專利名稱：感光性樹脂組合物及使用其的感光性元件、抗蝕劑圖形的形成方法及印刷電路板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物及使用其的感光性元件、抗蝕劑圖形的形成方法及 印刷電路板的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，在印刷電路板的制造領(lǐng)域，作為用于蝕刻或鍍覆等的抗蝕劑材料，廣泛使用 感光性樹脂組合物、將其層壓到支撐體上并用保護(hù)膜被覆的感光性元件。
在使用感光性元件制造印刷電路板時(shí)，首先，將感光性元件層壓到銅基板等電路 形成用基板上，通過掩模膜(mask film)等進(jìn)行圖形曝光之后，用顯影液將感光性元件的未 曝光部除去，從而形成抗蝕劑圖形。接著，以該抗蝕劑圖形為掩模，對(duì)形成有抗蝕劑圖形的 電路形成用基板實(shí)施蝕刻或鍍覆處理，形成電路圖形，最終將感光性元件的固化部分從基 板剝離除去。
在這樣的印刷電路板制造方法中，近年，不通過掩模膜而使用數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)直接將活 性光線呈圖像狀地照射的激光直接描繪法正在被實(shí)用化。作為用于直接描繪法的光源，出 于安全性和處理性等方面的考慮，使用YAG激光或半導(dǎo)體激光等，最近也提出了使用長(zhǎng)壽 命、高輸出的氮化鎵系藍(lán)色激光等的技術(shù)。
進(jìn)而，近幾年，伴隨印刷電路板的高精細(xì)化、高密度化，采用能形成比以往更精細(xì) 的圖形的被稱作DLP(Digital Light Processing)曝光法的直接描繪法。一般來說,在DLP 曝光法中使用以藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光作為光源的波長(zhǎng)39(T430nm的活性光線。此外，也可使 用主要可應(yīng)對(duì)通用印刷電路板中的少量多品種的、采用了以YAG激光為光源的波長(zhǎng)355nm 的多面鏡多光束(polygon mult1-beam)的曝光法。因此為了應(yīng)對(duì)各波長(zhǎng)，正在研究感光性 樹脂組合物中的各種敏化劑(例如，參考專利文獻(xiàn)1、2)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-301996號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 :日本特開2005-107191號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
但是，使激光高速移動(dòng)而曝光的直接描繪法與使用碳弧燈、汞蒸氣弧燈、超高壓汞 燈、高壓汞燈及氙燈等有效放射紫外線的光源而一并曝光的以往的曝光方法相比，每光斑
通式(II)中，R2表示可具有取代基的芳基。
本發(fā)明的感光性樹脂組合物，由于具有上述構(gòu)成，因而光敏感度及析像度優(yōu)良。此 外，根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，即便在使用直接描繪法時(shí)也可形成具有良好抗蝕劑 形狀的抗蝕劑圖形。抗蝕劑形狀良好的抗蝕劑圖形在蝕刻或鍍覆處理后不產(chǎn)生斷線、短路 這樣的不良情況，對(duì)于形成具有高精細(xì)化及高密度化的精細(xì)圖形的印刷電路板是有效的。2
通式(I )中，R1表示碳原子數(shù)2 20的亞烷基、碳原子數(shù)2 20的氧雜: 碳原子數(shù)2 20的硫代二亞烷基，:亞烷基或的曝光能量小，生產(chǎn)效率低。因此，在直接描繪法中，要求更高敏感度的感光性樹脂組合物。
但是，如果為了提高光敏感度，增加感光性樹脂組合物中所含有的光引發(fā)劑或敏 化劑的量的話，由于在感光性樹脂組合物層上部局部地進(jìn)行光反應(yīng)，底部的固化性降低，因 此引起光固化后所得的析像度的降低及抗蝕劑形狀的惡化(倒梯形)。伴隨抗蝕劑圖形的高 析像化、高密度化，抗蝕劑形狀的問題深刻化，由于抗蝕劑形狀為倒梯形，因而在蝕刻或鍍 覆處理后可能產(chǎn)生斷線、短路這樣的不良情況。在這樣的以往的感光性樹脂組合物中，難以 充分地實(shí)現(xiàn)所要求的光敏感度、析像度及抗蝕劑形狀。
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，本發(fā)明的目的在于提供一種光敏感度及析像度 優(yōu)良，且即便在使用直接描繪法時(shí)也可形成具有良好抗蝕劑形狀的抗蝕劑圖形的感光性樹 脂組合物，及使用其的感光性元件、抗蝕劑圖形的形成方法及印刷電路板的制造方法。
解決問題的方案
本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有至少一個(gè) 乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物和(C)光聚合引發(fā)劑，上述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述 通式(I )表示的化合物及下述通式(II)表示的化合物
HYfiw
上述(C)光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選進(jìn)一步含有下式(III)表示的化合物。由此，本發(fā)明的 感光性樹脂組合物的光敏感度及析像度更加優(yōu)良，可適用于使用直接描繪法的抗蝕劑圖形 的形成。
此外本發(fā)明提供一種具有支撐體及在該支撐體上形成的由所述感光性樹脂組合 物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層的感光性元件。根據(jù)本發(fā)明的感光性元件，可在基板等上容 易地層壓感光性樹脂組合物層。此外，本發(fā)明的感光性元件的光敏感度及析像度優(yōu)良，使用 該感光性元件形成的抗蝕劑圖形的抗蝕劑形狀良好。
此外本發(fā)明提供一種抗蝕劑圖形的形成方法，其包含對(duì)形成于電路形成用基板 上的由上述感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線，使曝 光部光固化的照射工序；從上述基板上除去上述感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分以外的部 分的除去工序。根據(jù)本發(fā)明的形成方法而形成的抗蝕劑圖形由于使用了上述本發(fā)明的感光 性樹脂組合物，因此具有良好的抗蝕劑形狀。
此外本發(fā)明提供一種抗蝕劑圖形的形成方法，其包含對(duì)形成于電路形成用基板 上的由上述感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分，通過直接描繪法將 活性光線呈圖像狀地照射，使曝光部光固化的照射工序；從上述基板上除去上述感光性樹 脂組合物層的規(guī)定部分以外的部分的除去工序。本發(fā)明的形成方法通過在上述照射工序中 采用直接描繪法作為照射方法，可容易地形成高精細(xì)、高密度的抗蝕劑圖形。此外，根據(jù)本 發(fā)明的形成方法，由于使用了上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物，因此即便是在通過直接描 繪法照射活性光線時(shí)，也可得到抗蝕劑形狀良好的抗蝕劑圖形。
進(jìn)一步地，本發(fā)明提供一種印刷電路板的制造方法，其對(duì)通過上述的抗蝕劑圖形 的形成方法而形成有抗蝕劑圖形的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻或鍍覆。根據(jù)這樣的制造方 法，可生產(chǎn)效率良好地得到高精細(xì)、高密度的印刷電路板。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，可提供一種光敏感度及析像度優(yōu)良，且即便是使用直接描繪法時(shí)也 可形成具有良好抗蝕劑形狀的抗蝕劑圖形的感光性樹脂組合物，及使用其的感光性元件、 抗蝕劑圖形的形成方法及印刷電路板的制造方法。


圖1為表不本發(fā)明的感光性兀件的一個(gè)適宜實(shí)施方式的模式剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。這里，在本發(fā)明中，(甲基)丙烯酸表示 丙烯酸或甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯的意思是丙烯酸酯或與其對(duì)應(yīng)的甲基丙烯酸酯，(甲 基)丙烯?；馑际潜；蚺c其對(duì)應(yīng)的甲基丙烯?；?br> (感光性樹脂組合物)
首先，對(duì)本實(shí)施方式涉及的感光性樹脂組合物進(jìn)行說明。本實(shí)施方式涉及的感光性樹脂組合物含有(A)粘合劑聚合物(以下，有時(shí)稱作“(A)成分”。)、(B)具有至少一個(gè)乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物(以下，有時(shí)稱作“(B)成分”。)和(C)光聚合引發(fā)劑(以下，有時(shí)稱作“(C)成分”。)。
作為(A)成分，可列舉出丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、酰胺系樹脂、 酰胺環(huán)氧系樹脂、醇酸系樹脂、酚系樹脂等，這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。對(duì)于(A)成分而言，為了使感光性樹脂組合物的堿顯影性良好，優(yōu)選為丙烯酸系樹脂。
(A)成分可通過例如使聚合性單體發(fā)生自由基聚合而制造。作為上述聚合性單體, 可列舉出苯乙烯，乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等α位或芳香族環(huán)具有取代基的可聚合的苯乙烯衍生物，雙丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺，丙烯腈，乙烯基正丁基醚等乙烯醇的酯類，(甲基)丙烯酸烷基酯，(甲基)丙烯酸環(huán)烷基酯，(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯，(甲基)丙烯酸金剛烷基酯，(甲基)丙烯酸苯甲基酯，(甲基)丙烯酸四氫糠基酯，(甲基)丙烯酸糠基酯，(甲基)丙烯酸二甲氨基乙基酯，(甲基)丙烯酸二乙氨基乙基酯，(甲基)丙烯酸縮水甘油酯，2，2，2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯，2，2，3，3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯，(甲基)丙烯酸，α -溴代(甲基)丙烯酸，α-氯代(甲基)丙烯酸，β-呋喃基(甲基)丙烯酸，β_苯乙烯基(甲基)丙烯酸，馬來酸，馬來酸酐，馬來酸單甲酯、馬來酸單乙酯、馬來酸單異丙酯等馬來酸單酯，富馬酸，肉桂酸，α-氰基肉桂酸，衣康酸，巴豆酸，丙炔酸等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
作為上述(甲 基)丙烯酸烷基酯，可以列舉出例如下述通式(IV)表示的化合物
H2C = C(R3)-COOR4 (IV)。
上述通式(IV)中，R3表示氫原子或甲基，R4表示可具有取代基的碳原子數(shù)廣12的烷基。此處作為取代基，可列舉出羥基、環(huán)氧基、鹵素基團(tuán)等。此外，作為R4表示的碳原子數(shù)廣12的烷基，可為直鏈狀或支鏈狀，可以列舉出例如甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、 庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基以及這些的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體。
作為上述通式(IV)表示的聚合性單體，可以列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、甲基丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、 (甲基)丙烯酸十二烷基酯等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
此外，為了提高感光性樹脂組合物的堿顯影性，(A)成分優(yōu)選為具有羧基的粘合劑聚合物(以下，有時(shí)稱作“含有羧基的聚合物”。)。含有羧基的聚合物例如可通過使具有羧基的聚合性單體與其他的聚合性單體發(fā)生自由基聚合而制造。作為上述的具有羧基的聚合性單體，優(yōu)選(甲基)丙烯酸，其中更優(yōu)選甲基丙烯酸。
對(duì)于含有羧基的聚合物而言，源自具有羧基的聚合性單體的重復(fù)單元的含量(以下，稱作“羧基含有率”。)，以含有羧基的聚合物的總量為基準(zhǔn)，優(yōu)選為12 50質(zhì)量％，更優(yōu)選 12^40質(zhì)量％，更加優(yōu)選15 30質(zhì)量％，尤其優(yōu)選15 25質(zhì)量％。含有這樣的含有羧基的聚合物的感光性樹脂組合物，堿顯影性更加優(yōu)良并且固化后的耐堿性良好。如羧基含有率不足 12質(zhì)量％則存在堿顯影性差的傾向，如果超過50質(zhì)量％則存在耐堿性差的傾向。
此外，為了提高由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層對(duì)基板等的密合性及剝離特性，(A)成分優(yōu)選為含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作為聚合性單體單元的粘合劑聚合物。
源自苯乙烯或苯乙烯衍生物的重復(fù)單元的含量，以粘合劑聚合物的總量為基準(zhǔn)， 優(yōu)選為O. Γ30質(zhì)量％，更優(yōu)選廣28質(zhì)量％，更加優(yōu)選1. 5^27質(zhì)量％。如含量不足O.1質(zhì)量％則存在密合性差的傾向，如果超過30質(zhì)量％，則存在剝離片變大、剝離時(shí)間變長(zhǎng)的傾向。
(A)成分的重均分子量?jī)?yōu)選為2000(Γ300000，更優(yōu)選3000(Tl50000，更加優(yōu)選 40000 120000，尤其優(yōu)選50000 110000。如果(A)成分的重均分子量在上述范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物的堿顯影性及光固化物的機(jī)械強(qiáng)度更良好。如果(A)成分的重均分子量不足 20000，則存在感光性樹脂組合物的固化物的耐顯影液性降低的傾向，如果超過300000，則存在顯影所需時(shí)間變長(zhǎng)的傾向。這里，本發(fā)明的重均分子量為由凝膠滲透色譜法測(cè)定、通過使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯而做成的標(biāo)準(zhǔn)曲線進(jìn)行換算而得到的值。
作為(A)成分，可單獨(dú)使用上述粘合劑聚合物或?qū)⑺鼈儍煞N以上組合使用。作為兩種以上的組合，可列舉出不同共聚成分構(gòu)成的兩種以上的粘合劑聚合物的組合，不同重均分子量的兩種以上的粘合劑聚合物的組合，不同分散度的兩種以上的粘合劑聚合物的組人坐 I=I 寸 O
(B)成分為具有至少一個(gè)乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物。作為(B)成分，可列舉出多元醇與α，β-不飽和羧酸反應(yīng)而得到的化合物，雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物， 含有縮水甘油基的化合物與α，不飽和羧酸反應(yīng)而得到的化合物，氨基甲酸酯單體(例如，具有氨基甲酸酯鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物)，壬基苯氧基聚亞烷基氧(甲基)丙烯酸酯， Y-氯-β_輕丙基_β’_ (甲基)丙烯酰氧基乙基-鄰苯二甲酸酯，β_羥乙基_β '-(甲基)丙烯酰氧基乙基-鄰苯二甲酸酯、羥丙基_β’_ (甲基)丙烯酰氧基乙基-鄰苯二甲酸酯、(甲基)丙烯酸烷基酯等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
作為上述多元醇與α，不飽和羧酸反應(yīng)而得到的化合物，可以列舉出亞乙基數(shù)為2 14的二(甲基)丙烯酸聚乙二醇酯，亞丙基數(shù)為2 14的二(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯， 亞乙基數(shù)為2 14、亞丙基數(shù)為2 14 二(甲基)丙烯酸聚乙二醇聚丙二醇酯，亞丙基數(shù)為2 14 的二(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯，三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷 乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷二乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷聚乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷聚丙氧基三(甲基)丙烯酸酯， 三羥甲基丙烷聚乙氧基聚丙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯，四(甲基) 丙烯酸季戊四醇酯，季戊四醇聚乙氧基四(甲基)丙烯酸酯，二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯， 二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
為了使感光性樹脂的光敏感度及析像度更加優(yōu)良，(B )成分優(yōu)選含有雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。
作為上述雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，可列舉出2，2_雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙 (4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等。
作為上述2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷，可以列舉出2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基二乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基三乙氧基) 苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基四乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基) 丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基六乙氧基)苯基)丙烷、 2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基七乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基八乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基九乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十一乙氧基)苯基) 丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十二乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十三乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十四乙氧基)苯基)丙烷、 2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十六乙氧基)苯基)丙烷等。這里，2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷可以作為BPE-500 (新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，商品名)或FA-321M (日立化成工業(yè)株式會(huì)社制，商品名)而商購(gòu)得到，2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷可以作為BPE-1300 (新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，商品名)而商購(gòu)得到。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
作為上述2，2_雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷，可列舉出2，2-雙 (4-((甲基)丙烯酰氧基二丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基三丙氧基) 苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基四丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基五丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基六丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙 (4-((甲基)丙烯酰氧基七丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基八丙氧基) 苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基九丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十一丙氧基)苯基)丙烷、 2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十二丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十三丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十四丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙 (4-((甲基)丙烯酰氧基十五丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十六丙氧基)苯基)丙烷等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
作為上述2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷，可以列舉出2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基二乙氧基八丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基) 丙烯酰氧基四乙氧基四丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基六乙氧基六丙氧基)苯基)丙烷等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
為了更加提高感光性樹脂組合物的光敏感度及析像度，(B)成分優(yōu)選含有2，2-雙 (4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷，更優(yōu)選含有2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷(例如，日立化成工業(yè)株式會(huì)社制，商品名“FA-321M”)。
在(B)成分含有雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物時(shí)，其含量相對(duì)于(A)成分及(B) 成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為1(Γ50質(zhì)量份，更優(yōu)選15 40質(zhì)量份。如果雙酚A系(甲基) 丙烯酸酯化合物的含量在上述范圍內(nèi)，則可平衡性良好地提高感光性樹脂組合物的光敏`感度及析像度。
為了提高感光性樹脂組合物的固化膜的可撓性及蓋孔(tenting)性，(B)成分優(yōu)選含有氨基甲酸酯單體。這里，氨基甲酸酯單體表示具有至少一個(gè)乙烯性不飽和鍵和至少一個(gè)氨基甲酸酯鍵的光聚合性化合物。
上述通式(VI)中，R7表示氫原子或甲基，X表示亞乙基或亞丙基，m表示廣14的整數(shù)，m個(gè)存在的X可彼此相同或不同。這里亞丙基包含1-甲基亞乙基及2-甲基亞乙基。
作為上述通式(V)表示的化合物，作為市售品，可列舉出UA-21 (為上述通式(V) 中R7為甲基、X為亞乙基、m為4 (平均值)、R5為六甲撐基團(tuán)的化合物，新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社商品名)、UA-41 (為上述通式(V)中R7為甲基、X為亞丙基、m為5 (平均值)、R5為六甲撐基團(tuán)的化合物，新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社商品名)、UA-42 (為上述通式(V)中R7為甲基、X為亞丙基、m為9 (平均值)、R5為六甲撐基團(tuán)的化合物，新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社商品名)、UA-44 (為上述通式(V)中R7為氫原子、X為亞丙基、m為6 (平均值)、R5為六甲撐基團(tuán)的化合物，新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社商品名)等。這些可單獨(dú)或組合兩種以上而使用。
在上述通式(V)中，R5優(yōu)選為碳原子數(shù)f 12的亞烷基。此外，在上述通式(VI)中， X優(yōu)選為亞乙基。含有這樣的(B)成分的感光性樹脂組合物的固化物的可撓性及蓋孔性更加優(yōu)良。
(B)成分含有上述通式(V)表示的化合物時(shí),該化合物的含量相對(duì)于(A)成分及 (B)成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為5 25質(zhì)量份，更優(yōu)選為7 15質(zhì)量份。如果上述通式(V)
作為氨基甲酸酯單體，可以列舉出β位具有羥基的(甲基)丙烯酸單體與異佛爾酮二異氰酸酯、2，6-甲苯二異氰酸酯、2，4-甲苯二異氰酸酯、1，6-六甲撐二異氰酸酯等二異氰酸酯化合物的加成反應(yīng)產(chǎn)物，下述通式(V)表示的化合物，EO改性的氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯，Ε0,PO改性的氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯等。這里，EO表示環(huán)氧乙烷，EO 改性的化合物具有環(huán)氧乙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)。此外，PO表示環(huán)氧丙烷，PO改性的化合物具有環(huán)氧丙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)。作為EO改性的氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯，可以列舉出例如新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制的UA-1l (商品名)。此外,作為Ε0、PO改性的氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯，可以列舉出例如新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制的UA-13 (商品名)。(B)成分優(yōu)選含有下述通式(V)表示的化合物作為氨基甲酸酯單體。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有至少一個(gè)乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物和(C)光聚合引發(fā)劑，所述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述通式(I )表示的化合物及下述通式(II)表示的化合物，
2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(C)光聚合引發(fā)劑進(jìn)一步含有下式(III)表示的化合物，
3.—種感光性元件，其特征在于，具有支撐體和在該支撐體上形成的包含權(quán)利要求1 或2所述的感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層。
4.一種抗蝕劑圖形的形成方法，其特征在于，包含對(duì)形成于電路形成用基板上的包含權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線，使曝光部光固化的照射工序；從所述基板上除去所述感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分以外的部分的除去工序。
5.一種抗蝕劑圖形的形成方法，其特征在于，包含對(duì)形成于電路形成用基板上的包含權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分，通過直接描繪法將活性光線呈圖像狀地照射，使曝光部光固化的照射工序；從所述基板上除去所述感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分以外的部分的除去工序。
6.一種印刷電路板的制造方法，其特征在于，對(duì)通過權(quán)利要求4或5所述的抗蝕劑圖形的形成方法而形成有抗蝕劑圖形的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻或鍍覆。
全文摘要
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物及使用其的感光性元件、抗蝕劑圖形的形成方法及印刷電路板的制造方法。本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有至少一個(gè)乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑，上述(C)光聚合物引發(fā)劑含有通式(Ⅰ)表示的化合物及通式(Ⅱ)表示的化合物。
文檔編號(hào)G03F7/09GK103064250SQ20131001148
公開日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2009年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月18日
發(fā)明者磯純一, 味岡芳樹, 石充 申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社