帶編碼光罩子版制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種帶編碼光罩子版制造方法，該方法包括以下步驟：提供光罩母版，在母版上形成光罩圖案；在透光片上制作條碼，將透光片置于光罩母版非圖案的邊緣，并使條碼面對光罩母版；選取具有光刻膠層的子版版材，將光罩母版置于子版版材上，并使光罩圖案面對于光刻膠層；將放置好的透光片、光罩母版及子版版材進行曝光，顯影，蝕刻，在子版版材上形成所需編碼，制得所需光罩子版。該方法借助透光片，將透光片上的條碼轉(zhuǎn)移到光罩子版，對光罩子版進行編碼，便于區(qū)分和管理，產(chǎn)品安全性和可操作性得到極大的提升。
【專利說明】帶編碼光罩子版制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光罩【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種帶編碼光罩子版制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著現(xiàn)如今電子產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，光罩應(yīng)用也隨之擴大，目前光罩在TP、LED、IC等制造行業(yè)中應(yīng)用廣泛，也是各行業(yè)必不可少的重要模具之一。傳統(tǒng)的光罩制作過程如下:在以蘇打玻璃或石英玻璃為基材，在其表面上鍍一層鉻(Cr)層形成遮光層，再在鉻層上面鍍一層氧化鉻層，最后在氧化鉻層表面涂覆一層感光膠；使用軟件控制曝光裝置對其進行電子束曝光或激光曝光；再通過化學(xué)反應(yīng)，即通過化學(xué)藥液對感光膠及部分鉻層去除從而形成設(shè)計者所需的圖形圖案，將圖形圖案鉻印在玻璃基版上即成為光罩。
[0003]光罩又分為光刻板和子版，光刻板是指通過電子束光刻或激光光刻所制作出來的光罩，其優(yōu)點在于圖形圖案可以通過設(shè)計者隨意變化，但制作的時間較長。子版是指通過光源將光刻板的圖形圖案復(fù)制到另外一張版上所形成的光罩。其優(yōu)點在于制作時間非常短，但圖形圖案較單一，只能與提供的光刻板上的圖形圖案一模一樣，且效果相反。
[0004]一般光罩上所鉻印的圖形圖案大小為微米或納米級別，在光罩較多時，特別是圖形圖案都一模一樣時，肉眼一般第一時間很難準確分辨并找出那個光罩是自己所需的，為了快速的分辨光罩，我們會在制作光罩時，通過電子束光刻或激光光刻方式，在光罩邊緣加一些由漢字和英文字母組成的文件名，或在光罩邊緣加一些條碼,英文為Bar code，記錄光罩所運用的領(lǐng)域和制作時間等信息，以便于區(qū)分光罩。但在子版制作時，一張光刻版(后面稱之為母版)最多可以復(fù)制100多張子版，因子版的圖形圖案及文件名都是一模一樣的，使用者很難有效地區(qū)分，在產(chǎn)線上也就會或多或少的帶來一些麻煩。因為技術(shù)方面的限制，在制作子版時，傳統(tǒng)的方法有:1、不添加條碼，此方法不能有效地區(qū)分子版；2、通過手寫的方式，在子版光刻后顯影前用尖銳的鐵針在子版邊緣寫上編碼，以便區(qū)分。手寫方法能夠?qū)崿F(xiàn)區(qū)分子版的目的，但存在一些不足，如顯影前因不能有效地區(qū)分圖形區(qū)和非圖形區(qū)，手寫編碼時很容易將編碼寫到圖形區(qū)內(nèi)，導(dǎo)致報廢。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，提供一種安全性高、操作性強的帶編碼光罩子版制造方法，以方便區(qū)分和管理光罩子版。
[0006]一種帶編碼光罩子版制造方法，其包括如下步驟:
提供光罩母版，在母版上形成光罩圖案；
在一個透光片上制作條碼，將透光片置于光罩母版非圖案的邊緣，并使條碼面對光罩母版；
選取具有光刻膠層的子版版材，將光罩母版置于子版版材上，并使光罩圖案面對于光刻膠層；
將放置好的透光片、光罩母版及子版版材進行曝光，顯影，蝕刻，在子版版材上形成所需編碼，制得所需光罩子版。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述帶編碼光罩子版制造方法至少具有以下益處:
1.通過上述方法給子板添加編碼，方便了在子板圖形圖案和文件名相同時，更有效的進行區(qū)分；
2.通過上述方法給子板添加編碼，安全性高，避免了子板的報廢；
3.通過上述方法添加的編碼較清晰、美觀，且可通過掃碼器進行掃碼記錄，更方便使用者進行統(tǒng)一區(qū)分和管理；
4.透光片的條碼可以根據(jù)需要任意設(shè)置，而且，可通過更換透光片的方法來更換子版編碼，從而制作不同編碼的光罩子版，極大地提升了子版編碼化的操作性，避免了傳統(tǒng)工藝的繁瑣與復(fù)雜。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本發(fā)明實施例提供的帶編碼光罩子版制造方法流程結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0009]以下將結(jié)合具體實施例和附圖對本發(fā)明進行詳細說明。
[0010]本發(fā)明實施例的帶編碼光罩子版制造方法借助透光片，將透光片上的條碼轉(zhuǎn)移到光罩子版，對光罩子版進行編碼，便于區(qū)分和管理。以下結(jié)合圖1說明該方法，具體包括如下步驟:
501:提供光罩母版10，在母版10上形成光罩圖案11 ；
502:在一個透光片20上制作條碼，將透光片20置于光罩母版10非圖案的邊緣，并使條碼面對光罩母版10 ；
503:選取具有光刻膠層33的子版版材30，將光罩母版10置于子版版材30上；
504:將放置好的透光片20、光罩母版10及子版版材30進行曝光，顯影，蝕刻，在子版版材30形成所需編碼12，制得所需光罩子版10a。
[0011]如圖所示，光罩母版10可以是預(yù)先準備好或制作好的。具體制作時，先用光刻機光刻一張光罩，光罩圖形圖案與所需光罩母版的圖形圖案相反，大小與所需光罩母版大小也一樣。。作為不例，本實施例中光罩母版10長度和寬度為127mm,為一個方形光罩,厚度為5寸。光罩母版10的圖形圖案11以簡單的“十”字形為例。當然，可以理解的是，以上結(jié)構(gòu)尺寸和圖案只是示例，實際應(yīng)用時根據(jù)需要而設(shè)計和制作。
[0012]步驟S02中，透光片優(yōu)選為銀鹽感光膠片，例如，可以是由PC、PP、PET或PVC等制作而成。透光片20長度寬于光罩母版10或子版版材30約6-10 mm。本實施例中，透光片20長度為137mm，寬度根據(jù)需要而定，以能寫上條碼，能置于光罩母版10非圖案邊緣就可以。本實施例中透光片20的寬度以1mm為例，透光片20置于光罩母版10非膜面邊緣，即圖中所示沒有圖案的一面的邊緣，當然也可以放在有圖案一面的邊緣，以不影響光罩母版10的圖案轉(zhuǎn)移到子版為好。條碼22優(yōu)選為數(shù)字編碼、字母編碼或數(shù)字與字母組合編碼或條形碼，本實施例優(yōu)選為條形碼，以便通過機器識別，方便管理。透光片20的透光率在80%以上，厚度為0.1-0.8mm，優(yōu)選為菲林片，而附著在透光片20上的條碼22為不可透光的。另夕卜，透光片20上的條碼22也可以背對光罩母版10。
[0013]透光片20的條碼22的制作效果與所需光罩子版30編碼制作效果相反，例如，當所需光罩子版30編碼的制作效果為膜面字正黑，透光片20的條碼22效果為膜面字反黑；當所需光罩子版30編碼的制作效果為膜面字反白，透光片20的條碼22效果為膜面字正白。條碼22所在位置視所需光罩子版30編碼所在位置而定，一般為邊緣居中。如圖所示，放置時，透光片20長邊方向兩端分別突出于光罩母版10或子版版材30約3-8 mm，本實施例以兩邊各突出5mm為例。
[0014]如圖所示，子版版材30預(yù)先形成有光刻膠層33，子版版材30具有基底31和基底
31上的鍍膜層32。子版版材30優(yōu)選為鉻版，即鍍膜層32為鉻層32?；?1優(yōu)選為玻璃基板，如蘇打玻璃或石英玻璃。子版版材30大小與所需光罩子版大小相同，可放置于最下層，光罩母版10置于子版版材30之上，且使光罩圖案11面對于光刻膠層33。光罩母版10和子版版材30尺寸相同。
[0015]其中，步驟S02和S03之間操作可以是同時進行，或者不分先后地進行。而且，透光片20的條碼22和子版版材30都可以各自預(yù)先做好，然后再與光罩母版10疊放好，疊放次序優(yōu)選為子版版材30在最下層，接著放光罩圖案11，再將透光片20疊放于光罩圖案11邊緣下方。即，透光片20和子版版材30分別以層疊方式設(shè)于光罩母版10沿曝光光線方向上的兩側(cè)。
[0016]在放置好子版版材30、光罩母版10和透光片20后，用汞燈進行曝光，然后進行顯影，蝕刻等處理，即得到所需的光罩子版10a，如圖所示，光罩子版1a具有與光罩母版10對應(yīng)的圖案11以及所設(shè)計的編碼22。
[0017]需要說明的是，本發(fā)明并不局限于上述實施方式，根據(jù)本發(fā)明的創(chuàng)造精神，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可以做出其他變化，這些依據(jù)本發(fā)明的創(chuàng)造精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種帶編碼光罩子版制造方法，其包括如下步驟: 提供光罩母版，在母版上形成光罩圖案； 在一個透光片上制作條碼，將透光片置于光罩母版非圖案的邊緣； 選取具有光刻膠層的子版版材，將光罩母版置于子版版材上，并使光罩圖案面對于光刻膠層； 將放置好的透光片、光罩母版及子版版材進行曝光，顯影，蝕刻，在子版版材上形成所需編碼，制得所需光罩子版。
2.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片長度寬于光罩母版或子版版材6-10mm。
3.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片長邊方向兩端分別突出于光罩母版或子版版材3-8mm。
4.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片放置時使條碼面對光罩母版，所述透光片制作的條碼圖案與所需光罩子版的編碼圖案相反。
5.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片的透光率在80%以上，所述透光片的厚度為0.1-0.8mm。
6.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述子版版材包括基底、基底上的鉻層，所述光刻膠層形成于所述鉻層上。
7.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述條碼為數(shù)字編碼、字母編碼或數(shù)字與字母組合編碼或條形碼。
8.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片制作條碼及其放置于光罩母版的步驟與選取具有光刻膠層的子版版材及其放置于光罩母版的步驟同時進行或不分先后地進行。
9.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述曝光光源為汞燈，所述透光片為菲林片。
10.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片和子版版材分別以層疊方式設(shè)于光罩母版沿曝光光線方向上的兩側(cè)。
【文檔編號】G03F7/20GK104460239SQ201410648593
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月14日
【發(fā)明者】杜武兵, 馮俊, 林偉 申請人:深圳市路維光電股份有限公司