一種可控的萬能光罩的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種可控的萬能光罩，包括相互連接的新型光掩膜板和驅動模塊，其特征在于：所述的新型光掩膜板從上到下依次包括保護罩、上層透明導電排線、電致變色材料層、下層透明導電排線和襯底；所述的保護罩和襯底之間設有IC接口和導線；所述的驅動模塊是用于驅動上層透明導電排線和下層透明導電排線的驅動模塊。本實用新型的有益效果有：1.多場合使用；2.可反復使用；3.可替換基板；4.環(huán)保，不產生廢液。
【專利說明】一種可控的萬能光罩
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種光罩，尤其是一種可控的萬能光罩。
【背景技術】
[0002]作為在平板顯示器、CRT用蔭罩、印刷線路板、半導體等領域中的光刻工序中使用的光掩膜，現(xiàn)有的光掩膜板主要是鉻掩膜和乳膠掩膜為主。現(xiàn)有技術存在如下問題:1、制造周期長:采用鉻板，每個型號的產品都必須做專門的光罩，生產周期長，不適合現(xiàn)有高節(jié)奏市場需求。2、成本高:光罩在使用過程中如果有劃傷或者其他損壞，極易報廢，替換成本高。
3、一次性:光罩上面的圖案制作完成后就不能再更改。4、不環(huán)保:鉻板制備，廢液污染。
【發(fā)明內容】
[0003]針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供一種利用軟件控制可改變圖案的萬能光罩，以具有以下優(yōu)點:1、多場合使用；2、可反復使用；3、可替換基板；4、環(huán)保，不產生廢液。
[0004]本實用新型的技術方案為:一種可控的萬能光罩，包括新型光掩膜板和驅動模塊，所述的新型光掩膜板與驅動模塊相連接并連接至PC機中的控制系統(tǒng)，所述的新型光掩膜板從上到下依次包括保護罩、上層透明導電排線、電致變色材料層、下層透明導電排線和襯底；所述的保護罩和襯底之間設有IC接口和導線；所述的驅動模塊是驅動上層透明導電排線和下層透明導電排線的模塊。
[0005]所述的保護罩和襯底是高透、低反射、低折射率的蘇打或石英玻璃。
[0006]所述的IC接口和導線是耐酸堿特性的。
[0007]所述的電致變色材料層為50_150nm厚的薄膜。
[0008]所述的透明導電排線是低阻氧化銦錫透明導電膜經紫外激光刻蝕組成。
[0009]本實用新型的有益效果為:1、多場合使用:不用每個產品都制作專用的光罩；2、可反復使用:電致變色材料，圖案通過軟件控制，材料變色可逆，更改程序即可變換圖形。3、可替換基板:劃傷以后跟換基板即可，降低成本。4、環(huán)保:電控顯示，不用蝕刻，不產生廢液。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1為新型光掩膜板的結構示意圖。
[0011]圖2為驅動模塊的示意圖。
[0012]圖中:1——新型光掩膜板、2——驅動模塊、21——保護罩、22——X方向的上層透明導電排線、23——電致變色材料層、24——Y方向的下層透明導電排線、25——襯底、26——IC接口、27——導線、3——PC控制系統(tǒng)。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進一步說明:[0014]如圖1、2所示，一種可控的萬能光罩，包括新型光掩膜板1、驅動模塊2和PC控制系統(tǒng)3，新型光掩膜板I和PC控制系統(tǒng)3通過驅動模塊2相連接；新型光掩膜板I從上到下依次包括保護罩21、X方向的上層透明導電排線22、電致變色材料層23、Y方向的下層透明導電排線24、襯底25 ;保護罩21和襯底25之間設有IC接口 26和導線27 ;驅動模塊2是驅動X方向的上層透明導電排線22和Y方向的下層透明導電排線24的模塊。具體實施時，保護罩21和襯底25是高透、低反射、低折射率的蘇打或石英玻璃；IC接口 26和導線27是耐酸堿特性的；電致變色材料層23是一層IOOnm厚的薄膜；透明導電排線是低阻氧化銦錫透明導電膜經紫外激光刻蝕組成。
[0015]上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理和最佳實施例，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。
【權利要求】
1.一種可控的萬能光罩，包括相互連接的新型光掩膜板和驅動模塊，其特征在于:所述的新型光掩膜板從上到下依次包括保護罩、上層透明導電排線、電致變色材料層、下層透明導電排線和襯底；所述的保護罩和襯底之間設有IC接口和導線；所述的驅動模塊是用于驅動上層透明導電排線和下層透明導電排線的驅動模塊。
2.根據(jù)權利要求1所述的可控的萬能光罩，其特征在于:所述的保護罩和襯底是蘇打玻璃或石英玻璃。
3.根據(jù)權利要求1所述的可控的萬能光罩，其特征在于:所述的電致變色材料層為50-150nm厚的薄膜。
4.根據(jù)權利要求1所述的可控的萬能光罩，其特征在于:所述透明導電排線由氧化銦錫制成。
【文檔編號】G03F7/20GK203720525SQ201420003675
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月5日 優(yōu)先權日:2014年1月5日
【發(fā)明者】余松霖, 林俊杰, 覃秦 申請人:東莞匯海光電科技實業(yè)有限公司