Tft液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法及tft液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，是TFT液晶面板(4，400)的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其具有：阻抗設(shè)定步驟(步驟S1、步驟S11、步驟S12)，將所述TFT液晶面板(4，400)的TFT(4A，400A)的源極(42A，420A)-漏極(43A，430A)間的阻抗值設(shè)定為規(guī)定值以下的值；電壓施加步驟(步驟S2、步驟S13)，對(duì)所述TFT液晶面板(4，400)的液晶層(4B、400B)施加周期性地變化的電壓；物理性質(zhì)測(cè)量步驟(步驟S3、步驟S4、步驟S14、步驟S15)，測(cè)量在利用所述電壓施加步驟(步驟S2、步驟S13)施加了所述周期性地變化的電壓的所述液晶層(4B、400B)中流過的過渡電流，測(cè)量所述液晶層(4B、400B)的物理性質(zhì)。
【專利說明】TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法及TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置
[0001]本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?00880003082.8，國(guó)際申請(qǐng)日為2008年I月16日，發(fā)明名稱為“TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法及TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置”的PCT申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及TFT液晶面板的物理性質(zhì)(physical property)測(cè)量方法以及TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置。

【背景技術(shù)】
[0003]以往，就TFT (薄膜晶體管)液晶面板而言，在其電路構(gòu)成方面，很難測(cè)量該TFT液晶面板中的液晶層的各種物理性質(zhì)。所以，對(duì)于液晶層中所含的雜質(zhì)離子的離子密度測(cè)量或電壓保持率等各種物理性質(zhì)的測(cè)量，通常來說是在具有TFT的實(shí)際的產(chǎn)品(TFT液晶面板)之外，另行制作不具有TFT的測(cè)試用液晶單元，使用該測(cè)試用液晶單元的材料評(píng)價(jià)來替代。
[0004]但是，利用測(cè)試用液晶單元中的各種物理性質(zhì)測(cè)量得到的測(cè)量結(jié)果當(dāng)然與作為實(shí)際產(chǎn)品的TFT液晶面板中的各種物理性質(zhì)不同。另外，還會(huì)產(chǎn)生在實(shí)際的產(chǎn)品之外另行制作測(cè)試用液晶單元的額外的成本。此外，自不用說無法測(cè)量實(shí)際的產(chǎn)品的各種物理性質(zhì)，同時(shí)也無法測(cè)量可以在實(shí)際的產(chǎn)品中產(chǎn)生的次品的各種物理性質(zhì)。
[0005]根據(jù)此種情況，作為用于測(cè)量TFT液晶面板的電壓保持率的技術(shù)，例如在日本特開2001-264805號(hào)公報(bào)中公開有如下所不的技術(shù)。
[0006]S卩，根據(jù)日本特開2001-264805號(hào)公報(bào)中所公開的技術(shù)，在TFT的驅(qū)動(dòng)時(shí)測(cè)量液晶面板的透過光強(qiáng)度的時(shí)間變化，使用電壓-透過率特性曲線，將上述所測(cè)量出的透過光強(qiáng)度換算為電壓，求出上述電壓伴隨著上述透過光強(qiáng)度的時(shí)間變化的衰減值，求出TFT液晶面板的電壓保持率。
[0007]但是，日本特開2001-264805號(hào)公報(bào)中所公開的TFT液晶面板的電壓保持率測(cè)量方法由于是使用了光學(xué)的手法的測(cè)量方法，因此其精密度當(dāng)然要劣于利用電氣手法的測(cè)量方法。
[0008]但是，在TFT液晶面板中，在其制造過程中，在該TFT液晶面板的液晶注入口附近會(huì)不規(guī)則地產(chǎn)生在本領(lǐng)域技術(shù)人員中稱作注入口污染的不良區(qū)域。因此，希望有可以僅對(duì)TFT液晶面板中的期望的區(qū)域(像素)的液晶層進(jìn)行物理性質(zhì)測(cè)量的技術(shù)。根據(jù)此種技術(shù)，不僅可以發(fā)現(xiàn)上述注入口污染的發(fā)生區(qū)域，而且還可以發(fā)現(xiàn)該TFT液晶面板中故障等涉及的區(qū)域。
[0009]但是，尚未提出過可以測(cè)量TFT液晶面板的期望的區(qū)域(像素)的液晶層的物理性質(zhì)的技術(shù)，日本特開2001-264805號(hào)公報(bào)中所公開的技術(shù)當(dāng)然也并非此種技術(shù)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明是鑒于如上所述的情況而做出的，其目的在于，提供一種TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，可以對(duì)每個(gè)期望的區(qū)域(像素)利用電氣手法精密地測(cè)量能夠作為實(shí)際的產(chǎn)品使用的TFT液晶面板的液晶層的各種物理性質(zhì)。
[0011]本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于，
[0012]具有:
[0013]阻抗設(shè)定步驟，將上述TFT液晶面板中的TFT的源極-漏極間的阻抗值設(shè)定為規(guī)定值以下的值；
[0014]電壓施加步驟，對(duì)上述TFT液晶面板的液晶層施加周期性地變化的電壓；
[0015]物理性質(zhì)測(cè)量步驟，測(cè)量在利用上述電壓施加步驟施加了上述周期性地變化的電壓的上述液晶層中流過的過渡電流，測(cè)量上述液晶層的物理性質(zhì)。
[0016]另外，本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于，
[0017]具有:
[0018]對(duì)上述TFT液晶面板的TFT的柵極電極施加規(guī)定值的電壓的步驟；
[0019]向上述TFT液晶面板的液晶層中寫入脈沖電壓的步驟；
[0020]檢測(cè)出寫入了上述脈沖電壓的上述液晶層的電位的變化而測(cè)量上述液晶層的電壓保持率的步驟。
[0021]另外，本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于，
[0022]具有:
[0023]阻抗設(shè)定步驟，將上述TFT液晶面板中的TFT的源極-漏極間的阻抗值設(shè)定為規(guī)定值以下的值；
[0024]電壓施加步驟，對(duì)上述TFT液晶面板中的液晶層以及與該液晶層并聯(lián)電連接的輔助電容，施加周期性地變化的電壓；
[0025]物理性質(zhì)測(cè)量步驟，測(cè)量在利用上述電壓施加步驟施加了上述周期性地變化的電壓的上述液晶層中流過的過渡電流和上述輔助電容中流過的過渡電流的合成電流，測(cè)量合成了上述液晶層的特性和上述輔助電容的特性的物理性質(zhì)。
[0026]本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于，
[0027]具有:
[0028]對(duì)上述TFT液晶面板的TFT的柵極電極施加規(guī)定值的電壓的步驟；
[0029]向上述TFT液晶面板的液晶層及與該液晶層并聯(lián)電連接的輔助電容中寫入脈沖電壓的步驟；
[0030]檢測(cè)出寫入了上述脈沖電壓的上述液晶層和上述輔助電容的合成后的電位的變化，測(cè)量上述液晶層和上述輔助電容的合成后的電壓保持率的步驟。
[0031]另外，本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于，
[0032]具有:
[0033]三角波生成部，用于對(duì)上述TFT液晶面板的液晶層施加三角波電壓；
[0034]測(cè)量部，用于測(cè)量利用上述三角波生成部施加了三角波電壓的上述液晶層中流過的過渡電流；
[0035]柵極電位保持部，用于對(duì)上述TFT液晶面板中的TFT的柵極電極施加規(guī)定值的電壓。
[0036]另外，本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于，
[0037]具有:
[0038]脈沖電壓施加電路，用于向上述TFT液晶面板的液晶層中寫入脈沖電壓；
[0039]電位變化檢測(cè)電路，用于檢測(cè)出利用上述脈沖電壓施加電路施加了脈沖電壓的上述液晶層的電位的變化，測(cè)量上述液晶層的電壓保持率；
[0040]柵極電位保持部，用于對(duì)上述TFT液晶面板的TFT的柵極電極施加規(guī)定值的電壓。
[0041]本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的一個(gè)方式是TFT液晶面板的液晶層的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于，
[0042]具有:
[0043]設(shè)定步驟，在與上述TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的TFT對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線上連接電流測(cè)量部，并且將與上述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的TFT對(duì)應(yīng)的柵極線的電位保持為規(guī)定的電位；
[0044]電壓施加步驟，對(duì)上述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的上述液晶層施加周期性地變化的電壓；
[0045]物理性質(zhì)測(cè)量步驟，測(cè)量利用上述電壓施加步驟施加了上述周期性地變化的電壓的上述液晶層中流過的過渡電流，測(cè)量上述液晶層的物理性質(zhì)。
[0046]另外，本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置的一個(gè)方式是TFT液晶面板的液晶層的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于，
[0047]具有:
[0048]恒電壓源，對(duì)上述TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的TFT的柵極施加規(guī)定值的電壓；
[0049]電壓施加部，用于向上述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的上述TFT液晶面板的液晶層中寫入脈沖電壓；
[0050]測(cè)量部，檢測(cè)出寫入了上述脈沖電壓的上述液晶層的電位的變化，測(cè)量上述液晶層的電壓保持率；
[0051]反饋部，在利用上述測(cè)量裝置對(duì)電壓保持率的測(cè)量時(shí)，將上述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的上述TFT的源極的輸出向上述電壓施加部反饋。
[0052]本發(fā)明的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置的一個(gè)方式是TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于，
[0053]具備:
[0054]柵極電位保持部，將上述TFT液晶面板中的物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的TFT所對(duì)應(yīng)的柵極線的電位保持為規(guī)定的電位；
[0055]三角波生成部，用于對(duì)上述TFT液晶面板的液晶層施加三角波電壓；
[0056]電流測(cè)量部，與上述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的TFT所對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線連接，測(cè)量利用上述三角波生成部施加了三角波電壓的上述液晶層中流過的過渡電流。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0057]圖1A是概略地表示實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的第一實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的裝置構(gòu)成的圖。
[0058]圖1B是表示圖1A所示的裝置的等效電路的圖。
[0059]圖2是表示第一實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的流程的圖。
[0060]圖3是表示對(duì)液晶層施加了三角波時(shí)所流過的過渡電流進(jìn)行測(cè)量而得到的繪制電流相對(duì)電壓(時(shí)間)的曲線的圖。
[0061]圖4(a)是表不將液晶層置換為電阻和電容的等效電路的圖。圖4(b)是表不測(cè)量對(duì)液晶層施加了三角波時(shí)所流過的過渡電流而得到的繪制電流相對(duì)電壓(時(shí)間)的曲線的圖。
[0062]圖5是表示測(cè)量輔助電容的各種物理性質(zhì)時(shí)的測(cè)量電路的構(gòu)成的圖。
[0063]圖6A是表示用于向液晶層中寫入脈沖電壓的電路的圖。
[0064]圖6B是表示用于檢測(cè)液晶層的電位變化的電路的圖。
[0065]圖7是表示第一實(shí)施例的液晶層的電壓保持率測(cè)量方法的流程的圖。
[0066]圖8是表示給出向液晶層中寫入脈沖電壓時(shí)的脈沖電壓的曲線；及檢測(cè)出液晶層的電位變化的曲線的圖。
[0067]圖9(a)及(b)是表示在求算液晶層的電壓保持率時(shí)圖8所示的曲線中所算出的面積的曲線。
[0068]圖10是表示圖1B所示的電路的一個(gè)變形例的圖。
[0069]圖11是表示用于同時(shí)測(cè)量液晶層的物理性質(zhì)和輔助電容的物理性質(zhì)的測(cè)量電路的圖。
[0070]圖12是用于向液晶層及輔助電容中同時(shí)寫入脈沖電壓的電路的圖。
[0071]圖13是表示用于檢測(cè)液晶層和輔助電容的合成后的電位變化的電路的圖。
[0072]圖14A是表示實(shí)現(xiàn)第二實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的裝置構(gòu)成的一例的圖。
[0073]圖14B是表示實(shí)現(xiàn)第二實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的裝置構(gòu)成的一例的圖。
[0074]圖14C是表示實(shí)現(xiàn)第二實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的裝置構(gòu)成的一例的圖。
[0075]圖14D是表示實(shí)現(xiàn)第二實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的裝置構(gòu)成的一例的圖。
[0076]圖15是表示第二實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的流程的圖。
[0077]圖16A是表示用于向液晶層中寫入脈沖電壓的電路的圖。
[0078]圖16B是表示用于檢測(cè)液晶層的電位的變化的電路的圖。
[0079]圖17是表示第二實(shí)施例的液晶層的電壓保持率測(cè)量方法的流程的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0080]下面，參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的最佳的方式進(jìn)行說明。
[0081][第一實(shí)施例]
[0082]下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0083]圖1A是概略地表示本第一實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置構(gòu)成的一個(gè)構(gòu)成例的圖。即，本第一實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置如圖1A所示，由測(cè)量裝置2、TFT液晶面板4和柵極電位保持裝置6構(gòu)成。
[0084]上述測(cè)量裝置2具有包括I/V放大器的電流測(cè)量部2A、三角波發(fā)生器2B。上述TFT液晶面板4具有:TFT4A、液晶層4B、對(duì)置電極4C、像素電極4D、輔助電容4E(圖1A中未圖示，參照?qǐng)D1B中所示的等效電路)。這里，上述TFT4A中，具備柵極電極41A、源極電極42A、漏極電極43A。
[0085]這里，上述柵極電位保持裝置6具有用于將上述TFT4A中的柵極電極41A的電位Vg保持為規(guī)定的電位的恒電壓源6A。另外，上述TFT4A中的上述源極電極42A如該圖所示利用上述電流測(cè)量部2A虛擬接地。這樣，上述TFT4A中的上述源極電極42A實(shí)質(zhì)上就被保持為地電平。
[0086]但是，經(jīng)由像素電極4D寫入液晶層4B的規(guī)定電平的像素信號(hào)被保持一定期間。這里，出于防止所保持的圖像信號(hào)泄漏的目的，與液晶層4B并列地設(shè)有輔助電容4E。
[0087]也就是說，利用輔助電容4E，改善液晶層4B的電荷的保持特性，實(shí)現(xiàn)難以產(chǎn)生顯示不均的顯示裝置。此外，根據(jù)本第一實(shí)施例，雖然詳情后述，然而可以求出上述輔助電容4E的電阻值及電容。
[0088]但是，圖1A所示的裝置的等效電路如圖1B所示。另外，圖2是表示本第一實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法的流程的圖。下面，參照?qǐng)D1B及圖2，對(duì)本第一實(shí)施例的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法進(jìn)行說明。
[0089]首先，將上述TFT4A中的上述柵極電極41A的電位Vg利用恒電壓源6A保持為規(guī)定的電位(步驟SI)。這里，上述所謂規(guī)定的電位是能夠?qū)⑸鲜鯰FT4A的阻抗設(shè)成小到可以測(cè)量上述液晶層4B中流過的電流的程度的電位。換言之，上述所謂規(guī)定的電位是能夠?qū)⑸鲜鯰FT的源極電極42A-漏極電極43A間的阻抗值設(shè)成上述TFT的源極電極42A-漏極電極43A之間可以通電的值的電位(詳細(xì)的數(shù)值后述)。
[0090]也就是說，通過將上述TFT4A的上述柵極電極41A的電位Vg保持為上述規(guī)定的電位，就可以利用電氣手法精密地測(cè)量TFT液晶面板4的液晶層4B中的各種物理性質(zhì)(詳情后述)。
[0091]而且，雖然將上述柵極電極41A的電位Vg保持為上述規(guī)定的電位，然而上述柵極電極41A的電位Vg只要是能夠?qū)⑸鲜鯰FT4A的阻抗值設(shè)成上述TFT中的源極電極42A-漏極電極43A間可以通電的值的電位，就不一定需要保持為一定的值。
[0092]也就是說，上述柵極電極41A的電位Vg只要是能夠?qū)⑸鲜鯰FT4A的阻抗值設(shè)成上述TFT的源極電極42A-漏極電極43A間可以通電的值的電位，則當(dāng)然也可以設(shè)為隨時(shí)間變化的電位。
[0093]但是，在上述步驟SI的處理之后，將上述三角波發(fā)生器2B所產(chǎn)生的三角波施加到上述TFT液晶面板4(步驟S2)。此后，測(cè)量上述液晶層4B中流過的過渡電流(步驟S3)。將由該步驟S3的過渡電流的測(cè)量得到的繪制電流I相對(duì)電壓V(時(shí)間t)的曲線表示于圖3中。
[0094]下面，參照?qǐng)D3，給出上述繪制電流I相對(duì)電壓V(時(shí)間t)的曲線(V-1曲線)與后述的各種物理性質(zhì)的關(guān)系。
[0095]首先，上述各種物理性質(zhì)主要是以下的5種。
[0096]1、液晶層4B的電阻值
[0097]2、液晶層4B的電容
[0098]3、液晶層4B的開關(guān)電壓
[0099]4、液晶層4B的離子密度
[0100]5、液晶層4B的離子遷移率
[0101]此外，上述繪制電流I相對(duì)電壓V (時(shí)間t)的曲線與上述各種物理性質(zhì)的關(guān)系如下所示。
[0102]首先，相對(duì)于V軸(t軸)的斜率21表示上述液晶層4B的電阻值。另外，圖3所示的近似平行四邊形狀的曲線的I軸方向的寬度23表示上述液晶層4B的電容。另外，上述近似平行四邊形狀的曲線的I軸方向的峰值25的電壓表示上述液晶層4B的開關(guān)電壓。另外，近似平行四邊形狀的突起部27內(nèi)的面積表示上述液晶層4B的離子密度。此外，上述液晶層4B的離子遷移率μ可以根據(jù)下式算出。
[0103][式I]

【權(quán)利要求】
1.一種TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，是TFT液晶面板(4，400)的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于， 具有: 對(duì)所述TFT液晶面板(4，400)中的TFT(4A，400A)的柵極電極(41A、410A)施加規(guī)定值的電壓的步驟(步驟S21、步驟S31)； 向所述TFT液晶面板(4，400)中的液晶層(4B，400B)中寫入脈沖電壓，且將所述TFT(4A,400A)的源極電極(42A，420A)的電位保持為地電平的步驟(步驟S22、步驟S32)； 檢測(cè)出寫入了所述脈沖電壓的所述液晶層(4B，400B)的電位的變化而測(cè)量所述液晶層(4B，400B)中的電壓保持率的步驟(步驟S23、步驟S33)， 所述液晶層(4B、400B)中的液晶分子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)，該電場(chǎng)由利用所述TFT(4A，400A)驅(qū)動(dòng)的像素電極(4D，400D)、與該像素電極(4D，400D)對(duì)應(yīng)地設(shè)置的共用電極(4C、400C)形成，對(duì)所述共用電極施加脈沖電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于，所述規(guī)定值的電壓是將所述TFT(4A，400A)中的源極-漏極間的阻抗值設(shè)定為所述TFT中的源極(42A，420A)-漏極(43A，430A)間可以通電的值的電壓。
3.—種TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量方法，是TFT液晶面板(4，400)的物理性質(zhì)測(cè)量方法，其特征在于， 具有: 對(duì)所述TFT液晶面板(4，400)中的TFT(4A，400A)的柵極電極(41A、410A)施加規(guī)定值的電壓的步驟(步驟S21、步驟S31)； 向所述TFT液晶面板(4，400)中的液晶層(4B，400B)及與該液晶層(4B，400B)并聯(lián)電連接的輔助電容(4E)中寫入脈沖電壓，且將所述TFT(4A，400A)的源極電極(42A，420A)的電位保持為地電平的步驟(步驟S22、步驟S32)； 檢測(cè)出寫入了所述脈沖電壓的所述液晶層(4B，400B)和所述輔助電容(4E)的合成后的電位的變化，測(cè)量所述液晶層(4B，400B)和所述輔助電容(4E)的合成后的電壓保持率的步驟(步驟S23、步驟S33)， 所述液晶層(4B、400B)中的液晶分子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)，該電場(chǎng)由利用所述TFT(4A，400A)驅(qū)動(dòng)的像素電極(4D，400D)、與該像素電極(4D，400D)對(duì)應(yīng)地設(shè)置的共用電極(4C、400C)形成，對(duì)所述共用電極施加脈沖電壓。
4.一種TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，是TFT液晶面板(4，400)的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于， 具有: 脈沖電壓施加電路(31，310)，用于向所述TFT液晶面板(4，400)中的液晶層(4B、400B)中寫入脈沖電壓，且將所述TFT(4A，400A)的源極電極(42A，420A)的電位保持為地電平； 電位變化檢測(cè)電路(31，310)，用于檢測(cè)出利用所述脈沖電壓施加電路(31，310)施加了脈沖電壓的所述液晶層(4B、400B)的電位的變化，測(cè)量所述液晶層(4B、400B)的電壓保持率; 柵極電位保持部(6A，60A，260)，用于對(duì)所述TFT液晶面板(4，400)中的TFT (4A，400A)的柵極電極(41A，410A)施加規(guī)定值的電壓， 所述液晶層(4B、400B)中的液晶分子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)，該電場(chǎng)由利用所述TFT(4A，400A)驅(qū)動(dòng)的像素電極(4D，400D)、與該像素電極(4D，400D)對(duì)應(yīng)地設(shè)置的共用電極(4C、400C)形成，對(duì)所述共用電極(4C、400C)施加脈沖電壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于，所述規(guī)定值的電壓是將所述TFT(4A，400A)中的源極(42A，420A)-漏極(43A，430A)間的阻抗值設(shè)定為所述TFT(4A，400A)中的源極(42A，420A)-漏極(43A，430A)間可以通電的值的電壓。
6.一種TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，是TFT液晶面板(400)的液晶層(400B)的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于， 具有: 恒電壓源(60A)，對(duì)所述TFT液晶面板(400)的物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的TFT (400A)的柵極(410A)施加規(guī)定值的電壓； 電壓施加部(Rl，R2，OP)，用于向所述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的所述TFT液晶面板(400)的液晶層(400B)中寫入脈沖電壓，且將所述TFT(400A)的源極電極(420A)的電位保持為地電平； 測(cè)量部(0P，330)，檢測(cè)出寫入了所述脈沖電壓的所述液晶層(400B)的電位的變化，測(cè)量所述液晶層(400B)的電壓保持率； 反饋部，在利用所述測(cè)量裝置進(jìn)行電壓保持率的測(cè)量時(shí)，將所述物理性質(zhì)測(cè)量對(duì)象區(qū)域內(nèi)的所述TFT(400A)的源極(420A)的輸出向所述電壓施加部(OP)反饋， 所述液晶層(400B)中的液晶分子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)，該電場(chǎng)由利用所述TFT(400A)驅(qū)動(dòng)的像素電極(400D)、與該像素電極(400D)對(duì)應(yīng)地設(shè)置的共用電極(400C)形成，對(duì)所述共用電極(4C、400C)施加脈沖電壓。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的TFT液晶面板的物理性質(zhì)測(cè)量裝置，其特征在于，所述規(guī)定值的電壓是將所述TFT (400A)中的源極-漏極間的阻抗值設(shè)定為所述TFT中的源極(420A)-漏極(430A)間可以通電的值的電壓。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK104181711SQ201410202980
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2008年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2007年1月25日
【發(fā)明者】井上勝, 佐佐木邦彥, 栗原直, 久米康仁 申請(qǐng)人:東陽特克尼卡株式會(huì)社, 夏普株式會(huì)社