中，所述鏡筒與所述轉(zhuǎn)換器相連。
[0011]進(jìn)一步的，所述顯微鏡還包括調(diào)焦機(jī)構(gòu)，所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)用于控制所述轉(zhuǎn)換器相對(duì)于所述載物臺(tái)的升降；其中，所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在所述支撐臂上的粗準(zhǔn)焦螺旋和細(xì)準(zhǔn)焦螺旋。
[0012]可選的，所述顯微鏡還包括載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置，所述載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述載物臺(tái)的水平位移；其中，所述載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置還包括設(shè)置在所述底座上的調(diào)節(jié)手柄。
[0013]可選的，所述照明系統(tǒng)還包括聚光透鏡和孔徑光闌。
[0014]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種顯微鏡，包括底座、與所述底座相連的支撐臂和支撐臺(tái)、設(shè)置在所述底座上方的載物臺(tái)、固定在所述支撐臺(tái)上的目鏡和物鏡、以及照明系統(tǒng)；其中，所述目鏡和所述物鏡之間保持光路；所述顯微鏡還包括由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的光路調(diào)節(jié)裝置，且所述目鏡和所述物鏡正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連；所述光路調(diào)節(jié)裝置包括反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制反射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的背面；所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制透射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的正面；其中，所述照明系統(tǒng)包括所述反射光源和所述透射光源；所述載物臺(tái)為透明載物臺(tái)。
[0015]通過(guò)設(shè)置由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的所述光路調(diào)節(jié)裝置，便可以對(duì)所述顯微鏡的透射光路和反射光路進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于所述目鏡和所述物鏡正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連，其具有可移動(dòng)性；當(dāng)需要對(duì)樣品的正面形貌進(jìn)行觀察時(shí)，可以將所述目鏡和所述物鏡正對(duì)的所述反射鏡移開(kāi)，從而直接對(duì)樣品的正面形貌進(jìn)行觀察；當(dāng)需要對(duì)樣品的背面形貌進(jìn)行觀察時(shí)，可以將所述目鏡和所述物鏡正對(duì)的所述反射鏡固定在工作位置，此時(shí)所述反射光源發(fā)出的光可以經(jīng)過(guò)所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一組反射鏡的反射之后到達(dá)樣品的背面，所述透射光源發(fā)出的光可以經(jīng)過(guò)所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一組反射鏡的反射之后，到達(dá)樣品的正面，這樣便可以對(duì)樣品的背面形貌進(jìn)行觀察?；诖耍谛枰獙?duì)樣品的正面形貌和背面形貌同時(shí)進(jìn)行觀察時(shí)，無(wú)需再將所述樣品進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，可以直接通過(guò)調(diào)節(jié)所述反射鏡的位置來(lái)對(duì)所述顯微鏡的透射光路和反射光路進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的正面形貌和背面形貌的觀察。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種顯微鏡的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種第一聯(lián)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種第二聯(lián)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種第三聯(lián)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】；
[0023]101-底座;102_支撐臂;103_支撐臺(tái);20_載物臺(tái);30_目鏡;300_鏡筒;40_物鏡；400_轉(zhuǎn)換器；50_透射光源；601_第一單面反射鏡；602_第二單面反射鏡；603_第三單面反射鏡；604-第四單面反射鏡；605_第一雙面發(fā)射鏡；606_第二雙面反射鏡；701_第一聯(lián)動(dòng)裝置；702_第二聯(lián)動(dòng)裝置；703_第三聯(lián)動(dòng)裝置；80_樣品。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0025]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種顯微鏡，如圖1和圖2所示，包括底座101、與所述底座101相連的支撐臂102和支撐臺(tái)103、設(shè)置在所述底座101上方的載物臺(tái)20、固定在所述支撐臺(tái)103上的目鏡30和物鏡40、以及照明系統(tǒng)；其中，所述目鏡30和所述物鏡40之間保持光路；所述顯微鏡還包括由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的光路調(diào)節(jié)裝置，且所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連；所述光路調(diào)節(jié)裝置包括反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制反射光源(圖中未示出)發(fā)出的光到達(dá)樣品80的背面；所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制透射光源50發(fā)出的光到達(dá)樣品80的正面；其中，所述照明系統(tǒng)包括所述反射光源和所述透射光源50 ;所述載物臺(tái)20為透明載物臺(tái)。
[0026]需要說(shuō)明的是，第一，所述底座101、所述支撐臂102和所述支撐臺(tái)103共同組成所述顯微鏡的構(gòu)架；其中，所述支撐臺(tái)103和所述底座101對(duì)置設(shè)置，以便于使所述目鏡30和所述物鏡40之間的光路可以經(jīng)過(guò)所述載物臺(tái)20。
[0027]第二，所述載物臺(tái)20優(yōu)選為透明載物臺(tái)，這樣便可以使經(jīng)過(guò)所述光路調(diào)節(jié)裝置形成的反射光到達(dá)樣品80的表面。
[0028]此外，由于在進(jìn)行樣品80表面形貌的觀察時(shí)，所述樣品80需要固定在所述載物臺(tái)20上，因此所述載物臺(tái)20還可以包括用于固定樣品80的固定夾。
[0029]第三，所述目鏡30和所述物鏡40均設(shè)置在所述支撐臺(tái)103上，本實(shí)用新型實(shí)施例對(duì)所述目鏡30和所述物鏡40的個(gè)數(shù)不作具體限定；例如，所述目鏡30可以為單個(gè)或兩個(gè)，所述物鏡40可以為兩個(gè)或三個(gè)。
[0030]第四，所述照明系統(tǒng)至少可以包括反射光源(圖中未示出)和透射光源50 ;其中，所述反射光源可以設(shè)置在所述物鏡40上方且位于所述支撐臺(tái)103的內(nèi)部，所述透射光源50可以設(shè)置在所述底座101的內(nèi)部。
[0031]這里，所述反射光源和所述透射光源50均可作為照明光源，具體可以根據(jù)需要對(duì)光源的亮度進(jìn)行調(diào)節(jié)。但基于樣品類型的不同，所述反射光源和所述透射光源50不一定同時(shí)使用；也就是說(shuō)，在觀察樣品80的表面形貌時(shí)，可能僅需使用所述透射光源50、或僅需使用所述反射光源、也可能同時(shí)使用所述透射光源50和所述反射光源。
[0032]第五，由于所述光路調(diào)節(jié)裝置可以由多個(gè)所述反射鏡組成，本實(shí)用新型實(shí)施例中對(duì)于所述反射鏡的個(gè)數(shù)不做具體限定，以可以構(gòu)成反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)為準(zhǔn)。根據(jù)所述反射鏡個(gè)數(shù)的不同，還可以對(duì)所述反射鏡的設(shè)置角度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0033]其中，所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連，也就是說(shuō)，與所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡具有可移動(dòng)性，這樣便可以根據(jù)實(shí)際需要將其放置在合適的位置；這里所述合適的位置是指與所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的工作位置或移出所述載物臺(tái)20的平面。
[0034]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種顯微鏡，包括底座101、與所述底座101相連的支撐臂102和支撐臺(tái)103、設(shè)置在所述底座101上方的載物臺(tái)20、固定在所述支撐臺(tái)103上的目鏡30和物鏡40、以及照明系統(tǒng)；其中，所述目鏡30和所述物鏡40之間保持光路；所述顯微鏡還包括由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的光路調(diào)節(jié)裝置，且所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連；所述光路調(diào)節(jié)裝置包括反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制反射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品80的背面；所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制透射光源50發(fā)出的光到達(dá)樣品80的正面；其中，所述照明系統(tǒng)包括所述反射光源和所述透射光源50 ;所述載物臺(tái)20為透明載物臺(tái)。
[0035]通過(guò)設(shè)置由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的所述光路調(diào)節(jié)裝置，便可以對(duì)所述顯微鏡的透射光路和反射光路進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連，其具有可移動(dòng)性；當(dāng)需要對(duì)樣品80的正面形貌進(jìn)行觀察時(shí)，可以將所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡移開(kāi)，從而直接對(duì)樣品80的正面形貌進(jìn)行觀察；當(dāng)需要對(duì)樣品80的背面形貌進(jìn)行觀察時(shí)，可以將所述目鏡30和所述物鏡40正對(duì)的所述反射鏡固定在工作位置，此時(shí)所述反射光源發(fā)出的光可以經(jīng)過(guò)所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一組反射鏡的反射之后到達(dá)樣品80的背面，所述透射光源50發(fā)出的光可以經(jīng)過(guò)所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一組反射鏡的反射之后，到達(dá)樣品80的正面，這樣便可以對(duì)樣品80的背面形貌進(jìn)行觀察?；诖耍谛枰獙?duì)樣品80的正面形貌和背面形貌同時(shí)進(jìn)行觀察時(shí)，無(wú)需再將所述樣品80進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，可以直接通過(guò)調(diào)節(jié)所述反射鏡的位置來(lái)對(duì)所述顯微鏡的透射光路和反射光路進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品80的正面形貌和背面形貌的觀察。
[0036]優(yōu)選的，參考圖1和圖2所示，所述多個(gè)反射鏡可以包括固定設(shè)置的第一單面反射鏡601、第二單面反射鏡602、第三單面反射鏡603，以及與第一聯(lián)動(dòng)裝置701相連的第一雙面反射鏡605、與第二聯(lián)動(dòng)裝置702相連的第二雙面反射鏡606、與第三聯(lián)動(dòng)裝置703相連的第四單面反射鏡604。
[0037]其中，所述第一雙面反射鏡605、所述第一單面反射鏡601、所述第二單面反射鏡602、所述第二雙面反射鏡606構(gòu)成反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)；所述第二雙面反射鏡606、所述第三單面反射鏡603、所述第四單面反射鏡604、所述第一雙面反射鏡605構(gòu)成透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
[0038]這里，所述反射鏡的形狀可以均為直角三棱柱，且所述直角三棱柱的斜面即為反射面。其中，所述反射面與水平面之間的夾角均為45度。
[0039]需要說(shuō)明的是，上述的雙面反射鏡是指反射面的上下表面均不透光的反射鏡；無(wú)論光線入射到哪個(gè)表面，都會(huì)被完全反射回去。此外，對(duì)于上述的雙面反射鏡而言，與所述反射面相鄰的兩個(gè)平面應(yīng)該均為透光面，且具有良好的透光率。
[0040]在此基礎(chǔ)上，所述反射光源發(fā)出的光便會(huì)依次經(jīng)過(guò)所述第一雙面反射鏡605、所述第一單面反射鏡601、所述第二單面反射鏡602、所述第二雙面反射鏡606的反射，從而到達(dá)樣品80的背面；所述透射光源50發(fā)出的光便會(huì)依次經(jīng)過(guò)所述第二雙面反射鏡606、所述第三單面反射鏡603、所述第四單面反射鏡604、所述第一雙面反射鏡605的反射，從而到達(dá)樣品80的正面；這樣便可以等效為將所述樣品80的上下表面翻轉(zhuǎn)之后所產(chǎn)生的效果。具體的，在進(jìn)行樣品80背面形貌的觀察時(shí)，入射到所述樣品80正面的光可以作為背景光源，入射到所述樣品80背面的光可以原路返回至所述物鏡40中，從而進(jìn)入觀察者的視野范圍，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品80背面形貌的觀察。
[0041]下面以觀察液晶顯示面板的彩膜基板為例，對(duì)所述顯微鏡的工作原理進(jìn)行說(shuō)明。其中，所述彩膜基板可以依次包括位于襯底基板上的彩色濾光片和黑矩陣、以及隔墊物；所述黑矩陣填充在所述彩色濾光片的間隙位置，所述隔墊物與所述黑矩陣對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0042]當(dāng)需要對(duì)所述彩膜基板進(jìn)行觀察時(shí)，可以將所述彩膜基板放置在所述顯微鏡的載物臺(tái)20上，且所述襯底基板的一側(cè)緊貼所述載物臺(tái)20。在此情況下，如果需要對(duì)所述彩色濾光片進(jìn)行觀察，僅需使用所述透射光源50即可；如果需要對(duì)所述隔墊物進(jìn)行觀察，僅需使用所述反射光源即可；但如果需要同時(shí)對(duì)所述彩色濾光片和所述隔墊物進(jìn)行觀察時(shí)，便需要將所述透射光源50和所述反射光源同時(shí)使用。
[0043]在此基礎(chǔ)上，進(jìn)一步的，所述第一聯(lián)動(dòng)裝置701具有X-Y平面和Y-Z平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度；所述第二聯(lián)動(dòng)裝置702沿X方向具有可伸縮性；所述第三聯(lián)動(dòng)裝置703具有X-Y平面和X-Z平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度。
[0044]其中，所述X-Y平面平行于所述載物臺(tái)20 ;所述Y-Z平面垂直于所述載物臺(tái)20和所述支撐臂102 ;所述X-Z平面垂直于所述X-Y平面和所述Y-Z平面。
[0045]所述第一聯(lián)動(dòng)裝置701、所述第二聯(lián)動(dòng)裝置702、所述第三聯(lián)動(dòng)裝置703的具體結(jié)構(gòu)如圖3至圖5所示。
[0046]這里需要說(shuō)明的是，所述具有某一平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度是指，在指定平面內(nèi)，可以以某一點(diǎn)為支點(diǎn)，在指定平面內(nèi)繞該支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0047]基于上述描述可知，參考圖1和圖3所示，所述第一雙面反射鏡605可以通過(guò)與所述第一聯(lián)動(dòng)裝置701相連，在所述X-Y平面內(nèi)進(jìn)行平面轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)不需要所述第一雙面反射鏡605時(shí)，可以通過(guò)所述第一聯(lián)動(dòng)裝置701將所述第一雙面反射鏡605移出樣品觀察的光路系統(tǒng)。
[0048]參考圖1和圖4所示，所述第二雙面反射鏡606可以通過(guò)與所述第二聯(lián)動(dòng)裝置702相連，沿X方向進(jìn)行伸縮；當(dāng)不需要所述第二雙面反射鏡606時(shí)，可以通過(guò)所述第二聯(lián)動(dòng)裝置702將所述第二雙面反射鏡606移出樣品觀察的光路系統(tǒng)。
[0049]參考圖1和圖5所示，所述第四單面反射鏡604可以通過(guò)與所述第三聯(lián)動(dòng)裝置703相連，在所述X-Y平面內(nèi)進(jìn)行平面轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)不需要所述第四單面反射鏡604時(shí)，可以通過(guò)所述第三聯(lián)動(dòng)裝置703將所述第四單面反射鏡604移出進(jìn)行樣品觀察的光路系統(tǒng)。
[0050]進(jìn)一步的，參考圖1和圖2所不，所述底座101內(nèi)部具有中空部分；所述第一單面反射鏡601可以設(shè)置在所述支撐臂102的內(nèi)壁上，所述第二單面反射鏡602和所述第三單面反射鏡603可以設(shè)置在所述底座101內(nèi)部的中空部分。
[0051]其中，所述第一單面反射鏡601、所述第一雙面反射鏡605、所述第四單面反射鏡604位于同一水平面上，所述第二單面反射鏡602、所述第二雙面反射鏡606、所述第三單面反射鏡603位于同一水平面上。
[0052]考慮到所述顯微鏡應(yīng)該具有不同的放大倍率，即放大倍率可調(diào)；因此，可選的，參考圖1所示，所述顯微鏡還可以包括設(shè)置在所述支撐臺(tái)103上的轉(zhuǎn)換器400，所述轉(zhuǎn)換器400用于裝配所述物鏡40 ;其中，所述轉(zhuǎn)換器400上可以裝配三個(gè)物鏡40，且所述三個(gè)物鏡40的倍率各不相同。[0053]其中，所述物鏡40的放大倍率通常為5?100倍。
[0054]這樣，通過(guò)在所述轉(zhuǎn)換器400上裝配多個(gè)不同放大倍率的物鏡40，在所述顯微鏡的工作過(guò)程中，只需轉(zhuǎn)動(dòng)所述轉(zhuǎn)換器400便可以實(shí)現(xiàn)所述物鏡40的切換。
[0055]進(jìn)一步可選的，所述顯微鏡還可以包括設(shè)置在所述支撐臺(tái)103上的鏡筒300，所述鏡筒300用于裝配所述目鏡30。
[0056]其中，所述目鏡30的放大倍率通常為5?20倍。
[0057]在此基礎(chǔ)上，用于裝配所述目鏡30的所述鏡筒300可以與用于裝配所述物鏡40的所述轉(zhuǎn)換器400相連。在進(jìn)行樣品表面形貌的觀察時(shí)，所述物鏡40靠近所述樣品80，用于實(shí)現(xiàn)第一級(jí)放大；所述目鏡30靠近觀察者，用于實(shí)現(xiàn)第二級(jí)放大；二者相互疊加，即為樣品的實(shí)際放大倍數(shù)。
[0058]進(jìn)一步的，用于裝配所述目鏡30的鏡筒300可以包括單筒和雙筒兩種模式；其中，單筒式鏡筒300可以分為直立式和傾斜式，雙筒式鏡筒則均為傾斜式。在此基礎(chǔ)上，使用雙筒式顯微鏡，觀察者的雙眼可以同時(shí)進(jìn)行觀察，從而可以緩解視疲勞；另外，雙筒之間的間距可以調(diào)節(jié)，且其中一個(gè)目鏡30還可以具有屈光度調(diào)節(jié)裝置，有利于雙眼視力不同的觀察者使用?；诖?，本實(shí)用新型實(shí)施例優(yōu)選采用雙筒式顯微鏡。
[0059]可選的，所述顯微鏡還可以包括調(diào)焦機(jī)構(gòu)，所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)用于控制所述轉(zhuǎn)換器400相對(duì)于所述載物臺(tái)20的升降；其中，所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)還可以包括設(shè)置在所述支撐臂102上的粗準(zhǔn)焦螺旋和細(xì)準(zhǔn)焦螺旋。
[0060]在顯微鏡的使用過(guò)程中，可以根據(jù)實(shí)際情況，首先通過(guò)調(diào)節(jié)所述粗準(zhǔn)焦螺旋將所述物鏡40與樣品80之間的距離調(diào)節(jié)至某一范圍，然后再通過(guò)所述細(xì)準(zhǔn)焦螺旋進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0061]進(jìn)一步可選的，所述顯微鏡還可以包括載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置，所述載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述載物臺(tái)20的水平位移；其中，所述載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置還可以包括設(shè)置在所述底座101上的調(diào)節(jié)手柄。
[0062]基于上述描述可知，所述物鏡40與樣品80之間的距離可以通過(guò)所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié)，而對(duì)于所述樣品80需要觀察的區(qū)域，則需要通過(guò)移動(dòng)所述載物臺(tái)20來(lái)進(jìn)行選擇。
[0063]可選的，所述顯微鏡的照明系統(tǒng)還可以包括聚光透鏡和孔徑光闌。
[0064]所述聚光透鏡可以設(shè)置在所述底座101的中空部分，且位于所述透射光源50的正上方。所述透射光源50發(fā)出的光經(jīng)過(guò)所述聚光透鏡，可以更好的聚焦在樣品80的表面，從而提聞樣品80表面的売度。
[0065]所述孔徑光闌可以設(shè)置在所述透射光源50和所述聚光透鏡之間。所述孔徑光闌可以用于調(diào)節(jié)所述透射光源50發(fā)出的光的強(qiáng)度和光束孔徑，以使所述聚光透鏡的數(shù)值孔徑與所述物鏡40的數(shù)值孔徑相匹配，從而達(dá)到最大的分辨率。
[0066]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種顯微鏡，包括底座、與所述底座相連的支撐臂和支撐臺(tái)、設(shè)置在所述底座上方的載物臺(tái)、固定在所述支撐臺(tái)上的目鏡和物鏡、以及照明系統(tǒng)；其中，所述目鏡和所述物鏡之間保持光路；其特征在于， 所述顯微鏡還包括由多個(gè)反射鏡構(gòu)成的光路調(diào)節(jié)裝置，且所述目鏡和所述物鏡正對(duì)的所述反射鏡與聯(lián)動(dòng)裝置相連； 所述光路調(diào)節(jié)裝置包括反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)和透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)； 所述反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制反射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的背面； 所述透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于控制透射光源發(fā)出的光到達(dá)樣品的正面； 其中，所述照明系統(tǒng)包括所述反射光源和所述透射光源；所述載物臺(tái)為透明載物臺(tái)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征在于，所述多個(gè)反射鏡包括固定設(shè)置的第一單面反射鏡、第二單面反射鏡、第三單面反射鏡，以及與第一聯(lián)動(dòng)裝置相連的第一雙面反射鏡、與第二聯(lián)動(dòng)裝置相連的第二雙面反射鏡、與第三聯(lián)動(dòng)裝置相連的第四單面反射鏡； 其中，所述第一雙面反射鏡、所述第一單面反射鏡、所述第二單面反射鏡、所述第二雙面反射鏡構(gòu)成反射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)； 所述第二雙面反射鏡、所述第三單面反射鏡、所述第四單面反射鏡、所述第一雙面反射鏡構(gòu)成透射光路調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于，所述第一聯(lián)動(dòng)裝置具有X-Y平面和Y-Z平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度；所述第二聯(lián)動(dòng)裝置沿X方向具有可伸縮性；所述第三聯(lián)動(dòng)裝置具有X-Y平面和X-Z平面的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度； 其中，所述X-Y平面平行于所述載物臺(tái)； 所述Y-Z平面垂直于所述載物臺(tái)和所述支撐臂； 所述X-Z平面垂直于所述X-Y平面和所述Y-Z平面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于，所述底座內(nèi)部具有中空部分； 所述第一單面反射鏡設(shè)置在所述支撐臂的內(nèi)壁上，所述第二單面反射鏡和所述第三單面反射鏡設(shè)置在所述底座內(nèi)部的中空部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征在于，所述顯微鏡還包括設(shè)置在所述支撐臺(tái)上的轉(zhuǎn)換器，所述轉(zhuǎn)換器用于裝配所述物鏡； 其中，所述轉(zhuǎn)換器上裝配三個(gè)物鏡，且所述三個(gè)物鏡的倍率各不相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯微鏡，其特征在于，所述顯微鏡還包括設(shè)置在所述支撐臺(tái)上的鏡筒，所述鏡筒用于裝配所述目鏡； 其中，所述鏡筒與所述轉(zhuǎn)換器相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯微鏡，其特征在于，所述顯微鏡還包括調(diào)焦機(jī)構(gòu)，所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)用于控制所述轉(zhuǎn)換器相對(duì)于所述載物臺(tái)的升降； 其中，所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在所述支撐臂上的粗準(zhǔn)焦螺旋和細(xì)準(zhǔn)焦螺旋。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征在于，所述顯微鏡還包括載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置，所述載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述載物臺(tái)的水平位移； 其中，所述載物臺(tái)調(diào)節(jié)裝置還包括設(shè)置在所述底座上的調(diào)節(jié)手柄。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征在于，所述照明系統(tǒng)還包括聚光透鏡和孔徑光闌。
【文檔編號(hào)】G02B21/18GK203720438SQ201420077236
【公開(kāi)日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月21日
【發(fā)明者】石博, 李凡, 馬一鴻 申請(qǐng)人:成都京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司