專利名稱：一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于激光加工領(lǐng)域，尤其涉及一種集激光高速精細(xì)掃描與大幅面掃描于一體的激光動(dòng)態(tài)聚焦掃描系統(tǒng)的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
三維動(dòng)態(tài)掃描聚焦系統(tǒng)一般也叫做3D動(dòng)態(tài)掃描或者3維掃描系統(tǒng)。在三維動(dòng)態(tài)掃描聚焦系統(tǒng)中，掃描振鏡被放置于三維動(dòng)態(tài)聚焦鏡的后方，三維動(dòng)態(tài)聚焦鏡系統(tǒng)一般包括可移動(dòng)的一個(gè)或多個(gè)聚焦透鏡鏡片構(gòu)成的聚焦透鏡鏡片組，激光束通過聚焦透鏡鏡片組后，再經(jīng)過掃描振鏡的反射，最后才到達(dá)焦平面。利用一個(gè)傳動(dòng)裝置沿光軸方向移動(dòng)部分或者全部透鏡，改變透鏡鏡片之間的距離，從而可以再在二維或三維空間內(nèi)改變聚焦光點(diǎn)的位置，稱之為〃三維掃描"。如果動(dòng)態(tài)聚焦鏡焦距固定不變，這個(gè)系統(tǒng)的聚焦面是一個(gè)曲面，根據(jù)工件平面每一點(diǎn)到聚焦鏡的距離，改變動(dòng)態(tài)聚焦鏡的焦距，從而使聚焦后的光點(diǎn)全部聚到工件所在的平面內(nèi)，就是說，平場(chǎng)聚焦可以通過配合掃描振鏡的反射鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)并微調(diào)動(dòng)態(tài)聚焦鏡系統(tǒng)內(nèi)透鏡鏡片之間的距離來實(shí)現(xiàn)。采用動(dòng)態(tài)聚焦的振鏡掃描方式，由于可以將焦距拉長(zhǎng)，從而增大了掃描面積。這種技術(shù)方案中存在的問題是，由于振鏡掃描范圍很大，激光焦點(diǎn)距離振鏡的距離較遠(yuǎn)，因此振鏡掃描控制激光焦點(diǎn)的位置精度較低，不能滿足大幅面激光掃描時(shí)局部范圍的高速高精度掃描需求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種集激光高速精細(xì)掃描與大幅面掃描于一體的激光動(dòng)態(tài)聚焦掃描系統(tǒng)的激光加工裝置，使得大幅面激光三維空間動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)既可以進(jìn)行大幅面激光掃描，也可以進(jìn)行局部范圍的高速高精度掃描。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊，所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡包括至少兩個(gè)串聯(lián)的透鏡，所述光束精細(xì)掃描模塊包括一個(gè)或至少兩個(gè)串聯(lián)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元用于對(duì)發(fā)射到其上的激光束進(jìn)行擺動(dòng)和/或平移掃描調(diào)制，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括透射光學(xué)元件以及用于控制透射光學(xué)元件進(jìn)行擺動(dòng)和/或平移運(yùn)動(dòng)的電機(jī)或電致伸縮元件。所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡通過動(dòng)態(tài)調(diào)整內(nèi)部透鏡之間的間距，對(duì)發(fā)射到其上的入射激光束進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦，以形成第一光束，并將該第一光束發(fā)射到所述光束精細(xì)掃描模塊。所述光束精細(xì)掃描模塊，位于所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡輸出第一光束的一側(cè)，并對(duì)所述第一光束進(jìn)行空間運(yùn)動(dòng)調(diào)制，以形成發(fā)射到所述大幅面掃描模塊的第二光束。所述大幅面掃描模塊，位于所述光束精細(xì)掃描模塊輸出第二光束的一側(cè)，并對(duì)從所述光束精細(xì)掃描模塊輸出的第二光束進(jìn)行傳輸方位控制，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。[0009]進(jìn)一步，所述大幅面掃描模塊包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡安裝在第一電機(jī)的主軸上，所述第二反射鏡安裝在第二電機(jī)的主軸上，所述第一電機(jī)主軸與所述第二電機(jī)主軸相互垂直，所述第一反射鏡用于接收并反射從所述光束精細(xì)掃描模塊發(fā)射過來的第二光束，以形成發(fā)射給所述第二反射鏡的反射光束，所述第二反射鏡接收并反射所述反射光束，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。進(jìn)一步，所述透射光學(xué)元件為透射平板光學(xué)元件或透射棱鏡光學(xué)元件。進(jìn)一步，所述電致伸縮元件為壓電陶瓷。以所述透射光學(xué)元件為透射平板光學(xué)元件為例，當(dāng)所述光束精細(xì)掃描模塊包括一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單元時(shí)，第一光束進(jìn)入所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元中的透射平板光學(xué)元件，經(jīng)光學(xué)折射其傳輸方向發(fā)生改變，從透射光學(xué)元件中輸出的出射光束，也稱為第二光束，與其入射光束即第一光束平行，激光傳輸方向改變?yōu)檎凵涔馐^而轉(zhuǎn)變?yōu)槌錾涔馐?。所述平板光學(xué)元件可繞其旋轉(zhuǎn)主軸進(jìn)行偏轉(zhuǎn)，對(duì)應(yīng)地，折射光束和出射光束傳輸方向均有改變，第二光束的傳輸方向?qū)崟r(shí)地根據(jù)透射光學(xué)元件的運(yùn)動(dòng)而變化。理論上出射光束與入射光束平行，且偏移位移量與平板光學(xué)元件繞擺動(dòng)主軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的度數(shù)以及平板光學(xué)元件的厚度以及平板光學(xué)元件的光學(xué)折射率有關(guān)。采用平板光學(xué)元件對(duì)激光光束進(jìn)行傳輸控制，平板光學(xué)元件表面法線與光束光軸夾角的單位角度變化導(dǎo)致的入射光束與出射光束的平行位移偏移量非常小，非常適合于高精度激光空間傳輸控制。相同的原理，只要是透射光學(xué)元件，合理控制透射光學(xué)元件的形狀、厚度、折射率等，可以獲得高速高精度控制第二光束的空間掃描控制。還是以所述透射光學(xué)元件為平板光學(xué)元件為例，當(dāng)所述光束精細(xì)掃描模塊包括兩個(gè)或兩個(gè)以上的串聯(lián)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元時(shí)，第一光束進(jìn)入所述光束精細(xì)掃描模塊中靠近所述第一光束一側(cè)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元中的平板光學(xué)元件，經(jīng)光學(xué)折射其傳輸方向發(fā)生改變，從透射光學(xué)元件平板光學(xué)元件中輸出的出射光束，與其入射光束即第一光束平行，所述光束精細(xì)掃描模塊中靠近所述第一光束一側(cè)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元中的平板光學(xué)元件接收從所述動(dòng)態(tài)聚焦模塊發(fā)出的第一光束。為方便描述，在此也將靠近所述第一光束一側(cè)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元稱為第 一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單元。所述第一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單元輸出激光束光軸相對(duì)于其入射激光的光軸進(jìn)行擺動(dòng)或者平移，后一激光光束偏轉(zhuǎn)單元的輸出光束的光軸相對(duì)于前一激光光束偏轉(zhuǎn)單元的輸出的光束的光軸進(jìn)行擺動(dòng)或者平移，并且相對(duì)于第一光束而言，該輸出光束運(yùn)動(dòng)軌跡是第一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單7Π后到本激光光束偏轉(zhuǎn)單7Π的所有激光光束偏轉(zhuǎn)單元對(duì)激光運(yùn)動(dòng)控制的運(yùn)動(dòng)合成軌跡。這樣可以形成非常復(fù)雜用途廣泛的激光高精度掃描運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型還提供另外一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊，所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡包括至少兩個(gè)串聯(lián)的透鏡，所述光束精細(xì)掃描模塊包括一個(gè)或至少兩個(gè)串聯(lián)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元用于對(duì)發(fā)射到其上的激光束進(jìn)行擺動(dòng)和/或平移掃描調(diào)制，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括反射光學(xué)元件以及用于控制反射光學(xué)元件進(jìn)行偏轉(zhuǎn)和/或平移運(yùn)動(dòng)的電機(jī)或電致伸縮元件。所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡通過動(dòng)態(tài)調(diào)整內(nèi)部透鏡之間的間距，對(duì)發(fā)射到其上的入射激光束進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦，以形成第一光束，并將該第一光束發(fā)射到所述光束精細(xì)掃描模塊。所述光束精細(xì)掃描模塊，位于所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡輸出第一光束的一側(cè)，并對(duì)所述第一光束進(jìn)行空間運(yùn)動(dòng)調(diào)制，以形成發(fā)射到所述大幅面掃描模塊的第二光束。所述大幅面掃描模塊,位于所述光束精細(xì)掃描模塊輸出第二光束的一側(cè)，并對(duì)從所述光束精細(xì)掃描模塊輸出的第二光束進(jìn)行傳輸方位控制，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的
第三光束。進(jìn)一步，所述大幅面掃描模塊包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡安裝在第一電機(jī)的主軸上，所述第二反射鏡安裝在第二電機(jī)的主軸上，所述第一電機(jī)主軸與所述第二電機(jī)主軸相互垂直，所述第一反射鏡用于接收并反射從所述光束精細(xì)掃描模塊發(fā)射過來的第二光束，以形成發(fā)射給所述第二反射鏡的反射光束，所述第二反射鏡接收并反射所述反射光束，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。進(jìn)一步，所述反射光學(xué)元件為平面反射鏡片。進(jìn)一步，所述電致伸縮元件為壓電陶瓷。所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括反射光學(xué)元件以及用于控制反射光學(xué)元件進(jìn)行偏轉(zhuǎn)或者平移的電機(jī)或電致伸縮元件。把反射光學(xué)元件，例如光學(xué)平面反射鏡，安裝于一個(gè)或者多個(gè)電致伸縮元件上，例如，光學(xué)平面反射鏡安裝在三個(gè)電致伸縮元件上，所述三個(gè)電致伸縮元件構(gòu)成伸縮支架。在電場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)候，電致伸縮元件的長(zhǎng)度會(huì)發(fā)生伸縮變化，從而驅(qū)動(dòng)光學(xué)反射鏡運(yùn)動(dòng)(偏轉(zhuǎn)或者平移或者既偏轉(zhuǎn)又平移)。由于電致伸縮元件的高精度伸縮特性和高速伸縮響應(yīng)特性(目前最高紀(jì)錄是若干吉赫茲GHz的響應(yīng)頻率)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)激光光束的高速高精度的運(yùn)動(dòng)控制。以所述反射光學(xué)元件為平面反射鏡為例，平面反射鏡有壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，平面反射鏡在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)下可以進(jìn)行二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)甚至多維運(yùn)動(dòng)，這里為方便描述，以平面反射鏡由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)做一維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)為例進(jìn)行說明，當(dāng)所述光束精細(xì)掃描模塊包括一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單元時(shí)，第一光束即入射光束到達(dá)所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元中的平面反射鏡時(shí)，經(jīng)光學(xué)反射后輸出的出射光束，也稱為第二光束。所述平面反射鏡在壓電陶瓷伸縮的驅(qū)動(dòng)下可以進(jìn)行偏轉(zhuǎn)，對(duì)應(yīng)地，反射光束傳輸方向也跟著改變，第二光束的傳輸方向?qū)崟r(shí)地根據(jù)反射鏡的運(yùn)動(dòng)而變化。由于壓電陶瓷伸縮精度高，伸縮重復(fù)頻率高，伸縮運(yùn)動(dòng)加速度高，因此反射鏡的運(yùn)動(dòng)精度、運(yùn)動(dòng)加速度和反復(fù)運(yùn)動(dòng)重復(fù)頻率可以很高，非常適合于高精度高速激光傳輸控制。還是以所述反射光學(xué)元件為平面反射鏡為例，且平面反射鏡在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)下做一維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)為例，當(dāng)所述光束精細(xì)掃描模塊包括兩個(gè)或兩個(gè)以上的串聯(lián)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元時(shí)，第一光束到達(dá)所述光束精細(xì)掃描模塊中靠近所述第一光束一側(cè)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元中的平面反射鏡，經(jīng)光學(xué)反射其傳輸方向發(fā)生改變，所述光束精細(xì)掃描模塊中靠近所述第一光束一側(cè)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元中的平面反射鏡接收從所述動(dòng)態(tài)聚焦模塊發(fā)出的第一光束。為方便描述，在此也將靠近所述第一光束一側(cè)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元稱為第一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單元。所述第一個(gè)激光光束旋轉(zhuǎn)單元輸出激光束光軸沿著其入射激光在平面反射鏡表面反射點(diǎn)為原點(diǎn)進(jìn)行擺動(dòng)，后一激光光束偏轉(zhuǎn)單兀的輸出光束沿著前一激光光束偏轉(zhuǎn)單兀的輸出光束在本單兀平面反射鏡表面的反射點(diǎn)為原點(diǎn)進(jìn)行擺動(dòng)，并且相對(duì)于第一光束而言，該軌跡是第一個(gè)激光光束偏轉(zhuǎn)單元到本激光光束偏轉(zhuǎn)單元的所有激光光束偏轉(zhuǎn)單元對(duì)激光運(yùn)動(dòng)控制的運(yùn)動(dòng)合成軌跡。這樣可以形成非常復(fù)雜用途廣泛的激光空間掃描運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型還提供第三種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊，所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡包括至少兩個(gè)串聯(lián)的透鏡，所述光束精細(xì)掃描模塊包括一個(gè)或至少兩個(gè)串聯(lián)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元用于對(duì)發(fā)射到其上的激光束進(jìn)行擺動(dòng)和/或平移掃描調(diào)制，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括聲光調(diào)制器，通過改變聲光調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)源的載波頻率調(diào)節(jié)其入射光束的布拉格光柵反射角，進(jìn)而改變?nèi)肷浼す鈧鬏敺较颉Ｋ鰟?dòng)態(tài)聚焦鏡通過動(dòng)態(tài)調(diào)整內(nèi)部透鏡之間的間距，對(duì)發(fā)射到其上的入射激光束進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦，以形成第一光束，并將該第一光束發(fā)射到所述光束精細(xì)掃描模塊。所述光束精細(xì)掃描模塊，位于所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡輸出第一光束的一側(cè)，并對(duì)所述第一光束進(jìn)行空間運(yùn)動(dòng)調(diào)制，以形成發(fā)射到所述大幅面掃描模塊的第二光束。所述大幅面掃描模塊，位于所述光束精細(xì)掃描模塊輸出第二光束的一側(cè)，用于對(duì)從所述光束精細(xì)掃描模塊輸出的第二光束進(jìn)行傳輸方位控制，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。進(jìn)一步，所述大幅面掃描模塊包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡安裝在第一電機(jī)的主軸上，所述第二反射鏡安裝在第二電機(jī)的主軸上，所述第一電機(jī)主軸與所述第二電機(jī)主軸相互垂直，所述第一反射鏡用于接收并反射從所述光束精細(xì)掃描模塊發(fā)射過來的第二光束，以形成發(fā)射給所述第二反射鏡的反射光束，所述第二反射鏡接收并反射所述反射光束，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。本實(shí)用新型的工作原理如下:入射激光經(jīng)過動(dòng)態(tài)聚焦鏡后，輸出激光束為聚焦激光光束，也稱為第一光束；從動(dòng)態(tài)聚焦鏡發(fā)射出來的聚焦激光光束發(fā)射到光束精細(xì)掃描模塊，所述光束精細(xì)掃描模塊內(nèi)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元對(duì)激光光束傳輸方向進(jìn)行偏轉(zhuǎn)或平移調(diào)制，光束精細(xì)掃描模塊出射激光光束的掃描軌跡或者掃描填充軌跡輪廓的大小和形狀同步發(fā)生變化，從所述光束精細(xì)掃描模塊出射激光光束也稱為第二光束；通過大幅面掃描模塊對(duì)從光束精細(xì)掃描模塊輸出的第二光束進(jìn)行偏轉(zhuǎn)控制，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束，從而達(dá)到本實(shí)用新型的目的。光束精細(xì)掃描模塊，按照事先規(guī)定好的填充區(qū)域形狀，對(duì)激光光束進(jìn)行高速填充掃描控制，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)調(diào)制光束精細(xì)掃描模塊出射激光光束的掃描填充軌跡輪廓的大小和形狀，這更符合實(shí)際大量加工需求，極大節(jié)省了后續(xù)大幅面掃描模塊的加工工作量并大大提高輪廓內(nèi)填充掃描效率和精度。在大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行加減速運(yùn)動(dòng)時(shí)候，例如，激光加工起點(diǎn)激光焦點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)加速，加工終點(diǎn)激光焦點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)減速，激光焦點(diǎn)拐彎時(shí)的加減速運(yùn)動(dòng)等，此時(shí)光束精細(xì)掃描模塊由于具備極快的加減速能力，可以對(duì)激光束進(jìn)行輔助運(yùn)動(dòng)控制，大大減少大幅面掃描模塊的加減速時(shí)間。由于光束精細(xì)掃描模塊對(duì)激光光束的偏轉(zhuǎn)控制精度可以做到遠(yuǎn)比后續(xù)大幅面掃描模塊掃描精度高，可以高精度控制激光束做局部區(qū)域的激光掃描運(yùn)動(dòng)，加工高精度微細(xì)加工結(jié)構(gòu)。這樣，光束精細(xì)掃描模塊可以實(shí)現(xiàn)局部區(qū)域高精度激光掃描控制，而大幅面掃描模塊可以做到大幅面掃描，大幅面掃描模塊可以做到1500毫米*1500毫米區(qū)域掃描面積。綜上所述，光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊各有分工，發(fā)揮各自優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)激光光束的高速精細(xì)掃描與大幅面掃描完美結(jié)合。簡(jiǎn)而言之，光束精細(xì)掃描模塊可以對(duì)大幅面掃描模塊對(duì)光束的運(yùn)動(dòng)控制時(shí)做輔助運(yùn)動(dòng)控制，或者鎖定等待；大幅面掃描模塊也可以對(duì)光束精細(xì)掃描模塊對(duì)激光光束運(yùn)動(dòng)控制時(shí)做輔助運(yùn)動(dòng)控制，或者鎖定等待，從而達(dá)到本實(shí)用新型的目的。本實(shí)用新型的有益效果是:通過光束精細(xì)掃描模塊能夠自動(dòng)改變或者動(dòng)態(tài)改變動(dòng)態(tài)聚焦鏡出射聚焦激光光束即第一光束的掃描填充軌跡的形狀和輪廓大小，極大地減輕了傳統(tǒng)的三維動(dòng)態(tài)聚焦振鏡掃描系統(tǒng)利用掃描振鏡進(jìn)行填充輪廓掃描的工作量并提高了掃描精度，大大提高激光加工效率和質(zhì)量。當(dāng)激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)需要加減速的時(shí)候，由于光束精細(xì)掃描模塊具備極快的高精度加減速能力，因此光束精細(xì)掃描模塊還可以對(duì)激光束進(jìn)行輔助運(yùn)動(dòng)控制，當(dāng)激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)速度一定時(shí)，在加工起點(diǎn)處，相對(duì)于大幅面掃描模塊，所述光束精細(xì)掃描模塊以更快加速度加速，在大幅面掃描模塊掃描速度增加時(shí)，所述光束精細(xì)掃描模塊相應(yīng)地進(jìn)行減速，直到回歸初始停留狀態(tài)，以保持激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)的均勻性。當(dāng)激光加工接近終點(diǎn)，大幅面掃描模塊掃描速度開始減速，此時(shí)所述光束精細(xì)掃描模塊從靜態(tài)加速，以維持激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)的勻速性，直到大幅面掃描模塊掃描速度為零時(shí)，所述大幅面掃描模塊和所述光束精細(xì)掃描模塊一起反向加速，就進(jìn)入另一個(gè)激光加工起點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)；同樣，當(dāng)激光焦點(diǎn)拐彎運(yùn)動(dòng)一般需要加減速，但是，由于所述光束精細(xì)掃描模塊的配合，甚至可以保持激光焦點(diǎn)在拐彎時(shí)候一樣保持高速勻速狀態(tài)。這樣，兩者在對(duì)光束運(yùn)動(dòng)控制上相互配合，大大減少現(xiàn)有加工方式中的大幅面掃描模塊的加減速時(shí)間，并提高激光加工質(zhì)量。光束精細(xì)掃描模塊以及大幅面掃描模塊，前者負(fù)責(zé)局部區(qū)域的高速高精度激光掃描，后者負(fù)責(zé)大幅面激光光束切換控制，實(shí)現(xiàn)了高精度激光運(yùn)動(dòng)控制和大幅面激光運(yùn)動(dòng)控制的完美結(jié)合，進(jìn)一步豐富了激光束空間軌跡調(diào)制，實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜激光加工方式。本實(shí)用新型采用的光束精細(xì)掃描模塊，其主要功能是控制調(diào)節(jié)激光對(duì)局部小面積進(jìn)行填充掃描加工，由于其激光光束掃描范圍小，因此光束偏轉(zhuǎn)角度精度非常高，因此具備高精度的特點(diǎn)。特別是采用透明光學(xué)元件或者反射光學(xué)元件且驅(qū)動(dòng)元件為電致伸縮元件或者采用聲光調(diào)制器做激光光束偏移單元時(shí)，光束偏轉(zhuǎn)精度非常高，因此具備高速高精度的特點(diǎn)。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1紫外激光光固化快速成型的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例2觸摸屏I TO刻膜的裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。實(shí)施例1:圖1為紫外激光光固化快速成型的裝置結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示:紫外激光光固化快速成型的裝置，包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊。所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡，波長(zhǎng)355納米，中心焦距1500mm，聚焦光斑100微米。所述光束精細(xì)掃描模塊包括兩個(gè)激光光束偏移單兀即第一激光光束偏移單兀和第二激光光束偏移單兀，第一激光光束偏移單兀包括第一平板石英玻璃214和用于驅(qū)動(dòng)所述第一平板石英玻璃214的第一電機(jī),所述第一平板石英玻璃214安裝在第一電機(jī)的電機(jī)主軸215上,且第一電機(jī)的電機(jī)主軸215軸向垂直于紙面。第二激光光束偏移單兀包括第二平板石英玻璃217和用于驅(qū)動(dòng)所述第二平板石英玻璃217的第二電機(jī)219，所述第二平板石英玻璃217安裝在第二電機(jī)219的電機(jī)主軸218上。所述大幅面掃描模塊包括第一反射鏡226,以及驅(qū)動(dòng)第一反射鏡226的驅(qū)動(dòng)電機(jī)228及其夾持第一反射鏡226的主軸227 ;還包括第二反射鏡223，以及驅(qū)動(dòng)第二反射鏡223的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的主軸222。所述待加工工件229為紫外光固化樹脂表面。整個(gè)紫外激光光固化快速成型的裝置結(jié)構(gòu)中的光路流程如下:入射光束211經(jīng)紫外激光三維動(dòng)態(tài)聚焦鏡212后,得到第一光束213,所述第一光束首先經(jīng)過第一平板石英玻璃214進(jìn)行第一次折射，形成折射光束216，從所述第一平板石英玻璃214發(fā)射出的折射光束216，再通過第二平板石英玻璃217進(jìn)行折射后輸出第二光束221，即所述第一光束依次經(jīng)過第一平板石英玻璃214和第二平板石英玻璃217的兩次折射后最終得到第二光束221。所述第二光束221經(jīng)第一反射鏡片226得到反射光束225，所述反射光束225經(jīng)第二反射鏡片223得到第三光束224，即所 述第二光束通過第一反射鏡片和第二反射鏡片223的兩次反射得到第三光束224，所述第三光束224直接作用于待加工工件229上進(jìn)行激光光固化加工。所述入射光束211為直徑為0.7毫米的入射光束。入射光束211的相關(guān)參數(shù)如下:激光波長(zhǎng)355納米，光束質(zhì)量因子小于1.2，光斑圓度大于百分之九十，平均功率I瓦，單模高斯激光(橫向場(chǎng)強(qiáng)為高斯分布)，脈沖重復(fù)頻率200千赫茲。所述第一平板石英玻璃214的折射率為1.45，厚度6毫米，其兩面均鍍355納米增透膜，可以繞軸向垂直于紙面第一電機(jī)的電機(jī)主軸215旋轉(zhuǎn)，使得所述第一平板石英玻璃214的入射表面法線與第一光束213的角度α在O 10度范圍內(nèi)變化，并使得折射光束216相對(duì)于所述第一光束213獲得相應(yīng)位移，偏移量在O 400微米范圍之間變化。所述第二平板石英玻璃217與第一平板石英玻璃214相同，但其旋轉(zhuǎn)軸(即第二電機(jī)219的電機(jī)主軸218)與第一電機(jī)的電機(jī)主軸215相互垂直,且方向平行于紙面。所述電機(jī)主軸218控制所述第二平板石英玻璃217，使得所述第二平板石英玻璃217的入射表面法線與所述折射光束216的角度α為O 10度變化，使得所述第二光束221相對(duì)于所述折射光束216獲得相應(yīng)位移，偏移量在O 400微米范圍之間變化。所述第二平板石英玻璃217與第一平板石英玻璃214的運(yùn)動(dòng)直接決定了所述第二光束221的運(yùn)動(dòng)軌跡，本實(shí)施例第二光束221的光軸運(yùn)動(dòng)范圍為800微米X800微米的方形區(qū)域。所述第一反射鏡片226與第二反射鏡片223相配合，可以進(jìn)行傳統(tǒng)的紫外激光光固化的激光束掃描，掃描的主要內(nèi)容是圖形輪廓線掃描和圖形輪廓內(nèi)面填充掃描。由于圖形輪廓內(nèi)面積填充掃描占據(jù)了紫外光固化加工的大部分加工時(shí)間，采用本技術(shù)方案，圖形輪廓內(nèi)面填充掃描大部分工作由所述光束精細(xì)掃描模塊完成，所述大幅面掃描模塊做輔助光束運(yùn)動(dòng)控制即可；在遇到一片局部區(qū)域需要精細(xì)掃描細(xì)微微結(jié)構(gòu)時(shí)，且所述大幅面掃描模塊掃描精度很難保證時(shí)，由所述光束精細(xì)掃描模塊控制激光束掃描，可以高精度高效完成各種結(jié)構(gòu)的微結(jié)構(gòu)掃描；在另一些區(qū)域，有時(shí)候只需要刻劃線條，此時(shí)一般做法是光束精細(xì)掃描模塊鎖定不動(dòng)，但是，如果在大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行加減速運(yùn)動(dòng)時(shí)候，例如，激光加工起點(diǎn)激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)加速，加工終點(diǎn)激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)減速，激光焦點(diǎn)拐彎運(yùn)動(dòng)加減速等，此時(shí)所述光束精細(xì)掃描模塊可以對(duì)激光束進(jìn)行輔助運(yùn)動(dòng)控制，在所述大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行加速運(yùn)動(dòng)時(shí)候，所述光束精細(xì)掃描模塊對(duì)激光束進(jìn)行更快的加速控制，一旦激光焦點(diǎn)速度達(dá)到預(yù)定速度后，所述光束精細(xì)掃描模塊開始減速，直到所述大幅面掃描模塊掃描速度達(dá)到預(yù)定速度后，所述光束精細(xì)掃描模塊減速到鎖定靜止?fàn)顟B(tài)；當(dāng)激光加工接近到達(dá)終點(diǎn)，大幅面掃描模塊掃描速度開始減速，此時(shí)所述光束精細(xì)掃描模塊從靜態(tài)加速，以維持激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)的勻速性，直到大幅面掃描模塊掃描速度為零時(shí)，所述大幅面掃描模塊和所述光束精細(xì)掃描模塊一起反向加速，就進(jìn)入另一個(gè)激光加工起點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)；同樣，當(dāng)激光焦點(diǎn)拐彎運(yùn)動(dòng)一般需要加減速，但是，由于所述光束精細(xì)掃描模塊的配合，保持激光焦點(diǎn)在工件表面運(yùn)動(dòng)的速度均勻性，甚至可以保持激光焦點(diǎn)在拐彎時(shí)候一樣保持高速勻速狀態(tài)。這樣，兩者在對(duì)光束運(yùn)動(dòng)控制上相互配合，大大減少現(xiàn)有加工方式中的大幅面掃描模塊的加減速時(shí)間，并提高激光加工質(zhì)量。實(shí)際上通過寬范圍入射角增透膜鍍膜技術(shù)，可以使得第一平板石英玻璃214的入射表面法線與第一光束213之間的夾角角度α在0-90度范圍之間變化；第二平板石英玻璃217的入射表面法線與所述折射光束216之間的夾角角度α在0_90度范圍之間變化，這樣可以一定程度上在保證精度的同時(shí)也能加大掃描范圍。通過改變第一平板石英玻璃214、第二平板石英玻璃217的厚度或折射率，可以改變折射光束216和第二光束掃描223輪廓大小。實(shí)施例2:圖2為觸摸屏ITO刻膜的裝置結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示:觸摸屏I TO刻膜的裝置包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊。所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡，波長(zhǎng)355nm，中心焦距1000mm。所述光束精細(xì)掃描模塊包括兩個(gè)激光光束偏移單兀即第一激光光束偏移單兀和第二激光光束偏移單兀，第一激光光束偏移單兀包括第一平面反射鏡314和用于驅(qū)動(dòng)所述第一平面反射鏡314運(yùn)動(dòng)(擺動(dòng)或者平移)的第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(圖中未示出)，第二激光光束偏移單元包括第二平面反射鏡316和用于驅(qū)動(dòng)所述第二平面反射鏡316運(yùn)動(dòng)(擺動(dòng)或者平移)的第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(圖中未示出)。所述大幅面掃描模塊為掃描振鏡，所述掃描振鏡包括掃描振鏡第一反射鏡326,以及驅(qū)動(dòng)第一反射鏡326的驅(qū)動(dòng)電機(jī)328及其夾持第一反射鏡326的主軸327 ;還包括第二反射鏡323，以及驅(qū)動(dòng)第二反射鏡323的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的主軸322。 所述待加工工件329為玻璃基底透明ITO導(dǎo)電膜(氧化銦錫(Indium-TinOxide))，固定安裝在加工平臺(tái)上。該裝置結(jié)構(gòu) 中的光路流程如下:初始入射光束311經(jīng)動(dòng)態(tài)聚焦鏡后得到第一光束313，所述第一光束313經(jīng)第一平面反射鏡314反射得到第一平面反射鏡反射光束315，所述第一平面反射鏡反射光束315經(jīng)第二平面反射鏡316反射得到第二光束321，所述第二光束321經(jīng)掃描振鏡的第一反射鏡片326得到反射光束325,所述反射光束325經(jīng)掃描振鏡的第二反射鏡片323得到第三光束324，所述第三光束324直接作用于待加工工件329。[0063]所述初始入射光束311，波長(zhǎng)355納米，光束的直徑0.7毫米，所在空氣折射率按I計(jì)算。所述第三光束324的相關(guān)參數(shù)如下:激光波長(zhǎng)355納米，光束質(zhì)量因子小于1.2，光斑圓度大于百分之九十，平均功率I瓦，單模高斯激光(橫向場(chǎng)強(qiáng)為高斯分布)，脈沖重復(fù)頻率200千赫茲，聚焦光斑30微米。所述第一平面反射鏡314可以安裝在至少一個(gè)壓電元件，特別是壓電陶瓷上；壓電元件特別是壓電陶瓷元件的伸縮，使得第一反射鏡角度偏轉(zhuǎn)，使得第一平面反射鏡反射光束315的傳輸角度發(fā)生偏轉(zhuǎn)。目前基本的壓電陶瓷元件或者電致伸縮元件的伸縮頻率可以做到吉赫茲(GHz)以上。這里采用20KHz伸縮頻率壓電陶瓷。所述第二平面反射鏡316可以安裝在至少一個(gè)壓電伸縮元件或者電致伸縮元件上，特別是壓電陶瓷上；壓電陶瓷元件的伸縮，使得第一反射鏡角度偏轉(zhuǎn)，使得第二光束321的傳輸角度發(fā)生偏轉(zhuǎn)。所述第一平面反射鏡314與第二平面反射鏡316的擺動(dòng)軸線相互垂直。第一平面反射鏡314與第二平面反射鏡316的擺動(dòng)控制第二光束321的運(yùn)動(dòng)軌跡為任意路徑的空間軌跡。如果所述大幅面掃描模塊鎖住不動(dòng)，那么工件329表面就留下了在第一平面反射鏡314與第二平面反射鏡316的運(yùn)動(dòng)控制下的第三光束324的軌跡。如果第一平面反射鏡314與第二平面反射鏡316鎖住不動(dòng)，大幅面掃描模塊對(duì)第二光束321進(jìn)行反射掃描控制，第三光束324在件329表面就留下了相應(yīng)的軌跡。所述光束精細(xì)掃描模塊主要從事局部區(qū)域的激光微加工，所述大幅面掃描模塊主要從事加工幅面內(nèi)的激光掃描加工；在遇到一片區(qū)域的ITO膜需要去除時(shí)，由所述光束精細(xì)掃描模塊精確控制激光束快速填充掃描，所述大幅面掃描模塊進(jìn)行必要的輔助控制，例如所述光束精細(xì)掃描模塊控制激光束掃描的幅面有限時(shí)，由所述大幅面掃描模塊移動(dòng)激光焦點(diǎn)到所需掃描區(qū)域；在遇到一片ITO區(qū)域需要精細(xì)掃描細(xì)微ITO微結(jié)構(gòu)時(shí)，且所述大幅面掃描模塊掃描精度很難保證時(shí)，由所述光束精細(xì)掃描模塊控制激光束掃描，可以高精度高效完成各種形狀的微結(jié)構(gòu)掃描；在另一些區(qū)域，有時(shí)候只需要刻劃線條，此時(shí)一般做法是光束精細(xì)掃描模塊鎖定不動(dòng)，但是，如果在大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行加減速運(yùn)動(dòng)時(shí)候，例如，激光加工起點(diǎn)激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)加速，加工終點(diǎn)激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)減速，激光焦點(diǎn)拐彎運(yùn)動(dòng)加減速等，此時(shí)所述光束精細(xì)掃描模塊可以對(duì)激光束進(jìn)行輔助運(yùn)動(dòng)控制，在所述大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行加速運(yùn)動(dòng)時(shí)候，所述光束精細(xì)掃描模塊對(duì)激光束進(jìn)行更快的加速控制，一旦焦點(diǎn)速度達(dá)到預(yù)定速度后，所述光束精細(xì)掃描模塊開始減速，直到所述大幅面掃描模塊掃描速度達(dá)到預(yù)定速度后，所述光束精細(xì)掃描模塊減速到鎖定靜止?fàn)顟B(tài)；當(dāng)激光加工接近到達(dá)終點(diǎn)，大幅面掃描模塊掃描速度開始減速，此時(shí)所述光束精細(xì)掃描模塊從靜態(tài)加速，以維持激光焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)的勻速性，直到大幅面掃描模塊掃描速度為零時(shí)，所述大幅面掃描模塊和所述光束精細(xì)掃描模塊一起反向加速，就進(jìn)入另一個(gè)激光加工起點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)；同樣，當(dāng)激光焦點(diǎn)拐彎運(yùn)動(dòng)一般需要加減速，但是，由于所述光束精細(xì)掃描模塊的配合，保持激光焦點(diǎn)在工件表面運(yùn)動(dòng)的速度均勻性，甚至可以保持激光焦點(diǎn)在拐彎時(shí)候一樣保持高速勻速狀態(tài)。這樣，兩者在對(duì)光束運(yùn)動(dòng)控制上相互配合，大大減少現(xiàn)有加工方式中的大幅面掃描模塊的加減速時(shí)間，并提高激光加工質(zhì)量。[0071]本實(shí)施例這種加工方式的好處是，所述光束精細(xì)掃描模塊可以更高效高精度完成局部激光填充掃描，大大提高激光局部掃描精度和材料面積去除效率；在所述大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行大幅面掃描加工時(shí)，對(duì)于局部區(qū)域精細(xì)圖形結(jié)構(gòu)很難高速高精度掃描，這一工作可以交由所述光束精細(xì)掃描模塊高速高精度控制激光束掃描完成；所述光束精細(xì)掃描模塊在所述大幅面掃描模塊控制激光束進(jìn)行加減速運(yùn)動(dòng)時(shí)候可以輔助控制激光光束運(yùn)動(dòng)，大大減少因所述大幅面掃描模塊的振鏡鏡片擺動(dòng)加減速所占用的加工時(shí)間，同時(shí)更好地保持激光焦點(diǎn)在工件表面運(yùn)動(dòng)的速度均勻性。上述實(shí)施例中，激光光束偏轉(zhuǎn)單元的擺動(dòng)主軸相互垂直的同時(shí)，理論上也需要與光束光軸垂直，實(shí)際使用中的安裝誤差可通過控制軟件進(jìn)行校正即可。上述實(shí)施例1與實(shí)施例2只是本實(shí)用新型的兩個(gè)典型的應(yīng)用，實(shí)際上其原理應(yīng)用不限于上面所述情形?？傊緦?shí)用新型提出一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其重要特點(diǎn)是:所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡完成激光光束的動(dòng)態(tài)聚焦，動(dòng)態(tài)改變激光焦點(diǎn)到激光動(dòng)態(tài)聚焦鏡的距離；所述光束精細(xì)掃描模塊，可以高速高精度完成局部區(qū)域的精細(xì)圖形結(jié)構(gòu)掃描控制，可以高速高效完成局部輪廓填充掃描，可以輔助所述大幅面掃描模塊進(jìn)行激光光束加速減速控制，大大減少因所述大幅面掃描模塊的振鏡鏡片擺動(dòng)加減速所占用的時(shí)間并提高加工質(zhì)量，同時(shí)更好地保持激光焦點(diǎn)在工件表面運(yùn)動(dòng)的速度均勻性；所述大幅面掃描模塊，保留了大幅面掃描激光加工能力。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊，所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡包括至少兩個(gè)串聯(lián)的透鏡， 所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡通過動(dòng)態(tài)調(diào)整內(nèi)部透鏡之間的間距，對(duì)發(fā)射到其上的入射激光束進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦，以形成第一光束，并將該第一光束發(fā)射到所述光束精細(xì)掃描模塊； 所述光束精細(xì)掃描模塊，位于所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡輸出第一光束的一側(cè)，并對(duì)所述第一光束進(jìn)行空間運(yùn)動(dòng)調(diào)制，以形成發(fā)射到所述大幅面掃描模塊的第二光束； 所述大幅面掃描模塊，位于所述光束精細(xì)掃描模塊輸出第二光束的一側(cè)，并對(duì)從所述光束精細(xì)掃描模塊輸出的第二光束進(jìn)行傳輸方位控制，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述光束精細(xì)掃描模塊包括一個(gè)或至少兩個(gè)串聯(lián)的激光光束偏轉(zhuǎn)單元，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元用于對(duì)發(fā)射到其上的激光束進(jìn)行擺動(dòng)和/或平移掃描調(diào)制。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括透射光學(xué)元件以及用于控制透射光學(xué)元件進(jìn)行擺動(dòng)和/或平移運(yùn)動(dòng)的電機(jī)或電致伸縮元件；或者，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括反射光學(xué)元件以及用于控制反射光學(xué)元件進(jìn)行偏轉(zhuǎn)和/或平移運(yùn)動(dòng)的電機(jī)或電致伸縮元件；或者，所述激光光束偏轉(zhuǎn)單元包括聲光調(diào)制器，通過改變聲光調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)源的載波頻率調(diào)節(jié)其入射光束的布拉格光柵反射角，進(jìn)而改變?nèi)肷浼す鈧鬏敺较颉?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述透射光學(xué)元件為透射平板光學(xué)元件或透射棱鏡光學(xué)元件。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所 述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述反射光學(xué)元件為平面反射鏡片。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5任一所述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述電致伸縮元件為壓電陶瓷。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述大幅面掃描模塊包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡安裝在第一電機(jī)的主軸上，所述第二反射鏡安裝在第二電機(jī)的主軸上，所述第一電機(jī)主軸與所述第二電機(jī)主軸相互垂直，所述第一反射鏡用于接收并反射從所述光束精細(xì)掃描模塊發(fā)射過來的第二光束，以形成發(fā)射給所述第二反射鏡的反射光束，所述第二反射鏡接收并反射所述反射光束，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，其特征在于:所述大幅面掃描模塊包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡安裝在第一電機(jī)的主軸上，所述第二反射鏡安裝在第二電機(jī)的主軸上，所述第一電機(jī)主軸與所述第二電機(jī)主軸相互垂直，所述第一反射鏡用于接收并反射從所述光束精細(xì)掃描模塊發(fā)射過來的第二光束，以形成發(fā)射給所述第二反射鏡的反射光束，所述第二反射鏡接收并反射所述反射光束，以形成發(fā)射到待加工對(duì)象上的第三光束。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種基于動(dòng)態(tài)聚焦的激光加工裝置，包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡、光束精細(xì)掃描模塊和大幅面掃描模塊，所述動(dòng)態(tài)聚焦鏡完成激光光束的動(dòng)態(tài)聚焦，動(dòng)態(tài)改變激光焦點(diǎn)到激光動(dòng)態(tài)聚焦鏡的距離；所述光束精細(xì)掃描模塊，可以高速高精度完成局部區(qū)域的精細(xì)圖形結(jié)構(gòu)掃描控制，可以高速高效完成局部輪廓填充掃描，可以輔助所述大幅面掃描模塊進(jìn)行激光光束加速減速控制，大大減少因所述大幅面掃描模塊的振鏡鏡片擺動(dòng)加減速所占用的時(shí)間并提高加工質(zhì)量，同時(shí)更好地保持激光焦點(diǎn)在工件表面運(yùn)動(dòng)的速度均勻性；所述大幅面掃描模塊，保留了大幅面掃描激光加工能力。
文檔編號(hào)G02B7/04GK203156228SQ20132009578
公開日2013年8月28日 申請(qǐng)日期2013年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月1日
發(fā)明者張立國(guó) 申請(qǐng)人:張立國(guó)