專利名稱：掩膜版盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版盒。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，掩膜版的花費(fèi)正在日益增長?，F(xiàn)有技術(shù)中通常在光掩膜版表面設(shè)置一個(gè)保護(hù)膜對掩膜版進(jìn)行保護(hù)，防止其被污染。一旦保護(hù)膜受到了損害，就必須重新制作，極大地增加了消耗，同時(shí)也容易延誤產(chǎn)品的制作日常。當(dāng)掩膜版被傳輸至晶圓廠中后，掩膜版通常是被放置在一個(gè)掩膜版盒中，請參考圖1，其為現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜版盒底部一角的仰視示意圖(面向底座)，包括一個(gè)底座101、蓋于所述底座101上的殼罩以及用以將所述底座101與所述殼罩固定在一起的限制塊102和旋轉(zhuǎn)臂112，所述殼罩包括垂直于所述底座101的側(cè)壁，所述限制塊102通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)臂112與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，且所述限制塊102平行于所述底座101表面繞所述旋轉(zhuǎn)臂112的一端旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)臂112的一端與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，另一端與所述限制塊102固定連接，所述旋轉(zhuǎn)臂112的旋轉(zhuǎn)軸心垂直于所述底座，所述側(cè)壁包括互相平行的內(nèi)側(cè)壁103和外側(cè)壁104，所述內(nèi)側(cè)壁103與所述外側(cè)壁104均設(shè)有供所述限制塊旋轉(zhuǎn)穿過的開口，分別是內(nèi)開口 105和外開口 106。限制塊102和旋轉(zhuǎn)臂112在殼罩的四角各有一個(gè)。圖1僅展示了其中的一角，其他各角上的限制塊102、旋轉(zhuǎn)臂112、內(nèi)開口 105以及外開口 106均與其類似。在現(xiàn)有技術(shù)中，內(nèi)開口 105和外開口 106末端的內(nèi)側(cè)壁103和外側(cè)壁104由于單獨(dú)露在外面，經(jīng)常會(huì)因?yàn)橛|碰發(fā)生破碎現(xiàn)象，以至于碎片從內(nèi)開口 105處進(jìn)入到掩膜版盒內(nèi)，進(jìn)而刮傷了其中的掩膜版及其表面的保護(hù)膜
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能避免側(cè)壁破碎的掩膜版盒。為了解決這一技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種掩膜版盒，包括一個(gè)底座、蓋于所述底座上的殼罩以及用以將所述底座與所述殼罩固定在一起的限制塊和旋轉(zhuǎn)臂，所述殼罩包括垂直于所述底座的側(cè)壁，所述旋轉(zhuǎn)臂的一端與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，另一端與所述限制塊固定連接，所述旋轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)軸心垂直于所述底座，所述限制塊通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)臂與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，且所述限制塊平行于所述底座表面繞所述旋轉(zhuǎn)臂的一端旋轉(zhuǎn)，所述側(cè)壁包括互相平行的內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁，所述內(nèi)側(cè)壁與所述外側(cè)壁均設(shè)有供所述限制塊旋轉(zhuǎn)穿過的開口，所述側(cè)壁還包括末端連接壁，所述末端連接壁連接所述內(nèi)側(cè)壁和所述外側(cè)壁的開口末端。所述末端連接壁的數(shù)量為兩個(gè)，分別位于所述限制塊的兩側(cè)，分別連接位于所述限制塊的同側(cè)的內(nèi)側(cè)壁的開口末端與外側(cè)壁的開口末端。位于所述限制塊的與所述旋轉(zhuǎn)臂同側(cè)的末端連接壁沿豎直方向的高度位置與所述限制塊的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面錯(cuò)開。[0009]所述側(cè)壁還包括垂直連接壁，所述垂直連接壁垂直于所述內(nèi)側(cè)壁與外側(cè)壁設(shè)置。所述垂直連接壁與位于所述限制塊同側(cè)的所述末端連接壁等高。所述末端連接壁的一端與所述垂直連接壁的一端重合。所述末端連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端與所述垂直連接壁的位于所述外側(cè)壁
的一端重合。所述內(nèi)側(cè)壁的開口小于所述外側(cè)壁的開口。本實(shí)用新型通過末端連接壁的設(shè)置，連接了內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁的開口末端，從而避免了兩個(gè)開口末端因?yàn)橛|碰等原因而發(fā)生破碎，進(jìn)而避免了碎片通過內(nèi)側(cè)壁上的開口進(jìn)入到掩膜版盒，最終防止了碎片刮傷掩膜版或掩模版上的保護(hù)膜。提供了一種能避免側(cè)壁破碎的掩膜版盒。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜版盒底部一角的仰視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的掩膜版盒底部一角的仰視結(jié)構(gòu)示意圖；圖中·，101—底座；102 —限制塊；112—旋轉(zhuǎn)臂；103 —內(nèi)側(cè)壁；104—外側(cè)壁；105—內(nèi)開口 ；115—內(nèi)開口第一末端；125—內(nèi)開口第二末端；106—外開口 ；116—夕卜開口第一末端；126—外開口第二末端；107—第一垂直連接壁；108—第一末端連接壁；117—第二垂直連接壁；118—第二末端連接壁。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖2對本實(shí)用新型提供的掩膜版盒進(jìn)行詳細(xì)的描述，其為本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例，可以認(rèn)為本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)公知的常識(shí)，在不修改本實(shí)用新型的精神和內(nèi)容的范圍內(nèi)對其進(jìn)行修改和潤色。本實(shí)施例提供了一種掩膜版盒，包括一個(gè)底座101、蓋于所述底座上的殼罩及用以將所述底座與所述殼罩固定在一起的限制塊102和旋轉(zhuǎn)臂112，所述殼罩包括垂直于所述底座101的側(cè)壁，所述旋轉(zhuǎn)臂112的一端與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，另一端與所述限制塊102固定連接，所述旋轉(zhuǎn)臂112的旋轉(zhuǎn)軸心垂直于所述底座101，即所述限制塊102通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)臂112與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，且所述限制塊102平行于所述底座101表面繞所述旋轉(zhuǎn)臂112的一端旋轉(zhuǎn)，所述側(cè)壁包括互相平行的內(nèi)側(cè)壁103和外側(cè)壁104，所述內(nèi)側(cè)壁103與所述外側(cè)壁104均設(shè)有供所述限制塊102旋轉(zhuǎn)穿過的開口，當(dāng)所述限制塊102穿過所述內(nèi)側(cè)壁103上的內(nèi)開口后，可以擋在所述底座101的底部，對其進(jìn)行固定，所述側(cè)壁還包括末端連接壁，所述末端連接壁連接所述內(nèi)側(cè)壁103和所述外側(cè)壁104的開口末端。所述的開口末端可以認(rèn)為是指開口兩端與所述外側(cè)壁104或內(nèi)側(cè)壁103的連接處。第一垂直連接壁107和第二垂直壁117有助于側(cè)壁的穩(wěn)固安全.[0020]在本實(shí)施例中，請參考圖2，和圖1，內(nèi)側(cè)壁103上的開口為內(nèi)開口 105，外側(cè)壁104上的開口為外開口 106。內(nèi)側(cè)壁103上的內(nèi)開口 105的兩端分別為內(nèi)開口第一末端115和內(nèi)開口第二末端125,外側(cè)壁104上的外開口 106的兩端分別為外開口第一末端116和外開口第二末端126。所述限制塊102用以通過穿過所述內(nèi)開口 105，進(jìn)而卡住所述底座101的位置。[0021]本實(shí)施例通過末端連接壁的設(shè)置，連接了內(nèi)側(cè)壁103和外側(cè)壁104的開口末端，從而避免了兩個(gè)開口末端因?yàn)橛|碰等原因而發(fā)生破碎，進(jìn)而避免了碎片通過內(nèi)側(cè)壁103上的開口進(jìn)入到掩膜版盒，最終防止了碎片刮傷掩模版及其表面的保護(hù)膜。提供了一種能避免側(cè)壁破碎的掩膜版盒。所述末端連接壁的數(shù)量為兩個(gè)，分別位于所述限制塊102的兩側(cè)，其可以理解為當(dāng)所述限制塊102被旋轉(zhuǎn)至工作位置，即將掩模版盒殼罩與所述底盤101固定在了一起，末端連接壁位于此時(shí)限制塊102位置的兩側(cè)，即圖中的左右兩側(cè)，所述末端連接壁分別連接位于所述限制塊102同側(cè)的內(nèi)側(cè)壁103的開口末端與外側(cè)壁104的開口末端。在本實(shí)施例中，末端連接壁包括第一末端連接壁108和第二末端連接壁118，第一末端連接壁108連接內(nèi)開口 105和外開口 106左側(cè)的末端，第二末端連接壁118連接內(nèi)開口 105和外開口 106右側(cè)的末端。位于所述限制塊102的與所述旋轉(zhuǎn)臂112同側(cè)的末端連接壁沿豎直方向上的高度位置與所述限制塊102的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面錯(cuò)開。在本實(shí)施例中，即第二末端連接壁118的高度位置高于所述限制塊102的上側(cè)表面，因?yàn)樵诒緦?shí)施例中，底座101沿豎直方向上位于掩膜版盒的底部，限制塊102也在底部位置，即此時(shí)圖2為本實(shí)施例提供的掩膜版盒底部仰視圖，則第二末端連接壁118的下端便高于限制塊102的上側(cè)表面。這一設(shè)置是為了既能滿足給旋轉(zhuǎn)臂112與限制塊102的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)提供空間，同時(shí)還能保證實(shí)現(xiàn)內(nèi)側(cè)壁與外側(cè)壁的開口末端的連接。所述側(cè)壁還包括垂直連接壁，所述垂直連接壁垂直于所述內(nèi)側(cè)壁與外側(cè)壁設(shè)置。在本實(shí)施例中，所述垂直連接壁包括如圖2所示的第一垂直連接壁107和第二垂直連接壁117。所述垂直連接壁與位于所述限制塊102同側(cè)的所述末端連接壁等高。即第一末端連接壁108與第一垂直連接壁107等高，第二垂直連接壁117與第二末端連接壁118等高。垂直連接壁的設(shè)置有助于掩膜版運(yùn)輸容器側(cè)壁的穩(wěn)固安全。所述末端連接壁的一端與所述垂直連接壁的一端重合。所述末端連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端與所述垂直連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端重合。從而進(jìn)一步避免了兩個(gè)開口末端因?yàn)橛|碰等原因而發(fā)生破碎。在本實(shí)施例中，所述內(nèi)側(cè)壁的開口小于所述外側(cè)壁的開口。即內(nèi)開口 105小于外開口 106，這一設(shè)置有利于限制塊102的旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，也是為了將所述末端連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端與所述垂直連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端重合。從而進(jìn)一步避免了兩個(gè)開口末端因?yàn)橛|碰等原因而發(fā)生破碎。綜上所述，本實(shí)用新型通過末端連接壁的設(shè)置，連接了內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁的開口末端，從而避免了兩個(gè)開口末端因?yàn)橛|碰等原因而發(fā)生破碎，進(jìn)而避免了碎片通過內(nèi)側(cè)壁上的開口進(jìn)入到掩膜版盒，最終防止了碎片刮傷掩膜版及掩模版表面的保護(hù)膜。提供了一種能避免側(cè)壁破碎的掩膜版盒。
權(quán)利要求1.一種掩膜版盒,包括一個(gè)底座、蓋于所述底座上的殼罩以及用以將所述底座與所述殼罩固定在一起的限制塊和旋轉(zhuǎn)臂，所述殼罩包括垂直于所述底座的側(cè)壁，所述旋轉(zhuǎn)臂的一端與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，另一端與所述限制塊固定連接，所述旋轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)軸心垂直于所述底座，所述側(cè)壁包括互相平行的內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁，所述內(nèi)側(cè)壁與所述外側(cè)壁均設(shè)有供所述限制塊旋轉(zhuǎn)穿過的開口，其特征在于:所述側(cè)壁還包括末端連接壁，所述末端連接壁連接所述內(nèi)側(cè)壁和所述外側(cè)壁的開口末端。
2.如權(quán)利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于:所述末端連接壁的數(shù)量為兩個(gè)，分別位于所述限制塊的兩側(cè)，分別連接位于所述限制塊同側(cè)的內(nèi)側(cè)壁的開口末端與外側(cè)壁的開口末端。
3.如權(quán)利要求2所述的掩膜版盒，其特征在于:位于所述限制塊的與所述旋轉(zhuǎn)臂同側(cè)的末端連接壁沿豎直方向的高度位置與所述限制塊的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面錯(cuò)開。
4.如權(quán)利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于:所述側(cè)壁還包括垂直連接壁，所述垂直連接壁垂直于所述內(nèi)側(cè)壁與外側(cè)壁設(shè)置。
5.如權(quán)利要求4所述的掩膜版盒，其特征在于:所述垂直連接壁與位于所述限制塊同側(cè)的所述末端連接壁等高。
6.如權(quán)利要求4所述的掩膜版盒，其特征在于:所述末端連接壁的一端與所述垂直連接壁的一端重合。
7.如權(quán)利要求6所述的掩膜版盒，其特征在于:所述末端連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端與所述垂直連接壁的位于所述外側(cè)壁的一端重合。
8.如權(quán)利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于:所述內(nèi)側(cè)壁的開口小于所述外側(cè)壁的開口。·
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種掩膜版盒，包括一個(gè)底座、蓋于所述底座上的殼罩以及用以將所述底座與所述殼罩固定在一起的限制塊和旋轉(zhuǎn)臂，所述殼罩包括垂直于所述底座的側(cè)壁，所述旋轉(zhuǎn)臂的一端與所述側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接，另一端與所述限制塊固定連接，所述旋轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)軸心垂直于所述掩模版盒底座，所述殼罩側(cè)壁包括互相平行的內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁，所述內(nèi)側(cè)壁與所述外側(cè)壁均設(shè)有供所述限制塊旋轉(zhuǎn)穿過的開口，所述側(cè)壁還包括末端連接壁，所述末端連接壁連接所述內(nèi)側(cè)壁和所述外側(cè)壁的開口末端。本實(shí)用新型通過末端連接壁的設(shè)置，連接了內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁的開口末端，避免了兩個(gè)開口末端因?yàn)橛|碰等原因而發(fā)生破碎，進(jìn)而避免了碎片通過內(nèi)側(cè)壁上的開口進(jìn)入到掩膜版盒。
文檔編號(hào)G03F1/66GK203133471SQ20132009404
公開日2013年8月14日 申請日期2013年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月1日
發(fā)明者邢濱, 岳力挽 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司