一種物鏡隔振裝置及對該物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種物鏡隔振裝置，其特征在于，該物鏡隔振裝置包括：一第一接口，用于與一物鏡連接；一第二接口，用于與一基板連接；一主體件，該主體件位于該第一接口與第二接口之間，該主體件為一中空柱體，該中空柱體的外表面包括一螺旋坡口，該螺旋坡口的兩端均為圓角。本發(fā)明還同時公開一種對該物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法。
【專利說明】-種物鏡隔振裝置及對該物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算 方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種集成電路裝備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種物鏡隔振裝置及對該物鏡 及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上，通常是襯底的目標部分上的機器。例 女口，可W將光刻設(shè)備用在集成電路（1C)的制造中。在該種情況下，可W將可選地稱為掩模 或掩模版（reticle)的圖案形成裝置用于生成對應(yīng)于所述1C的單層的電路圖案?？蒞將 該圖案成像到襯底（例如，娃晶片）上的目標部分（例如，包括一部分管芯、一個或多個管 芯）上。圖案成像是通過把圖案成像到提供到襯底上的福射敏感材料（抗蝕劑）層上進行 的。通常，單獨的襯底將包含被連續(xù)曝光的相鄰目標部分的網(wǎng)絡(luò)。常規(guī)的光刻設(shè)備包括：所 謂步進機，在所述步進機中，通過將全部圖案尸次曝光到所述目標部分上來福射每一個目 標部分；W及所謂掃描機：在所述掃描機中，通過福射束沿給定方向（"掃描"方向）掃描所 述圖案、同時沿與該方向平行或反向平行的方向掃描所述襯底來福射每一個目標部分。也 可能通過將圖案壓?。╥mprinting)到襯底的方式從圖案形成裝置將圖案形成到襯底上。
[0003] 高精度和高分辨率作為光刻技術(shù)當前瞄準的目標需要光刻設(shè)備的各部件之間相 互精確定位，例如保持圖案形成裝置（例如掩模）的掩模版臺、投影系統(tǒng)和保持襯底的襯底 臺。除了例如掩模版臺和襯底臺的定位外，投影系統(tǒng)也面臨該種需要。在當前設(shè)備中的投 影系統(tǒng)包括承載結(jié)構(gòu)，例如透鏡座架（透射光的情形）或反射鏡框架（反射光的情形），和 包括多個光學元件，例如透鏡元件、反射鏡等。
[0004] 通常在光刻機系統(tǒng)中，由于結(jié)構(gòu)振動將會導致圖像的短期誤差，同時由于運動系 統(tǒng)巧n微動臺、反射鏡)的 MA (Moving Average)和 MSD (Moving Standard Deviation)的伺 服位置誤差將導致的圖像崎變。降低和控制對整機動態(tài)性能，將誤差降低到一個較低的水 平。
[0005] 隨著光刻領(lǐng)域?qū)Ω呔群透叻€(wěn)定性的不斷需求。如US7554105專利提出的一種 30化柔性機構(gòu)的避免共振的方法，并提出了一種倒T型柔性機構(gòu)的設(shè)計結(jié)構(gòu)和布局本專利 提出一種兩極隔振的系統(tǒng)方案，其中第一級采用主動減振器AM (0.5化），用于各類基礎(chǔ)框 架上的低頻振動，第二級采用Soft Mount柔性機構(gòu)裝置（30化），用于隔離主基板上的殘余 振動加速度。
[0006] 又如US7554105專利方案提出的一種基于被動隔振的方案前提下，通過設(shè)置慣性 傳感器、重力補償器、和洛倫茨電機作為執(zhí)行器的一種系統(tǒng)，來實現(xiàn)對物鏡的主動控制和補 償?shù)臏p振作用。然而對于目前的技術(shù)手段提供大載荷（l〇(K)kg)的重力補償裝置，實行是有 難度的，同時要將物鏡整體控制達到高精度、快速響應(yīng)和反饋是比較困難的。
[0007] 又如US7822509專利所提供的一種被動隔振控制方法，用于估算因有效載荷的重 也偏差造成的誤差，在控制手段的一種補償算法，用于隔離低頻振動的計算方法。但是其計 算公式中存在一些i化誤。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明提供對該物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計 算方法，能有效控制物鏡振幅。
[0009] 為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明公開一種物鏡隔振裝置，其特征在于，該物鏡隔振 裝置包括；一第一接口，用于與一物鏡連接；一第二接口，用于與一基板連接；一主體件，該 主體件位于該第一接口與第二接口之間，該主體件為一中空柱體，該中空柱體的外表面包 括一螺旋坡口，該螺旋坡口的兩端均為圓角。
[0010] 更進一步地，該中空柱體為一瓶狀管柱，該瓶狀管柱的兩端直徑大于中間部分直 徑。該瓶狀管柱的內(nèi)徑取值范圍為15-25mm，外徑取值范圍為25-35mm，該螺旋坡口的螺距 為 20-40mm。
[0011] 更進一步地，該中空柱體為一中空圓柱體。該中空圓柱體的內(nèi)徑取值范圍為 15-20mm，外徑取值范圍為25-30mm，該螺旋坡口的螺距為30-40mm。
[0012] 本發(fā)明同時公開一種對物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法，其特征在于，包括： 步驟一、將該物鏡的質(zhì)量，重也位置，轉(zhuǎn)動慣量和主慣性軸作為有效載荷質(zhì)量的屬性，W及 將該物鏡隔振裝置作為支撐的空間位置；步驟二、計算該結(jié)構(gòu)的剛度矩陣；步驟H，根據(jù)該 剛度矩陣，通過求解方程的特征頻率和特征向量得6自由度特征頻率計算公式；步驟四、根 據(jù)該6自由度特征頻率計算公式計算標準方差。
[0013] 更進一步地，該剛度矩陣為

【權(quán)利要求】
1. 一種物鏡隔振裝置，其特征在于，所述物鏡隔振裝置包括： 一第一接口，用于與一物鏡連接； 一第二接口，用于與一基板連接； 一主體件，所述主體件位于所述第一接口與第二接口之間，所述主體件為一中空柱體， 所述中空柱體的外表面包括一螺旋坡口，所述螺旋坡口的兩端均為圓角。
2. 如權(quán)利要求1所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述中空柱體為一瓶狀管柱，所述 瓶狀管柱的兩端直徑大于中間部分直徑。
3. 如權(quán)利要求1所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述中空柱體為一中空圓柱體。
4. 如權(quán)利要求3所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述瓶狀管柱的內(nèi)徑取值范圍為 15-25mm，外徑取值范圍為25-35mm，所述螺旋坡口的螺距為20-40mm。
5. 如權(quán)利要求4所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述中空圓柱體的內(nèi)徑取值范圍 為15-20mm，外徑取值范圍為25-30mm，所述螺旋坡口的螺距為30-40mm。
6. -種對物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法，其特征在于，包括；步驟一、將所述物 鏡的質(zhì)量，重也位置，轉(zhuǎn)動慣量和主慣性軸作為有效載荷質(zhì)量的屬性，W及將所述物鏡隔 振裝置作為支撐的空間位置；步驟二、計算所述結(jié)構(gòu)的剛度矩陣；步驟H，根據(jù)所述剛度矩 陣，通過求解方程的特征頻率和特征向量得6自由度特征頻率計算公式；步驟四、根據(jù)所述 6自由度特征頻率計算公式計算標準方差。
7. 如權(quán)利要求6所述的對物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法，其特征在于，所述剛 度矩陣為
8. 如權(quán)利要求6所述的對物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法，其特征在于，所述6自 由度特征頻率計算公式為：

9.如權(quán)利要求6所述的對物鏡及物鏡隔振裝置的結(jié)構(gòu)計算方法，其特征在于，所述標 準方差為

【文檔編號】G02B7/00GK104423175SQ201310389117
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年9月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月2日
【發(fā)明者】吳飛, 王茜, 陳文樞 申請人:上海微電子裝備有限公司