技術(shù)特征：
1.一種根據(jù)包括若干制造階段的工藝流程制造三維光子器件的方法，所述方法包括：-在所述工藝流程的相同制造階段，由涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的直射激光寫(xiě)入來(lái)制作作為三維部件的至少兩個(gè)相異微光學(xué)部件(4，41至46)；其中所述至少兩個(gè)相異微光學(xué)部件：-集成于所述三維光子器件內(nèi)；-具有相應(yīng)光學(xué)功能；以及-相互對(duì)準(zhǔn)，從而能夠從所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的一個(gè)部件向所述相異微光學(xué)部件中的另一部件傳輸光學(xué)信號(hào)；其中通過(guò)混合直射激光寫(xiě)入來(lái)執(zhí)行所述制造，所述混合直射激光寫(xiě)入包括用于執(zhí)行涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建三維部件的第一光束(14)和用于執(zhí)行涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的另一直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建二維部件的與所述第一光束(14)相異的第二光束(13)，兩個(gè)所述光束(13，14)適于被交替地使用。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其中所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件呈現(xiàn)沿著所述三維光子器件的厚度方向(y)的凹形狀。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其中涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入的光在可見(jiàn)光和/或紅外線范圍中，并且其中涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入的光在紫外線范圍中。4.根據(jù)前述權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的制造方法，其中所述三維光子器件還包括用于傳輸光學(xué)信號(hào)的無(wú)源波導(dǎo)(3)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造方法，其中所述無(wú)源波導(dǎo)(3)適于僅在所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的兩個(gè)其它部件之間傳輸光學(xué)信號(hào)。6.根據(jù)前述權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的制造方法，其中所述三維光子器件包括適于僅從所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的另一部件或者向所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的另一部件傳輸光學(xué)信號(hào)并且已經(jīng)通過(guò)基于掩模曝光的光刻來(lái)制造的至少一個(gè)無(wú)源波導(dǎo)。7.根據(jù)前述權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的制造方法，其中所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是微透鏡(41)和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是鏡面(42)和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是復(fù)用器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是耦合器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是分路器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是偏振控制器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是放大器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是檢測(cè)器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是錐體和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是凹陷。8.根據(jù)前述權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的制造方法，其中所述三維光子器件集成至少一個(gè)導(dǎo)波微光學(xué)部件(41，43，44)和至少一個(gè)自由空間微光學(xué)部件(42)和至少一個(gè)微機(jī)械結(jié)構(gòu)(45，46)。9.根據(jù)前述權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的制造方法，相繼：-在襯底上沉積膜；-涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入并且涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的備選直射激光寫(xiě)入；-去除未曝光的材料。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其中執(zhí)行所述沉積、激光寫(xiě)入和去除若干次以構(gòu)成若干相應(yīng)的堆疊。11.一種根據(jù)包括若干制造階段的工藝流程制造三維光子器件的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：-用于在所述工藝流程的相同制造階段由涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的直射激光寫(xiě)入來(lái)制作作為三維部件的至少兩個(gè)相異微光學(xué)部件(4，41至46)的裝置；其中所述至少兩個(gè)相異微光學(xué)部件：-集成于所述三維光子器件內(nèi)；-具有相應(yīng)光學(xué)功能；以及-相互對(duì)準(zhǔn)，從而能夠從所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的一個(gè)部件向所述相異微光學(xué)部件中的另一部件傳輸光學(xué)信號(hào)；其中通過(guò)混合直射激光寫(xiě)入來(lái)執(zhí)行所述制造，所述混合直射激光寫(xiě)入包括用于執(zhí)行涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建三維部件的第一光束(14)和用于執(zhí)行涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的另一直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建二維部件的與所述第一光束(14)相異的第二光束(13)，所述光束(13，14)均適于被交替地使用。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件呈現(xiàn)沿著所述三維光子器件的厚度方向(y)的凹形狀。13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入的光在可見(jiàn)光和/或紅外線范圍中，并且其中涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入的光在紫外線范圍中。14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一權(quán)利要求所述的系統(tǒng)，其中所述三維光子器件包括用于傳輸光學(xué)信號(hào)的無(wú)源波導(dǎo)(3)。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中所述無(wú)源波導(dǎo)(3)適于僅在所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的兩個(gè)其它部件之間傳輸光學(xué)信號(hào)。16.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一權(quán)利要求所述的系統(tǒng)，其中所述三維光子器件包括適于僅從所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的另一部件或者向所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的另一部件傳輸光學(xué)信號(hào)并且已經(jīng)通過(guò)基于掩模曝光的光刻來(lái)制造的至少一個(gè)無(wú)源波導(dǎo)。17.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一權(quán)利要求所述的系統(tǒng)，其中所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是微透鏡(41)和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是鏡面(42)和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是復(fù)用器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是耦合器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是分路器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是偏振控制器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是放大器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是檢測(cè)器和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是錐體和/或所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)中的至少一個(gè)部件是凹陷。18.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一權(quán)利要求所述的系統(tǒng)，其中所述三維光子器件集成至少一個(gè)導(dǎo)波微光學(xué)部件(41，43，44)和至少一個(gè)自由空間微光學(xué)部件(42)和至少一個(gè)微機(jī)械結(jié)構(gòu)(45，46)。19.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一權(quán)利要求所述的系統(tǒng)，相繼包括：-用于在襯底上沉積膜的裝置；-用于涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入并且用于涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的備選直射激光寫(xiě)入的裝置；-用于去除未曝光的材料的裝置。20.一種集成作為三維部件的至少兩個(gè)相異微光學(xué)部件(4，41至46)的三維光子器件，所述至少兩個(gè)相異微光學(xué)部件(4，41至46)分別具有兩個(gè)光學(xué)功能并且相互對(duì)準(zhǔn)，從而能夠從所述部件(4，41至46)中的一個(gè)部件向另一部件傳輸光學(xué)信號(hào)，其中在由涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的直射激光寫(xiě)入來(lái)制造的相同單片結(jié)構(gòu)中嵌入所述相異微光學(xué)部件(4，41至46)；其中通過(guò)混合直射激光寫(xiě)入來(lái)執(zhí)行所述制造，所述混合直射激光寫(xiě)入包括用于執(zhí)行涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建三維部件的第一光束(14)和用于執(zhí)行涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的另一直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建二維部件的與所述第一光束(14)相異的第二光束(13)，所述光束(13，14)均適于被交替地使用。21.一種集成至少一個(gè)微光學(xué)部件(4，41至46)的三維光子器件，所述至少一個(gè)微光學(xué)部件(4，41至46)呈現(xiàn)沿著所述三維光子器件的厚度方向的凹形狀，其中已經(jīng)由涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的直射激光寫(xiě)入來(lái)制造所述至少一個(gè)微光學(xué)部件(4，41至46)，其中通過(guò)混合直射激光寫(xiě)入來(lái)制造所述三維光子器件，所述混合直射激光寫(xiě)入包括用于執(zhí)行涉及到通過(guò)兩光子吸收來(lái)聚合的所述直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建三維部件的第一光束(14)和用于執(zhí)行涉及到通過(guò)一光子吸收來(lái)聚合的另一直射激光寫(xiě)入以構(gòu)建二維部件的與所述第一光束(14)相異的第二光束(13)，兩個(gè)所述光束(13，14)適于被交替地使用。