半導(dǎo)體激光器模塊的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體激光器模塊(1)，其主要是由封裝件(3)、半導(dǎo)體激光器(5)、透鏡(7、9、13)、反射鏡(11)及光纖(15)等所構(gòu)成。封裝件(3)由底部以及側(cè)面(19a、19b)構(gòu)成。側(cè)面(19a、19b)相對(duì)于封裝件(3)的底部呈大致垂直狀豎立。在半導(dǎo)體激光器模塊(1)中，多個(gè)半導(dǎo)體激光器設(shè)置面(17)形成為臺(tái)階狀。在各半導(dǎo)體激光器設(shè)置面(17)上，設(shè)置半導(dǎo)體激光器(5)。在半導(dǎo)體激光器(5)的前方(射出方向)，配置透鏡(7)。另外，在更前方，配置透鏡(9)。在與半導(dǎo)體激光器(5)的射出方向相對(duì)設(shè)置的側(cè)面(19a)上，固定反射鏡(11)。
【專利說(shuō)明】半導(dǎo)體激光器模塊

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種對(duì)纖維具有良好耦合效率的半導(dǎo)體激光器模塊。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，存在將由多個(gè)半導(dǎo)體激光器輸出的光耦合至光纖的半導(dǎo)體激光器模塊。作為這樣的半導(dǎo)體激光器模塊是指，例如，在高度方向上將多個(gè)激光器、與此對(duì)應(yīng)的透鏡及反射鏡配置為多層，并具有耦合光纖的激光二極管組件(專利文獻(xiàn)1)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:美國(guó)專利第7733932號(hào)公報(bào)實(shí)用新型內(nèi)容
[0006](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0007]圖11是表示現(xiàn)有的半導(dǎo)體激光器模塊100的概略圖。此外，圖11是封裝件103的上面以及圖中靠前側(cè)(靠近看圖者的那一側(cè))壁部透視的圖。半導(dǎo)體激光器模塊100主要由封裝件103、半導(dǎo)體激光器105、透鏡107、109、113、反射鏡111、光纖115等構(gòu)成。
[0008]封裝件103的底部以高度逐漸增高的方式形成為臺(tái)階狀。各臺(tái)階上部形成為半導(dǎo)體激光器設(shè)置面117。在各半導(dǎo)體激光器設(shè)置面117上設(shè)置半導(dǎo)體激光器105。
[0009]在半導(dǎo)體激光器105的前方(射出方向)配置透鏡107。另外，并且在其更前方配置透鏡109。通過(guò)透鏡107、109，從半導(dǎo)體激光器105射出的光的縱向以及橫向分別得以準(zhǔn)直。
[0010]這樣，準(zhǔn)直好的光用反射鏡111反射，大致垂直地改變其方向。此外，對(duì)每個(gè)半導(dǎo)體激光器105配置透鏡107、109、反射鏡111，并且它們配置在同一個(gè)半導(dǎo)體激光器設(shè)置面上。進(jìn)而，由各反射鏡111反射的光通過(guò)透鏡113聚光，稱合至光纖115。
[0011]圖12(a)是半導(dǎo)體激光器105的射出方向上的側(cè)視圖，是圖11的V_V剖視圖。如前所述，從各半導(dǎo)體激光器105 (未圖示)射出的激光119通過(guò)反射鏡111反射。S卩，由各半導(dǎo)體激光器105射出的激光119分別在不同高度上射出，通過(guò)配置在不同高度上的反射鏡111反射。通過(guò)透鏡113對(duì)這些不同高度的激光119進(jìn)行聚光，能夠耦合至光纖115。
[0012]圖12(b)是此時(shí)的反射鏡111附近的放大圖。用下層臺(tái)階側(cè)(圖中左側(cè))以及上層臺(tái)階側(cè)(圖中右側(cè))的各反射鏡111反射激光119。此處，反射鏡111的高度(圖中Y)大致為1000 μ m左右，半導(dǎo)體激光器設(shè)置面117的臺(tái)階差的高度(圖中W)大致為300 μ m。因此，在反射鏡上激光119能夠照射的區(qū)域的高度為300 μ m。另外，激光119的高度(圖中X)大約為250 μ m。因此，為了使激光119全部照射在反射鏡111，且不使反射后的激光119照射到下層臺(tái)階的反射鏡，反射鏡111在上下只有25 μ m程度的富余。
[0013]此處，反射鏡111是通過(guò)粘接劑等固定在半導(dǎo)體激光器設(shè)置面117上。因此，反射鏡111在上下方向上只以粘接劑的固定精度+20 μ m、-5 μ m進(jìn)行移動(dòng)。另外，作為反射鏡Ill的加工精度，具有±30 μ m程度的公差。因此，如果偏向粘接劑厚度波動(dòng)和反射鏡的加工精度大的一方，則存在下層臺(tái)階側(cè)的反射鏡111比設(shè)計(jì)值向上方突出50μπι的情況。
[0014]這樣，如果下層臺(tái)階側(cè)的反射鏡111向上方突出，則用上層臺(tái)階側(cè)的反射鏡111反射的激光119的一部分有可能在下層臺(tái)階側(cè)的反射鏡111處被遮擋(圖中箭頭Z)。S卩，有可能使激光119的一部分沒(méi)有向光纖115方向反射。
[0015]但是，使下層臺(tái)階側(cè)的反射鏡111進(jìn)一步向下方移動(dòng)比較困難。另外，如果嚴(yán)格設(shè)置反射鏡111的尺寸精度，則會(huì)增加成本。另外，在縮小反射鏡111的尺寸的情況下，如前所述，相對(duì)于激光119的尺寸的富余將進(jìn)一步變小，反射全部激光119變得困難。另外，在增大臺(tái)階差高度的情況下，由于激光119在高度方向上的差增大，因此需要更大的透鏡113，同時(shí)使向光纖115的聚光變得困難。
[0016]由于本實(shí)用新型就是鑒于上述問(wèn)題而完成的，因此其目的在于提供一種由反射鏡可靠地反射激光，并與光纖耦合效率優(yōu)異的半導(dǎo)體激光器模塊。
[0017](二)技術(shù)方案
[0018]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型作為一種半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，具備多個(gè)半導(dǎo)體激光器、多個(gè)反射鏡及聚光透鏡，所述多個(gè)反射鏡分別反射由多個(gè)所述半導(dǎo)體激光器射出的激光，所述聚光透鏡對(duì)由所述反射鏡反射的各束激光進(jìn)行聚光，并耦合至光纖，多個(gè)所述半導(dǎo)體激光器分別配置在高度相互不同的半導(dǎo)體激光器設(shè)置面上，多個(gè)所述反射鏡相互高度變化地粘合在相對(duì)所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置面大致垂直的立面上。
[0019]優(yōu)選地，所述立面為與所述半導(dǎo)體激光器的射出面相對(duì)的面。
[0020]優(yōu)選地，所述反射鏡具有為了在設(shè)置所述反射鏡時(shí)將其抓持的抓持部，所述抓持部具有相對(duì)于所述立面大致垂直且相互平行的兩個(gè)面，所述反射鏡的反射面相對(duì)于所述抓持部以規(guī)定的角度形成。
[0021]所述反射鏡往所述立面的粘合面可以由曲面構(gòu)成。在所述立面與所述反射鏡的粘合部上可以形成凹部。
[0022]所述立面可以為半導(dǎo)體激光器模塊的封裝件的內(nèi)側(cè)面?；蛘?，所述立面可以為配置在半導(dǎo)體激光器模塊的封裝件內(nèi)部，并設(shè)置在所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置面上的壁部件。在這種情況下，所述壁部件可以由與構(gòu)成所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置面的材質(zhì)相同的材質(zhì)所構(gòu)成，所述壁部件可以由與構(gòu)成所述反射鏡的材質(zhì)相同的材質(zhì)所構(gòu)成。
[0023]根據(jù)本實(shí)用新型，反射鏡設(shè)置在與半導(dǎo)體激光器設(shè)置面垂直的立面上。因此，不存在由于反射鏡的粘接劑等的厚度而導(dǎo)致的高度方向上的變動(dòng)。
[0024]另外，由于反射鏡固定在立面上，因此，能夠?qū)⒎瓷溏R減薄至激光119在垂直方向上光束寬度。此時(shí)，能夠?qū)Ψ瓷溏R在高度方向上的固定位置進(jìn)行任意調(diào)整。因此，能夠?qū)⒎瓷溏R相對(duì)于激光設(shè)置在適合的位置。因此，即使縮小反射鏡相對(duì)于激光尺寸的富余量，也能夠充分適用。
[0025]另外，通過(guò)在反射鏡上形成抓持部，能夠通過(guò)規(guī)定的裝置等對(duì)抓持部進(jìn)行抓持，能夠?qū)Ψ瓷溏R的固定位置進(jìn)行微調(diào)。因此，能夠提高反射鏡的設(shè)置位置精度。
[0026]另外，如果將反射鏡與立面的粘合部設(shè)置為曲面，則容易進(jìn)行反射鏡方向等的調(diào)整。例如，通過(guò)在使反射鏡的凸面的一部分與立面接觸的狀態(tài)下對(duì)反射鏡的朝向進(jìn)行微調(diào)，能夠?qū)Ψ瓷溏R的配置或方向進(jìn)行高精度調(diào)整。
[0027]另外，通過(guò)在立面的一部分上設(shè)置凹部，將反射鏡設(shè)置在凹部處并固定，能夠防止粘接劑在封裝件底部等處流出。
[0028]另外，如果利用封裝間的內(nèi)側(cè)面作為立面，則能夠原樣不變地直接使用現(xiàn)有的封裝件。因此，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
[0029]另外，作為立面，也可以使用另外的壁部件。在這種情況下，由于是與封裝件不同的部件，因此不會(huì)受到封裝件變形等影響。因此，不會(huì)使反射鏡的光軸偏移。
[0030]另外，在這種情況下，通過(guò)將壁部件的材質(zhì)設(shè)置為與構(gòu)成半導(dǎo)體激光器設(shè)置面的材質(zhì)的材質(zhì)相同的材質(zhì)，能夠抑制由于熱膨脹不同而導(dǎo)致的光軸偏移等影響。
[0031]另外，通過(guò)將壁部件的材質(zhì)設(shè)置為與構(gòu)成反射鏡的材質(zhì)相同的材質(zhì)，使粘接變得容易。另外，能夠抑制由于反射鏡與壁部件的熱膨脹不同而導(dǎo)致的光軸偏移等影響。
[0032](三)有益效果
[0033]根據(jù)本實(shí)用新型，能夠提供一種由反射鏡可靠地反射激光，并與光纖耦合效率優(yōu)異的半導(dǎo)體激光器模塊。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0034]圖1是表示半導(dǎo)體激光器模塊1的立體圖。
[0035]圖2是表示半導(dǎo)體激光器模塊1的俯視圖。
[0036]圖3 (a)是表示半導(dǎo)體激光器模塊1的側(cè)視圖，是圖2的A_A線的剖視圖，圖3 (b)是反射鏡附近的放大圖。
[0037]圖4是表示激光形狀的概念圖，其中，圖4(a)是表示在圖3的B_B線剖面上的形狀的圖，圖4(b)是表示在圖3的C-C線剖面上的形狀的圖。
[0038]圖5(a)是表示反射鏡11形狀的圖，圖5(b)是表示反射鏡11a形狀的圖。
[0039]圖6(a)是表示反射鏡lib形狀的圖，圖6 (b)是表示反射鏡11c形狀的圖。
[0040]圖7是表不半導(dǎo)體激光器模塊30的俯視圖。
[0041]圖8是表不半導(dǎo)體激光器模塊40的俯視圖。
[0042]圖9是表不半導(dǎo)體激光器模塊50的俯視圖。
[0043]圖10是表示半導(dǎo)體激光器模塊50的側(cè)面剖視圖。
[0044]圖11是表示半導(dǎo)體激光器模塊100的立體圖。
[0045]圖12(a)是表示半導(dǎo)體激光器模塊100的側(cè)視圖，是圖1的V_V線剖視圖，圖12(b)是反射鏡附近的放大圖。

【具體實(shí)施方式】
[0046]下面參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示半導(dǎo)體激光器模塊1的圖，圖1是立體圖，圖2是俯視圖。此外，圖1是透視封裝件3的上面及圖中跟前側(cè)的側(cè)壁的圖。半導(dǎo)體激光器模塊1，主要由封裝件3、半導(dǎo)體激光器5、透鏡7、9、13、反射鏡11、光纖15等構(gòu)成。
[0047]封裝件3由底部以及側(cè)面19a、19b構(gòu)成。側(cè)面19a、19b相對(duì)于封裝件3的底部呈大致垂直豎立。另外，側(cè)面19a、19b配置為相互垂直。此外，側(cè)面19a、19b由例如銅、銅合金、Fe-N1-Co合金、鋁或樹(shù)脂構(gòu)成。另外，封裝件3的底部由例如銅、銅合金、鋁、具有高導(dǎo)熱率的陶瓷(例如，氮化鋁:A1N、氧化鈹:BeO)等所構(gòu)成。
[0048]在封裝件3的內(nèi)部，底部以高度逐漸增高的方式形成為臺(tái)階狀。在各臺(tái)階上，形成半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17。即，在半導(dǎo)體激光器模塊1中，多個(gè)半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17形成為臺(tái)階狀。在各半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17上設(shè)置半導(dǎo)體激光器5。半導(dǎo)體激光器5可以預(yù)先裝載在基座6上，可以將裝載該半導(dǎo)體激光器5的基座6 (芯片基座:C0S)裝載在半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17上。
[0049]透鏡7配置在半導(dǎo)體激光器5的前方。在附圖中與半導(dǎo)體激光器5分開(kāi)設(shè)置，但也可以設(shè)置在半導(dǎo)體激光器5的射出端面上。另外，在更前方配置透鏡9。對(duì)于每個(gè)半導(dǎo)體激光器5配置透鏡7、9，并配置在同一半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17上。透鏡7、9對(duì)將從半導(dǎo)體激光器5射出的光分別在縱向以及橫向上進(jìn)行準(zhǔn)直。關(guān)于透鏡7，可以在調(diào)整與半導(dǎo)體激光器5的高度后，固定在基座6的壁面上。
[0050]在與半導(dǎo)體激光器5的射出方向相對(duì)設(shè)置的側(cè)面19a上，固定反射鏡11。側(cè)面19a是相對(duì)于半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17的立面，該側(cè)面19a是與半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17呈大致垂直的面，其構(gòu)成封裝件3的側(cè)壁。反射鏡11使由上述透鏡7、9準(zhǔn)直好的光呈大致垂直反射。此外，相對(duì)于各半導(dǎo)體激光器5,透鏡7、9、反射鏡11可以全部為相同形狀。
[0051]在封裝件3的底部，向著與半導(dǎo)體激光器5的射出方向相垂直的方向，固定透鏡13。透鏡13對(duì)由反射鏡11反射的激光進(jìn)行聚光。另外，在透鏡13的背面?zhèn)仍O(shè)置光纖15，使其貫穿封裝件3。通過(guò)透鏡13聚光后的激光耦合至光纖15。
[0052]S卩，如圖2所示，在各個(gè)高度的半導(dǎo)體激光器設(shè)置面上同時(shí)設(shè)置多個(gè)半導(dǎo)體激光器5,分別沿大致相同的方向射出激光。在半導(dǎo)體激光器5的射出方向上，在相同方向上順次配置透鏡7、9、反射鏡11。因此，激光經(jīng)由透鏡7、9，照射至反射鏡11。進(jìn)而，在各反射鏡11上，沿大致相同的方向反射激光。用各反射鏡11反射的激光通過(guò)透鏡13聚光并耦合至光纖15。此外，在使用雙透鏡系統(tǒng)的情況下，在半導(dǎo)體激光器5側(cè)，配置對(duì)半導(dǎo)體激光器5的層疊方向以水平的方向進(jìn)行準(zhǔn)直的透鏡，以及在反射鏡側(cè)配置對(duì)在半導(dǎo)體激光器5的層疊方向以垂直方向進(jìn)行準(zhǔn)直的透鏡，比較合適。
[0053]另外，半導(dǎo)體激光器5的數(shù)量或配置等并不限于圖示的例子。另外，如果反射鏡11的反射面由曲面、球面等形成，從半導(dǎo)體激光器5射出的激光在縱向或者橫向的擴(kuò)散能夠通過(guò)反射鏡11進(jìn)行準(zhǔn)直的話，則不一定需要對(duì)應(yīng)的透鏡7、9。
[0054]圖3 (a)是半導(dǎo)體激光器5的射出方向的側(cè)視圖，是圖2的A_A線剖視圖。如前所述，從各半導(dǎo)體激光器5 (未圖示)射出的激光20被反射鏡11反射。S卩，從各半導(dǎo)體激光器5射出的激光20，分別以不同的高度射出，并且通過(guò)配置在不同高度的反射鏡11所反射。
[0055]圖4(a)是表示在圖3的B_B線剖面上的激光形狀的概念圖，圖4(b)是表示在圖3(a)的C-C線剖面上的激光形狀的概念圖。
[0056]如圖4(a)所示，在射入透鏡13前，由各反射鏡11反射后的激光20在與半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17的高度相對(duì)應(yīng)的不同高度通過(guò)。另一方面，激光20通過(guò)透鏡13，由此以光纖15的端面位置為焦點(diǎn)，在高度方向上聚光。即，通過(guò)透鏡13對(duì)不同高度的激光20進(jìn)行聚光，能夠稱合至光纖115。
[0057]圖3(b)是反射鏡11附近的放大圖。用在下層臺(tái)階側(cè)(圖中左側(cè))以及上層臺(tái)階側(cè)(圖中右側(cè))的各反射鏡11反射激光20。此處，激光20的高度(圖中F)約為250 μ m。因此，反射鏡11的厚度(圖中E)可以比其略大即可。例如為250 μ m以上300 μ m以下即可。另外，半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17的臺(tái)階差高度(圖中D)大致為300 μ m。
[0058]此處，如圖2所示，反射鏡11通過(guò)粘接劑等固定在側(cè)面19a上。S卩，反射鏡11沒(méi)有與半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17粘接。因此，在反射鏡11的下面與半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17之間可以形成縫隙。因此，反射鏡11在的高度方向上的調(diào)整自由度較大(圖中箭頭Η方向)。
[0059]特別地，如前所述，現(xiàn)有的反射鏡111(圖12(b))設(shè)置在半導(dǎo)體激光器設(shè)置面117上。因此，實(shí)際上在未被激光照射的下部，也配置反射鏡111。與此相對(duì)，在本實(shí)用新型中，反射鏡11固定在側(cè)面19a上。因此，能夠易于對(duì)設(shè)置高度進(jìn)行調(diào)整。因此，即使在與激光20的高度幾乎相同處，也能夠可靠地進(jìn)行反射。
[0060]這樣，通過(guò)調(diào)整反射鏡11的高度，能夠易于防止形成對(duì)上層臺(tái)階側(cè)的激光20 (圖中箭頭G)的阻礙。此外，毋庸多言，也能夠易于對(duì)上臺(tái)階側(cè)的反射鏡11進(jìn)行高度調(diào)整。
[0061]此外，反射鏡11的粘接面不是反射鏡11的底面，而是側(cè)面。因此，在反射鏡11的粘接中而使用紫外線固化粘接劑的情況下，對(duì)反射鏡11進(jìn)行抓持的臂部等不會(huì)造成紫外線照射的影子。因此，如果從反射鏡11的上方斜著照射紫外線，則能夠易于將紫外線照射至粘接面。即，紫外線對(duì)反射鏡11的粘接面的照射容易。
[0062]下面對(duì)反射鏡11進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖5(a)是表示反射鏡11的俯視圖。反射鏡11由相對(duì)于側(cè)面19a固定的粘合面23和與此相對(duì)以45°角度所形成的反射面21構(gòu)成。反射鏡11例如為玻璃制，并且在反射面21上形成有電介質(zhì)多層膜或金屬等的薄膜。
[0063]此外，如圖5(b)所示，也能可以使用反射鏡11a。反射鏡11a的反射面21由凹曲面構(gòu)成。這樣，通過(guò)使用反射鏡11a，能夠?qū)⒓す饩酃鉃樗Ｍ男螒B(tài)。
[0064]另外，如圖6(a)所示，也可以使用具有抓持部25的反射鏡lib。抓持部25由相對(duì)于粘合面23 (粘合對(duì)象面)大致垂直且相互平行的兩個(gè)相對(duì)面所組成。通過(guò)形成抓持部25，能夠由例如省略圖示的臂部等抓持反射鏡lib。因此，在將反射鏡lib粘合至側(cè)面19a時(shí)，易于對(duì)反射鏡lib的位置或方向進(jìn)行微調(diào)。
[0065]另外，如圖6(b)所示，可以使用粘合面23由曲面所構(gòu)成的反射鏡11c。此外，粘合面23的曲面，可以僅在一個(gè)方向的剖面上是曲面，也可以是球面。通過(guò)這樣設(shè)置，在將反射鏡11c粘合至側(cè)面19a時(shí)，在粘合面23的一部分與側(cè)面19a等接觸的狀態(tài)下，易于對(duì)反射鏡11c的方向等進(jìn)行調(diào)整。因此，易于對(duì)反射鏡11c的方向進(jìn)行微調(diào)。
[0066]如上述說(shuō)明，根據(jù)本實(shí)施方式，反射鏡11等固定在與半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17大致垂直的立面上。因此，對(duì)半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17的高度調(diào)整容易。因此，某些激光不會(huì)被與其他高度的激光相對(duì)應(yīng)的反射鏡等所遮擋。另外，即使粘接劑在硬化時(shí)發(fā)生收縮，也不發(fā)生反射鏡11等在高度方向上的位置偏移。因此，能夠得到耦合效率高的半導(dǎo)體激光器模塊。
[0067]另外，由于立面為封裝件3的側(cè)面19a，因此結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。另外，由于反射鏡可以全部為相同形狀，因此制造成本也較低。另外，如果如同反射鏡llb、llc 一樣具有抓持部25，則反射鏡的微調(diào)更為容易。
[0068]下面對(duì)其他實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖7是表示半導(dǎo)體激光器模塊30的俯視圖。此夕卜，在下面的說(shuō)明中，對(duì)于實(shí)現(xiàn)與半導(dǎo)體激光器模塊1相同功能的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注與圖1?圖3相同的附圖標(biāo)記，說(shuō)明從略。半導(dǎo)體激光器模塊30的結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體激光器模塊1大致相同，不同點(diǎn)是使用壁部件31。此外，在下面的說(shuō)明中，對(duì)使用反射鏡11的例子進(jìn)行說(shuō)明，但當(dāng)然可以使用其他方式的反射鏡11a、lib、11c。
[0069]在半導(dǎo)體激光器模塊30中，封裝件3底部的半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17的臺(tái)階差形狀形成至透鏡9的位置為止。在透鏡9的背面?zhèn)仍O(shè)置壁部件31，使其跨過(guò)所有半導(dǎo)體激光器5的設(shè)置范圍。即，壁部件31固定在封裝件3底部的平坦部上。因此，壁部件31相對(duì)于半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17呈大致垂直豎立，設(shè)置為與側(cè)面19a大致平行。
[0070]反射鏡11相對(duì)于壁部件31固定為與各半導(dǎo)體激光器5的高度相對(duì)應(yīng)的高度。即，反射鏡11相對(duì)于壁部件31，固定在各自不同的高度。此外，反射鏡11的固定方法和配置與固定在半導(dǎo)體激光器模塊1中的側(cè)面19a的方法等相同。
[0071]壁部件31可以由例如與半導(dǎo)體激光器模塊30的底部相同的材質(zhì)所構(gòu)成。如前所述，半導(dǎo)體激光器模塊30的底部由銅合金、鋁、具有高導(dǎo)熱率的陶瓷(例如，氮化鋁:A1N、氧化鈹:BeO)等所構(gòu)成。因此，通過(guò)使用與底部相同的材料構(gòu)成壁部件31，使底部與壁部件31具有大致相同的線性膨脹系數(shù)。因此，能夠減小伴隨溫度變化造成的變形等影響。
[0072]另外，作為壁部件31可以由例如與反射鏡11相同的材質(zhì)所構(gòu)成。如前所述，反射鏡11為玻璃制。因此，通過(guò)使用與反射鏡11相同的材質(zhì)構(gòu)成壁部件31，使其與反射鏡11的粘接性優(yōu)異。因此，反射鏡11與壁部件31的粘接變?nèi)菀住?br> [0073]按照上述內(nèi)容，根據(jù)半導(dǎo)體激光器模塊30，能夠得到與半導(dǎo)體激光器模塊1同樣的效果。另外，通過(guò)分別配置固定反射鏡11的壁部件31和封裝件3，能夠?qū)⒈诓考?1的材質(zhì)相對(duì)側(cè)面19a的材質(zhì)進(jìn)行變更。因此，能夠?qū)τ捎跍囟茸兓鴮?dǎo)致的變形、與反射鏡11的粘接性等進(jìn)行考慮，進(jìn)而選擇適合的材質(zhì)。
[0074]下面，進(jìn)一步對(duì)其它實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示半導(dǎo)體激光器模塊40的俯視圖。半導(dǎo)體激光器模塊40的結(jié)構(gòu)為與半導(dǎo)體激光器模塊大致相同，不同點(diǎn)是在側(cè)面19a形成凹部41。
[0075]在側(cè)面19a上固定反射鏡11的部位上，形成凹部41。凹部41是形成在側(cè)面19a上的凹陷，反射鏡11固定在凹部41內(nèi)。
[0076]通過(guò)設(shè)置凹部41，能夠防止在反射鏡11與側(cè)面19a的粘接部所使用的粘接劑滴落至封裝件3的底部。因此，能夠防止粘接劑附著在封裝件3的底部或透鏡等上。此外，凹部41也可以形成在上述壁部件31上。
[0077]下面，進(jìn)一步對(duì)其他實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖9是表示半導(dǎo)體激光器模塊50的俯視圖，圖10是側(cè)面剖視圖。半導(dǎo)體激光器模塊50的結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體激光器模塊1大致相同，不同為設(shè)置反射鏡51及反射鏡51的粘接面不同。
[0078]在半導(dǎo)體激光器模塊50中，使用反射鏡51。對(duì)于相對(duì)應(yīng)的每個(gè)半導(dǎo)體激光器5，反射鏡51的長(zhǎng)度都不同。例如，如圖10所示，將最長(zhǎng)的反射鏡51固定在最低的位置，并隨著接近上方而依次固定長(zhǎng)度短的反射鏡51即可。
[0079]反射鏡51固定在與側(cè)面19a大致垂直的側(cè)面19b上。封裝件3的側(cè)面19b也與側(cè)面19a相同，是相對(duì)于半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17大致垂直的立面。
[0080]在反射鏡51彼此之間，可以形成少量空隙，或者可以相接觸。這樣，即便如此設(shè)置半導(dǎo)體激光器模塊50，由于反射鏡51沒(méi)有固定在半導(dǎo)體激光器設(shè)置面17上，因此易于調(diào)整高度方向。
[0081]以上參照附圖，并以典型的尺寸為基礎(chǔ)對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本實(shí)用新型的技術(shù)范圍不被上述實(shí)施方式所左右。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員，則可以明白，在權(quán)利要求所記載的技術(shù)思想范疇內(nèi)能夠想到各種變更例或者修改例，并知道關(guān)于這些當(dāng)然屬于本實(shí)用新型的技術(shù)范圍。
[0082]例如，上述各種實(shí)施方式也能夠相互組合。另外，也能夠?qū)Ψ瓷溏R的反射面的形式、透鏡的形狀進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定。另外，根據(jù)需要，也可以設(shè)置濾波器等其他結(jié)構(gòu)。
[0083]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0084]1、30、40、50—半導(dǎo)體激光器模塊
[0085]3 —封裝件
[0086]5 —半導(dǎo)體激光器
[0087]6 —基座
[0088]7 —透鏡
[0089]9 —透鏡
[0090]ll、lla、llb、llc、51 —反射鏡
[0091]13 —透鏡
[0092]15— 光纖
[0093]17 —半導(dǎo)體激光器設(shè)置面
[0094]19a、19b —壁面
[0095]20 —激光
[0096]21 —反射面
[0097]23 —粘合面
[0098]25 —抓持部
[0099]31 —壁部件
[0100]41 —凹部
[0101]35— 溝槽
[0102]100—半導(dǎo)體激光器模塊
[0103]103 — 封裝件
[0104]105 —半導(dǎo)體激光器
[0105]107 —透鏡
[0106]109 —透鏡
[0107]111一反射鏡
[0108]113 —透鏡
[0109]115— 光纖
[0110]117 —半導(dǎo)體激光器設(shè)置面
[0111]119 一激光
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，具備多個(gè)半導(dǎo)體激光器、多個(gè)反射鏡及聚光透鏡， 所述多個(gè)反射鏡分別反射由多個(gè)所述半導(dǎo)體激光器射出的激光； 所述聚光透鏡對(duì)由所述反射鏡反射的各束激光進(jìn)行聚光，并耦合至光纖； 所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器分別配置在高度相互不同的半導(dǎo)體激光器設(shè)置面上； 所述多個(gè)反射鏡相互高度變化地粘合在相對(duì)所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置面大致垂直的立面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，所述立面為與所述半導(dǎo)體激光器的射出面相對(duì)的面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于， 所述反射鏡具有為了在設(shè)置所述反射鏡時(shí)將其抓持的抓持部； 所述抓持部具有相對(duì)于所述立面大致垂直且相互平行的兩個(gè)面； 所述反射鏡的反射面相對(duì)于所述抓持部以規(guī)定的角度形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，所述反射鏡往所述立面的粘合面由曲面構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，在所述立面與所述反射鏡的粘合部上形成凹部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，所述立面為半導(dǎo)體激光器模塊的封裝件的內(nèi)側(cè)面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，所述立面為配置在半導(dǎo)體激光器模塊的封裝件內(nèi)部，并設(shè)置在所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置面上的壁部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，所述壁部件由與構(gòu)成所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置面的材質(zhì)相同的材質(zhì)所構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，所述壁部件由與構(gòu)成所述反射鏡的材質(zhì)相同的材質(zhì)所構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】G02B6/42GK204205281SQ201390000441
【公開(kāi)日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2013年2月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月8日
【發(fā)明者】早水尚樹(shù), 石毛悠太, 木村俊雄 申請(qǐng)人:古河電氣工業(yè)株式會(huì)社