液罐和光刻膠剝離設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種液罐，所述液罐包括主罐，其中，所述液罐還包括過濾裝置，所述過濾裝置能夠?qū)α魅胨鲋鞴迌?nèi)的液體進行過濾。本實用新型還提供一種光刻膠剝離設(shè)備。在本實用新型中，所述過濾裝置能夠?qū)α魅胨鲋鞴迌?nèi)的液體進行過濾。當(dāng)所述液罐用作所述光刻膠剝離設(shè)備的剝離液罐時，可以對流入所述主罐內(nèi)的剝離液進行過濾，從而減少剝離液中的光刻膠和其他雜質(zhì)的含量，減少抽吸泵堵塞及系統(tǒng)停止運行的發(fā)生，同時減少基板上的光刻膠殘留，進而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利說明】液罐和光刻膠剝離設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光刻膠的處理，具體地，涉及一種液罐和一種光刻膠剝離設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT (Thin Film Transistor，薄膜場效應(yīng)晶體管)陣列基板的制作工藝包括清洗、濺射、光刻膠涂布、曝光、顯影、刻蝕和光刻膠剝離等步驟。光刻膠剝離是用剝離液來去除基板上的光刻膠。
[0003]如圖1所示的是現(xiàn)有的光刻膠剝離設(shè)備，剝離液直接注入液罐內(nèi)，在液罐內(nèi)經(jīng)過加熱件11加熱和循環(huán)泵13攪拌之后，通過抽吸泵12抽取，經(jīng)過過濾器15過濾后對基板2進行噴淋，以去除基板2上面的光刻膠，噴淋之后的剝離液直接流回到液罐內(nèi)，在一定的時間內(nèi)循環(huán)應(yīng)用。
[0004]在經(jīng)過濾器15過濾之前，剝離液中混合有光刻膠等雜質(zhì)。抽吸泵12抽取所述液罐內(nèi)的剝離液時，雜質(zhì)會堵塞抽吸泵12，造成系統(tǒng)停止運行。
[0005]因此，如何減少系統(tǒng)停止運行的發(fā)生成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的在于提供一種液罐和一種光刻膠剝離設(shè)備，使所述光刻膠剝離設(shè)備的抽吸泵不易被堵塞。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，作為本實用新型的一個方面，提供一種液罐，所述液罐包括主罐，其中，所述液罐還包括過濾裝置，所述過濾裝置能夠?qū)α魅胨鲋鞴迌?nèi)的液體進行過濾。
[0008]優(yōu)選地，所述過濾裝置包括第一過濾件，該第一過濾件覆蓋所述主罐的內(nèi)腔的截面。
[0009]優(yōu)選地，所述過濾裝置還包括成對設(shè)置的過濾輥，在每對所述過濾輥中，一個過濾輥可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述主罐的一側(cè)，另一個過濾輥可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述主罐的另一側(cè)，所述第一過濾件的一端纏繞在一個所述過濾輥上，另一端纏繞在另一個所述過濾輥上。
[0010]優(yōu)選地，所述過濾裝置還包括設(shè)置在所述第一過濾件下方的第二過濾件，該第二過濾件覆蓋所述主罐的內(nèi)腔的截面。
[0011]優(yōu)選地，所述液罐還包括能夠?qū)?jīng)過所述過濾裝置過濾的液體進行成分分析的分析裝置、指示裝置和控制器，所述分析裝置和所述指示裝置均與所述控制器電連接，所述指示裝置包括第一指示燈、第二指示燈和第三指示燈。
[0012]優(yōu)選地，所述液罐還包括回收罐和設(shè)置在所述主罐的罐壁上的出口控制閥，所述出口控制閥與所述控制器電連接，所述回收罐通過所述出口控制閥與所述主罐選擇性地連通。
[0013]優(yōu)選地，所述液罐還包括連接在所述主罐和所述回收罐之間的回收泵，該回收泵與所述控制器電連接。[0014]優(yōu)選地，所述液罐還包括循環(huán)泵，所述循環(huán)泵的出口和入口均與所述回收罐連通。
[0015]優(yōu)選地，所述液罐還包括抽吸泵和第三過濾件，所述抽吸泵與所述回收罐連通，以對所述回收罐內(nèi)的液體進行抽取，所述第三過濾件設(shè)置在所述回收罐的外部，以過濾從所述抽吸泵出口流出的液體。
[0016]作為本實用新型的另一個方面，提供一種光刻膠剝離設(shè)備，該光刻膠剝離設(shè)備包括液罐，其中，所述液罐為本實用新型所提供的上述液罐。
[0017]在本實用新型中，所述過濾裝置能夠?qū)α魅胨鲋鞴迌?nèi)的液體進行過濾。當(dāng)所述液罐用作所述光刻膠剝離設(shè)備的剝離液罐時，可以對流入所述主罐內(nèi)的剝離液進行過濾，從而減少剝離液中的光刻膠和其他雜質(zhì)的含量，減少抽吸泵堵塞及系統(tǒng)停止運行的發(fā)生，同時減少基板上的光刻I父殘留，進而提聞廣品質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中:
[0019]圖1是現(xiàn)有的光刻膠剝離設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本實用新型中的光刻膠剝離設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]附圖標(biāo)記說明
[0022]1:噴淋裝置；2:基板；4:主罐；5:過濾裝置；501:第一過濾件；502:過濾輥；503:第二過濾件；6:分析裝置；7:指示裝置；701:第一指示燈；702:第二指示燈；703:第三指示燈；8:回收罐；9:回收泵；11:加熱件；12:抽吸泵；13:循環(huán)泵；14:第三過濾件；15:過濾器。
【具體實施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。
[0024]作為本實用新型的一個方面，如圖2所示，提供一種液罐，該液罐包括主罐4，其中，所述液罐還包括過濾裝置5，該過濾裝置5可以對流入主罐4內(nèi)的液體進行過濾。
[0025]在本實用新型中，流入主罐4內(nèi)的剝離液經(jīng)過過濾裝置5過濾后，液體中含有的雜質(zhì)減少，因此可以對液體進行回收利用，提高液體的利用率。并且，在實際應(yīng)用中，過濾裝置5可以對流入主罐4內(nèi)的液體進行過濾，所以在重復(fù)利用液體時，抽吸泵所抽取的液體已經(jīng)經(jīng)過過濾裝置5的過濾，所含雜質(zhì)較少，因此不容易堵塞抽吸泵。
[0026]本實用新型所述液罐可以用于光刻膠剝離裝置。即，所述液體可以為剝離液，過濾裝置5可以對流入主罐4的剝離液(進行過濾，所以在重復(fù)利用剝離液時，抽吸泵所抽取的剝離液已經(jīng)經(jīng)過過濾裝置5的過濾，所含雜質(zhì)較少，因此不容易堵塞抽吸泵。
[0027]在本實用新型中，對過濾裝置5的具體形式不作限定，只要可以對流入主罐4的液體進行過濾即可。
[0028]作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，如圖2所示，過濾裝置5包括第一過濾件501，第一過濾件501覆蓋主罐4的內(nèi)腔的截面，使得流入主罐4的液體可以全部流經(jīng)第一過濾件501，以將液體中體積較大的雜質(zhì)濾除。[0029]第一過濾件501可以為過濾紙，也可以為過濾網(wǎng)或其他具有過濾作用的結(jié)構(gòu)等。
[0030]當(dāng)過第一濾件501上累積的雜質(zhì)達到一定數(shù)量時，可以對第一過濾件501進行更換。為了便于對第一過濾件501進行更換，可以將第一過濾件501可拆卸地設(shè)置在主罐4上。為了進一步便于對過濾件501進行更換，如圖2所示，過濾裝置5還可以包括成對設(shè)置的過濾輥502，在每對過濾輥中，一個過濾輥502可旋轉(zhuǎn)地安裝在主罐4的一側(cè)，另一個過濾輥502可旋轉(zhuǎn)地安裝在主罐4的另一側(cè)，第一過濾件501的一端纏繞在一個過濾輥502上，另一端纏繞在另一個過濾棍502上。
[0031]應(yīng)當(dāng)理解的是，過濾裝置5可以包括一對過濾輥502，也可以包括多對過濾輥502。
[0032]具體地，在每對過濾輥中，當(dāng)其中一個過濾輥502轉(zhuǎn)動時，可以將第一過濾件501上使用過的部分纏繞在該一個過濾輥502上，同時第一過濾件501帶動另一個過濾輥502轉(zhuǎn)動，將纏繞在另一個過濾輥502上的第一過濾件501被展開，使得第一過濾件501中未經(jīng)使用的部分覆蓋主罐4的內(nèi)腔的截面。
[0033]為了便于更換第一過濾件，優(yōu)選地，可以將過濾輥502設(shè)置在主罐4的外部。
[0034]更進一步地，過濾裝置5還可以包括設(shè)置在第一過濾件501下方的第二過濾件503，第二過濾件503覆蓋主罐4的內(nèi)腔的截面，經(jīng)過第一過濾件501過濾的液體可以經(jīng)過第二過濾件503過濾，以進一步減少液體中雜質(zhì)的含量。應(yīng)當(dāng)理解的是，第二過濾件503可以過濾的雜質(zhì)尺寸比第一過濾件501過濾的雜質(zhì)尺寸小。利用第一過濾件501可以對液體進行粗過濾，利用第二過濾件503可以對液體進行精過濾，從而使得經(jīng)過過濾裝置5過濾得到的液體中所含的雜質(zhì)更少。
[0035]具體地，第二過濾件503可以為過濾紙，也可以為過濾網(wǎng)或其他具有過濾作用的過濾件。在本實用新型中，對第二過濾件503的安裝形式并不做具體限定，例如，可以采用與安裝第一過濾件501相似的方式安裝第二過濾件503。
[0036]經(jīng)過第一過濾件501的過濾后，液體中的雜質(zhì)的含量已經(jīng)少于經(jīng)第一過濾件501過濾前雜質(zhì)的含量，第二過濾件503可以具有簡單的安裝形式，優(yōu)選地，如圖2所示，可以將第二過濾件503直接設(shè)置在主罐4內(nèi)。
[0037]為了判斷液體的成分(主要是雜質(zhì)含量)，更進一步地，所述液罐還可以包括分析裝置6，該分析裝置6可以對經(jīng)過過濾裝置5過濾的液體進行成分分析?？梢愿鶕?jù)成分分析結(jié)果判斷過濾后的液體能否重復(fù)利用。例如當(dāng)所述液體為剝離液時，可以使用能夠被重復(fù)利用的液體對基板2進行光刻膠剝離，而將不能夠被重復(fù)利用的液體排出主罐4進行再處理。
[0038]分析裝置6可以具有入口和出口，作為本實用新型的一種實施方式，分析裝置6的入口和出口均與主罐4連通，在主罐4中采集的經(jīng)過濾裝置5過濾后的液體樣品通過分析裝置6的入口流入該分析裝置6 ;進行成分分析后的液體樣品通過分析裝置6的出口流回主罐4。作為本實用新型的另一種實施方式，僅將分析裝置6的入口與主罐4連通，在主罐4中采集的液體樣品經(jīng)過分析裝置6的入口流入該分析裝置，經(jīng)分析判斷出過濾后的液體樣品的成分后，通過分析裝置6的出口將液體樣品排出分析裝置6。
[0039]在本實用新型中，對分析裝置6的具體形式并沒有特殊限制，只要可以判斷主罐4內(nèi)經(jīng)過濾裝置5過濾后得到的液體的成分即可。例如，分析裝置6中可以設(shè)置有多種試劑，與不同成分的液體接觸反應(yīng)后，所述試劑可以顯示出不同的顏色。[0040]為了便于操作者判斷過濾后的液體的成分，進一步優(yōu)選地，所述液罐還可以包括指示裝置7和控制器，分析裝置6和指示裝置7均與所述控制器電連接，所述控制器可以根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果控制指示裝置7進行相應(yīng)的指示，并且根據(jù)分析結(jié)果對過濾后的液體進行相應(yīng)的處理。
[0041]具體地，指示裝置7的指示信號可以是光信號、聲音信號或其他具有指示作用的信號，相對應(yīng)的，指示裝置7的結(jié)構(gòu)可以包括發(fā)光源、發(fā)聲器或其他能夠產(chǎn)生指示信號的元件。
[0042]優(yōu)選地，如圖2所示，指示裝置7可以包括第一指示燈701和第二指示燈702，當(dāng)所述控制器根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果判斷過濾后的液體的成分在可用范圍內(nèi)時，所述控制器控制第一指示燈701發(fā)光，當(dāng)所述控制器根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果判斷過濾后的液體的成分在不可用范圍內(nèi)時，所述控制器控制第二指示燈702發(fā)光。為了便于操作者判斷，第一指示燈701和第二指示燈702可以發(fā)出不同顏色的指示燈光。例如，第一指示燈701可以發(fā)出綠色的指示燈光，而第二指示燈702可以發(fā)出紅色的指示燈光。
[0043]可以理解的是，第一指示燈701和第二指示燈702均由所述控制器進行控制，所述控制器可以為PLC (可編程邏輯控制器)。可以由所述控制器預(yù)先設(shè)置所述可用范圍和所述不可用范圍?！翱捎梅秶笔侵高^濾后的液體中所含的雜質(zhì)較少，即便重新利用，液體中的雜質(zhì)也不會堵塞抽吸泵，亦不會在基板上產(chǎn)生較多殘留?！安豢捎梅秶笔侵高^濾后的液體中所含的雜質(zhì)較多，不可以重新利用。
[0044]當(dāng)經(jīng)過過濾的液體中的雜質(zhì)的含量小于臨界范圍時，可以判定經(jīng)過過濾的液體的成分在所述“可用范圍內(nèi)”；當(dāng)經(jīng)過過濾的液體中的雜質(zhì)的含量大于預(yù)定臨界范圍時，可以判定經(jīng)過過濾的液體的成分在所述“不可用范圍內(nèi)”。
[0045]下面介紹如何確定所述“可用范圍”和所述“不可用范圍”。例如，取同樣重量的可正常使用的液體和不可正常使用的液體，并分別檢測兩種液體中所含雜質(zhì)的重量，將可正常使用的液體中雜質(zhì)的含量與不可正常使用的液體中雜質(zhì)的含量之間的范圍即為臨界范圍，用以劃分可用范圍和不可用范圍。換言之，若檢測出100克可正常使用的液體和100克不可正常使用的液體中所含雜質(zhì)分別為5克和10克，那么，臨界范圍即為:5%?10% (含端點)。
[0046]應(yīng)當(dāng)理解的是，所述“可正常使用的液體”是指在一定周期內(nèi)不會發(fā)生光刻膠殘留的液體，相對地，所述“不可正常使用的液體”是指在一定周期內(nèi)會發(fā)生光刻膠殘留的液體。
[0047]需要指出的是，所述“周期”是指液體連續(xù)使用的時間或液體循環(huán)使用的次數(shù)，優(yōu)選地，液體連續(xù)使用2400分鐘或液體循環(huán)使用5000次(當(dāng)所述液體為剝離液時，液體循環(huán)使用5000次是指對5000個基板進行光刻膠剝離)，換言之，所述“可正常使用的液液”是指連續(xù)使用2400分鐘或循環(huán)使用5000次基本不會發(fā)生在基板上光刻膠殘留的液體，所述“不可正常使用的液體”是指連續(xù)使用2400分鐘或循環(huán)使用5000次會發(fā)生在基板上光刻膠殘留的液體。而上述“基本不會發(fā)生”是指在光刻膠剝離完成后，難免會出現(xiàn)涂有大面積光刻膠的基板仍殘留少量光刻膠，只要不影響基板的使用即可。
[0048]實際應(yīng)用中，通過分析裝置6檢測經(jīng)過過濾裝置5過濾后的液體中雜質(zhì)的比例，并將該比例輸出至所述控制器，所述控制器內(nèi)部處理單元判斷上述剝離也中雜質(zhì)的比例所處的范圍(包括可用范圍和不可用范圍)，并向指示裝置7輸出相應(yīng)的判斷信號，指示裝置7根據(jù)該信號給出相應(yīng)的指示，并且從而判定經(jīng)過過濾裝置5過濾的液體能否繼續(xù)使用。
[0049]更進一步地，指示裝置7還可以包括第三指示燈703，所述控制器根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果判斷過濾后的液體的成分在可用范圍與不可用范圍之間(即，所述臨界范圍)時，所述控制器控制第三指示燈703發(fā)光。為了便于觀察，第三指示燈703可以發(fā)出顏色不同于第一指示燈701和第二指示燈702的燈光。例如，第一指示燈701可以發(fā)出綠光，第二指示燈702可以發(fā)出紅光，第三指示燈可以發(fā)出黃光。
[0050]可以利用處于可用范圍與不可用范圍之間的液體對光刻膠較多的基板進行處理，以提高液體的使用率。
[0051]更進一步地，所述液罐還可以包括設(shè)置在主罐4的罐壁上的出口控制閥，所述出口控制閥與所述控制器電連接，當(dāng)所述控制器根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果判斷過濾后的液體處于不可用范圍內(nèi)時，所述控制器控制所述出口控制閥開啟，以將主罐4內(nèi)的液體排出。為了便于液體的排出，優(yōu)選地，所述出口控制閥可以設(shè)置在主罐4的底壁上。容易理解的是，此處的出口控制閥為電磁閥。
[0052]更進一步地，如圖2所示，所述液罐還可以包括回收罐8，當(dāng)所述控制器根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果判斷過濾后的液體為可用時，所述過濾后的液體可以流入回收罐8以再次使用。
[0053]應(yīng)當(dāng)理解的是，可以在回收罐8上設(shè)置入口和出口。當(dāng)回收罐8內(nèi)沒有可以使用的液體時，可以通過所述入口從外界向回收罐8內(nèi)注入未經(jīng)使用的液體；當(dāng)液罐停止運行或?qū)厥展?進行清洗時，可以通過所述出口將回收罐8內(nèi)的液體(剝離液或其他清洗液體)排出回收罐8。
[0054]在本實用新型中，對主罐4中的在可用范圍內(nèi)的液體進入回收罐8的方式并沒有特殊的限定。例如，可以利用導(dǎo)管將主罐和回收罐連通，并在導(dǎo)管中設(shè)置開關(guān)閥，當(dāng)控制器根據(jù)分析裝置的分析結(jié)果判定液體在可用范圍內(nèi)時，控制開關(guān)閥打開，使在可用范圍內(nèi)的液體從主罐流向回收罐。
[0055]作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述液罐還可以包括連接在主罐4和回收罐8之間的回收泵9，具體地，為了更方便地進行液體的抽取，如圖2所示，回收泵9的入口可以設(shè)置在靠近主罐4的底壁的位置，回收泵9與所述控制器電連接，當(dāng)所述控制器根據(jù)分析裝置6的分析結(jié)果判斷過濾后的液體處于可用范圍內(nèi)時，所述控制器控制回收泵9開啟，主罐4內(nèi)過濾后的液體由回收泵9抽取至回收罐8以再次使用。
[0056]更進一步地，但所述液體為剝離液時，所述液罐還可以包括加熱件11，具體地，如圖2所示，加熱件11設(shè)置在回收罐8內(nèi)，以對回收罐8的液體進行加熱?？梢愿鶕?jù)具體的剝離工藝來設(shè)定加熱溫度。
[0057]在本實用新型中，對加熱件11的具體結(jié)構(gòu)和數(shù)量不作限定，為了加快加熱速度，如圖2所示，可以設(shè)置多個加熱件11。
[0058]更進一步地，所述液罐還可以包括循環(huán)泵13，優(yōu)選地，如圖2所示，循環(huán)泵13的出口和入口均可以與回收罐8連通，循環(huán)泵13的入口靠近加熱件11，循環(huán)泵13的出口遠離加熱件11，使得回收罐8中的液體的溫度較高的部分經(jīng)循環(huán)泵13抽取后回到回收罐8的上方，與液體中溫度較低的部分混合，從而使得液體的溫度更加均勻。
[0059]更進一步地,所述液罐還可以包括抽吸泵12,具體地,如圖2所示,抽吸泵12與回收罐8連通，以對回收罐8內(nèi)的液體進行抽取。抽吸泵12將回收罐8內(nèi)的液體抽出后送入噴淋裝置I中，以對基板2進行噴淋。由于回收罐8內(nèi)的液體的成分均在可用范圍內(nèi)，因此抽吸泵12不容易被堵塞。
[0060]抽吸泵12抽出的液體可以直接使用，也可以經(jīng)過過濾或其他處理后再使用，優(yōu)選地，如圖2所示，所述液罐還可以包括第三過濾件14，第三過濾件14設(shè)置回收罐8的外部，以過濾從抽吸泵12的出口流出的液體。應(yīng)當(dāng)理解的是，抽吸泵12所抽出的液體為經(jīng)過兩次過濾后的液體或未經(jīng)使用的液體，所含雜質(zhì)少于第一次過濾之前和第二次過濾之前的液體中所含雜質(zhì)，因此，第三過濾件14可以過濾的雜質(zhì)尺寸比第二過濾件503過濾的雜質(zhì)尺寸小。
[0061]下面結(jié)合圖2來說明本實用新型中一種優(yōu)選實施方式的工作流程。圖2中所示的是一種光刻膠剝離裝置，所述液體為剝離液。
[0062]如圖2所示，回收罐8內(nèi)沒有可以使用的液體時，將未經(jīng)使用的液體注入回收罐8內(nèi)，設(shè)置于回收罐8內(nèi)的加熱件11對回收罐8內(nèi)的液體加熱，同時循環(huán)泵13抽取回收罐8內(nèi)的液體后排放回回收罐8內(nèi)，使得液體的溫度更加均勻，同時，抽吸泵12將回收罐8內(nèi)的液體抽出并經(jīng)過第三過濾件14過濾以濾除部分雜質(zhì),過濾后的液體開始對基板2進行光刻膠剝離。
[0063]光刻膠剝離完成后，基板2上的雜質(zhì)隨使用后的液體一起流入主罐4內(nèi)，經(jīng)過第一過濾件501的第一次過濾后，部分雜質(zhì)被濾除，第二過濾件503對經(jīng)過第一過濾件501過濾后的液體進行第二次過濾，從而過濾除比第一次更多的雜質(zhì)。過濾完成后，少量液體樣品由分析裝置6的入口流入分析裝置6以進行成分分析，并在成分分析結(jié)束后由分析裝置6的出口流出以不再使用。所述控制器根據(jù)預(yù)先設(shè)置的可用范圍和不可用范圍對分析裝置6的分析結(jié)果進行判斷，當(dāng)判斷所述液體樣品處于可用范圍內(nèi)時，所述控制器控制第一指示燈701發(fā)出綠光，同時控制回收泵9開啟，回收泵9將過濾后的液體抽取至回收罐8內(nèi)；當(dāng)判斷所述液體樣品處于不可用范圍內(nèi)時，所述控制器控制第二指示燈702發(fā)出紅光，同時控制所述出口控制閥打開，以使得液體流出主罐4 ;當(dāng)判斷所述液體樣品處于可用范圍與不可用范圍之間時，所述控制器控制第三指示燈703發(fā)出黃光，同時控制回收泵9開啟，回收泵9將過濾后的液體抽取至回收罐8內(nèi)。通過回收泵9泵送至回收罐8內(nèi)的液體在回收罐8內(nèi)的處理過程與未經(jīng)使用直接放入回收罐8內(nèi)的液體的處理過程相同，這里不再贅述。經(jīng)過加熱的液體經(jīng)抽吸泵12抽取，并經(jīng)第三過濾件14過濾后進入噴淋裝置I對基板2進行噴淋。上述過程即為液體在所述液罐內(nèi)的一次循環(huán)。
[0064]上述實施方案中，使用后的液體流入主罐4內(nèi)，經(jīng)過第一過濾件501和第二過濾件503過濾出部分雜質(zhì)，過濾后的液體由分析裝置6進行成分分析，所述控制器根據(jù)所述成分分析結(jié)果控制液體進行相應(yīng)的使用，減少液體中雜質(zhì)的含量，從而減少抽吸泵12堵塞的發(fā)生，同時提聞液體的利用率，減少基板2上的光刻I父殘留，進而提聞廣品質(zhì)量。
[0065]雖然上文中以處理剝離液為例描述了本實用新型所提供的液罐的工作過程及原理，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，本實用新型所提供的液罐也可以用于處理其他液體。例如，所述液罐可以用于處理工業(yè)廢水等。
[0066]作為本實用新型的另一方面，提供一種光刻膠剝離設(shè)備，該光刻膠剝離設(shè)備包括液罐，其中，所述液罐為本實用新型所提供的液罐，所述液罐內(nèi)的液體為剝離液，該剝離液通過所述光刻膠剝離設(shè)備的噴淋裝置對基板進行噴淋，從而實現(xiàn)光刻膠的剝離。
[0067]在所述光刻膠剝離設(shè)備中，所述液罐能夠?qū)冸x液進行過濾，減少剝離液中雜質(zhì)的含量，因而減少系統(tǒng)停止運行的發(fā)生，并且能夠根據(jù)剝離液的成分對剝離液進行相應(yīng)的使用，延長剝離液的使用周期，同時減少基板上的光刻膠殘留，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0068]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種液罐，所述液罐包括主罐，其特征在于，所述液罐還包括過濾裝置，所述過濾裝置能夠?qū)α魅胨鲋鞴迌?nèi)的液體進行過濾。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液罐，其特征在于，所述過濾裝置包括第一過濾件，該第一過濾件覆蓋所述主罐的內(nèi)腔的截面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液罐，其特征在于，所述過濾裝置還包括成對設(shè)置的過濾輥，在每對所述過濾輥中，一個過濾輥可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述主罐的一側(cè)，另一個過濾輥可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述主罐的另一側(cè)，所述第一過濾件的一端纏繞在一個所述過濾輥上，另一端纏繞在另一個所述過濾輥上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液罐，其特征在于，所述過濾裝置還包括設(shè)置在所述第一過濾件下方的第二過濾件，該第二過濾件覆蓋所述主罐的內(nèi)腔的截面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的液罐，其特征在于，所述液罐還包括能夠?qū)?jīng)過所述過濾裝置過濾的液體進行成分分析的分析裝置、指示裝置和控制器，所述分析裝置和所述指示裝置均與所述控制器電連接，所述指示裝置包括第一指示燈、第二指示燈和第三指示燈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液罐，其特征在于，所述液罐還包括回收罐和設(shè)置在所述主罐的罐壁上的出口控制閥，所述出口控制閥與所述控制器電連接，所述回收罐通過所述出口控制閥與所述主罐選擇性地連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐還包括連接在所述主罐和所述回收罐之間的回收泵，該回收泵與所述控制器電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐還包括循環(huán)泵，所述循環(huán)泵的出口和入口均與所述回收罐連通。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐還包括抽吸泵和第三過濾件，所述抽吸泵與所述回收罐連通，以對所述回收罐內(nèi)的液體進行抽取，所述第三過濾件設(shè)置在所述回收罐的外部，以過濾從所述抽吸泵出口流出的液體。
10.一種光刻膠剝離設(shè)備，該光刻膠剝離設(shè)備包括液罐，其特征在于，所述液罐為權(quán)利要求I至9中任意一項所述的液罐。
【文檔編號】G03F7/42GK203786466SQ201420003851
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年1月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月3日
【發(fā)明者】孫文昌 申請人:北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司