一種消除半波孔的短波通濾光片的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于薄膜光學(xué)領(lǐng)域，具體涉及一種消除半波孔的短波通濾光片，主要針對短波通濾光片中影響半波孔的一個關(guān)鍵因素——材料非均質(zhì)性。膜系設(shè)計(jì)包含兩部分：薄膜周期結(jié)構(gòu)和與基板和空氣的導(dǎo)納匹配層。薄膜由H和L組成，H，L分別表示光學(xué)厚度為1/4參考波長的高、低折射率膜層。膜系基本周期結(jié)構(gòu)為（0.5LH0.5LHL），周期為N，參考波長為高反射帶中心波長。采用常規(guī)薄膜設(shè)計(jì)軟件，在基板與薄膜周期結(jié)構(gòu)之間，空氣與薄膜周期結(jié)構(gòu)之間分別添加匹配層，得到消除半波孔的膜系設(shè)計(jì)。該發(fā)明將薄膜基本周期結(jié)構(gòu)的導(dǎo)納誤差降到近似為零，該發(fā)明直接針對半波孔進(jìn)行設(shè)計(jì)和優(yōu)化，不再回避半波孔，具有理想的透射帶寬。該發(fā)明具有針對性強(qiáng)、品質(zhì)高、簡單易行的特點(diǎn)。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于光學(xué)薄膜領(lǐng)域，具體涉及一種消除半波孔的短波通濾光片。 一種消除半波孔的短波通濾光片

【背景技術(shù)】
[0002] 在光學(xué)薄膜中，短波通截止濾光片是經(jīng)常用到的一種膜系，它要求在長波截 止，短波透過；它的基本周期結(jié)構(gòu)為（0.5L H 0.5L)，其中H、L分別表示光學(xué)厚度為1 /4 參考波長的高、低折射率膜層。在短波通濾光片的實(shí)際制備中往往會在通帶區(qū)域，即反射 帶中心波長的一半處出現(xiàn)一個反射峰，我們稱之為半波孔，也有稱它為濾光片的半波跌落。 它的出現(xiàn)極大地影響了短波通濾光片的光，譜性能，甚至可能根本無法使用。
[0003] 對于產(chǎn)生半波孔的原因，國內(nèi)外許多專家學(xué)者進(jìn)行了廣泛研究。普遍認(rèn)為薄膜 折射率的非均質(zhì)性是造成短波通半波孔的一個重要原因。對于常規(guī)的薄膜設(shè)計(jì)軟件，其設(shè) 計(jì)參數(shù)主要包含折射率和膜層厚度等，但不包含折射率非均質(zhì)性，因此，在設(shè)計(jì)薄膜時，無 法解決由折射率非均質(zhì)性引起的半波孔問題，也因此無法制備出消除半波孔的短波通濾光 片。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明利用常規(guī)薄膜設(shè)計(jì)軟件，提供了一種可消除半波孔的簡單設(shè)計(jì)方法，由此 可制備出消除半波孔的短波通濾光片。
[0005] 本發(fā)明提出的消除半波孔的短波通濾光片，所述濾光片包括基板、薄膜周期結(jié)構(gòu) 和導(dǎo)納匹配層，所述薄膜周期結(jié)構(gòu)為0. 5LH0. 5LHL，周期為N，參考波長為高反射帶中心波 長，其中：Η，L分別表示光學(xué)厚度為1 /4參考波長的高、低折射率膜層；采用常規(guī)薄膜設(shè) 計(jì)軟件，在基板與薄膜周期結(jié)構(gòu)之間，空氣與薄膜周期結(jié)構(gòu)之間分別添加匹配層；基本周 期的總厚度為參考波長的一個波長光學(xué)厚度。
[0006] 對于HO. 5LH，設(shè)高折射率材料Η、低折射率材料L和基板在半波處的折射率分別為 /V，和&，則新結(jié)構(gòu)導(dǎo)納為：

【權(quán)利要求】
1. 一種消除半波孔的短波通濾光片，其特征在于所述濾光片包括基板、薄膜周期結(jié)構(gòu) 和導(dǎo)納匹配層，所述薄膜基本周期結(jié)構(gòu)為0. 5LH0. 5LHL，周期為N，參考波長為高反射帶中 心波長，其中：Η，L分別表示光學(xué)厚度為1 /4參考波長的高、低折射率膜層；采用常規(guī)薄 膜設(shè)計(jì)軟件，在基板與薄膜周期結(jié)構(gòu)之間，空氣與薄膜周期結(jié)構(gòu)之間分別添加匹配層；基本 周期的總厚度為參考波長的一個波長光學(xué)厚度。
【文檔編號】G02B5/28GK104101932SQ201410336342
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月16日
【發(fā)明者】焦宏飛, 趙陽, 鮑剛?cè)A, 程鑫彬, 王占山 申請人:同濟(jì)大學(xué)