一種全息光柵的顯影方法及其專(zhuān)用設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種全息光柵的顯影方法：(1)在圓柱體顯影液容器中注入一定量的顯影液，將一塊反射鏡置于所述顯影液容器底部圓心處正下方一定距離的位置，將待顯影的光柵基底水平安裝于一個(gè)具有頂蓋的活動(dòng)光柵卡具組件底部；(2)調(diào)整活動(dòng)光柵卡具組件，使所述光柵基底以一端略高于另一端的方式完全浸入顯影液中進(jìn)行顯影；(3)調(diào)整監(jiān)視激光器，通過(guò)一個(gè)光電探測(cè)器將顯影結(jié)果轉(zhuǎn)化成數(shù)字信號(hào)在PC機(jī)上顯示為顯影曲線(xiàn)；(4)完成顯影后通過(guò)調(diào)整活動(dòng)光柵卡具組件使浸入顯影液較深的光柵基底的一端略高于另一端，向上提起活動(dòng)光柵卡具組件使光柵基底離開(kāi)顯影液，結(jié)束顯影。本發(fā)明提高顯影液使用效率，保持顯影液的新鮮以獲得高質(zhì)量的全息光柵。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種全息光柵的顯影方法及其專(zhuān)用設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光譜【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種全息光柵顯影方法及其專(zhuān)用設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]全息光柵的顯影是指將曝光后帶有潛像光柵的光柵基底浸入顯影液中，潛像光柵演變成浮雕圖形的過(guò)程。顯影是全息光柵成形的最后一步，直接決定全息光柵制作的成敗。顯影裝置的設(shè)計(jì)對(duì)于能否獲得槽形均勻的大面積全息光柵至關(guān)重要。
[0003]如圖3所示為現(xiàn)有的全息光柵顯影裝置示意圖，顯影液容器301中裝有顯影液302，光柵基底303以垂直方式放入所述顯影液302中。利用監(jiān)測(cè)激光器304作為監(jiān)測(cè)光源，由該監(jiān)測(cè)激光器304出射的激光束經(jīng)所述光柵基底303衍射后照射在光電探測(cè)器305上，該光電探測(cè)器305接收到的信號(hào)經(jīng)PC機(jī)306處理后顯示出顯影監(jiān)測(cè)曲線(xiàn)。由顯影監(jiān)測(cè)曲線(xiàn)判斷顯影的終止時(shí)間，此時(shí)將所述光柵基底303向上取出，結(jié)束顯影。
[0004]這種裝置會(huì)造成全息光柵的顯影不均。顯影開(kāi)始時(shí)光柵底部首先浸入顯影液，顯影結(jié)束后光柵底部最后離開(kāi)顯影液，這就造成光柵底部的顯影量超過(guò)光柵頂部的顯影量。顯然，在光柵放入、取出顯影罐的速度一定的情況下，顯影速率越快、光柵面積越大時(shí)，光柵底部與光柵頂部的顯影不均現(xiàn)象越嚴(yán)重。這種顯影裝置對(duì)顯影液的使用效率不高。首次灌入的顯影液必須足夠多，以使光柵基底能夠被完全浸沒(méi)。使用過(guò)一次的顯影液會(huì)被溶解掉的光刻膠污染，如果繼續(xù)使用則勢(shì)必會(huì)影響后續(xù)被顯影光柵的表面潔凈度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明所要解決的問(wèn)題是提供一種新型的能夠使大面積全息光柵獲得均勻顯影量，并顯著提高顯影液使用效率的全息光柵顯影方法及其專(zhuān)用設(shè)備。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種全息光柵的顯影方法，是通過(guò)以下的步驟實(shí)現(xiàn)的:
[0007](1)在圓柱體顯影液容器中注入一定量的顯影液，將一塊反射鏡置于所述顯影液容器底部圓心處正下方一定距離的位置上，將待顯影的光柵基底水平安裝于一個(gè)具有頂蓋的活動(dòng)光柵卡具組件底部；
[0008](2)調(diào)整活動(dòng)光柵卡具組件，使所述光柵基底以一端略高于另一端的方式完全浸入顯影液中進(jìn)行顯影；
[0009](3)打開(kāi)并調(diào)整一個(gè)光源，使所述光源的射出光通過(guò)所述反光鏡照射與所述光柵基底表面，同時(shí)通過(guò)一個(gè)光電探測(cè)器將顯影結(jié)果轉(zhuǎn)化成數(shù)字信號(hào)在PC機(jī)上顯示為顯影曲線(xiàn).[0010](4)完成顯影后通過(guò)調(diào)整活動(dòng)光柵卡具組件使浸入顯影液較深的光柵基底的一端略高于另一端，并保持光柵基底仍然完全浸入顯影液中，向上提起活動(dòng)光柵卡具組件使光柵基底離開(kāi)顯影液，結(jié)束顯影。[0011]所述光源為一個(gè)監(jiān)測(cè)激光器，是一種He-Ne激光器，發(fā)射波長(zhǎng)為632.8nm。
[0012]所述光電探測(cè)器為光電池。
[0013]所述反射鏡為玻璃基底鍍鋁反射鏡。
[0014]本發(fā)明還提供這種全息光柵的顯影方法專(zhuān)用的活動(dòng)光柵卡具組件，所述活動(dòng)光柵卡具組件包括水平光柵卡片，所述水平光柵卡片的左右兩端活動(dòng)安裝豎直立桿，所述豎直立桿底端具有光柵基底卡裝結(jié)構(gòu)；所述水平光柵卡片嵌入一個(gè)與所述顯影液容器尺寸相配合的頂蓋。
[0015]所述水平光柵片頂部設(shè)置把手。
[0016]本發(fā)明的顯影裝置能夠解決大面積全息光柵在顯影過(guò)程中存在的光柵不同區(qū)域顯影量不均的問(wèn)題，其既可以提高顯影液使用效率，又可以保持顯影液的新鮮以獲得高質(zhì)量的全息光柵。
[0017]通過(guò)以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的說(shuō)明，將更清楚本發(fā)明的這些和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本發(fā)明方法中提出的大面積全息光柵顯影裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2是本發(fā)明方法中提出的大面積全息光柵顯影裝置在顯影結(jié)束時(shí)的狀態(tài)示意圖。
[0020]圖3是原有全息光柵顯影裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖4是活動(dòng)光柵卡具組件的結(jié)構(gòu)示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面將參考附圖介紹本發(fā)明的大面積全息光柵的顯影裝置。
[0023]圖1所示為該大面積全息光柵的顯影裝置的一個(gè)實(shí)施例，其包括監(jiān)測(cè)激光器104、光電探測(cè)器105、PC機(jī)106、顯影液容器101、活動(dòng)光柵卡具組件108、反射鏡107。
[0024]在本實(shí)施例中，所述監(jiān)測(cè)激光器104為He-Ne激光器，發(fā)射波長(zhǎng)為632.8nm ;所述光電探測(cè)器105采用光電池；所述PC機(jī)106為商用筆記本電腦；所述顯影液容器101為皿形透明玻璃容器；所述活動(dòng)光柵卡具組件108為光柵基底的固定裝置，與所述顯影液容器101的頂蓋構(gòu)成整體；所述反射鏡107為玻璃基底鍍鋁反射鏡。
[0025]下面將參考圖2和圖3，介紹上述構(gòu)成的大面積全息光柵的顯影裝置的操作。
[0026]步驟1，為本發(fā)明提供的一種大面積全息光柵的顯影裝置配備顯影液102和光柵基底103，所述顯影液102為正型光致抗蝕劑配套顯影液，所述光柵基底103采用K9玻璃材料的光柵基底。
[0027]步驟2，在所述顯影液容器107中注入所述顯影液102，所述反射鏡107置于所述顯影液容器101正下方。
[0028]步驟3，將所述光柵基底103以水平方式裝卡于所述光柵卡具108的底部。
[0029]步驟4，調(diào)整所述活動(dòng)光柵卡具組件使所述光柵基底103的右側(cè)略高于左側(cè)，這樣可以避免在所述光柵基底103放入所述顯影液102的過(guò)程中產(chǎn)生氣泡，影響光柵表明質(zhì)量。
[0030]步驟5，將所述光柵基底103送入所述顯影液容器107并使所述光柵基底103完全浸入所述顯影液102中。
[0031]步驟6，調(diào)整所述監(jiān)測(cè)激光器104使其出射光束經(jīng)所述反射鏡109反射后入射在所述光柵基底103上，調(diào)整所述光電探測(cè)器105的位置使其能夠接收到衍射光。
[0032]步驟7，所述光電探測(cè)器105接收到的光信號(hào)經(jīng)電子電路處理后由所述PC機(jī)106輸出顯影監(jiān)測(cè)曲線(xiàn)，根據(jù)所述PC機(jī)106上輸出的曲線(xiàn)判斷顯影量是否足夠。
[0033]步驟8，獲得足夠顯影量時(shí)，調(diào)整所述活動(dòng)光柵卡具組件108使所述光柵基底103的左側(cè)較右側(cè)稍高。
[0034]步驟9，如圖2所示，將所述光柵卡具108上提從而使所述光柵基底103離開(kāi)所述
顯影液2，結(jié)束顯影。
[0035]如圖4，是活動(dòng)光柵卡具組件的結(jié)構(gòu)示意圖，活動(dòng)光柵卡具組件108包括水平光柵卡片1081，所述水平光柵卡片的左右兩端活動(dòng)安裝豎直立桿1082，豎直立桿底端具有光柵基底卡裝結(jié)構(gòu)；水平光柵卡片嵌入一個(gè)與所述顯影液容器尺寸相配合的頂蓋1083。還包括了一個(gè)把手1084。
[0036]盡管上面通過(guò)【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)地說(shuō)明，但是本發(fā)明并不限于上述實(shí)施例所具體限定的結(jié)構(gòu)和特征。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)上述的教導(dǎo)、在不脫離權(quán)利要求保護(hù)范圍的情況下，作出各種變化和修正。
【權(quán)利要求】
1.一種全息光柵的顯影方法:其特征在于是通過(guò)以下的步驟實(shí)現(xiàn)的:(1)在圓柱體顯影液容器中注入一定量的顯影液，將一塊反射鏡置于所述顯影液容器底部圓心處正下方一定距離的位置上，將待顯影的光柵基底水平安裝于一個(gè)具有頂蓋的活動(dòng)光柵卡具組件底部；(2)調(diào)整活動(dòng)光柵卡具組件，使所述光柵基底以一端略高于另一端的方式完全浸入顯影液中進(jìn)行顯影；(3)打開(kāi)并調(diào)整一個(gè)光源，使所述光源的射出光通過(guò)所述反光鏡照射與所述光柵基底表面，同時(shí)通過(guò)一個(gè)光電探測(cè)器將顯影結(jié)果轉(zhuǎn)化成數(shù)字信號(hào)在PC機(jī)上顯示為顯影曲線(xiàn)；(4)完成顯影后通過(guò)調(diào)整活動(dòng)光柵卡具組件使浸入顯影液較深的光柵基底的一端略高于另一端，并保持光柵基底仍然完全浸入顯影液中，向上提起活動(dòng)光柵卡具組件使光柵基底離開(kāi)顯影液，結(jié)束顯影。
2.如權(quán)利要求1所述的一種全息光柵的顯影方法，其特征在于所述光源為一個(gè)監(jiān)測(cè)激光器，是一種He-Ne激光器,發(fā)射波長(zhǎng)為632.8nm。
3.如權(quán)利要求1所述的一種全息光柵的顯影方法，其特征在于所述光電探測(cè)器為光電池。
4.如權(quán)利要求1所述的一種全息光柵的顯影方法，其特征在于所述反射鏡為玻璃基底鍍鋁反射鏡。
5.一種全息光柵的顯影方法專(zhuān)用的活動(dòng)光柵卡具組件，其特征在于所述活動(dòng)光柵卡具組件包括水平光柵卡片，所述水平光柵卡片的左右兩端活動(dòng)安裝豎直立桿，所述豎直立桿底端具有光柵基底卡裝結(jié)構(gòu)；所述水平光柵卡片嵌入一個(gè)與所述顯影液容器尺寸相配合的頂蓋。
6.如權(quán)利要求5所述的一種全息光柵的顯影方法專(zhuān)用的活動(dòng)光柵卡具組件，其特征在于所述水平光柵片頂部設(shè)置把手。
【文檔編號(hào)】G03F7/30GK103630959SQ201310067863
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月5日
【發(fā)明者】崔錦江 申請(qǐng)人:蘇州秀諾光電科技有限公司