一種波分復用與解復用器制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種波分復用與解復用器制作方法，屬于波分復用【技術領域】，意在提供一種產(chǎn)品部件結構少，產(chǎn)品的損耗小，能均勻實現(xiàn)多個信號光波長的復用和解復用的一種波分復用與解復用器制作方法。采用半導體技術在芯層上制作反射波導光路、濾波波導光路和入射波導光路，并在反射波導光路的反射點處設置濾波缺口，在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉的濾光片，經(jīng)濾波片過濾的分信號光能在濾波波導光路繼續(xù)傳輸，經(jīng)濾波片反射的分信號光能在反射波導光路繼續(xù)傳輸。
【專利說明】—種波分復用與解復用器制作方法

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及波分復用【技術領域】，尤其涉及一種波分復用與解復用器制。

【背景技術】
[0002]隨著數(shù)據(jù)業(yè)務的飛速發(fā)展，網(wǎng)絡融合的速度在加快，城域網(wǎng)正成為當前網(wǎng)絡建設的熱門，而且市場競爭的壓力使得電信運營商對網(wǎng)絡的成本(包括建設成本和運維成本)更加敏感。針對市場的這種需求，城域網(wǎng)的WDM(波分復用)產(chǎn)品應運而生。
[0003]WDM能有效節(jié)省光纖資源和組網(wǎng)成本，它解決了光纖短缺和多業(yè)務透明傳輸兩個問題，主要應用在城域網(wǎng)匯聚和接入層，并且可在短時間建設網(wǎng)絡并開展業(yè)務。
[0004]目前波分復用產(chǎn)品缺點:現(xiàn)在商業(yè)化粗波分復用與解復用器多準直器、輸入輸出端、固定套管等獨立光學器件多次組裝而成，每個器件只能實現(xiàn)單個波長的復用和解復用。產(chǎn)品的損耗大，特別是多通道時，產(chǎn)品的均勻性差，不適用于多通道的復用與解復用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有波分復用產(chǎn)品部件結構多，每個器件只能實現(xiàn)單個波長的復用和解復用，產(chǎn)品的損耗大，特別是多通道時，產(chǎn)品的均勻性差，不適用于多通道的復用與解復用的這些不足，提供一種產(chǎn)品部件結構少，產(chǎn)品的損耗小，能均勻實現(xiàn)多個信號光波長的復用和解復用的一種波分復用與解復用器制作方法。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案:
一種波分復用與解復用器制作方法，包括如下步驟:
(1-1)，制作襯底層、下包層和芯層；
先是采用襯底材料制作上表面為水平面的襯底層，然后采用包層材料在襯底層的上表面上沉積制作上表面為水平面的下包層，再采用芯層材料在下包層的上表面上沉積制作上表面為水平面的芯層；
(1-2)，在芯層上制作波導光路；
(1-2-1)，如果設芯層上輸入的總信號光中包含的分信號光的條數(shù)為N條，N為正整數(shù)，那么波導光路包括N-1條反射波導光路、N-1條濾波波導光路和一條入射波導光路；
(1-2-2)，采用光刻和刻蝕在芯層上設置N-1條反射波導光路，并且N-1條反射波導光路呈“W”字形狀布置，除第一條反射波導光路的后端和最后一條反射波導光路的前端外，其它各條反射波導光路的后端與相鄰后一條反射波導光路的前端連成于一體，其它各條反射波導光路的前端與相鄰前一條反射波導光路的后端連成于一體，從而得到N-1個反射點，并且各個相鄰兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線互相平行；
(1-2-3)，采用光刻和刻蝕在芯層上的第一條反射波導光路的后端設有與第一條反射波導光路的后端連成于一體的入射波導光路，并且入射波導光路與第一條反射波導光路之間的夾角等于第一條反射波導光路與第二條反射波導光路之間的夾角；
(1-2-4)，采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處分別向外設有濾波波導光路； (1-2-5)，采用光刻和刻蝕在芯層上把最后一條反射波導光路的前端在芯層上向外延伸；
(1-3)，制作濾波缺口 ；
采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處設置濾波缺口；
(1-4),安裝濾光片；
在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片濾光片，并且每個濾光片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉，并能讓該處過濾掉的分信號光在對應的濾波波導光路上繼續(xù)傳輸，把其余的分信號光反射到對應的反射波導光路上繼續(xù)傳輸；
(1-5)，制作上包層；
在各個反射波導光路、濾波波導光路、入射波導光路、濾光片以及下包層上通過CVD方法沉積制作上包層；
(1-6)，切割封裝。
[0007]本方案采用半導體技術在芯層上制作波導光路，該波導光路使得產(chǎn)品部件結構少，光在傳輸?shù)倪^程中的損耗小，能均勻實現(xiàn)多個信號光波長的復用和解復用。本方案采用半導體技術在芯層上制作反射波導光路、濾波波導光路和入射波導光路，并在反射波導光路的反射點處設置濾波缺口，在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉的濾光片，經(jīng)濾波片過濾的分信號光能在濾波波導光路繼續(xù)傳輸，經(jīng)濾波片反射的分信號光能在反射波導光路繼續(xù)傳輸。通過本方案制作得到的一種波分復用與解復用器在使用時，假如總信號光包括五條分信號光。當包括五條分信號光的總信號光從入射波導光路射入后，五條分信號光中的一號分信號光經(jīng)第一個濾波片過濾后從濾波波導光路射出；另外的四條分信號光經(jīng)第一個濾光片反射后進入第一條反射波導光路。然后這四條分信號光中的二號分信號光經(jīng)第二個濾波片過濾后從濾波波導光路射出，另外的三條分信號光經(jīng)第二個濾光片反射后進入第二條反射波導光路。然后這三條分信號光中的三號分信號光經(jīng)第三個濾波片過濾后從濾波波導光路射出，另外的兩條分信號光經(jīng)第三個濾光片反射后進入第三條反射波導光路。然后這兩條分信號光中的四號分信號光經(jīng)第四個濾波片過濾后從濾波波導光路射出，另外的一條分信號光經(jīng)第四個濾光片反射后進入最后一條反射波導光路。根據(jù)光的可逆性原理，如果把與濾波片對應的分信號光從對應的濾波片所在的濾波波導光路射入，則各個分信號光最終從入射波導光路射出，從而實現(xiàn)總信號光與分信號光的復用與解復用。
[0008]作為優(yōu)選，還包括如下步驟:
(2-1)，制作輔助凹槽；
在制作完上包層后，采用光刻和刻蝕在上包層上的每條反射波導光路前端的后側方的上包層內(nèi)分別設有一個槽底落在下包層上的輔助凹槽，每個輔助凹槽離對應的反射波導光路的距離為2-6 μ m，每個輔助凹槽離對應處的濾光片的距離為2-16 μ m，每個輔助凹槽的長度為對應濾光片濾除的分信號光半波長的整數(shù)倍；
(2-2)，制作輔助導波；
在每個輔助凹槽內(nèi)通過CVD方法填滿沉積制作輔助導波，輔助導波材料的折射率等于芯層材料的折射率。
[0009]與對應分信號光的半波長的整數(shù)倍的輔助導波會與對應波長的分信號光發(fā)生耦合，該分信號光在該輔助導波出會出現(xiàn)朝該輔助導波方向偏轉一定的角度，使得該處需要濾除的分信號光入射到濾光片上的角度盡量大，分信號光的入射角度越大，反射越小，從濾光片射出的光越多，分信號光的損耗小，分光均勻性更好。波分復用與解復用的效果更好。因為不從該濾光片過濾的其它分信號光由于波長與該輔助導波的長度不是其半波長的整數(shù)倍，因此不從該濾光片過濾的其它分信號光就不會與該輔助導波發(fā)生耦合，其它分信號光還是沿著原有路徑照射到濾波片上并經(jīng)濾波片反射后繼續(xù)傳輸。
[0010]作為優(yōu)選，在步驟(1-4)中，先把濾光片放置在濾波缺口內(nèi)，并使濾波片的反射面與該處兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線垂直，然后用UV紫外固化膠將濾波片固定在濾波缺口內(nèi)。這種結構保證分信號光在反射波導光路中的傳輸路徑與反射波導光路的軸心線平行，傳輸效果較好，損耗較小，進而使得本發(fā)明的復用與解復用效果較佳。
[0011]作為優(yōu)選，在濾波片與濾波波導光路之間的濾波缺口內(nèi)還用UV紫外固化膠固定裝有一面為平面另一面為弧形曲面的凸透鏡，且凸透鏡的平面朝向濾波片布置，凸透鏡的弧形曲面朝向濾波波導光路布置，并且凸透鏡的平面與濾波片平行。凸透鏡與濾光片配合，讓濾除的分信號光在濾波波導光路傳輸?shù)穆窂奖容^集中，從而讓分信號光損耗小，傳輸效果更好。
[0012]一種根據(jù)波分復用與解復用器制作方法制作的一種波分復用與解復用器，
包括襯底層，通過CVD方法在襯底層的上表面上沉積制作下包層，通過CVD方法在下包層的上表面上沉積制作芯層；
采用光刻和刻蝕在芯層上制作波導光路；
如果設芯層上輸入的總信號光中包含的分信號光的條數(shù)為N條，N為正整數(shù)，那么波導光路包括N-1條反射波導光路、N-1條濾波波導光路和一條入射波導光路；
采用光刻和刻蝕在芯層上設置N-1條反射波導光路，并且N-1條反射波導光路呈“W”字形狀布置，除第一條反射波導光路的后端和最后一條反射波導光路的前端外，其它各條反射波導光路的后端與相鄰后一條反射波導光路的前端連成于一體，其它各條反射波導光路的前端與相鄰前一條反射波導光路的后端連成于一體，從而得到N-1個反射點，并且各個相鄰兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線互相平行；
采用光刻和刻蝕在芯層上的第一條反射波導光路的后端設有與第一條反射波導光路的后端連成于一體的入射波導光路，并且入射波導光路與第一條反射波導光路之間的夾角等于第一條反射波導光路與第二條反射波導光路之間的夾角；
采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處分別向外設有濾波波導光路；
采用光刻和刻蝕在芯層上把最后一條反射波導光路的前端在芯層上向外延伸；
采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處設置濾波缺口；
在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片濾光片，并且每個濾光片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉，并能讓該處過濾掉的分信號光在對應的濾波波導光路上繼續(xù)傳輸，把其余的分信號光反射到對應的反射波導光路上繼續(xù)傳輸；
先在各個反射波導光路、濾波波導光路、入射波導光路、濾光片以及下包層上通過CVD方法沉積制作上包層，然后通過封裝技術進行貼蓋板封裝。
[0013]作為優(yōu)選，采用光刻和刻蝕在上包層上的每條反射波導光路前端的后側方的上包層內(nèi)分別設有一個槽底落在下包層上的輔助凹槽，每個輔助凹槽離對應的反射波導光路的距離為2-6 μ m,每個輔助凹槽離對應處的濾光片的距離為2-16 μ m,每個輔助凹槽的長度為對應濾光片濾除的分信號光半波長的整數(shù)倍；
在每個輔助凹槽內(nèi)通過CVD方法填滿沉積制作輔助導波，輔助導波材料的折射率等于芯層材料的折射率。
[0014]作為優(yōu)選，用UV紫外固化膠將濾波片固定在濾波缺口內(nèi)，并且使濾波片的反射面與該處兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線垂直。
[0015]作為優(yōu)選，在濾波片與濾波波導光路之間的濾波缺口內(nèi)還用UV紫外固化膠固定裝有一面為平面另一面為弧形曲面的凸透鏡，且凸透鏡的平面朝向濾波片布置，凸透鏡的弧形曲面朝向濾波波導光路布置，并且凸透鏡的平面與濾波片平行。
[0016]本發(fā)明能夠達到如下效果:
1、本發(fā)明采用半導體技術制造芯層上制作反射波導光路、濾波波導光路和入射波導光路，并在反射波導光路的反射點處設置濾波缺口，在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉的濾光片，經(jīng)濾波片過濾的分信號光能在濾波波導光路繼續(xù)傳輸，經(jīng)濾波片反射的分信號光能在反射波導光路繼續(xù)傳輸。
[0017]2、本發(fā)明通過封裝耦合技術將輸入光纖輸入的總信號光耦合進入入射波導光路，把從濾波波導光路的分信號光I禹合上對應的輸出光纖，把最后一條反射波導光路前端輸出的分信號光也稱合上對應的輸出光纖。從而實現(xiàn)光波長的復用與解復用。
[0018]3、本發(fā)明的產(chǎn)品成本低，集成度高、均勻性好，封裝方便，插入損耗低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是本發(fā)明作襯底層、下包層和芯層的一種位置關系連接結構示意圖。
[0020]圖2是本發(fā)明作襯底層、下包層、波導光路和上包層的一種剖面連接結構示意圖。
[0021]圖3是本發(fā)明采用光刻和刻蝕在芯層上制作出波導光路后的一種俯視連接結構示意圖，其中波導光路包括:入射波導光路、反射波導光路和濾波波導光路。
[0022]圖4是在圖3的基礎上，在波導光路上制作出濾波缺口后的一種俯視連接結構示意圖。
[0023]圖5是在圖4的基礎上，在濾波缺口中安裝好濾波片后的一種俯視連接結構示意圖。
[0024]圖6是總信號光從圖5所示的波導光路上輸入，除其中一條分信號光從最后一條反射波導光路傳輸出去外，其它的給條分信號光分別從對應的濾波波導光路傳輸出去的一種俯視連接結構示意圖。
[0025]圖7是在圖5的基礎上制作有輔助導波后的一種俯視連接結構示意圖。
[0026]圖8是總信號光從圖7所示的波導光路上輸入，除其中一條分信號光從最后一條反射波導光路傳輸出去外，其它的給條分信號光分別從對應的濾波波導光路傳輸出去的一種俯視連接結構示意圖。
[0027]圖9是在制作完上包層后，采用光刻和刻蝕在上包層上的每條反射波導光路前端的后側方的上包層內(nèi)分別設有一個槽底落在下包層上的輔助凹槽的一種截面連接結構示意圖。
[0028]圖10是在圖9的每個輔助凹槽內(nèi)通過CVD方法填滿沉積制作出輔助導波后的一種截面連接結構示意圖。
[0029]圖11是在圖5的基礎上制作有凸透鏡后的一種俯視連接結構示意圖。
[0030]圖12是總信號光從圖11所示的波導光路上輸入，除其中一條分信號光從最后一條反射波導光路傳輸出去外，其它的給條分信號光分別從對應的濾波波導光路傳輸出去的一種俯視連接結構示意圖。
[0031]圖中:入射波導光路I，反射波導光路2，二號分信號光3，濾波波導光路4，下包層5,濾波缺口 6,濾光片7,輔助導波8,凸透鏡9,上包層10,襯底層11,芯層12,總信號光13,分信號光14,輔助凹槽15,第一條反射波導光路21,第二條反射波導光路22,第三條反射波導光路23，最后一條反射波導光路24，濾波波導光路41，濾波波導光路42，濾波波導光路43，濾波波導光路44。

【具體實施方式】
[0032]下面通過實施例，并結合附圖，對本發(fā)明的技術實例作進一步具體的說明。
[0033]實例1:一種波分復用與解復用器制作方法，參見圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6所示，包括如下步驟:
步驟(1-1)，制作襯底層11、下包層5和芯層12 ；
先是采用襯底材料制作上表面為水平面的襯底層，然后采用包層材料在襯底層的上表面上沉積制作上表面為水平面的下包層，再采用芯層材料在下包層的上表面上沉積制作上表面為水平面的芯層。
[0034]步驟(1-2)，在芯層上制作波導光路；
步驟(1-2-1)，如果設芯層上輸入的總信號光13中包含的分信號光3的條數(shù)為N條，N為正整數(shù)，那么波導光路包括N-1條反射波導光路2、N-1條濾波波導光路4和一條入射波導光路I ;
步驟(1-2-2)，采用光刻和刻蝕在芯層上設置N-1條反射波導光路，并且N-1條反射波導光路呈“W”字形狀布置，除第一條反射波導光路21的后端和最后一條反射波導光路24的前端外，其它各條反射波導光路的后端與相鄰后一條反射波導光路的前端連成于一體，其它各條反射波導光路的前端與相鄰前一條反射波導光路的后端連成于一體，從而得到N-1個反射點，并且各個相鄰兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線互相平行；
步驟(1-2-3)，采用光刻和刻蝕在芯層上的第一條反射波導光路的后端設有與第一條反射波導光路的后端連成于一體的入射波導光路，并且入射波導光路與第一條反射波導光路之間的夾角等于第一條反射波導光路與第二條反射波導光路之間的夾角；
步驟(1-2-4)，采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處分別向外設有濾波波導光路
4 ；
步驟(1-2-5)，采用光刻和刻蝕在芯層上把最后一條反射波導光路的前端在芯層上向外延伸；
步驟(1-3)，制作濾波缺口 6 ；
采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處設置濾波缺口；
步驟(1-4)，安裝濾光片7 ；
在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片濾光片，并且每個濾光片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉，并能讓該處過濾掉的分信號光在對應的濾波波導光路上繼續(xù)傳輸，把其余的分信號光反射到對應的反射波導光路上繼續(xù)傳輸；
步驟(1-5)，制作上包層10 ；
在各個反射波導光路、濾波波導光路、入射波導光路、濾光片以及下包層上通過CVD方法沉積制作上包層；
步驟(1-6)，切割封裝。
[0035]采用實例I的方案所制作出的一種波分復用與解復用器，包括襯底層，通過CVD方法在襯底層的上表面上沉積制作下包層，通過CVD方法在下包層的上表面上沉積制作芯層；采用光刻和刻蝕在芯層上制作波導光路，如果設芯層上輸入的總信號光中包含的分信號光的條數(shù)為N條，N為正整數(shù)，那么波導光路包括N-1條反射波導光路、N-1條濾波波導光路和一條入射波導光路；采用光刻和刻蝕在芯層上設置N-1條反射波導光路，并且N-1條反射波導光路呈“W”字形狀布置，除第一條反射波導光路的后端和最后一條反射波導光路的前端外，其它各條反射波導光路的后端與相鄰后一條反射波導光路的前端連成于一體，其它各條反射波導光路的前端與相鄰前一條反射波導光路的后端連成于一體，從而得到N-1個反射點，并且各個相鄰兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線互相平行；采用光刻和刻蝕在芯層上的第一條反射波導光路的后端設有與第一條反射波導光路的后端連成于一體的入射波導光路，并且入射波導光路與第一條反射波導光路之間的夾角等于第一條反射波導光路與第二條反射波導光路之間的夾角；采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處分別向外設有濾波波導光路；采用光刻和刻蝕在芯層上把最后一條反射波導光路的前端在芯層上向外延伸；采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處設置濾波缺口 ；在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片濾光片，并且每個濾光片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉，并能讓該處過濾掉的分信號光在對應的濾波波導光路上繼續(xù)傳輸，把其余的分信號光反射到對應的反射波導光路上繼續(xù)傳輸；
先在各個反射波導光路、濾波波導光路、入射波導光路、濾光片以及下包層上通過CVD方法沉積制作上包層，然后通過封裝技術進行貼蓋板封裝。
[0036]實例I采用半導體技術在芯層上制作波導光路，該波導光路使得產(chǎn)品部件結構少，光在傳輸?shù)倪^程中的損耗小，能均勻實現(xiàn)多個信號光波長的復用和解復用。實例I采用半導體技術在芯層上制作反射波導光路、濾波波導光路和入射波導光路，并在反射波導光路的反射點處設置濾波缺口，在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉的濾光片，經(jīng)濾波片過濾的分信號光能在濾波波導光路繼續(xù)傳輸，經(jīng)濾波片反射的分信號光能在反射波導光路繼續(xù)傳輸。通過實例I制作得到的一種波分復用與解復用器在使用時，假如總信號光13包括五條分信號光。當包括五條分信號光14的總信號光13從入射波導光路I射入后，五條分信號光中的一號分信號光經(jīng)第一個濾波片過濾后從濾波波導光路41射出；另外的四條分信號光經(jīng)第一個濾光片反射后進入第一條反射波導光路21。然后這四條分信號光中的二號分信號光3經(jīng)第二個濾波片過濾后從濾波波導光路42射出，另外的三條分信號光經(jīng)第二個濾光片反射后進入第二條反射波導光路22。然后這三條分信號光中的三號分信號光經(jīng)第三個濾波片過濾后從濾波波導光路43射出，另外的兩條分信號光經(jīng)第三個濾光片反射后進入第三條反射波導光路23。然后這兩條分信號光中的四號分信號光經(jīng)第四個濾波片過濾后從濾波波導光路44射出，另外的一條分信號光經(jīng)第四個濾光片反射后進入最后一條反射波導光路24。根據(jù)光的可逆性原理，如果把與濾波片對應的分信號光從對應的濾波片所在的濾波波導光路射入，則各個分信號光最終從入射波導光路射出，從而實現(xiàn)總信號光與分信號光的復用與解復用。
[0037]實例2:—種波分復用與解復用器制作方法，參見圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖7、圖8、圖9、圖10所示,實例2與實例I的不同在于,還括如下步驟:
步驟(2-1)，制作輔助凹槽15 ；
在制作完上包層后，采用光刻和刻蝕在上包層上的每條反射波導光路前端的后側方的上包層內(nèi)分別設有一個槽底落在下包層上的輔助凹槽，每個輔助凹槽離對應的反射波導光路的距離為2-6 μ m，每個輔助凹槽離對應處的濾光片的距離為2-16 μ m，每個輔助凹槽的長度為對應濾光片濾除的分信號光半波長的整數(shù)倍；
步驟(2-2)，制作輔助導波；
在每個輔助凹槽內(nèi)通過CVD方法填滿沉積制作輔助導波8，輔助導波材料的折射率等于芯層材料的折射率。
[0038]與實例2對應的一種波分復用與解復用器和實例I的一種波分復用與解復用器不同在于，還采用光刻和刻蝕在上包層上的每條反射波導光路前端的后側方的上包層內(nèi)分別設有一個槽底落在下包層上的輔助凹槽，每個輔助凹槽離對應的反射波導光路的距離為
2-6 μ m,每個輔助凹槽離對應處的濾光片的距離為2-16 μ m,每個輔助凹槽的長度為對應濾光片濾除的分信號光半波長的整數(shù)倍；在每個輔助凹槽內(nèi)通過CVD方法填滿沉積制作輔助導波，輔助導波材料的折射率等于芯層材料的折射率。
[0039]實例2不僅能夠實現(xiàn)實例I的全部功能，而且與對應分信號光半波長的整數(shù)倍的輔助導波會與對應波長的分信號光發(fā)生耦合，該分信號光在該輔助導波出會出現(xiàn)朝該輔助導波方向偏轉一定的角度，使得該處需要濾除的分信號光入射到濾光片上的角度盡量大，分信號光的入射角度越大，反射越小，從濾光片射出的光越多，分信號光的損耗小，分光均勻性更好。波分復用與解復用的效果更好。因為不從該濾光片過濾的其它分信號光由于波長與該輔助導波的長度不是其半波長的整數(shù)倍，因此不從該濾光片過濾的其它分信號光就不會與該輔助導波發(fā)生耦合，其它分信號光還是沿著原有路徑照射到濾波片上并經(jīng)濾波片反射后繼續(xù)傳輸。
[0040]實例3:—種波分復用與解復用器制作方法，參見圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖11、圖12所示，實例3與實例I的不同在于，還括如下步驟:
在步驟(1-4)中，先把濾光片放置在濾波缺口內(nèi)，并使濾波片的反射面與該處兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線垂直，然后用UV紫外固化膠將濾波片固定在濾波缺口內(nèi)。在濾波片與濾波波導光路之間的濾波缺口內(nèi)還用UV紫外固化膠固定裝有一面為平面另一面為弧形曲面的凸透鏡9，且凸透鏡的平面朝向濾波片布置，凸透鏡的弧形曲面朝向濾波波導光路布置，并且凸透鏡的平面與濾波片平行。
[0041]與實例3對應的一種波分復用與解復用器和實例I的一種波分復用與解復用器不同在于，采用UV紫外固化膠將濾波片固定在濾波缺口內(nèi)，并且使濾波片的反射面與該處兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線垂直。在濾波片與濾波波導光路之間的濾波缺口內(nèi)還用UV紫外固化膠固定裝有一面為平面另一面為弧形曲面的凸透鏡，且凸透鏡的平面朝向濾波片布置，凸透鏡的弧形曲面朝向濾波波導光路布置，并且凸透鏡的平面與濾波片平行。
[0042]實例3不僅能夠實現(xiàn)實例I的全部功能，而且這種結構制造簡單，可靠性高，便于對濾波片進行調節(jié)，能保證分信號光在反射波導光路中的傳輸路徑與反射波導光路的軸心線平行，傳輸效果較好，損耗較小，進而使得本發(fā)明的復用與解復用效果較佳。凸透鏡與濾光片配合，讓濾除的分信號光在濾波波導光路傳輸?shù)穆窂奖容^集中，從而讓分信號光損耗小，傳輸效果更好。
[0043]上面結合附圖描述了本發(fā)明的實施方式，但實現(xiàn)時不受上述實施例限制，本領域普通技術人員可以在所附權利要求的范圍內(nèi)做出各種變化或修改。
【權利要求】
1.一種波分復用與解復用器制作方法，其特征在于，包括如下步驟: (1-1)制作襯底層(11)、下包層(5)和芯層(12)； 先是采用襯底材料制作上表面為水平面的襯底層，然后采用包層材料在襯底層的上表面上沉積制作上表面為水平面的下包層，再采用芯層材料在下包層的上表面上沉積制作上表面為水平面的芯層； (1-2)在芯層上制作波導光路； (1-2-1)如果設芯層上輸入的總信號光(13)中包含的分信號光(14)的條數(shù)為N條，N為正整數(shù)，那么波導光路包括N-1條反射波導光路(2)、N-1條濾波波導光路(4)和一條入射波導光路(I)； (1-2-2)采用光刻和刻蝕在芯層上設置N-1條反射波導光路，并且N-1條反射波導光路呈“W”字形狀布置，除第一條反射波導光路(21)的后端和最后一條反射波導光路(24)的前端外，其它各條反射波導光路的后端與相鄰后一條反射波導光路的前端連成于一體，其它各條反射波導光路的前端與相鄰前一條反射波導光路的后端連成于一體，從而得到N-1個反射點，并且各個相鄰兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線互相平行； (1-2-3)采用光刻和刻蝕在芯層上的第一條反射波導光路的后端設有與第一條反射波導光路的后端連成于一體的入射波導光路，并且入射波導光路與第一條反射波導光路之間的夾角等于第一條反射波導光路與第二條反射波導光路之間的夾角； (1-2-4)采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處分別向外設有濾波波導光路(4)； (1-2-5)采用光刻和刻蝕在芯層上把最后一條反射波導光路的前端在芯層上向外延伸； (1-3)制作濾波缺口(6)； 采用光刻和刻蝕在芯層上的每個反射點處設置濾波缺口； (1-4)安裝濾光片(7)； 在每個濾波缺口內(nèi)安裝一片濾光片，并且每個濾光片能把照射到該濾光片上的其中一條分信號光過濾掉，并能讓該處過濾掉的分信號光在對應的濾波波導光路上繼續(xù)傳輸，把其余的分信號光反射到對應的反射波導光路上繼續(xù)傳輸； (1-5)制作上包層(10)； 在各個反射波導光路、濾波波導光路、入射波導光路、濾光片以及下包層上通過CVD方法沉積制作上包層； (1-6)切割封裝。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種波分復用與解復用器制作方法，其特征在于，還包括如下步驟: (2-1)制作輔助凹槽(15)； 在制作完上包層后，采用光刻和刻蝕在上包層上的每條反射波導光路前端的后側方的上包層內(nèi)分別設有一個槽底落在下包層上的輔助凹槽，每個輔助凹槽離對應的反射波導光路的距離為2-6 μ m，每個輔助凹槽離對應處的濾光片的距離為2-16 μ m，每個輔助凹槽的長度為對應濾光片濾除的分信號光半波長的整數(shù)倍； (2-2)制作輔助導波； 在每個輔助凹槽內(nèi)通過CVD方法填滿沉積制作輔助導波(8)，輔助導波材料的折射率等于芯層材料的折射率。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種波分復用與解復用器制作方法，其特征在于，在步驟(1-4)中，先把濾光片放置在濾波缺口內(nèi)，并使濾波片的反射面與該處兩條反射波導光路之間的夾角的角平分線垂直，然后用UV紫外固化膠將濾波片固定在濾波缺口內(nèi)。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種波分復用與解復用器制作方法，其特征在于，在濾波片與濾波波導光路之間的濾波缺口內(nèi)還用UV紫外固化膠固定裝有一面為平面另一面為弧形曲面的凸透鏡(9)，且凸透鏡的平面朝向濾波片布置，凸透鏡的弧形曲面朝向濾波波導光路布置，并且凸透鏡的平面與濾波片平。
【文檔編號】G02B6/13GK104459884SQ201410764025
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月12日 優(yōu)先權日:2014年12月12日
【發(fā)明者】胡翱翔, 金興弟 申請人:寧波天翔通訊設備有限公司