顯示面板制造設(shè)備的制作方法
【專利摘要】一種顯示面板制造設(shè)備,包括:臺(tái)滑動(dòng)器;第一臺(tái),被構(gòu)造為在所述臺(tái)滑動(dòng)器上滑動(dòng)并接收測(cè)試基板;第二臺(tái),在所述臺(tái)滑動(dòng)器上并被構(gòu)造為接收主基板;以及布圖單元,該布圖單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為將有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板上,被構(gòu)造為分析所述有機(jī)液滴的圖案,被構(gòu)造為根據(jù)所述有機(jī)液滴的圖案的分析而修正所排放的有機(jī)液滴的圖案,并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述主基板。
【專利說(shuō)明】顯示面板制造設(shè)備
[0001]相關(guān)專利申請(qǐng)的交叉引用
[0002]本申請(qǐng)要求于2012年12月28日遞交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的韓國(guó)專利申請(qǐng)第10-2012-0157330號(hào)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益,其全部公開內(nèi)容通過(guò)引用合并于此。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明的各實(shí)施例涉及一種顯示面板制造設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0004]基于移動(dòng)性的電子設(shè)備已經(jīng)被廣泛使用。除了諸如移動(dòng)電話的小型電子設(shè)備,平板個(gè)人電腦(PC)作為移動(dòng)電子設(shè)備也已被廣泛使用。
[0005]移動(dòng)電子設(shè)備包括顯示裝置以向用戶提供諸如圖像的視覺(jué)信息,從而支持各種功能。用于驅(qū)動(dòng)顯示裝置的其它部件已經(jīng)被制造為小型,由此移動(dòng)電子設(shè)備的顯示裝置的重量增加。同樣,顯示裝置已經(jīng)被開發(fā)為具有能彎折的結(jié)構(gòu),以從平坦?fàn)顟B(tài)彎折一角度。
[0006]顯示裝置包括可以以各種形式并通過(guò)使用各種制造方法而形成的顯示面板。
[0007]各種類型的工藝可用于形成顯示面板上的各種類型的層。特別地,當(dāng)使用顯示面板的各種類型的層的有機(jī)材料時(shí),該有機(jī)材料可被堆疊,或者可通過(guò)印刷工藝形成結(jié)構(gòu)。在此,通常,在印刷技術(shù)中有機(jī)液滴(例如,微滴)被排放以形成各種類型的層或結(jié)構(gòu)。在印刷技術(shù)中,顯示面板的諸如分辨率等因素根據(jù)形成有機(jī)液滴的圖案的方法而確定。因此,有機(jī)液滴在測(cè)試基板上預(yù)先布圖,并然后在主基板上布圖。然而,當(dāng)有機(jī)液滴如上所述在測(cè)試基板上布圖時(shí),有機(jī)液滴在并非制造主基板的工藝中的另外的空間布圖。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]本發(fā)明的各實(shí)施例提供一種精確排放有機(jī)液滴的顯示面板制造設(shè)備。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的一方面,提供一種顯示面板制造設(shè)備,包括:臺(tái)滑動(dòng)器;第一臺(tái),該第一臺(tái)被構(gòu)造為在所述臺(tái)滑動(dòng)器上滑動(dòng)并被構(gòu)造為接收測(cè)試基板;第二臺(tái),該第二臺(tái)在所述臺(tái)滑動(dòng)器上并被構(gòu)造為接收主基板;以及布圖單元,該布圖單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為將有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板上,被構(gòu)造為分析所述有機(jī)液滴的圖案,被構(gòu)造為根據(jù)所述有機(jī)液滴的圖案的分析而修正所排放的有機(jī)液滴的圖案,并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述主基板上。
[0010]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括在所述第一臺(tái)處的測(cè)試基板升降單元,該測(cè)試基板升降單元被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板從所述第一臺(tái)分離。
[0011]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括基板提供單元,該基板提供單元被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板裝載到所述第一臺(tái)上,被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板從所述第一臺(tái)卸載,被構(gòu)造為將所述主基板裝載到所述第二臺(tái)上,或被構(gòu)造為將所述主基板從所述第二臺(tái)卸載。
[0012]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括干燥單元,該干燥單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處,并且被構(gòu)造為干燥排放到所述測(cè)試基板上的有機(jī)液滴。[0013]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括第三臺(tái),該第三臺(tái)面向所述干燥單元并被構(gòu)造為在其上接收所述測(cè)試基板。
[0014]所述布圖單元可包括:主框架,該主框架位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為沿所述臺(tái)滑動(dòng)器的縱向和垂直于所述縱向的方向移動(dòng);以及一個(gè)或多個(gè)液滴排放器,該一個(gè)或多個(gè)液滴排放器位于所述主框架上并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板或所述主基板上。
[0015]所述布圖單元可進(jìn)一步包括圖案分析器,該圖案分析器位于所述主框架上并被構(gòu)造為分析從所述液滴排放器排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
[0016]所述布圖單元可進(jìn)一步包括圖案分析器,該圖案分析器位于距所述主框架和所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為分析排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
[0017]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括第四臺(tái),該第四臺(tái)位于所述圖案分析器的下表面處并被構(gòu)造為在所述有機(jī)液滴的圖案形成在所述測(cè)試基板上之后在其上接收所述測(cè)試基板。
[0018]所述第一臺(tái)可包括其上的對(duì)齊標(biāo)記。
[0019]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括所述第一臺(tái)內(nèi)的測(cè)試基板加熱單元以控制所述第一臺(tái)的表面溫度。
[0020]所述第一臺(tái)和第二臺(tái)可彼此分離或可彼此聯(lián)接。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的另一方面,提供一種顯示面板制造設(shè)備,包括:臺(tái)滑動(dòng)器;第二臺(tái),在所述臺(tái)滑動(dòng)器上并被構(gòu)造為在其上接收測(cè)試基板或主基板;以及布圖單元,該布圖單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處,并被構(gòu)造為將有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板上,被構(gòu)造為分析所述有機(jī)液滴的圖案以能夠?qū)崿F(xiàn)所排放的有機(jī)液滴的圖案的修正,并被構(gòu)造為將修正的圖案排放到所述主基板上。
[0022]所述第二臺(tái)可包括測(cè)試基板放置單元,該測(cè)試基板放置單元被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板放置在所述第二臺(tái)上。
[0023]所述測(cè)試基板放置單元可包括測(cè)試基板加熱單元,該測(cè)試基板加熱單元被構(gòu)造為加熱所述測(cè)試基板以使所述有機(jī)液滴硬化。
[0024]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括測(cè)試基板升降單元,該測(cè)試基板升降單元位于所述第二臺(tái)上并被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板從所述第二臺(tái)分離。
[0025]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括基板提供單元,該基板提供單元被構(gòu)造為沿所述臺(tái)滑動(dòng)器的縱向移動(dòng)并構(gòu)造為將所述測(cè)試基板裝載到所述第二臺(tái)上或?qū)⑺鰷y(cè)試基板從所述第二臺(tái)卸載。
[0026]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括干燥單元,該干燥單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為使排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴干燥。
[0027]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括第三臺(tái),該第三臺(tái)面向所述干燥單元并被構(gòu)造為在其上接收所述測(cè)試基板。
[0028]所述布圖單元可包括:主框架,該主框架位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為沿所述臺(tái)滑動(dòng)器的縱向和垂直于所述縱向的方向移動(dòng);以及一個(gè)或多個(gè)液滴排放器,該一個(gè)或多個(gè)液滴排放器位于所述主框架上并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板或所述主基板上。[0029]所述布圖單元可包括圖案分析器,該圖案分析器位于所述主框架上并被構(gòu)造為分析從所述液滴排放器排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
[0030]所述布圖單元可進(jìn)一步包括圖案分析器,該圖案分析器位于距所述主框架和所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為分析排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
[0031]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括第四臺(tái),該第四臺(tái)位于所述圖案分析器的下表面處并被構(gòu)造為在其上接收所述測(cè)試基板,所述有機(jī)液滴的圖案形成在所述測(cè)試基板上。
[0032]所述顯示面板制造設(shè)備可進(jìn)一步包括所述第二臺(tái)上的對(duì)齊標(biāo)記。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0033]本發(fā)明的各實(shí)施例的以上及其他方面通過(guò)參照附圖詳細(xì)描述其示例性實(shí)施例將變得更加清晰,其中:
[0034]圖1為例示根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖;
[0035]圖2A至圖2G為例示通過(guò)圖1中所示的實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備制造顯示面板的工序的視圖;
[0036]圖3為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖;
[0037]圖4為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖;
[0038]圖5為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖;
[0039]圖6為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖;以及
[0040]圖7為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0041]現(xiàn)在將參照其中顯示本發(fā)明的各示例性實(shí)施例的附圖更充分地描述本發(fā)明的各實(shí)施例。然而,本發(fā)明的描述的各實(shí)施例可以各種不同形式實(shí)施,并不應(yīng)理解為限制于在此提出的各實(shí)施例;相反,這些實(shí)施例被提供為使得本公開將是完全且完整的,并將本發(fā)明的概念充分傳遞給本領(lǐng)域技術(shù)人員。在此使用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述特定實(shí)施例的目的并不意在限制各示例實(shí)施例。如在此使用的單數(shù)形式的“一”、“某一”和“該”意在也包括復(fù)數(shù)形式,除非上下文另有清楚指明。將進(jìn)一步理解的是,當(dāng)在申請(qǐng)文件中使用時(shí),用語(yǔ)“包括”和/或“包含”說(shuō)明存在規(guī)定的特征、整體、步驟、操作、元件和/或其部件,但并不排除存在或添加一個(gè)或更多其它特征、整體、步驟、操作、元件、部件和/或其組合。將理解,盡管用語(yǔ)“第一”、“第二”等可在此用于描述各種元件,但是這些元件不應(yīng)被這些用語(yǔ)限制。這些用語(yǔ)僅用于將一個(gè)兀件與另一兀件區(qū)分開。
[0042]圖1為例示根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備的視圖。圖2A至圖2G為例示使用圖1中所示的實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備100制造顯示面板的工序的視圖。
[0043]參見(jiàn)圖1和圖2A至圖2G,顯示面板制造設(shè)備100包括被安裝以使第一臺(tái)120或第二臺(tái)130在其上滑動(dòng)的臺(tái)滑動(dòng)器110,其中第一臺(tái)120和第二臺(tái)130將稍后描述。特別地,臺(tái)滑動(dòng)器110包括線性移動(dòng)(LM)引導(dǎo)器。
[0044]顯示面板制造設(shè)備100包括臺(tái)滑動(dòng)器110以例如允許第一臺(tái)120在臺(tái)滑動(dòng)器110上滑動(dòng),第一臺(tái)120具有放置在其上的測(cè)試基板T。在本實(shí)施例中,對(duì)齊標(biāo)記(例如,對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記)151形成在第一臺(tái)120上以布置測(cè)試基板T (例如,以確保測(cè)試基板T關(guān)于第一臺(tái)120的正確對(duì)準(zhǔn))。
[0045]顯示面板制造設(shè)備100包括安裝在臺(tái)滑動(dòng)器110上的第二臺(tái)130,第二臺(tái)130具有放置在其上的主基板M。在本實(shí)施例中,第一臺(tái)120和第二臺(tái)130中的至少一個(gè)被安裝在臺(tái)滑動(dòng)器110上以沿臺(tái)滑動(dòng)器110線性移動(dòng)。
[0046]顯示面板制造設(shè)備100包括被安裝為維持與臺(tái)滑動(dòng)器110的距離并將有機(jī)液滴O排放到測(cè)試基板T的布圖單元140。布圖部件140檢查從測(cè)試基板T排放的有機(jī)液滴O的圖案,修正有機(jī)液滴O的圖案,并將具有修正后的圖案的有機(jī)液滴O排放到主基板M。
[0047]在本實(shí)施例中,布圖單元140包括用于維持與臺(tái)滑動(dòng)器110的距離的主框架141,該臺(tái)滑動(dòng)器110被安裝為沿臺(tái)滑動(dòng)器110的縱向并沿與該縱向垂直的方向移動(dòng)。在本實(shí)施例中,主框架141可安裝在固定框架上,以被固定到外部從而如上所述移動(dòng)。
[0048]布圖單元140包括安裝于主框架141的液滴排放器142,以將有機(jī)液滴O排放到測(cè)試基板T或主基板M。在本實(shí)施例中,布圖單元140包括安裝于主框架141的圖案分析器143,以分析從液滴排放器142排放到測(cè)試基板T的有機(jī)液滴O的圖案。在本實(shí)施例中,圖案分析器143包括攝像機(jī)等以捕獲有機(jī)液滴O的圖案,或包括傳感器以感知有機(jī)液滴O的圖案。
[0049]顯示面板制造設(shè)備100包括測(cè)試基板升降(例如,升起和下降)單元150,該測(cè)試基板升降單元150被安裝在第一臺(tái)120上以將測(cè)試基板T從第一臺(tái)120分離。在本實(shí)施例中,多個(gè)測(cè)試基板升降單元150可彼此隔開間隔地安裝在第一臺(tái)120上。測(cè)試基板升降單元150可包括使用油壓或氣壓操作的缸體,并可通過(guò)軸、齒輪模塊、馬達(dá)等抬升測(cè)試基板T。
[0050]顯示面板制造設(shè)備100包括被安裝為與臺(tái)滑動(dòng)器110保持距離的基板提供單元160。在本實(shí)施例中,基板提供單元160將測(cè)試基板T裝載到第一臺(tái)120上,將測(cè)試基板T從第一臺(tái)120卸載,將主基板M裝載到第二臺(tái)130上,或?qū)⒅骰錗從第二臺(tái)130卸載。
[0051]基板提供單元160可具有各種形式。例如,基板提供單元160可具有機(jī)械臂的形式,并且基板提供單元160的一部分可旋轉(zhuǎn)以裝載或卸載測(cè)試基板T或主基板M。
[0052]基板提供單元160被安裝為根據(jù)第一臺(tái)120的位置或第二臺(tái)130的位置移動(dòng),并可安裝于固定框架。
[0053]基板提供單元160包括液滴干燥單元(例如,干燥單元)170,液滴干燥單元170被安裝在距臺(tái)滑動(dòng)器Iio —段距離處,并維持與臺(tái)滑動(dòng)器110的距離。液滴干燥單元170干燥排放到測(cè)試基板T的有機(jī)液滴O。詳細(xì)地,液滴干燥單元170能移動(dòng)以在有機(jī)液滴O被排放到測(cè)試基板T之后接觸測(cè)試基板T,以維持真空狀態(tài)并施加熱而干燥有機(jī)液滴O。
[0054]現(xiàn)在將參照?qǐng)D2A和圖2B描述操作上述實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備100的方法。測(cè)試基板T和主基板M分別對(duì)齊在第一臺(tái)120和第二臺(tái)130上。
[0055]在本實(shí)施例中,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元160被放置在第一臺(tái)120上,基板提供單元160將測(cè)試基板T放置在第一臺(tái)120上,使得測(cè)試基板T面向?qū)R標(biāo)記151。在本實(shí)施例中,根據(jù)基板提供單元160的操作來(lái)實(shí)現(xiàn)精確度。因此,測(cè)試基板T被放置在第一臺(tái)120上以面向?qū)R標(biāo)記151。
[0056]當(dāng)測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元160被裝載時(shí),測(cè)試基板升降單元150上升以支撐測(cè)試基板T,然后下落以將測(cè)試基板T放置在第一臺(tái)120上。[0057]參見(jiàn)圖2C,有機(jī)液滴O通過(guò)布圖單元140從液滴排放器142排放到測(cè)試基板T上。在本實(shí)施例中,形成有機(jī)液滴的有機(jī)材料的例子可包括用于制造顯示面板的所有類型的有機(jī)材料。有機(jī)材料的例子可包括用于形成像素限定層(PDL)的材料、用于形成鈍化層的有機(jī)材料和/或用于形成有機(jī)發(fā)射層的有機(jī)材料。
[0058]在有機(jī)液滴O被排放以在測(cè)試基板T上形成有機(jī)液滴的圖案之后,如圖2D所示,第一臺(tái)120被移動(dòng)為位于液滴干燥單元170的下表面下方或下表面處。在本實(shí)施例中,第一臺(tái)120通過(guò)一個(gè)或多個(gè)各種類型的驅(qū)動(dòng)設(shè)備在臺(tái)滑動(dòng)器110上滑動(dòng)而移動(dòng)。例如,驅(qū)動(dòng)設(shè)備可包括馬達(dá)、汽缸等以使第一臺(tái)120移動(dòng)。
[0059]當(dāng)上述工序完成時(shí),液滴干燥單元170下落以接觸測(cè)試基板T。而且,測(cè)試基板T可完全插入到液滴干燥單元170中,而不接觸液滴干燥單元170。然而,為了描述的目的,液滴干燥單元170將被描述為接觸測(cè)試基板T。
[0060]當(dāng)液滴干燥單元170接觸測(cè)試基板T時(shí),液滴干燥單元170在真空狀態(tài)下維持與測(cè)試基板T接觸。液滴干燥單元170將熱施加到其接觸測(cè)試基板T的部分以硬化測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O的圖案。通過(guò)施加熱,減少自然干燥有機(jī)液滴O的圖案所需的時(shí)間,從而減少工作時(shí)間。
[0061]在如上所述地使測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O的圖案硬化之后,液滴干燥單元170升起并與測(cè)試基板T分離。然后,第一臺(tái)120再次移動(dòng)。在本實(shí)施例中,第一臺(tái)120在臺(tái)滑動(dòng)器110上滑動(dòng)以位于布圖單元140的下表面處。
[0062]當(dāng)?shù)谝慌_(tái)120如上所述被定位時(shí),主框架141沿垂直于臺(tái)滑動(dòng)器110的縱向的方向移動(dòng)以將圖案分析器143定位在測(cè)試基板T上或定位在測(cè)試基板T上方。
[0063]圖案分析器143分析測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O的圖案。在本實(shí)施例中,圖案分析器143捕獲有機(jī)液滴O的圖案(例如,捕獲有機(jī)液滴O的圖案的圖像)并將所捕獲的圖案/圖像與有機(jī)液滴O的預(yù)設(shè)圖案比較,以分析測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O的圖案。
[0064]圖案分析器143基于所分析的有機(jī)液滴O的圖案而修正從液滴排放器142排放的有機(jī)液滴O的圖案。詳細(xì)地,圖案分析器143將排放的有機(jī)液滴O的圖案與有機(jī)液滴O的預(yù)設(shè)圖案比較以修正有機(jī)液滴O的排放速度、排放量、排放位置等。
[0065]當(dāng)測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O的圖案被如上所述地分析時(shí),如圖2G所示,測(cè)試基板T通過(guò)測(cè)試基板升降單元150與第一臺(tái)120分離。在本實(shí)施例中,當(dāng)測(cè)試基板升降單元150的操作完成時(shí),測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元160卸載以撤回到外部(例如,與顯示面板制造設(shè)備100分離)。
[0066]當(dāng)上述工序完成時(shí),布圖單元140被轉(zhuǎn)移。詳細(xì)地,主框架141沿臺(tái)滑動(dòng)器110的縱向執(zhí)行線性運(yùn)動(dòng)(例如,被移動(dòng))以將液滴排放器142定位在主基板Mi/上方。在本實(shí)施例中,多個(gè)液滴排放器142可以間隔布置。例如,多個(gè)液滴排放器142可固定到主框架141,或可被能移動(dòng)地安裝于主框架141。多個(gè)液滴排放器142根據(jù)用于制造顯示面板的有機(jī)液滴O的圖案可不同地布置。
[0067]當(dāng)布圖單元140的位置如上所述被對(duì)齊時(shí),有機(jī)液滴O通過(guò)液滴排放器142排放到主基板T上以制造顯示面板。在本實(shí)施例中,制造顯示面板的方法類似于一般方法,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0068]因此,顯示面板制造設(shè)備100單獨(dú)地測(cè)試外部的(例如,與主基板M分離的)測(cè)試基板T并且不需要將測(cè)試基板T應(yīng)用到主基板Μ。結(jié)果,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。而且,顯示面板制造設(shè)備100在與主基板M的制造條件相似的條件下測(cè)試測(cè)試基板Τ,以能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的測(cè)試。另外,顯示面板制造設(shè)備100通過(guò)反饋應(yīng)用測(cè)試結(jié)果,因此顯示面板被更精確地制造,并且失效率被減小。
[0069]圖3為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備200的視圖。參見(jiàn)圖3,顯示面板制造設(shè)備200包括臺(tái)滑動(dòng)器210、第一臺(tái)220、第二臺(tái)230、布圖單元240、測(cè)試基板升降單元(例如,升起和下降單元)250、基板提供單元260和液滴干燥單元(例如,干燥單元)270。在本實(shí)施例中,臺(tái)滑動(dòng)器210、第一臺(tái)220、第二臺(tái)230、測(cè)試基板升降單元250、基板提供單元260和液滴干燥單元270分別與參照?qǐng)D1和圖2Α至圖2G描述的臺(tái)滑動(dòng)器110、第一臺(tái)120、第二臺(tái)130、測(cè)試基板升降單元150、基板提供單元160和液滴干燥單元170相似,并且它們的詳細(xì)描述將省略。
[0070]布圖單元240包括主框架241、液滴排放器242和圖案分析器243。在本實(shí)施例中,主框架241和液滴排放器242相似于參照?qǐng)D1和圖2Α至圖2G描述的主框架141和液滴排放器142,因此它們的詳細(xì)描述將省略。
[0071]如上所述,布圖單元240包括圖案分析器243。在本實(shí)施例中,圖案分析器243被安裝為與主框架241和臺(tái)滑動(dòng)器210保持距離。詳細(xì)地,圖案分析器243可固定到固定框架。在本實(shí)施例中,圖案分析器243如上所述分析排放到測(cè)試基板T的有機(jī)液滴O的圖案。
[0072]本實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備200包括第四臺(tái)290,第四臺(tái)290位于圖案分析器243的下表面處以將測(cè)試基板T放置在其上。在有機(jī)液滴O的圖案被形成在第一臺(tái)220上之后,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元260被放置在第四臺(tái)290上。第四臺(tái)290可與第一臺(tái)220對(duì)齊,并且基板提供單元260可位于第一臺(tái)220與第四臺(tái)290之間。
[0073]操作顯示面板制造設(shè)備200的方法將類似于操作圖1和圖2Α至圖2G所示的實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備100的上述方法。詳細(xì)地,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元260裝載在第一臺(tái)220上。在本實(shí)施例中,在測(cè)試基板升降單元250上升以在其上接收測(cè)試基板T之后,測(cè)試基板升降單元250下落以將測(cè)試基板T放置在第一臺(tái)220上。
[0074]當(dāng)上述工序完成時(shí),液滴排放器242將有機(jī)液滴O排放到測(cè)試基板T上,第一臺(tái)220被移動(dòng)以將測(cè)試基板T定位在液滴干燥單元270 (例如,中或下方)的下表面。在本實(shí)施例中,液滴干燥單元270類似于上述干燥方法將測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O干燥。
[0075]當(dāng)有機(jī)液滴O被完全干燥時(shí),測(cè)試基板T從第一臺(tái)220轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)290上。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板T可根據(jù)各種方法被轉(zhuǎn)移。例如,在第一臺(tái)220之后,測(cè)試基板T可通過(guò)基板提供單元260轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)290上。另外,在第一臺(tái)220的位置被固定之后,測(cè)試基板T可通過(guò)基板提供單元260從第一臺(tái)220卸載,然后基板提供單元260可將測(cè)試基板T轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)290上。然而,為了描述的方便,在下文中將詳細(xì)描述將測(cè)試基板T從第一臺(tái)220轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)290上的方法。
[0076]詳細(xì)地,當(dāng)測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O被完全干燥時(shí),第一臺(tái)220被移動(dòng)到其原始位置。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板升降單元250操作以將測(cè)試基板T與第一臺(tái)220分離,然后基板提供單元260將測(cè)試基板T轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)290上。
[0077]如上所述,當(dāng)測(cè)試基板T被放置在第四臺(tái)290上時(shí),圖案分析器243類似于上述檢查方法檢查有機(jī)液滴O的圖案,因此將省略其詳細(xì)描述。[0078]如上所述,在有機(jī)液滴O的圖案被分析之后,液滴排放器242基于分析結(jié)果被控制為調(diào)節(jié)從液滴排放器242排放的有機(jī)液滴O。在本實(shí)施例中,用于調(diào)節(jié)有機(jī)液滴O的方法和因素類似于上面所描述的方法和因素,因此將省略其詳細(xì)描述。在本實(shí)施例中,主框架241被定位在主基板M上或上方,液滴排放器242將有機(jī)液滴O排放到主基板M上。
[0079]于是,顯示面板制造設(shè)備200單獨(dú)地測(cè)試外部的測(cè)試基板T (例如,測(cè)試基板T被單獨(dú)測(cè)試并獨(dú)自測(cè)試)并不需要將測(cè)試基板T應(yīng)用到主基板M。因此,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。而且,顯示面板制造設(shè)備200在與主基板M的制造條件類似的條件下測(cè)試測(cè)試基板T以能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的測(cè)試。顯示面板制造設(shè)備200通過(guò)反饋快速應(yīng)用測(cè)試,因此顯示面板被更精確地制造,并且失效率被減小。
[0080]圖4為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備300的視圖。參見(jiàn)圖4,顯示面板制造設(shè)備300包括臺(tái)滑動(dòng)器310、第一臺(tái)320、第二臺(tái)330、第四臺(tái)390、布圖單元340、測(cè)試基板升降單元350、基板提供單元360和液滴干燥單元(例如,干燥單元)370。臺(tái)滑動(dòng)器310、第一臺(tái)320、第二臺(tái)330、第四臺(tái)390、測(cè)試基板升降單元(例如,測(cè)試基板升降單元)350、基板提供單元360和液滴干燥單元370分別類似于臺(tái)滑動(dòng)器210、第一臺(tái)220、第二臺(tái)230、第四臺(tái)290、測(cè)試基板升降單元250、基板提供單元260和液滴干燥單元270,因此它們的詳細(xì)描述將省略。
[0081]布圖單元340包括主框架341、液滴排放器342和圖案分析器343。在本實(shí)施例中,主框架341、液滴排放器342和圖案分析器343類似于參照?qǐng)D3描述的主框架241、液滴排放器242和圖案分析器243,因此它們的詳細(xì)描述將省略。
[0082]本實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備300包括第三臺(tái)380,該第三臺(tái)380被定位為面向液滴干燥單元370以將測(cè)試基板T放置在其上。在本實(shí)施例中,當(dāng)液滴干燥單元370干燥測(cè)試基板T時(shí),測(cè)試基板T被放置在第三臺(tái)380上以被第三臺(tái)380支撐。當(dāng)?shù)谌_(tái)380如上所述被安裝時(shí),液滴干燥單元370不是位于臺(tái)滑動(dòng)器310上,而是被定位為面向第三臺(tái)380。當(dāng)?shù)谌_(tái)380和液滴干燥單元370以所示的方式被定位時(shí),第三臺(tái)380和液滴干燥單元370可被安裝在與臺(tái)滑動(dòng)器310、第一臺(tái)320、第二臺(tái)330等分離的空間中。
[0083]操作顯示面板制造設(shè)備300的方法可如在前面示例性實(shí)施例中描述地執(zhí)行。詳細(xì)地,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元360被裝載到第一臺(tái)320上。在本實(shí)施例中,當(dāng)測(cè)試基板升降單元350升起且測(cè)試基板T被放置在其上之后時(shí),測(cè)試基板升降單元350下落/下降以將測(cè)試基板T放置在第一臺(tái)320上。
[0084]當(dāng)上述工序完成時(shí),液滴排放器342將有機(jī)液滴O排放到測(cè)試基板T上。當(dāng)有機(jī)液滴O被完全排放到第一臺(tái)320上的測(cè)試基板T上時(shí),測(cè)試基板升降單元350升起測(cè)試基板T。在本實(shí)施例中,基板提供單元360從測(cè)試基板升降單元350裝載測(cè)試基板T以將測(cè)試基板T從第一臺(tái)320移動(dòng)到第三臺(tái)380。
[0085]當(dāng)測(cè)試基板T被移動(dòng)到第三臺(tái)380時(shí),液滴干燥單元370下落(例如,下降接近測(cè)試基板T)以干燥測(cè)試基板T。在本實(shí)施例中,通過(guò)液滴干燥單元370干燥測(cè)試基板T的方法類似于上面描述的方法,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0086]當(dāng)有機(jī)液滴O被完全干燥時(shí),測(cè)試基板T從第三臺(tái)380轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)390。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板T可根據(jù)各種方法被轉(zhuǎn)移。例如,在第三臺(tái)380被轉(zhuǎn)移之后,測(cè)試基板T可通過(guò)基板提供單元360轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)390。而且,在第三臺(tái)380的位置固定之后,測(cè)試基板T可通過(guò)基板提供單元360卸載,然后被轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)390。然而,為了描述的方便,將詳細(xì)描述通過(guò)基板提供單元360將測(cè)試基板T從第三臺(tái)380轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)390的方法。
[0087]詳細(xì)地,當(dāng)測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O被完全干燥時(shí),測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元360從第三臺(tái)380轉(zhuǎn)移到第四臺(tái)390。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板T可利用類似于測(cè)試基板升降單元350的結(jié)構(gòu)從第三臺(tái)380和第四臺(tái)390升起并下降到第三臺(tái)380和第四臺(tái)390上。
[0088]當(dāng)測(cè)試基板T被放置在第四臺(tái)390上時(shí),圖案分析器343檢查有機(jī)液滴O的圖案。在本實(shí)施例中,通過(guò)圖案分析器343檢查有機(jī)液滴O的圖案的方法如上所述地執(zhí)行,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0089]如上所述,在圖案分析器343分析有機(jī)液滴O的圖案之后,基于分析結(jié)果控制液滴排放器342以調(diào)節(jié)從液滴排放器342排放的有機(jī)液滴O。在本實(shí)施例中,用于調(diào)節(jié)有機(jī)液滴O的方法和因素類似于上面所述的方法和因素,因此將省略其詳細(xì)描述。然后,主框架341可定位在主基板M上,液滴排放器342可將修正圖案的有機(jī)液滴O排放到主基板M上。
[0090]因此,顯示面板制造設(shè)備300單獨(dú)地測(cè)試測(cè)試基板T,并且不需要將測(cè)試基板T應(yīng)用到主基板M。結(jié)果,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。另外,顯示面板制造設(shè)備300在與主基板M的制造條件類似的條件下測(cè)試測(cè)試基板T以能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的測(cè)試。另外,顯示面板制造設(shè)備300通過(guò)反饋立即應(yīng)用測(cè)試結(jié)果,因此顯示面板被更精確地制造,并且失效率被減小。
[0091]顯示面板制造設(shè)備300另外形成用于干燥測(cè)試基板T上網(wǎng)液滴干燥單元370,以避免可能由于測(cè)試基板T的干燥而影響主基板M的工序的因素。
[0092]圖5為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備400的視圖。參見(jiàn)圖5,顯示面板制造設(shè)備400包括臺(tái)滑動(dòng)器410、第一臺(tái)420、第二臺(tái)430、布圖單元440、測(cè)試基板升降/落單元450和基板提供單元460。在本實(shí)施例中,臺(tái)滑動(dòng)器420、第一臺(tái)420、測(cè)試基板升降單元450和基板提供單元460分別類似于參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G描述的臺(tái)滑動(dòng)器110、第一臺(tái)120、測(cè)試基板升降單元150和基板提供單元160,并且它們的詳細(xì)描述將省略。
[0093]在本實(shí)施例中,第一臺(tái)420和第二臺(tái)430被安裝為彼此相鄰。詳細(xì)地,例如,第一臺(tái)420和第二臺(tái)430可彼此聯(lián)接或可整合為單體。
[0094]布圖單元440包括主框架441、液滴排放器442和圖案分析器443。在本實(shí)施例中,布圖單元440可包括參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G中所示的實(shí)施例描述的主框架141、液滴排放器142和/或圖案分析器143。替代地,布圖單元440可包括參照?qǐng)D3和圖4中所示的實(shí)施例描述的主框架241/341、液滴排放器242/342和/或圖案分析器243/343。然而,為了描述的方便,布圖單元440將被描述為包括參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G中所示的實(shí)施例描述的主框架141、液滴排放器142和圖案分析器143。主框架441、液滴排放器442和圖案分析器443與參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G中所示的實(shí)施例描述的主框架131、液滴排放器142和圖案分析器143相同,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0095]顯示面板制造設(shè)備400包括測(cè)試基板加熱單元421,該測(cè)試基板加熱單元421可被安裝在第一臺(tái)420處/上/中以控制第一臺(tái)420的表面溫度。例如,測(cè)試基板加熱單元421可包括諸如安裝在第一臺(tái)420中的熱射線、加熱器等加熱設(shè)備。在本實(shí)施例中,如參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G所述的,顯示面板制造設(shè)備400不需要包括液滴干燥單元(例如,干燥單元)470。
[0096]顯示面板制造設(shè)備400還可包括第三臺(tái)和第四臺(tái)。在本實(shí)施例中,第三臺(tái)和第四臺(tái)可形成為等同于或類似于參照?qǐng)D3和圖4描述的第三臺(tái)380和第四臺(tái)390。然而,為了描述的方便,第一臺(tái)420和第二臺(tái)430將被描述為被安裝成不具有第三臺(tái)和第四臺(tái)。
[0097]操作顯示面板制造設(shè)備400的方法可類似于前面示例性實(shí)施例中描述的方法。詳細(xì)地,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元460裝載在第一臺(tái)420上。在本實(shí)施例中,在測(cè)試基板升降單元450上升之后并且當(dāng)測(cè)試基板T放置在其上之后,測(cè)試基板升降單元450下降以將測(cè)試基板T放置在第一臺(tái)420上。
[0098]當(dāng)上述工序完成時(shí),有機(jī)液滴O通過(guò)液滴排放器442排放到測(cè)試基板T上。當(dāng)有機(jī)液滴O被完全排放到放置在第一臺(tái)420上的測(cè)試基板T上時(shí),第一臺(tái)420上的測(cè)試基板T被測(cè)試基板加熱單元421加熱。然后,如上所述,測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O通過(guò)加熱被干燥并硬化。
[0099]如上所述,測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O被干燥,然后有機(jī)液滴O的圖案通過(guò)圖案分析器443被分析。在本實(shí)施例中,通過(guò)圖案分析器443分析有機(jī)液滴O的圖案的方法類似于上述方法,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0100]當(dāng)上述工序完成時(shí),主框架441沿臺(tái)滑動(dòng)器410的縱向執(zhí)行線性運(yùn)動(dòng)(例如,線性地移動(dòng))以將液滴排放器442定位在主基板M上/上方。
[0101 ] 在本實(shí)施例中,在圖案分析器443如上所述分析有機(jī)液滴O的圖案之后,基于分析結(jié)果控制液滴排放器442以調(diào)節(jié)從液滴排放器442排放的有機(jī)液滴O。用于調(diào)節(jié)有機(jī)液滴O的方法和因素類似于上面示例性實(shí)施例中描述的方法和因素,因此將省略其詳細(xì)描述。在本實(shí)施例中,主框架441可定位在主基板M上或上方,液滴排放器442可將修正圖案的有機(jī)液滴O排放到主基板M上。
[0102]于是,顯示面板制造設(shè)備400單獨(dú)地測(cè)試測(cè)試基板T,并且不需要將測(cè)試基板T應(yīng)用到主基板M。結(jié)果,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。而且,顯示面板制造設(shè)備400在與主基板M的制造條件類似的條件下測(cè)試測(cè)試基板T以能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的測(cè)試。另外,顯示面板制造設(shè)備400通過(guò)反饋立即應(yīng)用測(cè)試結(jié)果,因此顯示面板被更精確地制造,并且失效率被減小。
[0103]圖6為例示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備500的視圖。參見(jiàn)圖6,顯示面板制造設(shè)備500包括臺(tái)滑動(dòng)器510、第二臺(tái)530、布圖單元540、測(cè)試基板升降單元、液滴干燥單元(例如,干燥單元)570和基板提供單元560。在本實(shí)施例中,臺(tái)滑動(dòng)器510、第二臺(tái)530、測(cè)試基板升降單元、液滴干燥單元570和基板提供單元560分別類似于圖1和圖2A至圖2G中所示的實(shí)施例的臺(tái)滑動(dòng)器110、第二臺(tái)130、測(cè)試基板升降單元150、液滴干燥單元170和基板提供單元160,因此它們的詳細(xì)描述將省略。
[0104]本實(shí)施例的布圖單元540包括主框架541、液滴排放器542和圖案分析器543。在本實(shí)施例中,布圖單元540可包括圖1和圖2A至圖2G的實(shí)施例的主框架141、液滴排放器142和圖案分析器143,或可包括圖3和圖4的實(shí)施例的主框架241/341、液滴排放器242/342和/或圖案分析器243/343。然而,為了描述的方便,在下文中,布圖單元540將被描述為包括參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G描述的主框架141、液滴排放器142和圖案分析器143。而且,主框架541、液滴排放器542和圖案分析器543分別與參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G描述的主框架141、液滴排放器142和圖案分析器143相同,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0105]顯示面板制造設(shè)備500可包括第三臺(tái)和第四臺(tái)。在本實(shí)施例中,第三臺(tái)和第四臺(tái)形成為可等同于或類似于參照?qǐng)D3和圖4描述的第三臺(tái)380和第四臺(tái)390。然而,為了描述的方便,在下文中將描述為僅安裝第二臺(tái)530,不具有第三臺(tái)和第四臺(tái)。
[0106]對(duì)齊標(biāo)記(例如,對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記)可形成在第二臺(tái)530上以對(duì)齊測(cè)試基板T。在本實(shí)施例中,對(duì)齊的標(biāo)記可等同于或類似于參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G描述的形成在第一臺(tái)120上的對(duì)齊標(biāo)記151而形成和操作。
[0107]操作顯示面板制造設(shè)備500的方法可類似于前面描述的方法。詳細(xì)地,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元560裝載著第二臺(tái)530上。在本實(shí)施例中,在測(cè)試基板升降單元上升之后,當(dāng)測(cè)試基板T放置在其上時(shí),測(cè)試基板升降單元下降以將測(cè)試基板T放置在第二臺(tái)530上。
[0108]當(dāng)上述工序完成時(shí),有機(jī)液滴O通過(guò)液滴排放器542排放到測(cè)試基板T上。當(dāng)有機(jī)液滴O被完全排放到放置在第二臺(tái)530上的測(cè)試基板T上時(shí),第二臺(tái)530沿臺(tái)滑動(dòng)器510的縱向執(zhí)行線性運(yùn)動(dòng)(例如,移動(dòng))以將測(cè)試基板T放置在液滴干燥單元570的下表面。在本市實(shí)施例中,液滴干燥單元570如參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G描述地下落以干燥并硬化測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O。
[0109]有機(jī)液滴O在測(cè)試基板T上被如上所述地干燥之后,有機(jī)液滴O的圖案通過(guò)圖案分析器543被分析。通過(guò)圖案分析器543分析有機(jī)液滴O的圖案的方法類似于上述方法,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0110]當(dāng)上述工序完成時(shí),基板提供單元560將測(cè)試基板T從第二臺(tái)530卸載,然后將主基板M裝載到第二臺(tái)530上。然后,主框架541沿臺(tái)滑動(dòng)器510的縱向移動(dòng)以將液滴排放器542定位在主基板M上/上方。
[0111]在本實(shí)施例中,在有機(jī)液滴O被如上所述地分析之后,基于分析結(jié)果控制液滴排放器542以調(diào)節(jié)從液滴排放器542排放的有機(jī)液滴O。用于調(diào)節(jié)有機(jī)液滴O的方法和因素類似于上述方法和因素,因此將省略其詳細(xì)描述。在本實(shí)施例中,主框架541可定位在主基板M上,液滴排放器542將修正圖案的有機(jī)液滴O排放到主基板M上。
[0112]因此,顯示面板制造設(shè)備400單獨(dú)地測(cè)試測(cè)試基板T,并且不需要將測(cè)試基板T應(yīng)用到主基板M。結(jié)果,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。另外,顯示面板制造設(shè)備500在與主基板M的制造條件類似的條件下測(cè)試測(cè)試基板T以能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的測(cè)試。另外,顯示面板制造設(shè)備500通過(guò)反饋立即應(yīng)用測(cè)試結(jié)果,因此顯示面板被更精確地制造,并且失效率被減小。
[0113]圖7為例示根據(jù)實(shí)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的顯示面板制造設(shè)備600的視圖。參見(jiàn)圖7,顯示面板制造設(shè)備600包括臺(tái)滑動(dòng)器610、第二臺(tái)630、布圖單元640、測(cè)試基板升降單元和基板提供單元660。在本實(shí)施例中,臺(tái)滑動(dòng)器610、第二臺(tái)630、測(cè)試基板升降單元和基板提供單元660分別類似于參照?qǐng)D6描述的臺(tái)滑動(dòng)器510、第二臺(tái)530、測(cè)試基板升降單元和基板提供單元560,因此它們的詳細(xì)描述將省略。
[0114]布圖單兀640包括主框架641、液滴排放器642和圖案分析器643。在本實(shí)施例中,布圖單元640可包括參照?qǐng)D1至圖4描述的實(shí)施例的主框架141/241/341、液滴排放器142/242/342和/或圖案分析器143/243/343。然而,為了描述的方便,在下文中,布圖單元640將被描述為包括圖1和圖2A至圖2G中所示的實(shí)施例的主框架141、液滴排放器142和圖案分析器143。而且,主框架641、液滴排放器642和圖案分析器643與參照?qǐng)D1和圖2A至圖2G描述的主框架141、液滴排放器142和圖案分析器143相同,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0115]顯示面板制造設(shè)備600可包括第三臺(tái)和第四臺(tái)。在本實(shí)施例中,第三臺(tái)和第四臺(tái)與參照?qǐng)D3和圖4描述的第三臺(tái)380和第四臺(tái)390相同。然而,為了描述的方便,在下文中將描述為僅安裝第二臺(tái)630,不具有第三臺(tái)和第四臺(tái)。
[0116]第二臺(tái)630包括將測(cè)試基板T放置到第二臺(tái)630上的測(cè)試基板放置單元631。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板放置單元631包括加熱測(cè)試基板T以使有機(jī)液滴O硬化的測(cè)試基板加熱單元632。特別地,測(cè)試基板加熱單元632可形成為板狀形式,并可包括諸如熱射線、力口熱器等的加熱設(shè)備。
[0117]操作顯示面板制造設(shè)備600的方法可類似于前面描述的方法。詳細(xì)地,測(cè)試基板T通過(guò)基板提供單元660裝載在第二臺(tái)630上。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板T被放置在第二臺(tái)630上的測(cè)試基板放置單元631上。特別地,測(cè)試基板升降單元被安裝于測(cè)試基板放置單元631,然后上升。另外,在測(cè)試基板T被放置在測(cè)試基板升降單元上之后,測(cè)試基板升降單元下落以將測(cè)試基板T放置在第二臺(tái)630上。
[0118]當(dāng)上述工序完成時(shí),有機(jī)液滴O通過(guò)液滴排放器642排放到測(cè)試基板T上。當(dāng)有機(jī)液滴O被完全排放到第二臺(tái)630上的測(cè)試基板T上時(shí),測(cè)試基板加熱單元632操作以干燥并硬化測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O。
[0119]測(cè)試基板T上的有機(jī)液滴O被干燥之后,如上所述,有機(jī)液滴O的圖案通過(guò)圖案分析器643被分析。在本實(shí)施例中,通過(guò)圖案分析器643分析有機(jī)液滴O的圖案的方法類似于上述方法,因此將省略其詳細(xì)描述。
[0120]當(dāng)上述工序完成時(shí),基板提供單元660將測(cè)試基板T從第二臺(tái)630卸載,然后將主基板M裝載到第二臺(tái)630上。在本實(shí)施例中,測(cè)試基板升降單元操作以將測(cè)試基板T從測(cè)試基板放置單元631分離。
[0121]當(dāng)上述工序完成時(shí),主框架641沿臺(tái)滑動(dòng)器610的縱向執(zhí)行線性運(yùn)動(dòng)(例如,移動(dòng)),以將液滴排放器642定位在主基板M上。
[0122]在本實(shí)施例中,在有機(jī)液滴O被如上所述地分析之后,基于分析結(jié)果控制液滴排放器642以調(diào)節(jié)從液滴排放器642排放的有機(jī)液滴O。用于調(diào)節(jié)有機(jī)液滴O的方法和因素類似于上面描述的方法和因素,因此將省略其詳細(xì)描述。在本實(shí)施例中,主框架641定位在主基板M上,液滴排放器642將修正圖案的有機(jī)液滴O排放到主基板M上。
[0123]因此,顯示面板制造設(shè)備600單獨(dú)地測(cè)試測(cè)試基板T,并且不需要將測(cè)試基板T應(yīng)用到主基板M。因此,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。顯示面板制造設(shè)備600還在與主基板M的制造條件類似的條件下測(cè)試測(cè)試基板T以能夠?qū)崿F(xiàn)精確的測(cè)試。顯示面板制造設(shè)備600還通過(guò)反饋立即應(yīng)用測(cè)試結(jié)果,因此顯示面板被精確地制造,并且失效率被減小。
[0124]根據(jù)如上所述的本發(fā)明的示例性實(shí)施例,在測(cè)試基板被測(cè)試之后,不需要應(yīng)用主基板。因此,邏輯成本和制造時(shí)間被減少。而且,測(cè)試基板在類似于主基板的制造條件的條件下被測(cè)試,從而能夠?qū)崿F(xiàn)精確的測(cè)試。另外,通過(guò)反饋立即應(yīng)用測(cè)試結(jié)果,因此顯示面板被精確地制造,失效率被減小。
[0125]雖然本發(fā)明的各實(shí)施例已經(jīng)其示例性實(shí)施例被具體地示出并描述,但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解,在不偏離如下面權(quán)利要求所限定的本發(fā)明精神和范圍及其等同物的情況下,在本發(fā)明中可做出形式上和細(xì)節(jié)上的各種改變。
【權(quán)利要求】
1.一種顯示面板制造設(shè)備,包括: 臺(tái)滑動(dòng)器; 第一臺(tái),該第一臺(tái)被構(gòu)造為在所述臺(tái)滑動(dòng)器上滑動(dòng)并被構(gòu)造為接收測(cè)試基板; 第二臺(tái),該第二臺(tái)在所述臺(tái)滑動(dòng)器上并被構(gòu)造為接收主基板;以及 布圖單元,該布圖單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為將有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板上,被構(gòu)造為分析所述有機(jī)液滴的圖案,被構(gòu)造為根據(jù)所述有機(jī)液滴的圖案的分析而修正所排放的有機(jī)液滴的圖案,并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述主基板上。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括在所述第一臺(tái)處的測(cè)試基板升降單元,該測(cè)試基板升降單元被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板從所述第一臺(tái)分離。
3.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括基板提供單元,該基板提供單元被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板裝載到所述第一臺(tái)上,被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板從所述第一臺(tái)卸載,被構(gòu)造為將所述主基板裝載到所述第二臺(tái)上,或被構(gòu)造為將所述主基板從所述第二臺(tái)卸載。
4.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括干燥單元,該干燥單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處,并且被構(gòu)造為干燥排放到所述測(cè)試基板上的有機(jī)液滴。
5.如權(quán)利要求4所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括第三臺(tái),該第三臺(tái)面向所述干燥單元并被構(gòu)造為在其上接收所述測(cè)試基板。
6.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述布圖單元包括: 主框架,該主框架位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為沿所述臺(tái)滑動(dòng)器的縱向和垂直于所述縱向的方向移動(dòng);以及 一個(gè)或多個(gè)液滴排放器,該一個(gè)或多個(gè)液滴排放器位于所述主框架上并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板或所述主基板上。
7.如權(quán)利要求6所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述布圖單元進(jìn)一步包括圖案分析器,該圖案分析器位于所述主框架上并被構(gòu)造為分析從所述液滴排放器排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
8.如權(quán)利要求6所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述布圖單元進(jìn)一步包括圖案分析器,該圖案分析器位于距所述主框架和所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為分析排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
9.如權(quán)利要求8所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括第四臺(tái),該第四臺(tái)位于所述圖案分析器的下表面處并被構(gòu)造為在所述有機(jī)液滴的圖案形成在所述測(cè)試基板上之后在其上接收所述測(cè)試基板。
10.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,所述第一臺(tái)包括其上的對(duì)齊標(biāo)記。
11.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括所述第一臺(tái)內(nèi)的測(cè)試基板加熱單元以控制所述第一臺(tái)的表面溫度。
12.如權(quán)利要求1所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述第一臺(tái)和所述第二臺(tái)彼此分離或彼此聯(lián)接。
13.一種顯示面板制造設(shè)備,包括: 臺(tái)滑動(dòng)器;第二臺(tái),在所述臺(tái)滑動(dòng)器上并被構(gòu)造為在其上接收測(cè)試基板或主基板;以及 布圖單元,該布圖單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處,并被構(gòu)造為將有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板上,被構(gòu)造為分析所述有機(jī)液滴的圖案以能夠?qū)崿F(xiàn)所排放的有機(jī)液滴的圖案的修正,并被構(gòu)造為將修正的圖案排放到所述主基板上。
14.如權(quán)利要求13所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述第二臺(tái)包括測(cè)試基板放置單元,該測(cè)試基板放置單元被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板放置在所述第二臺(tái)上。
15.如權(quán)利要求14所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述測(cè)試基板放置單元包括測(cè)試基板加熱單元,該測(cè)試基板加熱單元被構(gòu)造為加熱所述測(cè)試基板以使所述有機(jī)液滴硬化。
16.如權(quán)利要求13所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括測(cè)試基板升降單元,該測(cè)試基板升降單元位于所述第二臺(tái)上并被構(gòu)造為將所述測(cè)試基板從所述第二臺(tái)分離。
17.如權(quán)利要求13所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括基板提供單元,該基板提供單元被構(gòu)造為沿所述臺(tái)滑動(dòng)器 的縱向移動(dòng)并構(gòu)造為將所述測(cè)試基板裝載到所述第二臺(tái)上或?qū)⑺鰷y(cè)試基板從所述第二臺(tái)卸載。
18.如權(quán)利要求13所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括干燥單元,該干燥單元位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為使排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴干燥。
19.如權(quán)利要求18所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括第三臺(tái),該第三臺(tái)面向所述干燥單元并被構(gòu)造為在其上接收所述測(cè)試基板。
20.如權(quán)利要求13所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述布圖單元包括: 主框架,該主框架位于距所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為沿所述臺(tái)滑動(dòng)器的縱向和垂直于所述縱向的方向移動(dòng);以及 一個(gè)或多個(gè)液滴排放器,該一個(gè)或多個(gè)液滴排放器位于所述主框架上并被構(gòu)造為將所述有機(jī)液滴排放到所述測(cè)試基板或所述主基板上。
21.如權(quán)利要求20所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述布圖單元包括圖案分析器,該圖案分析器位于所述主框架上并被構(gòu)造為分析從所述液滴排放器排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
22.如權(quán)利要求20所述的顯示面板制造設(shè)備,其中所述布圖單元進(jìn)一步包括圖案分析器,該圖案分析器位于距所述主框架和所述臺(tái)滑動(dòng)器一段距離處并被構(gòu)造為分析排放到所述測(cè)試基板上的所述有機(jī)液滴的圖案。
23.如權(quán)利要求22所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括第四臺(tái),該第四臺(tái)位于所述圖案分析器的下表面處并被構(gòu)造為在其上接收所述測(cè)試基板,所述有機(jī)液滴的圖案形成在所述測(cè)試基板上。
24.如權(quán)利要求13所述的顯示面板制造設(shè)備,進(jìn)一步包括所述第二臺(tái)上的對(duì)齊標(biāo)記。
【文檔編號(hào)】G02F1/1333GK103915575SQ201310268287
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2013年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月28日
【發(fā)明者】辛慧媛 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司